WO2006068014A1

WO2006068014A1 - 端部間の接続構造及び該構造を適用した真空システム

Info

Publication number: WO2006068014A1
Application number: PCT/JP2005/022943
Authority: WO
Inventors: Hirotaka Namiki
Original assignee: Boc Edwards Japan Limited
Priority date: 2004-12-20
Filing date: 2005-12-14
Publication date: 2006-06-29
Also published as: EP1837521A1; US20080226387A1; JPWO2006068014A1; KR20070084156A; EP1837521A4

Abstract

　簡易な設備で振動を低減できると共に電気的なノイズを絶縁可能であり、かつ取付け姿勢に自由度を有する端部間の接続構造及び該構造を適用した真空システムを提供する。　フランジ凸部（２０２）には断面が矩形状で上方に向けて開口された凹部（２０６）が吸気口（１０１）回りに環状に刻設されている。凹部（２０６）の内部にはＯリング（２０７）が配設されている。Ｏリング（２０７）は凹部（２０６）より上方にはみ出したようになっている。ポンプフランジ（２０１）の周囲にはボルト（２０５）が貫通されるための貫通穴（２０９）が周状に複数箇所に形成されている。この貫通穴（２０９）には円筒状のゴム製の円筒弾性部材（２１１）が配設されている。そして、更にこの円筒弾性部材（２１１）の内側には胴部分（２１３ａ）が円筒状で円盤状の鍔部（２１３ｂ）を有するスペーサカラー（２１３）が挿入されている。

Description

明細書

端部間の接続構造及び該構造を適用した真空システム

技術分野

[0001] 本発明は端部間の接続構造及び該構造を適用した真空システムに係わり、特に簡易な設備で振動を低減できると共に電気的なノイズを絶縁可能であり、かつ取付け姿勢に自由度を有する端部間の接続構造及び該構造を適用した真空システムに関する。

背景技術

[0002] 近年のエレクトロニクスの発展に伴い、メモリや集積回路といった半導体の需要が急激に増大している。

これらの半導体は、極めて純度の高い半導体基板に不純物をドープして電気的性質を与えたり、エッチングにより半導体基板上に微細な回路を形成したりなどして製造される。

[0003] そして、これらの作業は空気中の塵等による影響を避けるため高真空状態のチャンバ内で行われる必要がある。このチャンバの排気には、一般に真空ポンプが用いられているが、特に残留ガスが少なぐ保守が容易等の点から真空ポンプの中の一つであるターボ分子ポンプが多用されている。

[0004] また、半導体の製造工程では、さまざまなプロセスガスを半導体の基板に作用させる工程が数多くあり、ターボ分子ポンプはチャンバ内を真空にするのみならず、これらのプロセスガスをチャンバ内力排気するのにも使用される。このターボ分子ポンプの縦断面図を図 18に示す。

[0005] 図 18において、ターボ分子ポンプ 100は、円筒状の外筒 127の上端にポンプフランジ 201が形成されている。そして、このポンプフランジ 201の内側には吸気口 101 が形成されている。外筒 127の内方には、ガスを吸引排気するためのタービンブレードによる複数の回転翼 102a、 102b, 102c ' · ·を周部に放射状かつ多段に形成した回転体 103を備える。

[0006] この回転体 103の中心にはロータ軸 113が取付けられており、このロータ軸 113は、例えば、いわゆる 5軸制御の磁気軸受により空中に浮上支持かつ位置制御されている。

上側径方向電磁石 104は、 4個の電磁石力軸と Y軸とに対をなして配置されている。この上側径方向電磁石 104に近接かつ対応されて 4個の電磁石からなる上側径方向センサ 107が備えられている。この上側径方向センサ 107は回転体 103の径方向変位を検出し、図示せぬ制御装置に送るように構成されている。

[0007] 制御装置においては、上側径方向センサ 107が検出した変位信号に基づき、 PID 調節機能を有する補償回路を介して上側径方向電磁石 104の励磁を制御し、ロータ軸 113の上側の径方向位置を調整する。

ロータ軸 113は、高透磁率材 (鉄など）などにより形成され、上側径方向電磁石 104 の磁力により吸引されるようになっている。かかる調整は、 X軸方向と Y軸方向とにそれぞれ独立して行われる。

[0008] また、下側径方向電磁石 105及び下側径方向センサ 108が、上側径方向電磁石 1 04及び上側径方向センサ 107と同様に配置され、ロータ軸 113の下側の径方向位置を上側の径方向位置と同様に調整している。

更に、軸方向電磁石 106A、 106B力ロータ軸 113の下部に備えた円板状の金属ディスク 111を上下に挟んで配置されている。金属ディスク 111は、鉄などの高透磁率材で構成されている。ロータ軸 113の軸方向変位を検出するために軸方向センサ 109が備えられ、その軸方向変位信号が制御装置に送られるように構成されている。

[0009] そして、軸方向電磁石 106A、 106Bは、この軸方向変位信号に基づき制御装置の PID調節機能を有する補償回路を介して励磁制御されるようになっている。軸方向電磁石 106Aは、磁力により金属ディスク 111を上方に吸引し、軸方向電磁石 106B は、金属ディスク 111を下方に吸引する。

このように、制御装置は、この軸方向電磁石 106A、 106Bが金属ディスク 111に及ぼす磁力を適当に調節し、ロータ軸 113を軸方向に磁気浮上させ、空間に非接触で保持するようになっている。

[0010] モータ 121は、ロータ軸 113を取り囲むように周状に配置された複数の磁極を備えている。各磁極は、ロータ軸 113との間に作用する電磁力を介してロータ軸 113を回転駆動するように、制御装置によって制御されている。

また、モータ 121には図示しない回転数センサが組み込まれており、この回転数センサの検出信号によりロータ軸 113の回転数が検出されるようになっている。

[0011] 更に、例えば下側径方向センサ 108近傍に、図示しない位相センサが取付けてあり、ロータ軸 113の回転の位相を検出するようになっている。制御装置では、この位相センサと回転数センサの検出信号を共に用いて磁極の位置を検出するようになつている。

[0012] 回転翼 102a、 102b, 102c ' · ·とわずかの空隙を隔てて複数枚の固定翼 123a、 1 23b, 123c ' · ·が配設されている。回転翼 102a、 102b, 102c ' · ·は、それぞれ排気ガスの分子を衝突により下方向に移送するため、ロータ軸 113の軸線に垂直な平面力所定の角度だけ傾斜して形成されている。

