JP2017096286A - 真空ポンプ - Google Patents
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Abstract
Description
外部の装置、特にレシーバーの開口部と接続可能な少なくとも一つの開口部を有するハウジングを有し、当該開口部は、少なくとも部分的に取付平面を定義する取付部分に取り囲まれており、当該取付部分は好ましくはシリンダー形状に形成されており、及び、
ハウジングを外部の装置に対してストレスフリーに取り付けるための独立した取付要素を有し、その際、取付要素は、外部の装置と連結可能であり、かつ取付要素と取付部分の間の力結合的な接続を形成するための固定手段を有する。代替として、取付要素を、取付部分と連結可能に形成し、取付要素と外部の装置の間の力結合的な接続の形成のための固定手段を設けることが可能である。
11 軸方向の正面側
12 ハウジング
13 半径方向の側壁部
14 (第一の)軸方向の開口部
15a,15b (第二の)半径方向の開口部
16 取付平面
18 取付部分
20a,20b 取付要素
22a,22b 固定手段
24 内側面
26 外側面
28 溝
30 シールリング
32 内側
34 ショルダー部
35 ショルダー部
36 穴
38 スリット
39 ねじ
40 Oリング
42 位置決め補助
44a,44b 取付平面
46a,46b 取付装置
47 緩衝要素
48 スリーブ
49 Oリング
50 固定要素
51 固定部分
52 ねじ/ボルト
53 ねじ頭部
54 穴
55 ねじ端部
56 欠刻
57 側
58 空所部
59 側
60 密閉リング
62a,62b 密閉手段
70 外部の装置
71 開口部
72 外側面
73 取付部分
A 回転軸
AS ねじ軸
LA 半径方向の開口部の間の軸方向の間隔
LB 半径方向の開口部の間の軸方向の幅
LC 真空ポンプの軸方向の構造長
Claims (15)
- 真空ポンプ(10)、特にターボ分子ポンプであって、外部の装置(70)、特にレシーバーの開口部(71)と接続可能な少なくとも一つの開口部(14)を有するハウジング(12)を有し、前記開口部は、少なくとも部分的に、取付平面(16)を定義する取付部分(18)によって取り囲まれており、この取付部分は、好ましくはシリンダー形状に形成されており、そして、外部の装置(70)へのハウジング(12)のストレスフリーの取付の為の独立した取付要素(20)を有し、その際、取付要素(20)は、外部の装置(70)と連結可能であり、そして取付要素(20)と取付部分(18)の間の力結合的な接続を形成するための固定手段を有し、又は、その際、取付要素(20)は、取付部分(18)と連結可能であり、そして取付要素(20)と外部の装置(70)の間の力結合的な接続を形成するための固定手段(22)を有することを特徴とする真空ポンプ。
- 取付要素(20)が基本的にリング形状に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。
- 固定手段(22)が、外部の装置(70)の方向に向かって、又は反対の方向に拡張された内側面(24)を有し、この内側面が、取付部分(18)の外側面(26)、又は外部の装置(70)の取付部分(73)の外側面(72)と、シールリング(30)の収容の為の溝(28)を形成することを特徴とする請求項1または2に記載の真空ポンプ。
- 拡張された内側面(24)が、面取り部又は円すい面であることを特徴とする請求項3に記載の真空ポンプ。
- 取付要素(20)が、ストッパーとして作用するショルダー部(34)を内側(32)に有することを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
- 取付要素(20)が、取付部分(18)又は外部の装置(70)との取付要素(20)の軸方向の接続の為の半径方向に推移する欠刻及び/又は穴(36)を有することを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
- 取付部分(18)が、位置決め補助(42)を有し、これが、外部の装置(70)の取付装置と協働することを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
- 第一の開口部(14)、特に第一のインレットが、ハウジング(12)内に設けられたポンプ段の回転軸(A)に関して、ハウジング(12)の軸方向の正面側(11)に設けられていること、及びハウジング(12)が、少なくとも一つの第二の開口部(15a,15b)、特に第二のインレットを有し、これが、回転軸に関してハウジング(12)の半径方向の側壁部(13)に設けられていることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
- ポンプが、半径方向に設けられた二つの開口部(15a,15b)を有し、特にその際、開口部(15a,15b)の間に少なくとも一つのポンプ段が設けられていることを特徴とする請求項8に記載の真空ポンプ。
- 第一の密閉手段(62a)、特に第一の密閉リングが両方の開口部(15a,15b)を取り囲み、他方で、第二の密閉手段(62b)、特に第二の密閉リングが、両方の開口部(15a,15b)の一方を取り囲むことを特徴とする請求項9に記載の真空ポンプ。
- 真空ポンプ(100)、特にターボ分子ポンプ、特に請求項1から10のいずれか一項に記載の真空ポンプであって、
外部の装置、特にレシーバーの開口部と接続可能な少なくとも一つの開口部(14,15a,15b)を有するハウジング(12)を有し、前記開口部は、少なくとも部分的に、取付平面(44a,44b)を定義する取付装置(46a,46b)によって取り囲まれており、
其々、少なくとも一つの緩衝要素(47)を有する固定要素(50)、特にねじ及び/又はボルト(52)であって、取付装置(46a,46b)を外部の装置とストレスフリーに接続するためのものを有することを特徴とする真空ポンプ。 - 緩衝要素(47)が、固定要素(50)の固定部分(51)を少なくとも部分的に取り囲み、及び/又はスリーブ(48)及び/又は少なくとも一つのOリング(49)を有することをと特徴とする請求項11に記載の真空ポンプ。
- 緩衝要素(47)が、エラストマー、特に、弾性材料から成り、及び好ましくは、70から95の間のショア硬さを有することを特徴とする請求項11及び12に記載の真空ポンプ。
- 取付装置(46a,46b)が、外部の装置との軸方向の接続の為の複数の穴(54)及び/又は側方の欠刻(56)を有することを特徴とする請求項11から13のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
- 真空引きすべき複数の外部の装置、特にレシーバー、及び請求項1から14のいずれか一項に記載の少なくとも一つの真空ポンプ(10,100)を有する真空システム。
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