JP6894871B2 - 真空ポンプ - Google Patents
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Description
pHV=pM・SM/SHV=pM・K
ここで:
pHVは高真空圧、pMは測定タップにおける圧力、SMは測定タップにおける真空ポンプの内部の吸引性能、SHVは、吸引側、又はインレット側における真空ポンプの吸引性能、Kは、補正ファクターであり、両吸引性能の商(SM/SHV)に相当する。
25.1 従来の測定タップ
25.2−25.7 開口部/測定タップ
25.8 開口部
27 センサー
29 測定装置
31 圧力検出ユニット
41 折れ曲り領域
104 保護装置
105 冷却フィン
111 ターボ分子ポンプ
113 インレットフランジ
115,H,H1,H2 ポンプインレット
117 ポンプアウトレット
119 ハウジング
121 下部分
123 エレクトロニクスハウジング
125 電動モーター
127 アクセサリー接続部
129 データインターフェース
131 電源供給接続部
133 フローインレット
135 シールガス接続部
137 モーター室
139 冷却媒体接続部
141 下側
143 スクリュー
145 支承部カバー
147 固定穴
148 冷却媒体配管
149 ローター
151 回転軸
153 ローター軸
155 ローターディスク
157 ステーターディスク
159 走査リング
161 ローターハブ
163 ホルベックロータースリーブ
165 ホルベックロータースリーブ
167 ホルベックステータースリーブ
169 ホルベックステータースリーブ
171 ホルベック間隙
173 ホルベック間隙
175 ホルベック間隙
179 接続チャネル
181 ローラー支承部
183 永久磁石支承部
185 スプラッシュナット
187 ディスク
189 インサート
191 ローター側の支承半部
193 ステーター側の支承半部
195 リングマグネット
197 リングマグネット
199 支承間隙
201 キャリア部分
203 キャリア部分
205 半径方向の支柱
207 カバー要素
209 支持リング
211 固定リング
213 さらばね
215 緊急用又は安全用支承部
217 モーターステーター
219 中間空間
221 壁部
223 ラビリンスシール
A アウトレット側
E インレット側
S 流れ方向
K 補正ファクター
VV 予真空
Claims (9)
- 真空ポンプ(111)、特にターボ分子ポンプであって、少なくとも一つのポンプ段(15,15’)を有し、そして真空ポンプ(111)の吸引側(E)の圧力の決定の為の圧力検出ユニット(31)を有し、圧力検出ユニットが測定装置(29)を有し、その際、測定装置(29)の測定タップ(25.2−25.7)がポンプ段(15,15’)の領域、又はポンプ段(15,15’)の流れ下流に設けられており、吸引側の圧力が、測定タップ(25.2−25.7)において測定される圧力に基づいて決定可能であるように圧力検出ユニット(31)が形成されているものにおいて、吸引側(E)の圧力の決定の為に、補正ファクター(K)が使用され、この補正ファクターが、測定タップ(25.2−25.7)において測定される圧力の、吸引側の圧力に対する比率であること、真空ポンプ(111)が、少なくとも一つの手段を有し、これによって、真空ポンプ(111)の少なくとも1つの運転パラメーター、即ち、回転数、駆動出力、装置温度、又は予真空圧が検出可能であり、そして圧力検出ユニット(31)に伝達可能、又はこの中に入力可能であること、補正ファクター(K)が、検出された、又は入力された運転パラメーターに基づいて変更可能であるよう圧力検出ユニット(31)が形成されていることを特徴とする真空ポンプ。
- ポンプ段(15,15’)が少なくとも一つのローター(153,163,165)と一つのステーター(157,167,169)を有することを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ(111)。
- ポンプ段がホルベックポンプ段(15’)を含むことを特徴とする請求項1および2に記載の真空ポンプ(111)。
- 測定タップが、ポンプ段(15,15’)を収容する真空ポンプ(111)のハウジング(119,121)内の開口部(25.2−25.7)として形成されていることを特徴とする請求項1から3の少なくとも一項に記載の真空ポンプ(111)。
- 開口部(25.2−25.7)が、真空ポンプ(111)を溢出させるためのフロー開口部としても利用可能であることを特徴とする請求項4に記載の真空ポンプ(111)。
- 測定装置(29)が、測定タップ(25.2−25.7)において測定される圧力の測定の為の圧力センサー(27)を有し、その際、測定タップ(25.2−25.7)が圧力センサー(27)と流体接続されていることを特徴とする請求項1から5の少なくとも一項に記載の真空ポンプ(111)。
- 圧力センサー(27)が、ピラニ真空計であることを特徴とする請求項6に記載の真空ポンプ(111)。
- 請求項1から7のいずれか一項に従い形成されている真空ポンプ(111)、特にターボ分子ポンプの吸引側の圧力の決定の為の方法であって、真空ポンプ(111)のポンプ段(15,15’)の領域の圧力、又はポンプ段(15,15’)の流れ下流の圧力が測定され、そして測定された圧力に基づいて吸引側の圧力が決定されるものにおいて、吸引側(E)の圧力の決定の為に、補正ファクター(K)が使用され、この補正ファクターが、測定タップ(25.2−25.7)において測定される圧力の、吸引側の圧力に対する比率であること、真空ポンプ(111)の少なくとも一つの運転パラメーター、即ち、回転数、駆動出力、装置温度、又は予真空圧が検出され、そして真空ポンプ(111)の圧力検出ユニット(31)に伝達される、又はこの中に入力されること、補正ファクター(K)が、検出された、又は入力された運転パラメーターに基づいて変更されることを特徴とする方法。
- 補正ファクター(K)の決定が、メーカー側、及び/又は現場において行われることを特徴とする請求項8に記載の方法。
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