また、固定翼 123も、同様にロータ軸 113の軸線に垂直な平面から所定の角度だけ傾斜して形成され、かつ外筒 127の内方に向けて回転翼 102の段と互い違いに配設されている。

[0013] そして、固定翼 123の一端は、複数の段積みされた固定翼スぺーサ 125a、 125b, 125c ' · ·の間に嵌挿された状態で支持されている。

固定翼スぺーサ 125はリング状の部材であり、例えばアルミニウム、鉄、ステンレス、銅などの金属、又はこれらの金属を成分として含む合金などの金属によって構成されている。

[0014] 固定翼スぺーサ 125の外周には、わずかの空隙を隔てて外筒 127が固定されている。外筒 127の底部にはベース部 129が配設され、固定翼スぺーサ 125の下部とベース部 129の間にはネジ付きスぺーサ 131が配設されている。そして、ベース部 129 中のネジ付きスぺーサ 131の下部には排気口 133が形成され、外部に連通されている。

[0015] ネジ付きスぺーサ 131は、アルミニウム、銅、ステンレス、鉄、又はこれらの金属を成分とする合金などの金属によって構成された円筒状の部材であり、その内周面に螺旋状のネジ溝 131 aが複数条刻設されてレ、る。

ネジ溝 131aの螺旋の方向は、回転体 103の回転方向に排気ガスの分子が移動したときに、この分子が排気口 133の方へ移送される方向である。

[0016] 回転体 103の回転翼 102a、 102b, 102c ' · ·に続く最下部には回転翼 102dが垂下されている。この回転翼 102dの外周面は、円筒状で、かつネジ付きスぺーサ 131 の内周面に向かって張り出されており、このネジ付きスぺーサ 131の内周面と所定の隙間を隔てて近接されている。

[0017] ベース部 129は、ターボ分子ポンプ 100の基底部を構成する円盤状の部材であり、一般には鉄、アルミニウム、ステンレスなどの金属によって構成されている。

ベース部 129はターボ分子ポンプ 100を物理的に保持すると共に、熱の伝導路の機能も兼ね備えているので、鉄、アルミニウムや銅などの剛性があり、熱伝導率も高い金属が使用されるのが望ましい。

[0018] 力、かる構成において、回転翼 102がモータ 121により駆動されてロータ軸 113と共に回転すると、回転翼 102と固定翼 123の作用により、吸気口 101を通じてチャンバからの排気ガスが吸気される。

吸気口 101から吸気された排気ガスは、回転翼 102と固定翼 123の間を通り、ベース部 129へ移送される。

[0019] この回転翼 102の回転に伴い、機械的な微小振動や電気的なノイズが生ずるが、これらがチャンバ側に伝達されるのを防止するため、従来は、チャンバとターボ分子ポンプ 100間に外付けダンバが配設されていた。

[0020] し力ながら、この外付けダンパを使うと、設置スペースが必要になってしまったり、配管抵抗によって実効排気速度が低下してしまったりする。また、省スペースであつて、かつ実効排気速度も低下させないようにダンパを内蔵したターボ分子ポンプもあるが、外付けダンパゃ内蔵ダンバほどの振動低減が必要無い場合には、もっと簡単かつ低価格な構成で振動低減されることが望ましレ、。

[0021] 更に、ターボ分子ポンプのケーシングとフランジを別体として構成し、この間に弾性部材と真空シールを設けることで振動を低減した例が公開されている（特許文献 1参照）。

特許文献 1 :実開昭 60— 28298号公報公報

発明の開示発明が解決しょうとする課題

[0022] ところで、特許文献 1では、ケーシングとフランジを別体として構成しているため、ターボ分子ポンプを不必要に大型化してしまう。また、弾性部材としてゴムの両端にネジを設けたものを使用している力ゴムは伸び方向には圧縮方向と比較して弱ぐ大型のポンプを支持するには難がある。

[0023] 更に、ターボ分子ポンプに異常が発生した場合のトルクがゴムにかかってしまうため耐えられず、ターボ分子ポンプ単体では安全性を確保できなレ、。いずれも、最悪の場合にはフランジだけ残して、ポンプが脱落してしまうおそれがあった。

[0024] 本発明はこのような従来の課題に鑑みてなされたもので、簡易な設備で振動を低減できると共に電気的なノイズを絶縁可能であり、かつ取付け姿勢に自由度を有する端部間の接続構造及び該構造を適用した真空システムを提供することを目的とする課題を解決するための手段

[0025] このため本発明（請求項 1)は、第 1の端部と、該第 1の端部に対峙され、真空引きされる側である中空の第 2の端部と、該第 2の端部と前記第 1の端部間に配設された弾性を有するシール部材とを備え、前記真空引きされたとき、内外の気圧差に基づき前記第 1の端部と前記第 2の端部間が接近され前記シール部材が弾性変形される一方で、前記第 1の端部と前記第 2の端部間には前記シール部材を介して所定の隙間が形成されたことを特徴とする。

[0026] シール部材は、内外間の気密性を保持しつつ弾性を有する。そして、第 2の端部側で真空引きされると、シール部材による気密性が確保されているため内外の気圧差が生ずる。この気圧差により第 1の端部と第 2の端部間が接近する。このとき、シール部材が弾性変形される一方で、第 1の端部と第 2の端部間にはシール部材を介して所定の隙間が形成される。

[0027] このように、第 1の端部と第 2の端部間の隙間にシール部材を介在したことで、シール部材により機密性が維持されつつ、一方の端部側で生じた振動は吸収され、他方の端部に伝達される振動は低減する。電気的にも絶縁される。構造的に簡素なので低価格、かつ省スペースである。真空引きされたときの実効排気速度の低下を抑えること力 Sできる。ポンプのケーシングと一体に形成すれば、実効排気速度を低下させなレ、ことちでさる。

[0028] また、本発明（請求項 2)は、第 1の端部と、該第 1の端部に対畤され、真空引きされる側である中空の第 2の端部と、該第 2の端部に配設された少なくとも一つの貫通穴と、該貫通穴に貫通され前記第 2の端部の脱落を防ぎつつ前記第 1の端部に固定される固定手段と、該固定手段と前記貫通穴の間に配設された第 1の弾性部材と、前記真空引きされたとき、内外の気圧差に基づき前記第 2の端部が前記第 1の端部に接近することで前記第 2の端部は固体同士の接触から解放されることを特徴とする。

[0029] 第 2の端部には貫通穴が配設される。固定手段は、この貫通穴に貫通され、第 2の端部の脱落を防ぎつつ第 1の端部に固定される。第 1の弾性部材は、固定手段と貫通穴の間に配設される。そして、真空引きされたとき、内外の気圧差に基づき、第 2の端部が第 1の端部に接近する。このことにより、第 2の端部は固体同士の接触から解放され第 1の弾性部材を介して接触されるようになる。

