JP2019167951A5 - - Google Patents

Description

真空装置

本発明は真空装置、特に真空ポンプ、装置コンポーネント、および真空装置のための電子的な装置と、真空装置の組付け、及び／又は始動のための方法に関する。本発明は、同様に、電気的な装置と、電気的な装置の組付け、及び／又は始動のための方法に関する。

例えば真空ポンプのような真空装置を、電子的な装置とともに構成し、これによって例えばポンプ制御、及び／又はポンプ調整を保証することが公知である。このため、そのような電子的な装置は、接続される駆動装置によって評価される特性インピーダンスを設けられていることが可能である。これは、そのような駆動装置によるポンプ操作パラメーターの検出と適用を可能とする。

様々なポンプのために、異なる電子的な装置が設けられている。操作パラメーターが、ポンプ使用に応じて異なっている可能性があるからである。これは、一つには、電子的な装置の多数のバリエーションの製造及び保管を要する。これによって、高いコスト消費が生じる。更に、バリエーションが増すことによって、誤組み立ての危険性が存在する。これによって、ポンプの損傷が発生し得る。

このような背景から、本発明の課題は、少ないコストで、かつ同時に誤組み立ての危険性が低減され製造されることが可能である真空装置を提供することである。更に、課題は、装置コンポーネント、および真空装置のための電子的な装置と、真空装置の組付け、及び／又は始動のための方法を提供することである。課題は同様に、電気的な装置と、電気的な装置の組付け、及び／又は始動のための方法を提供することである。

真空装置に関して、この課題は、請求項１に記載の特徴によって解決される。発明に従う装置コンポーネントは、請求項１１の対象であり、そして発明に係る電子的な装置は、請求項１２の対象である。発明に係る電気的な装置は、請求項１３に、そして発明に係る方法は、其々請求項１４および１５に記載されている。有利な態様は、従属請求項に記載されており、そして以下に詳細に説明される。

発明に係る真空装置は、特に真空ポンプ、真空測定装置、若しくは真空分析装置、リーク検出装置、又は真空チャンバー装置であることが可能である。真空ポンプは、有利にはターボ分子ポンプとして形成されていることが可能である。同様に真空ポンプは、予ポンプであることが可能であり、特にターボ分子ポンプをも有するポンプ装置のためのものであることが可能である。結果、本発明の意味において「真空装置」の記載は、圧縮不可能な流体の搬送のためのみに形成されているポンプまで拡張されるべきである。本発明は、よって必ずしも真空の発生のために形成されている必要がないポンプにも関する。

発明に係る真空装置は、少なくとも一つの装置コンポーネントと電子的な装置を有する。電子的な装置は、特に装置制御、及び／又は装置調整のために形成されていることが可能である。その際、電子的な装置は、装置コンポーネントのインターフェースに接続されている。発明に従い、接続によって、装置操作設定の確定のための電子的な装置の状態変更が発生させられていることが意図されている。

発明に従い、唯一のタイプの電子的な装置が、様々な複数の装置タイプに対して、又は装置コンポーネントタイプに対して使用されることが可能となる。装置操作設定は、つまりインターフェースに接続されることによって生じる状態変更によって確定される。よって、状態変更の各形式に応じて、装置設定が生じるので、具体的な設定の予めの確定がもはや必須的に必要とされない。誤組み立てのリスクが、よって低減されることが可能である。

更に、製造コストが、電子的な装置の各タイプのユニバーサルな使用可能性によって低減されることができる。様々な装置タイプ、又は装置コンポーネントタイプの製造の際に、特に電子的な装置の所定のタイプのユニバーサルな使用が保証されることが可能である。製造コスト、および貯蔵コストが低減される。

真空ポンプの場合、装置コンポーネントは、ポンプコンポーネントとして形成されており、および電子的な装置をポンプコンポーネントのインターフェースに接続することによって、ポンプ操作設定の確定のための電子的な装置の状態変更が発生させられている。ポンプ操作設定は、ポンプの操作パラメーター、例えば定格回転数、最大回転数、ポンプ入口圧力、及び／又はポンプ出口圧力、又は操作特性線を定義することが可能である。これによって高い程度の機能安全性が保障されることが可能である。

有利な態様に従い、電子的な装置の状態変更は、インターフェースでの接続によって不可逆的に発生させられている。不可逆的な状態変更とは、状態が後に逆に変更することが不可能であること、又は少なくともツールの使用、及び／又はプログラミング作業、及び／又は電気的、電子的、及び／又は機械的なコンポーネントの交換が必要であることと解されるべきである。全体として、このように、状態の逆変更が防止されるべきである。これは、電子的な装置が、インターフェースから取り外された後、間違って装置の装置コンポーネントに組付けられ、これによって可能な損傷が発生するというリスクが防止される。