[0030] 以上により、一方の端部側で生じた振動は吸収され、他方の端部に伝達される振動は低減する。電気的にも絶縁される。第 1の端部及び第 2の端部の取付け姿勢にも自由度を持たせることができる。構造的に簡素なので低価格、かつ省スペースである。真空引きされたときの実効排気速度の低下を抑えることができる。ポンプのケーシングと一体に形成すれば、実効排気速度を低下させないこともできる。万一、第 2の端部側のいずれかの部材が破壊等した場合でも固定手段で第 2の端部の脱落を防止できるので安全である。

[0031] 更に、本発明（請求項 3)は、第 1の端部と、該第 1の端部に対畤され、真空引きされる側である中空の第 2の端部と、該第 2の端部と前記第 1の端部間に配設された弾性を有するシール部材と、前記第 2の端部に配設された少なくとも一つの貫通穴と、該貫通穴に貫通され前記第 2の端部の脱落を防ぎつつ前記第 1の端部に固定される固定手段と、該固定手段と前記貫通穴の間に配設された第 1の弾性部材とを備え、前記真空引きされたとき、内外の気圧差に基づき前記第 1の端部と前記第 2の端部間が接近され前記シール部材が弾性変形される一方で、前記第 1の端部と前記第 2 の端部間には前記シール部材を介して所定の隙間が形成され、かつ前記第 2の端部は固体同士の接触から解放され前記第 1の弾性部材と接触されることを特徴とする。

[0032] 第 1の端部と第 2の端部間は、シール部材で弾力的に連接され、一方、第 2の端部と固定手段間は少なくとも一つの第 1の弾性部材で弾力的に連接されている。

真空引きされたとき、シール部材により、第 1の方向の振動が吸収される一方で、少なくとも一つの第 1の弾性部材により、第 2の方向の振動が吸収される。このことにより

、全方向的な振動が効率よく吸収される。電気的にも絶縁される。

[0033] 更に、本発明（請求項 4)は、前記固定手段と前記第 1の弾性部材の間にはスぺーサカラーが配設され、前記固体同士の接触は、該スぺーサカラー又は前記固定手段と前記第 2の端部間の接触であることを特徴とする。

[0034] スぺーサカラーによって、固定手段による固定の規制を行うことができる。このため

、第 1の弾性部材ゃシール部材の適度な弾力性を確保できる。

[0035] 更に、本発明（請求項 5)は、前記シール部材は、前記第 1の端部及び/又は前記第 2の端部に形成された凹部、あるいはセンタリングに保持されたことを特徴とする。

[0036] このことにより、シール部材の位置を保持できる。

[0037] 更に、本発明（請求項 6)は、第 1の端部と、該第 1の端部に対畤され、真空引きされる側である中空の第 2の端部と、該第 2の端部に配設された弾性を有するシール部材と、該シール部材を収納する凹部と、前記第 2の端部に配設された少なくとも一つの貫通穴と、該貫通穴に貫通され前記第 2の端部の脱落を防ぎつつ前記第 1の端部に固定される固定手段とを備えた端部間の接続構造であって、該固定手段を前記第 1の端部に固定したときの前記シール部材の高さの公差範囲力 S、該固定前の状態における前記シール部材の高さの最低許容寸法と真空引きした状態のときの前記シール部材の高さの最大許容寸法との差の範囲内に納まることを特徴とする。

[0038] この状態が確保されれば、組み立て後における真空シールが確実に機能し、かつ真空引きした状態においては、第 2の端部を固定手段ゃスぺーサカラーの金属部分より確実に離れさせることができる。

[0039] 更に、本発明（請求項 7)は、第 1の端部と、該第 1の端部に対峙され、真空引きされる側である中空の第 2の端部と、該第 2の端部に配設された弾性を有するシール部材と、該シール部材を収納する凹部と、前記第 2の端部に配設された少なくとも一つの貫通穴と、該貫通穴に貫通され前記第 2の端部の脱落を防ぎつつ前記第 1の端部に固定される固定手段と、該固定手段と前記貫通穴の間に配設されたスぺーサカラ一とを備えた端部間の接続構造であって、前記固定手段を前記第 1の端部に固定する前の状態において、前記第 2の端部の底面より前記凹部の底面までの高さと前記シール部材の高さとを加えた寸法が前記スぺーサカラーの胴部分の高さより大きぐかつ、真空引きされたときの前記シール部材の高さと前記第 2の端部の底面より前記凹部の底面までの高さとをカ卩えた寸法が前記スぺーサカラーの胴部分の高さより小さレ、ことを特徴とする。

[0040] このことにより、固定手段を第 1の端部に固定し組み立てた状態のときには、シール部材がつぶされ真空シールする。一方、真空引きした状態のときには、シール部材が更につぶされ、第 2の端部が固定手段ゃスぺーサカラーの金属部分より確実に離れることになる。

[0041] 更に、本発明（請求項 8)は、前記第 2の端部には第 2の弾性部材が配設され、該第 2の弾性部材は、前記真空引きされたとき、内外の気圧差に基づき前記第 2の端部が前記第 1の端部に接近することで前記第 1の端部に向けて押し付けられることを特徴とする。

[0042] 第 2の弾性部材は、真空引きされたとき、内外の気圧差に基づき第 2の端部が第 1 の端部に接近することで、第 1の端部に向けて押し付けられる。このことにより、内外の気圧差に基づく一部若しくは全荷重を支えることができ、例えばシール部材と共に用いられた場合にはシール部材に力かる荷重を減らすことができる。第 2の弾性部材は、例えば環状に連続して配設されてもよいし、部分的に少なくとも 1か所に配設されてもよい。

[0043] 更に、本発明（請求項 9)は、前記第 2の弾性部材は前記第 1の弾性部材と一体形成されたことを特徴とする。

[0044] 第 1の弾性部材の機能を第 2の弾性部材に持たせ、第 1の弾性部材を省略することあでさる。

このことにより、部品の点数を減らすことができる。 [0045] 更に、本発明（請求項 10)は、前記固定手段にはボルトを備えたことを特徴とする。

[0046] このことにより、構造を簡素にできる。

[0047] 更に、本発明（請求項 11)は、前記スぺーサカラーには前記第 2の端部の脱落を防ぐための鍔部を備えたことを特徴とする。

[0048] このことにより、構造を簡素にできる上に、第 2の端部の脱落を効率よく防止することができる。

[0049] 更に、本発明（請求項 12)は、前記スぺーサカラーの外周面及び Z又は前記貫通穴の内周面がテーパ状に形成されたことを特徴とする。

[0050] このようにテーパ状に形成された場合には、第 1の弾性部材は省略されてもよい。

以上により、取付け時の位置決めを容易にできる上に、第 1の弾性部材を省略した場合であっても、真空引きされたときに貫通穴とスぺーサカラーの固体同士の接触を回避することができ、また、第 2端部の脱落を効率よく防止することができる。