別の態様に従い、電子的な装置の完全な、及び／又は部分的な取り外しによって、特に無効設定を確定するための更なる状態変更を電子的な装置において発生させるためにインターフェースが形成されている。電子的な装置の誤った使用のリスク、特に装置コンポーネントのインターフェースから取り外された後のリスクは、これによって低減されることが可能である。

相応して、インターフェースからの完全な、及び／又は部分的な取り外しによって、及び／又は他の装置コンポーネントのインターフェースへの接続によって、特に無効設定の確定のための更なる状態変更を受けるよう電子的な装置が形成されていることが可能である。よって、インターフェースからの取り外しの後、既に、電子的な装置の更なる状態変更が発生され、これが無効設定のトリガとなる可能性が存在する。同様に、更なる状態変更が、他の装置コンポーネント、特に他の装置のインターフェースへの接続によってはじめて発生させられるということも可能である。電子的な装置が望まれず再使用される、及び／又は損傷を引き起こす再使用をされるということが、このようにして防止されることが可能である。

更に、電子的な装置の装置特有の状態変更を発生させるために、インターフェースが形成されているとき、更に有利である可能性がある。電子的な装置に発生させられる状態変更は、よって、各真空装置に特融、又は各装置コンポーネントに特有であることが可能である。状態変更の形式は、よって、真空装置、又は装置コンポーネントに応じて発生させられることが可能である。

好ましくは、装置特有の状態変更によって、装置特有の装置操作設定が確定されることが可能である。よって、複数の真空装置に使用可能な電子的なコンポーネントの接続によって、その装置特有の設定が発生させられることが可能であり、これによって装置特有の装置操作設定が確定される。

電子的な装置の初めての接続の前に、これは、様々な真空装置における使用に対して適当であることが可能である。相応して、電子的な装置は、初めての接続の前に様々な状態変更が、真空装置に応じて、又は装置コンポーネントに応じて引き起こされるよう形成されていることが可能である。様々な状態変更は、更に、様々な操作設定のトリガとなることが可能であるので、唯一のタイプの電子的な装置に対して、ユニバーサルな使用領域が与えられる。

真空装置の一つの態様に従い、状態変更が段階的に発生させられる、特に電子的な装置の二つの別々の状態の間の移行によって発生させられるということが可能である。これは、「バイナリ（二進）」の状態変更であることが可能である。つまり、二つの固定的に定義された状態の間の変更である。所望の各状態変更が、これによって高い安全性および正確性で図られることが可能である。

同様に、状態変更は無段階に発生させられることが可能である。つまり、二つの状態の間の無段階の移行によって発生させられる。二つの状態の間のそのような無段階の移行においては、連続的な状態変更が行われることが可能である。連続的な状態変更においては、所望の最終状態が達成されるまで、特に複数の中間状態が生じる。無段階の状態変更を可能とする電子的な装置は、特に高い程度の使用柔軟性を保証することができる。無段階の状態変更は、特に、多数の最終状態の発生を可能とし、これによって多数の様々な装置操作設定が確定されることが可能である。

インターフェースにおける接続によって複数の状態変更が発生させられていることは有利であり得る。その際、複数の状態変更が、並列して発生させられていることが可能である。同様に、複数の状態変更が直列的に発生させられていることが可能である。

複数の状態変更において、一方では、所望の最終状態を発生させる際の安全性が高められることが可能である。謝って発生させられる最終状態のリスクは低減される。同時に、複数の状態変更は、電子的な装置の機能性を高める。可能な最終状態の数量と、ひいては可能な操作設定の数量も高められるからである。電子的な装置を初めて接続する前に、よって、ユニバーサルな使用可能性が更に改善されることが可能である。

真空装置のさらなる態様に従い、電子的な装置の機械的、電気的、磁気的、及び／又は光学的な状態変更の発生のため、インターフェースが形成されていることが可能である。相応して、電子的な装置は、インターフェースへの接続によって、機械的、電気的、磁気的、及び／又は光学的な状態変更を引き起こされるよう形成されていることが可能である。そのような状態変更は、低いコストのみによって、同時に高い安全性で行われることが可能である。

真空装置の別の実施形に従い、電子的な装置の状態変更のため、インターフェースは機械的な造形を有する。そのような機械的な造形は、安価に作られることが可能であり、同時に高い程度の機能安全性を保証する。適切には、そのような機械的な造形は、少なくとも一つの突起部、特にマンドレル状、又はウェブ状の突起部であり、及び／又は少なくとも一つの切り欠き部であることが可能である。好ましくは、複数の突起部、及び／又は切り欠き部が設けられていることが可能である。そのような突起部、又は切り欠きによって、特に簡単に、機械的なコーディングが提供されることが可能である。このコーディングは、電子的な装置の所望の各状態変更を発生させる。

電子的な装置の状態変更が、少なくとも一つの材料除去によって、及び／又は少なくとも一つの材料中断によって形成されているとき、特に電子的な装置の配線基板における導体路の中断によって形成されているとき有利であり得る。そのような材料除去、又は材料中断は、組み立て中に、特に明らかに感知されることができるので、電子的な装置の接続の際に、インターフェースにおける各最終位置の達成が、オペレーターによって、又は組み立て者によって簡単に確定されることが可能である。

更に、電子的な装置の状態変更は、少なくとも電気的な伝導性の変更によって、及び／又は、少なくとも色の変更によって形成されていることが可能である。電気的な伝導性の変更、又は色の変更は、無段階に行われることが可能であるので、多数の可能な最終状態が発生させられることができる。

同様に、状態変更がプログラム選択によって形成されていることも可能である。相応して、電子的な装置に、複数のプログラム、特にコンピュータープログラム製品が保存、又はインストールされていることが可能である。電子的な装置の接続によって、信号伝送によって、特に自動的な信号伝送によって、装置コンポーネントからインターフェースを介して電子的な装置へとプログラム選択が行われる事が可能である。そのようなプログラム選択は、特に不可逆的に行われることが可能である。インターフェースは、そのような例示的な態様において、物理的インターフェースであり、又は論理的なインターフェースでもあることが可能である。これは、特に無線式の信号伝送、及び／又はデータ伝送を可能とする。

電子的な装置の状態変更は、電子的、光学的、磁気的、及び／又は機械的に検出可能であることが可能である。この事は、高度な検出安全性と結びつき、そして同時に低いコストのみで行われることが可能である。

本発明のさらなる観点は、真空装置のための装置コンポーネントに関する。特に上述した真空装置のための装置コンポーネントに関する。装置コンポーネントは、例えば真空ポンプコンポーネント、真空測定装置コンポーネント、真空分析装置コンポーネント、リーク検出装置コンポーネント、又は真空チャンバー装置コンポーネントであることが可能である。発明に従う装置コンポーネントは、特に装置制御のため、及び／又は装置調整のための電子的な装置の接続のためのインターフェースを有し、その際、電子的な装置の接続によって、電子的な装置において、装置操作設定の確定のための状態変更を発生するようインターフェースが形成されている。

本発明のさらなる観点は、真空装置のための電子的な装置に関する。特に上述した真空装置のための電子的な装置に関する。相応して、真空ポンプ、真空測定装置、若しくは真空分析装置、リーク検出装置、又は真空チャンバー装置のための電子的な装置であることが可能である。発明に係る電子的な装置は、装置コンポーネントのインターフェースに接続するための少なくとも一つの接続部分を有し、および装置操作設定の確定のための少なくとも一つの設定装置を有し、その際、装置コンポーネントのインターフェースに接続部分を接続することによって、装置操作設定の確定のための状態変更が行われるよう、設定装置が形成されている。

本発明の更に別の観点は、一般的に、電気的な装置に関する。これは、例えば真空ポンプであり、真空測定装置であり、若しくは真空分析装置であり、リーク検出装置であり、又は真空チャンバー装置であることが可能である。真空技術への言及は、この装置において可能であるが、必須ではない。発明に係る電気的な装置は、特に、装置制御のため、及び／又は装置調整のため、少なくとも一つの装置コンポーネントと、電子的な装置を有し、その際、電子的な装置が、装置コンポーネントのインターフェースに接続されており、その際、接続によって、装置操作設定の確定のための電子的な装置の状態変更が発生させられており、そして電子的な装置の状態変更が、少なくとも一つの材料除去によって、及び／又は少なくとも一つの材料中断によって形成されている。

本発明は、特に、そのような電気的な装置の装置コンポーネントにも関する。そのような装置コンポーネントは、特に装置制御のため、及び／又は装置調整のため、電子的な装置の接続のためのインターフェースを有し、その際、電子的な装置の接続によって、電子的な装置において、装置操作設定の確定のための状態変更を発生するようインターフェースが形成されている。

本発明は、最後に、特に、上述した電気的な装置の電子的な装置にも関する。そのような電子的な装置は、装置コンポーネントのインターフェースに接続するための少なくとも一つの接続部分を有し、および装置操作設定の確定のための少なくとも一つの設定装置を有し、その際、装置コンポーネントのインターフェースに接続部分を接続することによって、装置操作設定の確定のための状態変更が行われるよう、設定装置が形成されている。

本発明の更に別の観点は、真空装置、特に上述した真空装置の組み立て、及び／又は始動のための方法に関する。ここで、少なくとも一つの装置コンポーネントが提供される。ここでは、少なくとも一つの電子的な装置が、特に装置制御のため、及び／又は装置調整のため提供される。ここでは、電子的な装置が、装置コンポーネントのインターフェースに接続され、そして接続によって電子的な装置の状態変更が、装置操作設定の確定のため発生させられる。