[0051] 更に、本発明（請求項 13)は、請求項 1〜： 12のいずれ力 1項に記載の端部間の接続構造を適用した真空システムであって、前記第 1の端部又は前記第 2の端部が、真空引きされる対象である所定の装置と該装置内部を真空引きする真空ポンプとの間のいずれかの部位のフランジであることを特徴とする。

[0052] このことにより、真空ポンプの取付け姿勢を自由に設定できる。構造的に簡素なので低価格、かつ省スペースである。真空引きされたときの実効排気速度の低下を抑えること力 Sできる。ポンプのケーシングと一体に形成すれば、実効排気速度を低下させなレ、こともできる。万一、真空ポンプが破壊等した場合でも固定手段で第 2の端部の脱落を防止できるので安全である。シール部材、第 1の弾性部材、第 2の弾性部材により衝撃吸収効果も期待できる。発明の効果

[0053] 以上説明したように本発明によれば、第 1の端部と第 2の端部間の隙間にシール部材を介設したことで、真空引きされたとき、シール部材により機密性が維持されつつ、一方の端部側で生じた振動は吸収され、他方の端部に伝達される振動は低減する。電気的にも絶縁される。構造的に簡素なので低価格、かつ省スペースである。真空引きされたときの実効排気速度の低下を抑えることができる。ポンプのケーシングとー体に形成すれば、実効排気速度を低下させないこともできる。

[0054] また、第 1の弾性部材を固定手段と貫通穴の間に配設したので、真空引きされたとき、第 2の端部は固体同士の接触力解放され第 1の弾性部材と接触されるようになる。従って、万一、第 2の端部側のいずれかの部材が破壊等した場合でも固定手段で第 2の端部の脱落を防止でき安全である。

図面の簡単な説明

[0055] [図 1]図 1は、本発明の第 1実施形態の概略構成図である。

[図 2]図 2は、図 1中に点線で示した領域 A部を拡大した縦断面図である。

[図 3]図 3は、ポンプフランジ回りの斜視構成図（組み立て図）である。

[図 4]図 4は、スぺーサカラー内にボルトが通され、装置側フランジを螺着した様子を示した図である。

[図 5]図 5は、〇リングと装置側フランジ間に隙間ができてしまった例を示した図である

[図 6]図 6は、ターボ分子ポンプの内部が真空状態になったときの様子を示した図である。

[図 7]図 7は、ターボ分子ポンプの径方向の振動低減効果を示したグラフである。

[図 8]図 8は、ターボ分子ポンプのアキシャル方向の振動低減効果を示したグラフである。

[図 9]図 9は、本発明の接続構造の適用例を示した図である。

[図 10]図 10は、本発明の第 2実施形態の部分縦断面図である。

[図 11]図 11は、同ポンプフランジ回りの斜視構成図（組み立て図）である。

[図 12]図 12は、環状弾性部材と円筒弾性部材とを一体化した例を示した図である。

[図 13]図 13は、本発明の第 3実施形態の部分縦断面図である。

[図 14]図 14は、本発明の第 4実施形態の部分縦断面図である。

[図 15]図 15は、ターボ分子ポンプの内部が真空状態になったときの様子を示した図である。

[図 16]図 16は、本発明の第 5実施形態の部分縦断面図である。

[図 17]図 17は、 Oリングの高さ寸法の遷移図 [図 18]図 18は、ターボ分子ポンプの縦断面図である。

符号の説明

[0056] 100 ターボ分子ポンプ

101 吸気口

127 外筒

201、 241、 301 ポンプフランジ

202 フランジ凸部

203 装置側フランジ

205、 335 ボノレ卜

206、 305 凹部

207 〇リング

209、 239、 259、 329 貫通穴

211、 231 円筒弾性部材

213、 253、 333 スぺーサカラー

213b, 333b 鍔部

215 隙間

233 環状弾性部材

243 センタリング

321 吸気口筒

303 外筒分離部材

323 ベローズ

発明を実施するための最良の形態

[0057] 以下、本発明の実施形態について説明する。本発明の第 1実施形態の概略構成図を図 1に示す。図 1において、ターボ分子ポンプ 100の頭部に形成されたポンプフランジ 201には真空チャンバ等の装置側フランジ 203が複数本のボルト 205により接続固定されている。図 2は、図 1中に点線で示した領域 A部を拡大した部分縦断面図である。また、図 3には本フランジとポンプを別に構成した場合のポンプフランジ回りの斜視構成図（組み立て図）を示す。図では見えないが、ポンプフランジ 201の下面には雌ネジが刻設されており、ターボ分子ポンプ 100をクランパやボルトで取付けられるようになっている。

[0058] ポンプフランジ 201の上端面にはフランジ凸部 202が上方に向けて突設され、ボンプフランジ 201の上端面との間に段差を有している。そして、このフランジ凸部 202には断面が矩形状で上方に向けて開口された凹部 206が吸気口 101回りに環状に刻設されている。凹部 206の内側には〇リング 207が配設されている。この Oリング 207 と凹部 206の関係は、従来は、ポンプフランジ 201と装置側フランジ 203がボルト 20 5により接続固定された際に、〇リング 207が丁度凹部 206内に隙間なく充填されるように溝の深さは〇リング太さにもよるが、 1〜： 1. 5mm程度 Oリング太さよりも浅く設定されていた CFIS規格等）。

[0059] し力、しながら、本願では、同じ〇リング 207に対し、 JIS規格等で定められた大きさの凹部 206の高さより高さにおいて所定長分低く形成され、〇リング 207が凹部 206より高さ方向にはみ出るようになつている。

[0060] ポンプフランジ 201の周囲にはボルト 205が貫通されるための貫通穴 209が周状に複数箇所に形成されている。この貫通穴 209には円筒状のゴム製の円筒弾性部材 2 11が配設されている。そして、更にこの円筒弾性部材 211の内側には胴部分 213a が円筒状で、下端に円盤状の鍔部 213bを有するスぺーサカラー 213が挿入されている。鍔部 213bの直径は、貫通穴 209の直径より大きく形成されており、鍔部 213b にてポンプフランジ 201を保持可能なようになつている。