本発明の更に別の観点は、電気的な装置、特に上述した電気的な装置の組み立て、及び／又は始動のための方法に関する。ここで、少なくとも一つの装置コンポーネントが提供される。ここでは、少なくとも一つの電子的な装置が、特に装置制御のため、及び／又は装置調整のため提供される。ここでは、電子的な装置が、装置コンポーネントのインターフェースに接続され、そして接続によって、装置操作設定の確定のための、材料除去の形式の、及び／又は材料中断の形式の電子的な装置の状態変更が発生させられる。

発明に係る装置に対する上述した説明は、相応して、発明に係る装置コンポーネントに対して、発明に係る電子的な装置に対して、発明に係る電気的な装置に対して、及びその装置コンポーネントと、その電子的な装置に対して、真空装置の組み立て及び／又は始動のための方法に対して、電気的な装置の組み立て及び／又は始動のための方法に対しても有効である。

以下に本発明を、有利な実施形に基づき添付の図面を参照しつつ説明する。図は以下を簡略的に示している。

ターボ分子ポンプの斜視図 図１のターボ分子ポンプの下側の図 図２に示された線Ａ−Ａに沿うターボ分子ポンプの断面図 図２に示された線Ｂ−Ｂに沿うターボ分子ポンプの断面図 図２に示された線Ｃ−Ｃに沿うターボ分子ポンプの断面図 電子的な装置を装置コンポーネントに接続する前の、第一の実施例に従う真空装置の簡略図 電子的な装置を装置コンポーネントに接続する前の、第一の実施例に従う真空装置の簡略図 電子的な装置を装置コンポーネントに接続する前の、第二の実施例に従う真空装置の簡略図 電子的な装置を装置コンポーネントに接続する前の、第二の実施例に従う真空装置の簡略図 電子的な装置を装置コンポーネントに接続する前の、第三の実施例に従う真空装置の簡略図 電子的な装置を装置コンポーネントに接続する前の、第三の実施例に従う真空装置の簡略図

図１に示されたターボ分子ポンプ１１１は、インレットフランジ１１３に取り囲まれたポンプインレット１１５を有する。このポンプインレットには、公知の方法で、図示されていないレシピエントが接続されることが可能である。レシピエントからのガスは、ポンプインレット１１５を介してレシピエントから吸引され、そしてポンプを通してポンプアウトレット１１７へと搬送されることが可能である。ポンプアウトレットには、予真空ポンプ（例えばロータリーベーンポンプ）が接続されていることが可能である。

インレットフランジ１１３は、図１の真空ポンプの向きにおいては、真空ポンプ１１１のハウジング１１９の上端部を形成する。ハウジング１１９は、下部分１２１を有する。これには、側方にエレクトロニクスハウジング１２３が設けられている。エレクトロニクスハウジング１２３内には、真空ポンプ１１１の電気的、及び／又は電子的なコンポーネントが収容されている。これらは例えば、真空ポンプ内に配置される電動モーター１２５を操作するためのものである。エレクトロニクスハウジング１２３には、アクセサリーのための複数の接続部１２７が設けられている。更に、データインターフェース１２９（例えばＲＳ４８５スタンダードに従うもの）と、電源供給接続部１３１がエレクトロニクスハウジング１２３には設けられている。

ターボ分子ポンプ１１１のハウジング１１９には、フローインレット１３３が、特にフローバルブの形式で設けられている。これを介して真空ポンプ１１１は溢出を受けることが可能である。下部分１２１の領域には、更にシールガス接続部１３５（パージガス接続部とも称される）が設けられている。これを介してパージガスが、ポンプによって搬送されるガスに対して電動モーター１２５を保護するため、モーター室１３７内に取り込まれることが可能である。モーター室内には、真空ポンプ１１１の電動モーター１２５が収容されている。下部分１２１内には、更に二つの冷却媒体接続部１３９が設けられている。その際、一方の冷却媒体接続部は冷却媒体のインレットとして、そして他方の冷却媒体接続部はアウトレットとして設けられている。冷却媒体は、冷却目的で真空ポンプ内に導かれることが可能である。

真空ポンプの下側面は、起立面として使用されることが可能であるので、真空ポンプ１１１は下側面１４１上に起立して操作することが可能である。しかしまた、真空ポンプ１１１は、インレットフランジ１１３を介してレシピエントに固定されることも可能であり、これによっていわば懸架して操作することが可能である。更に真空ポンプ１１１は、図１に示されたものと異なった向きとされているときにも操作することが可能であるよう構成されていることが可能である。下側面１４１が下に向かってではなく、当該面に向けられて、又は上に向けられて配置されている真空ポンプの実施形も実現されることが可能である。

図２に表わされている下側面１４１には、更に、種々のスクリュー１４３が設けられている。これらによって、ここでは詳細に特定されない真空ポンプの部材が互いに固定されている。例えば、支承部カバー１４５が下側面１４１に固定されている。