[0061] 図 2に示すように、ボルト 205による締結のされていない状態においては、スぺーサカラー 213と円筒弾性部材 211の高さは、揃えられており、一方ポンプフランジ 201 の高さより高ぐかっこのポンプフランジ 201の凹部 206よりはみ出した〇リング 207の高さよりは低く形成されている。

[0062] また、図 4には、スぺーサカラー 213内にヮッシャ 214を介してボルト 205が通され、装置側フランジ 203側に形成された図示しない雌ネジに対しボルト 205が螺着された状態を示す。このとき、ボルト 205の螺着は、スぺーサカラー 213の高さにより規制されており、ボルト 205が装置側フランジ 203に締結された状態では、〇リング 207 (例えば直径 6mm)は圧縮によりある程度、高さ方向に変形されたようになっている。このとき、装置側フランジ 203の下端面とポンプフランジ 201の上端面との間には、 0. 5 mm程度の隙間 215が形成されるようになっている。そして、この Oリング 207の弾性力により、図中 B符号で示した箇所は、ポンプフランジ 201とスぺーサカラー 213の鍔部 213bとが接触した状態になっている。

[0063] なお、図 5には〇リング 207と装置側フランジ 203間に隙間ができてしまった好ましくない例を示す。〇リング 207は圧縮により弾力性を有しつつも、ある程度、高さ方向に変形された状態に維持されることが望ましい。

[0064] 次に、本発明の第 1実施形態の作用を説明する。

図 4において、ターボ分子ポンプ 100が起動される前には、〇リング 207は圧縮によりある程度、高さ方向に変形され、かつポンプフランジ 201とスぺーサカラー 213の鍔部 213bとが接触した状態にある。次に、ターボ分子ポンプ 100が起動されると、ターボ分子ポンプ 100の内部では真空状態になる。一方、ターボ分子ポンプ 100には上方に向けて大気圧力が働いている。このため、図 6に示すように、スぺーサカラー 21 3は固体なので高さ方向に変位はしない一方で、ターボ分子ポンプ 100は内外気圧差に従い Oリング 207の弾性力に抗して次第に上方に移動する。このとき、図中 B符号で示した箇所のポンプフランジ 201とスぺーサカラー 213の鍔部 213b間の接触は開放され、ポンプフランジ 201は、円筒弾性部材 211にのみ接触するようになる。

[0065] 即ち、ポンプフランジ 201の上端面と装置側フランジ 203の下端面間は、 Oリング 2 07で弾力的に連接され、一方、ポンプフランジ 201とスぺーサカラー 213及びボルト 205間は円筒弾性部材 211で弾力的に連接されている。

[0066] このことにより、 Oリング 207により気密性を確保できるのはもとより、この〇リング 207 と円筒弾性部材 211により、ターボ分子ポンプ 100の運転中に生じた振動は、固体の部材間同士の接触により伝達されるということはなくなる。円筒弾性部材 211は、ポンプフランジ 201の周囲複数力所に均等に配設されているので、 Oリング 207と円筒弾性部材 211の弾性作用により垂直及び水平方向を含む全方向的に振動が吸収される。

[0067] この振動低減の効果を実験で算出したのが図 7及び図 8である。図 7は、ターボ分子ポンプ 100の径方向の振動低減効果を示したグラフである。横軸には運転の周波数を、縦軸には振動の加速度を示している。使用したターボ分子ポンプ 100は、 130 0L (リツター）/ sクラスであり、真空度は、 l X 10— 6Pa (パスカル)程度である。

[0068] 図中、点線で示したグラフが本発明の適用されていない、従来のポンプフランジと装置側フランジとが直接ボルトにより接続された接続構造のものであり、一方、実線で示したグラフが本発明を適用したポンプフランジ 201と装置側フランジ 203の接続構造のものである。両者を比較すると、最大 20デシベル以上振動の低減したことが分力、る。図 8は、図 7と同様にターボ分子ポンプ 100のアキシャル方向の振動低減効果を示したグラフである。両者を比較すると、最大 30デシベル程度振動の低減したことが分かる。

[0069] また、ターボ分子ポンプ 100の運転中に生じた電気的ノイズは、 Oリング 207と円筒弾性部材 211の絶縁作用によりターボ分子ポンプ 100側から装置側に伝達することはなくなる。このように、簡易な設備で振動低減と共に電気絶縁も実現できる。設置スペースも〇リング 207と円筒弾性部材 211を配設するだけなので極めて小さくてすむ。また、ターボ分子ポンプ 100の外筒 127やフランジ 201と一体に構成することもでき、この場合、設置スペースの増加や実効排気速度の低下を招くことなく実装することあでさる。

[0070] 更に、本発明は、〇リング 207と円筒弾性部材 211という弾性変形の大きさが小さい部材を用いており、ダンパのように拡縮された際に変形の度合いの大きい部材を用いていないので、例えばターボ分子ポンプ 100を横方向にたわむことなく設置する等も可能である。

[0071] なお、本実施形態では、ターボ分子ポンプ 100を例にポンプフランジ 201と装置側フランジ 203の接続構造という観点から説明したが、フランジの一方側と他方側とに圧力差が想定される環境であれば本実施形態は実現可能であり、配管の途中のフランジ同士の接続構造等にも適用可能である。また、本発明はフランジに限定するものでもなぐ部材同士を接続するあらゆる接続構造に対し適用可能である。

[0072] また、本実施形態では、凹部 206をポンプフランジ 201側にのみ形成した力この凹部 206と対峙する装置側フランジ 203にも凹部を形成し、両凹部間に Oリング 207 を配設するようにしてもよレ、。凹部 206をポンプフランジ 201側に代えて、装置側フランジ 203のみに配設するようにしてもよい。

貫通穴等の設置も、ポンプフランジ 201側と装置側フランジ 203側を逆にすることもできる。

[0073] 更に、本実施形態では、ターボ分子ポンプを装置に対し直接接続する例を示したが、図 9に示すようにターボ分子ポンプ 100の上部に真空バルブ 240を接続し、この真空バルブ 240と装置間のフランジ接続に対し本発明の接続構造を適用するようにしてもよい。

[0074] 次に、本発明の第 2実施形態について説明する。

本発明の第 2実施形態の部分縦断面図を図 10に、また、図 11にはポンプフランジ回りの斜視構成図（組み立て図）を示す。

なお、図 2、図 3と同一要素のものについては同一符号を付して説明は省略する。

[0075] 本発明の第 1実施形態では円筒弾性部材 211がポンプフランジ 201の貫通穴 209 の高さより長く形成され、この貫通穴 209より突設していたが、本発明の第 2実施形態では、円筒弾性部材 211に代えて円筒弾性部材 231が貫通穴 209の高さと同じに設定されている。そして、このポンプフランジ 201の上端面には、フランジ凸部 202の周囲を覆うように、ゴム製の環状弾性部材 233が配設されている。この環状弾性部材 233には、ポンプフランジ 201の貫通穴 209に対峙する箇所に貫通穴 239が設けられている。

[0076] 次に、本発明の第 2実施形態の作用を説明する。

環状弾性部材 233を配設したことにより、ターボ分子ポンプ 100の運転により真空引き状態とされた際に、ポンプフランジ 201が上方に移動される力 S、この際には〇リング 207に荷重が力、かるだけではなぐ環状弾性部材 233にも荷重の一部が力かる。従って、 Oリング 207にのみ過度の荷重が力、かるのを防ぐことができ、〇リング 207の寿命を長くすることができる。

[0077] なお、環状弾性部材 233と円筒弾性部材 211とを別に配設するのではなぐ図 12 に断面図を示すように、環状弾性部材 233と円筒弾性部材 211とを一体化して構成するようにしてもよレ、。環状弾性部材 233に円筒弾性部材 211の機能を持たせ、円筒弾性部材 211を省略してもよい。 [0078] また、環状弾性部材 233は、必ずしも全周に渡って一部材で配設される必要はなく、円筒弾性部材 211の存在する周囲にのみ限定して複数個に分割するように配設されてもよい。

[0079] 次に、本発明の第 3実施形態について説明する。

本発明の第 3実施形態の部分縦断面図を図 13に示す。

[0080] 外筒 127の上部にはポンプフランジ 241が配設されている。このポンプフランジ 24 1と装置側フランジ 203の間には、吸気口 101回りに環状に〇リング 207が設けられている。この〇リング 207の内側には、断面 L字状のセンタリング 243が固定されている。そして、図 13においては、 Oリング 207の右端はセンタリング 243の左端面に当接されている。その他の構成は、本発明の第 1実施形態又は第 2実施形態と同様に構成されている。

[0081] 力かる構成において、ターボ分子ポンプ 100の運転により真空引き状態とされた際に、センタリング 243と装置側フランジ 203の間には Oリング 207を介して隙間 215が存在するので、ポンプフランジ 241が上方に移動可能である。このとき、ポンプフランジ 241とスぺーサカラー 213の鍔部 213b間の接触は開放され、ポンプフランジ 241 は、円筒弾性部材 211にのみ接触するようになる。従って、本発明の第 1実施形態又は第 2実施形態と同様の効果を得ることができる。

[0082] 次に、本発明の第 4実施形態について説明する。

図 14に本発明の第 4実施形態の部分縦断面図を示す。なお、図 2、図 3と同一要素のものについては同一符号を付して説明は省略する。

ポンプフランジ 201に配設された貫通穴 259の内周面は、テーパ状に下方に向けて内径が次第に拡開されている。そして、この貫通穴 259の内周面に対し形状が合うようにスぺーサカラー 253の外周面がテーパ状に形成されている。即ち、このスぺーサカラー 253の肉厚は、下方に向けて次第に厚くなつている。図 14は、ボノレト 205により装置側フランジ 203に対しスぺーサカラー 253が締結された状態を示している。

[0083] かかる構成において、スぺーサカラー 253の外周面と貫通穴 259の内周面の双方がテーパ状なので、ポンプフランジ 201は落下せずにスぺーサカラー 253及びボルト 205により保持される。

[0084] 一方、ターボ分子ポンプ 100の運転により真空引き状態とされた際には、図 15に示すようにポンプフランジ 201は上昇し、ポンプフランジ 201とスぺーサカラー 253との間には隙間が形成される。このことにより、振動低減と共に電気絶縁を実現できる。また、ボルト 205締結の際の位置決めを容易に実現できる。円筒弾性部材 211を省略した場合であってもポンプフランジ 201とスぺーサカラー 253との間の固体接触を回避できる。ターボ分子ポンプ 100に異常が発生した場合であっても、スぺーサカラー 253のテーパ面でポンプフランジ 201を受けることが可能なので、ポンプが脱落することはなくなる。

[0085] なお、必ずしもスぺーサカラー 253の外周面と貫通穴 259の内周面の双方をテーパ面にする必要はなぐいずれか一方だけにテーパ面を形成するようにしてもよい。

[0086] 次に、本発明の第 5実施形態について説明する。

図 16に本発明の第 5実施形態の部分縦断面図を示す。なお、図 4と同一要素のものについては同一符号を付して説明は省略する。本発明の第 5実施形態は、ダンパを内蔵したターボ分子ポンプに対し本発明を適用した例である。

[0087] 図 16において、ポンプフランジ 301には環状に形成された外筒分離部材 303が対向されている。このポンプフランジ 301側には図 4とは異なり凹部は形成されておらず、外筒分離部材 303側のポンプフランジ 301と対向する面に凹部 305が形成されている。そして、その凹部 305内部に〇リング 207が配設されている。また、図 4とは異なり貫通穴 209の内側には円筒弾性部材が省略され、スぺーサカラー 213のみが挿入されている。

[0088] 外筒分離部材 303の上側には吸気口筒 321がべローズ 323を介して揺動自在に連設されている。この吸気口筒 321は吸気空間を囲むように配置されている。ベローズ 323の下端は外筒分離部材 303に固定され、一方、ベローズ 323の上端は吸気口筒 321に固定されている。吸気口筒 321の底部 321aは、環状に突設されており、この底部 321aには貫通穴 329が設けられている。貫通穴 329には胴部分 333aが円筒状で、上端に円盤状の鍔部 333bを有するスぺーサカラー 333が揷入されている。このスぺーサカラー 333の下端は外筒分離部材 303に当接されている。 [0089] 貫通穴 329にはボルト 335が通され、外筒分離部材 303に対し締結されている。吸気口筒 321の底部 321aと外筒分離部材 303の間には材質がゴムからなる弾性部材 337が挟装されている。

[0090] 力、かる構成において、ボノレト 335及びスぺーサカラー 333により、回転体 103が回転中に破壊する等によって大きな荷重が作用しても、吸気口筒 321が外筒分離部材 303からはずれ難ぐ安全性を確保できる。また、弾性部材 337とべローズ 323により、吸気口筒 321の底部 321aはスぺーサカラー 333の高さ範囲内に移動が規制されている。このため、弾性部材 337とべローズ 323の変形が良好な振動低減性を示す弾性変形範囲内に収められ、優れた振動低減性を常に発揮することができる。