下側面１４１には、更に、固定穴１４７が設けられている。これを介してポンプ１１１は例えば載置面に固定されることが可能である。

図２から５には、冷却媒体配管１４８が表わされている。この中に、冷却媒体接続部１３９を介して導入、又は導出される冷却媒体が循環していることが可能である。

図３から５の断面図に示されているように、真空ポンプは、複数のプロセスガスポンプ段を有している。これは、ポンプインレット１１５にあるプロセスガスをポンプアウトレット１１７に搬送するためのものである。

ハウジング１１９内には、ローター１４９が配置されている。このローターは、回転軸１５１を中心として回転可能なローター軸１５３を有している。

ターボ分子ポンプ１１１は、ポンプ効果を奏するよう互いにシリアルに接続された複数のポンプ段を有している。これらポンプ段は、ローター軸１５３に固定された複数の半径方向のローターディスク１５５と、ローターディスク１５５の間に配置され、そしてハウジング１１９内に固定されているステーターディスク１５７を有している。その際、一つのローターディスク１５５とこれに隣接する一つのステーターディスク１５７がそれぞれ一つのターボ分子ポンプ段を形成している。ステーターディスク１５７は、スペーサーリング１５９によって互いに所望の軸方向間隔に保持されている。

真空ポンプは、更に、半径方向において互いに入れ子式に配置され、そしてポンプ作用を奏するよう互いにシリアルに接続されたホルベックポンプ段を有する。ホルベックポンプ段のローター側は、ローターシャフト１５３に設けられるローターハブ１６１と、ローターハブ１６１に固定され、そしてこれによって担持されるシリンダー側面形状の二つのホルベックロータースリーブ１６３，１６５を有している。これらは、回転軸１５１と同軸に向けられており、そして半径方向において互いに入れ子式に接続されている。更に、シリンダー側面形状の二つのホルベックステータースリーブ１６７，１６９が設けられている。これらは同様に、回転軸１５１に対して同軸に向けられており、そして半径方向で見て互いに入れ子式に接続されている。

ポンプ効果を発揮するホルベックポンプ段の表面は、側面によって、つまり、ホルベックロータースリーブ１６３，１６５とホルベックステータースリーブ１６７，１６９の内側面、及び／又は外側面によって形成されている。外側のホルベックステータースリーブ１６７の半径方向内側面は、半径方向のホルベック間隙１７１を形成しつつ、外側のホルベックロータースリーブ１６３の半径方向外側面と向かい合っており、そしてこれと、ターボ分子ポンプに後続する第一のホルベックポンプ段を形成する。外側のホルベックロータースリーブ１６３の半径方向内側面は、半径方向のホルベック間隙１７３を形成しつつ、内側のホルベックステータースリーブ１６９の半径方向外側面と向かい合っており、そしてこれと、第二のホルベックポンプ段を形成する。内側のホルベックステータースリーブ１６９の半径方向内側面は、半径方向のホルベック間隙１７５を形成しつつ、内側のホルベックロータースリーブ１６５の半径方向外側面と向かい合っており、そしてこれと、第三のホルベックポンプ段を形成する。

ホルベックロータースリーブ１６３の下側端部には、半径方向に延びるチャネルが設けられていることが可能である。これを介して、半径方向外側に位置するホルベック間隙１７１が、中央のホルベック間隙１７３と接続されている。更に、ホルベックステータースリーブ１６９の上側端部には、半径方向に延びるチャネルが設けられていることが可能である。これを介して、中央のホルベック間隙１７３が、半径方向内側に位置するホルベック間隙１７５と接続されている。これによって、入れ子式に接続される複数のホルベックポンプ段が互いにシリアルに接続される。半径方向内側に位置するホルベックロータースリーブ１６５の下側の端部には、更に、アウトレット１１７への接続チャネル１７９が設けられていることが可能である。

ホルベックステータースリーブ１６３、１６５の上述したポンプ効果を発揮する表面は、それぞれ、螺旋形状に回転軸１５１の周りを周回しつつ軸方向に延びる複数のホルベック溝を有する。他方で、ホルベックロータースリーブ１６３、１６５のこれに向かい合った側面は、滑らかに形成されており、そして真空ポンプ１１１の操作のためのガスをホルベック溝内へと駆り立てる。

ローター軸１５３の回転可能な支承のため、ポンプインレット１１７の領域にローラー支承部１８１、およびポンプアウトレット１１５の領域に永久磁石支承部１８３が設けられている。

ローラー支承部１８１の領域には、ローター軸１５３に円錐形のスプラッシュナット１８５が設けられている。これは、ローラー支承部１８１の方に向かって増加する外直径を有している。スプラッシュナット１８５は、操作媒体貯蔵部の少なくとも一つのスキマー（独語：Ａｂｓｔｒｅｉｆｅｒ）と滑り接触状態にある。操作媒体貯蔵部は、互いに積層された吸収性の複数のディスク１８７を有する。これらディスクは、ローラー支承部１８１のための操作媒体、例えば潤滑剤を染み込ませてある。