[0091] そして、回転翼 102の回転に伴い生ずる機械的な微小振動が、外筒分離部材 303 に伝達されると、弾性部材 337とべローズ 323の弾性変形によって振動が大幅に減衰された後、吸気口筒 321に伝達される。一方、〇リング 207の作用は、本発明の第 1実施形態で説明した通りであり、〇リング 207により気密性を確保できるのはもとより、この Oリング 207により、ターボ分子ポンプ 100の運転中に生じた振動は、固体の部材間同士の接触により伝達されるということはなくなる。

[0092] また、ターボ分子ポンプ 100の運転中に生じた電気的ノイズは、 Oリング 207の絶縁作用によりターボ分子ポンプ 100側から装置側に伝達することはなくなる。このように、簡易な設備で振動低減と共に電気絶縁も実現できる。設置スペースもダンパをターボ分子ポンプ 100に内蔵した上に、 Oリング 207を配設するだけなので極めて小さくてすむ。このため、実効排気速度も低下しない。

[0093] なお、本実施形態は、本発明の第 2実施形態と同様にゴム製の環状弾性部材 233 を配設するようにしてもよい。このことにより、ターボ分子ポンプ 100の運転により真空引き状態とされた際に、ポンプフランジ 201が上方に移動される力この際には〇リング 207に荷重が力、かるだけではなぐ環状弾性部材 233にも荷重の一部が力かる。従って、 Oリング 207にのみ過度の荷重が力、かるのを防ぐことができ、〇リング 207の寿命を長くすることができる。

実施例

[0094] 次に、本発明の実施例を第 1実施形態を基に具体的に説明する。但し、本実施例は、他の実施形態についても同様に適用可能である。

第 1実施形態の図 2は、ボルト 205による締結のされていない状態であり、 Oリング 2 07の高さ 11は例えば 6mmに公差（一0.：!〜 + 0· 1)を加えた寸法である。このときの公差は〇リング 207がつぶされていない状態のものである。

[0095] また、スぺーサカラー 213の胴部分 213aの鍔部 213bからの高さ hは、 18mmに公差（一0.：!〜 + 0. 1)を加えた寸法であり、一方、この鍔部 213bからフランジ凸部 20 2の上端面までの高さ iは、 16. 5mmに公差（— 0. ト + 0. 1)を加えた寸法である。更に、凹部 206の深さ jは 3. 8mmに公差（一0. 05〜+ 0. 05)を加えた寸法である

[0096] 一方、図 4の状態は、ボルト 205による締結のされた状態である。このとき、 Oリング 2 07の高さ 12は 5. 3mmに公差（一0. 25〜+ 0. 25)を加えた寸法となっており、真空シールの必要から Oリング 207はつぶされた状態に維持する必要がある。

[0097] 更に、図 6の状態は、ターボ分子ポンプ 100が真空引きしている状態である。このとき、〇リング 207の高さ 13は図 4の状態から更につぶされ、実験データによれば、 4. 4 mmに公差（一0· 3〜 + 0· 3)を加えた寸法となっている。この際には、フランジ凸部 202の下端面がスぺーサカラー 213の鍔部 213bより離れ、隙間の形成される必要がある。

[0098] 図 2の状態、図 4の状態及び図 6の状態のそれぞれを上記設計値並びに公差とすることで、図 2におレ、ては、咢咅 B213b力ら咅 B206の底面までの高さに Oリング 207 がつぶされていない状態の寸法 11を加えた高さ力スぺーサカラー 213の胴部分 21 3aの鍔部 213bからの高さ hより高く設定されることになる。このため、図 4に示す組み立てた状態のときには、〇リング 207がつぶされ真空シールする。

[0099] 一方、図 6においては、真空引きの作用により更につぶされた〇リング 207の高さに鍔部 213bから凹部 206の底面までの高さを加えた高さ力 S、スぺーサカラー 213の胴部分 213aの鍔部 213bからの高さ hより低く設定されることになる。このため、図 6に示す真空引きした状態のときには、フランジ凸部 202の下端面がスぺーサカラー 213 の鍔部 213bより離れることになる。

[0100] 図 17には、 Oリング 207の高さ寸法に関し、図 2に示す組み立て前の状態における Oリング 207の高さ 11、図 4に示す組み立てた状態のときの Oリング 207の高さ 12、図 6に示す真空引きした状態のときの Oリング 207の高さ 13のそれぞれの寸法関係を示す。

[0101] 図中「I」の字にて示す公差範囲の上端と下端とが、それぞれ各状態における〇リング 207の最大許容寸法と最小許容寸法である。組み立て前の状態から組み立てた状態への移行に際して真空シールを確実に機能させ、更に、真空引きした状態において、フランジ凸部 202の下端面をスぺーサカラー 213の鍔部 213bより確実に離れさせるためには、それぞれの状態における公差範囲が重ならないようにする必要がある。

[0102] 即ち、図 17の場合において、例えば、組み立て前の状態における〇リング 207の高さ 11の最低許容寸法と組み立てた状態における Oリング 207の高さ 12の最大許容寸法とを比較すると、高さ 12の最大許容寸法の方が高さ 11の最低許容寸法より低く形成されており、重なってはいない。

[0103] 同様に、〇リング 207の高さ 12の最低許容寸法と真空引きした状態のときの Oリング

207の高さ 13の最大許容寸法とを比較すると、高さ 13の最大許容寸法の方が高さ 12 の最低許容寸法より低く形成されており、重なってはいない。

このように、各状態において要求されるそれぞれの機能を確実に実現し、維持するためには、図 17において、公差範囲の上端と下端とが、それぞれ重ならないことが必要になる。

[0104] ここに、組み立て前の状態における〇リング 207の高さ 11の寸法と真空引きした状態のときの〇リング 207の高さ 13の寸法とが決められたとき、組み立てた状態のときの Oリング 207の高さ 12の公差範囲は、組み立て前の状態における〇リング 207の高さ 1 1の最低許容寸法と真空引きした状態のときの Oリング 207の高さ 13の最大許容寸法との差の範囲内に納まるように設計されればよい。即ち、組み立てた状態における O リング 207の高さ 12は、この差の半分より小さい公差とすればよい。この状態が確保されれば、組み立て後における真空シールが確実に機能し、かつ真空引きした状態においては、フランジ凸部 202の下端面をスぺーサカラー 213の鍔部 213bより確実に離れさせること力できる。産業上の利用可能性