真空ポンプ１１１の操作中、操作媒体は、毛細管効果によって操作媒体貯蔵部からスキマーを介して回転するスプラッシュナット１８５へと伝達され、そして、遠心力によってスプラッシュナット１８５に沿って、スプラッシュナット９２の大きくなる外直径の方向へと、ローラー支承部１８１に向かって搬送される。そこでは例えば、潤滑機能が発揮される。ローラー支承部１８１と操作媒体貯蔵部は、真空ポンプ内において槽形状のインサート１８９と、支承部カバー１４５に囲まれている。

永久磁石支承部１８３は、ローター側の支承半部１９１と、ステーター側の支承半部１９３を有している。これらは、各一つのリング積層部を有している。リング積層部は、軸方向に互いに積層された永久磁石の複数のリング１９５、１９７から成っている。リングマグネット１９５，１９７は、半径方向の支承部間隙１９９を形成しつつ互いに向き合っており、その際、ローター側のリングマグネット１９５は、半径方向外側に、そしてステーター側のリングマグネット１９７は半径方向内側に設けられている。支承部間隙１９９内に存在する磁場は、リングマグネット１９５，１９７の間の磁気的反発力を引き起こす。これは、ローター軸１５３の半径方向の支承を実現する。ローター側のリングマグネット１９５は、ローター軸１５３のキャリア部分２０１によって担持されている。これは、リングマグネット１９５を半径方向外側で取り囲んでいる。ステーター側のリングマグネット１９７は、ステーター側のキャリア部分２０３によって担持されている。これは、リングマグネット１９７を通って延びており、そしてハウジング１１９の支材２０５に吊架されている。回転軸１５１に平行に、ローター側のリングマグネット１９５が、キャリア部分２０３と連結されるカバー要素２０７によって固定されている。ステーター側のリングマグネット１９７は、回転軸１５１に平行に一方の方向において、キャリア部分２０３と接続される固定リング２０９によって、およびキャリア部分２０３と接続される固定リング２１１によって固定されている。その上、固定リング２１１とリングマグネット１９７の間には、さらばね２１３が設けられていることが可能である。

磁石支承部の内部には、緊急用または安全用支承部２１５が設けられている。これは、真空ポンプの通常の操作時には、非接触で空転し、そしてローター１４９がステーターに対して半径方向において過剰に偏移した際に初めて作用するに至る。ローター１４９のための半径方向のストッパーを形成するためである。ローター側の構造がステーター側の構造と衝突するのが防止されるからである。安全用支承部２１５は、潤滑されないローラー支承部として形成されており、そして、ローター１４９及び／又はステーターと半径方向の間隙を形成する。この間隙は、安全用支承部２１５が通常のポンプ操作中は作用しないことに供する。安全用支承部が作用するに至る半径方向の間隙は、十分大きく寸法取られているので、安全用支承部２１５は、真空ポンプの通常の操作中は作用せず、そして同時に十分小さいので、ローター側の構造がステーター側の構造と衝突するのがあらゆる状況で防止される。

真空ポンプ１１１は、ローター１４９を回転駆動するための電動モーター１２５を有している。電動モーター１２５のアンカーは、ローター１４９によって形成されている。そのローター軸１５３はモーターステーター２１７を通って延びている。ローター軸１５３の、モーターステーター２１７を通って延びる部分には、半径方向外側に、または埋め込まれて、永久磁石装置が設けられていることが可能である。ローター１４９の、モーターステーター２１７を通って延びる部分と、モーターステーター２１７との間には、中間空間２１９が設けられている。これは、半径方向のモーター間隙を有する。これを介して、モーターステーター２１７と永久磁石装置は、駆動トルク伝達のため、磁気的に影響することが可能である。

モーターステーター２１７は、ハウジング内において、電動モーター１２５のために設けられるモーター室１３７の内部に固定されている。シールガス接続部１３５を介して、シールガス（パージガスとも称され、これは例えば空気や窒素であることが可能である）が、モーター室１３７内へと至る。シールガスを介して電動モーター１２５は、プロセスガス、例えばプロセスガスの腐食性の部分に対して保護されることが可能である。モーター室１３７は、ポンプアウトレット１１７を介しても真空引きされることが可能である、つまりモーター室１３７は、少なくとも近似的に、ポンプアウトレット１１７に接続される予真空ポンプによって実現される予真空状態となっている。

モーター室１３７を画成する壁部２２１とローターハブ１６１の間には、更に、いわゆる公知のラビリンスシール２２３が設けられていることが可能である。特に、半径方向外側に位置するホルベックポンプ段に対してモーター室２１７をより良好にシールすることを達成するためである。

図１から５のターボ分子ポンプは、発明に係る真空装置、又は発明に係る電気的な装置を形成する。図６から１１は、これらがそこに明示的に示されていなくとも、図１から５のターボ分子ポンプにおいても意図されることも可能である細部を示す。