本発明の活用例として、例えばターボ分子ポンプの他、半導体検查装置、半導体のパターン製作のための電子ビームやレーザを利用した描画装置、電子顕微鏡装置等がある。これらの装置の一部若しくは部材の一部に本発明を適用可能である。

Claims

請求の範囲

第 1の端部（203)と、

該第 1の端部（203)に対峙され、真空引きされる側である中空の第 2の端部（201、 2 41、 301)と、

該第 2の端部（201、 241、 301)と前記第 1の端部（203)間に配設された弾性を有するシール部材（207)とを備え、

前記真空引きされたとき、内外の気圧差に基づき前記第 1の端部（203)と前記第 2 の端部（201、 241、 301)間が接近され前記シール部材（207)が弾性変形される一方で、前記第 1の端部（203)と前記第 2の端部（201、 241、 301)間には前記シール部材 (207)を介して所定の隙間（215)が形成されたことを特徴とする端部間の接続構造。

第 1の端部（203)と、

該第 1の端部（203)に対畤され、真空引きされる側である中空の第 2の端部（201、 2 41、 301)と、

該第 2の端部（201、 241、 301)に配設された少なくとも一つの貫通穴（209、 239、 259)と、

該貫通穴（209、 239、 259)に貫通され前記第 2の端部（201、 241、 301)の脱落を防ぎつつ前記第 1の端部（203)に固定される固定手段（205)と、

該固定手段（205)と前記貫通穴（209、 239、 259)の間に配設された第 1の弾性部材（211、 231)と、

前記真空引きされたとき、内外の気圧差に基づき前記第 2の端部（201、 241、 301) が前記第 1の端部（203)に接近することで前記第 2の端部（201、 241、 301)は固体同士の接触から解放されることを特徴とする端部間の接続構造。

第 1の端部（203)と、

該第 2の端部（201、 241、 301)と前記第 1の端部（203)間に配設された弾性を有するシール部材（207)と、前記第 2の端部（201、 241、 301)に配設された少なくとも一つの貫通穴（209、 239 、 259)と、

該固定手段（205)と前記貫通穴（209、 239、 259)の間に配設された第 1の弾性部材（211、 231)とを備え、

前記真空引きされたとき、内外の気圧差に基づき前記第 1の端部（203)と前記第 2 の端部（201、 241、 301)間が接近され前記シール部材（207)が弾性変形される一方で、前記第 1の端部（203)と前記第 2の端部（201、 241、 301)間には前記シール部材（207)を介して所定の隙間（215)が形成され、

かつ前記第 2の端部（201、 241、 301)は固体同士の接触から解放されることを特徴とする端部間の接続構造。

前記固定手段（ 205)と前記第 1の弾性部材（ 211、 231 )の間にはスぺーサカラー (213、 253)が配設され、前記固体同士の接触は、該スぺーサカラー（213、 253) 又は前記固定手段（205)と前記第 2の端部（201、 241、 301)間の接触であることを特徴とする請求項 2又は請求項 3記載の端部間の接続構造。

前記シール部材（207)は、前記第 1の端部（203)及び/又は前記第 2の端部（20 1、 241、 301)に形成された凹部（206、 305)、あるいはセンタリング（243)に保持されたことを特徴とする請求項 1、 3又は 4記載の端部間の接続構造。

第 1の端部（203)と、

該第 2の端部（201、 241、 301)に配設された弾性を有するシール部材（207)と、該シール部材（207)を収納する凹部（206)と、

前記第 2の端部（201、 241、 301)に配設された少なくとも一つの貫通穴（209、 239 、 259)と、

該貫通穴（209、 239、 259)に貫通され前記第 2の端部（201、 241、 301)の脱落を防ぎつつ前記第 1の端部（203)に固定される固定手段（205)とを備えた端部間の接続構造であって、

該固定手段（205)を前記第 1の端部（203)に固定したときの前記シール部材（207 )の高さの公差範囲が、該固定前の状態における前記シール部材（207)の高さの最低許容寸法と真空引きした状態のときの前記シール部材 (207)の高さの最大許容寸法との差の範囲内に納まることを特徴とする端部間の接続構造。

第 1の端部（203)と、

該固定手段（205)と前記貫通穴（209、 239、 259)の間に配設されたスぺーサカラ一（213、 253)とを備えた端部間の接続構造であって、

前記固定手段（205)を前記第 1の端部（203)に固定する前の状態において、前記第 2の端部（201、 241、 301)の底面より前記凹部（206)の底面までの高さと前記シ一ル部材（207)の高さとを加えた寸法が前記スぺーサカラー（213、 253)の胴部分の高さより大きぐ

かつ、真空引きされたときの前記シール部材（207)の高さと前記第 2の端部（201、 2 41、 301)の底面より前記凹部（206)の底面までの高さとを加えた寸法が前記スぺーサカラー（213、 253)の胴部分の高さより小さいことを特徴とする端部間の接続構造。

前記第 2の端部（201、 241、 301)には第 2の弾性部材（233)が配設され、該第 2 の弾性部材（233)は、前記真空引きされたとき、内外の気圧差に基づき前記第 2の端部（201、 241、 301)が前記第 1の端部（203)に接近することで前記第 1の端部（ 203)に向けて押し付けられることを特徴とする請求項 1〜7のいずれ力 4項に記載の端部間の接続構造。

[9] 前記第 2の弾性部材（233)は前記第 1の弾性部材（211、 231)と一体形成されたことを特徴とする請求項 8記載の端部間の接続構造。

[10] 前記固定手段（205)にはボルト（205)を備えたことを特徴とする請求項 2、 3、 4、 6 又は 7記載の端部間の接続構造。

[11] 前記スぺーサカラー（213、 253)には前記第 2の端部（201、 241、 301)の脱落を防ぐための鍔部（213b)を備えたことを特徴とする請求項 4又は請求項 7記載の端部間の接続構造。

[12] 前記スぺーサカラー（213、 253)の外周面及び/又は前記貫通穴（209、 239、 2 59)の内周面がテーパ状に形成されたことを特徴とする請求項 4、 7又は 11記載の端部間の接続構造。

[13] 請求項 1〜： 12のいずれ力 4項に記載の端部間の接続構造を適用した真空システムであって、

前記第 1の端部（203)又は前記第 2の端部（201、 241、 301)が、真空引きされる対象である所定の装置と該装置内部を真空引きする真空ポンプ（100)との間のいずれかの部位のフランジ（201、 241、 301、 203)であることを特徴とする真空システム。