図６および７は、本発明の第一の実施例に従う真空装置の簡略図を示す。図６および７の真空装置は、特にターボ分子ポンプ１１１であることが可能である。図６に示されたターボ分子ポンプ１１１は、少なくとも一つの装置コンポーネント２２５および電子的な装置２２７を有する。装置コンポーネント２２５は、例えばハウジング１１９、及び／又はターボ分子ポンプの下部分１１９であることが可能である。電子的な装置２２７は、例えばエレクトロニクスハウジング１２３であることが可能である。同様に電子的な装置は、エレクトロニクスハウジング１２３内に設けられる電子的なコンポーネントであることが可能である。電子的な装置２２７は、装置制御、及び／又は装置調整のため、特にターボ分子ポンプ内に設けられる電動モーター１２５の操作のために形成されていることが可能である。

図６は、装置コンポーネント２２５に電子的な装置２２７を接続する前の状態のターボ分子ポンプ１１１を示し、図７は、装置コンポーネント２２５に電子的な装置２２７を接続した後の状態のターボ分子ポンプ１１１を示す。装置コンポーネント２２５に電子的なコンポーネント２２７を接続するために、装置コンポーネントはインターフェース２２９を有する。電子的な装置２２７を装置コンポーネント２２５に接続することによって、装置操作設定を確定するための電子的な装置２２７の状態変化が生じる。

電子的な装置２２７は、複数の破断設定箇所２３１を設けられている。これによって、意図した材料除去２３３が、図７に示されるように、行われることが可能である。このため、装置コンポーネント２２５のインターフェース２２９は、複数のウェブ状の突起部２３５によって形成されていることが可能である。装置コンポーネント２２５における電子的な装置２２７の接続によって、突起部２３５は、電子的な装置２２７の除去すべき材料部分と接触し、そして、各破断設定箇所２３１に沿って、図７に示すような意図的な材料除去２３３を行う。破断設定箇所２３１を取り囲む領域は、よって、装置コンポーネント２２５のインターフェース２２９に対する接続のために接続部分を形成する。

材料除去２３３によって、電子的な装置２２７の導体路２３７が中断されることが可能であり、この事は、電子的な装置２２７の評価ユニット２３９によって検出可能である。図６および７の実施例においては、特に導体路２３７ａから２３７ｆが設けられている。どの導体路２３７が、そしていくつの導体路２３７が中断されるかに応じて、様々な状態変化が生じ得る。これらは、評価ユニット２３９によって確定されることが可能である様々な装置操作設定に対応していることが可能である。

破断設定箇所２３１、又は除去可能な材料部分は、設定部分を形成することができる。この設定部分は、装置コンポーネント２２５のインターフェース２２９への接続部分の接続によって、装置操作設定の確定のための状態変更を受けるために形成されている。
図６および７の実施例においては、インターフェース２２９は、全体として四つの突起部２３５によって特別な配置で形成されている。これらによって、電子的な装置２２７の接続の後、全体として四つの特別な材料除去２３３が造られる。これは、同様に特有の導体路の中断にも通じる、つまり導体路２３７ａ、２３７ｂ、２３７ｄ、および２３７ｆの中断に通じる。これに対して導体路２３７ｃ、および２３７ｅは中断を形成しない。これは、評価ユニット２３９によって検出されることが可能であり、そして引き続いて相応する装置操作設定の確定を可能とする。

電子的な装置２２７において発生させ得る可能な複数の状態変更にもとづいて、これは、複数の真空装置内によけるユニバーサルな使用に適している。最初の接続の後、特別な状態変更が行われることが可能である。取り外し及び／又は他の装置コンポーネントへの再接続により、無効設定に相応することができる更なる状態変化を発生させ得る。取り外しによる状態変更は、例えばインターフェース２２９における返しによって、および電子的な装置２２７における相応する除去可能な材料部分によって図られることが可能である。このことは図示されていない。別の真空装置における電子的な装置２２７の再利用は、そのような態様によって回避されることが可能であるので、誤組み立ての危険性が低減される。

図６および７の実施形においては、電子的な装置２２７において並列に、複数の材料除去２３３が発生されることが可能である。

図８および９は、本発明の第二の実施例に従う真空装置の簡略図を示す。図８および９の真空装置は、図１から５が示すように、特にターボ分子ポンプ１１１であることが可能である。図８および９の実施形は、図６および７の実施形とは、単に、複数の材料除去が直列に発生させられることが可能である点において異なっている。このため、電子的な装置２２７は、図９に示すように、材料除去２３３をシリアルに発生するために配置されている複数の破断設定箇所２３１を有する。装置コンポーネント２２５のインターフェース２２９は、図８および９の実施例では、ウェブ状の突起部２３５によって形成されている。

装置コンポーネント２２５における電子的な装置２２７の接続によって、突起部２３５は、電子的な装置２２７の除去すべき材料部分と接触し、そして、各破断設定箇所２３１に沿って、図９に示すような意図的な材料除去２３３を行う。

図８および９に従い、材料除去２３３によって電子的な装置２２７の導体路２３７が中断されることが可能である。このことは、評価ユニット２３９によって検出可能である。図８および９の実施例においては、特に導体路２３７ａから２３７ｃが設けられている。その際、材料除去の数量、又は範囲と、ひいては導体路中断は、突起部２３５の寸法に応じている。いくつの導体路２３７が中断されるかに応じて、様々な状態変化が調整されることができる。これらは、様々な装置操作設定に相当していることが可能である。

図８および９の実施例においては、導体路２３７ａと２３７ｂの中断に通じるが、導体路２３７ｃの中断には通じないよう寸法取られて材料除去２３３が製造されよう。

図７および９に示すような、第一および第二の実施形に従う材料除去２３３は、段階的に作られた状態変更である、つまり二つの別々の状態、つまり材料除去２３３の無い状態と材料除去２３３を有する状態の間の移行である。

図１０および１１は、本発明の第三の実施例に従う真空装置の簡略図を示す。図１０および１１の真空装置もまた、図１から５が示すように、特にターボ分子ポンプ１１１であることが可能である。図１０および１１の実施形は、図６および９の実施形とは、単に、複数の材料除去の代わりに伝導性変更が発生させられることが可能である点において異なっている。このため、図１０および１１の電子的な装置２２７は、導体路２３７と接続している除去装置２４１を有する。除去装置２４１は、特に伝導性で、かつ除去可能な材料からなっている。その際、材料の除去によって、電気的な伝導性の変更が発生させられることが可能である。特に除去装置２４１の材料は研磨されることが可能である。図１０および１１の実施例においても、装置コンポーネント２２５のインターフェース２２９は、ウェブ状の突起部２３５によって形成されている。

装置コンポーネント２２５における電子的な装置２２７の接続によって、突起部２３５は除去装置２４１と接触する。これによって除去装置２４１の伝導性の材料が研磨され、またはそうでなければ機械的に取り除かれ、このことは評価ユニット２３９によって検出可能である。材料の除去は、無段階に行われることが可能であるので、除去装置２４１の伝導性の変更は徐々に調整可能である。材料除去の程度と、ひいては導電性の変更は、突起部２３５の寸法に応じている。突起部２３５が除去装置２４１内へとどれくらい進入しているかに応じて、状態変更は様々な程度に調整されることが可能である。これらは、様々な装置操作設定に相当していることが可能である。

特に図６から１１に記載されるコンセプトによって実現可能である好ましい実施形に従い、電子的な装置２２７は、特にポンプ基板であることが可能である。これは、例えばポンプ１１１の装置コンポーネント２２５に取り付けられており、これによってポンプ１１１の意図したとおりの部材である。ポンプ１１１の設定は、取り付け行為によって確定される。これは、その後好ましくは、駆動装置によって相応して評価されることが可能である。駆動装置は、交換可能であることが可能である。その際、その後、交換して使用される他の駆動装置が、先に確定された設定を同様に評価することが可能である。代替として、各ポンプ１１１の機械的なインターフェース２２９が、駆動装置の接続により交換可能な駆動装置において直接、これにおける状態変化を引き起こす可能性が存在する。駆動装置は、これによって、各ポンプ１１１に、又は各真空装置に、一般的に固定されることが可能であり、状態変化の態様に応じて、もはや他の装置には使用されることができない。

上述のとおり図６から１１に基づいて記載したコンセプトは、互いに任意に組み合わせられることが可能である。

図６から１１に規範的に示された装置コンポーネント及び電子的な装置と、明細書冒頭部に一般的に記載したコンセプトは、同様に図１から５に従う実施形においても、そこに詳細には表わされておらず、又は説明されていないとしても、意図され得る。これは、各装置コンポーネントへの電子的な装置の接続に関するすべての詳細に対しても、これによって製造される設定に対しても有効である。同様に、図１から５に表わされており、そして相応して説明されているターボ分子ポンプ１１１の全体的、又は個々の詳細もまた、ターボ分子ポンプ１１１の図６から図１１に示されている実施形においても意図され得る。

１１１ ターボ分子ポンプ
１１３ インレットフランジ
１１５ ポンプインレット
１１７ ポンプアウトレット
１１９ ハウジング
１２１ 下部分
１２３ エレクトロニクスハウジング
１２５ 電動モーター
１２７ アクセサリー接続部
１２９ データインターフェース
１３１ 電源供給接続部
１３３ フローインレット
１３５ シールガス接続部
１３７ モーター室
１３９ 冷却媒体接続部
１４１ 下側面
１４３ ねじ
１４５ 支承部カバー
１４７ 固定穴
１４８ 冷却媒体配管
１４９ ローター
１５１ ローター軸
１５３ ローターシャフト
１５５ ローターディスク
１５７ ステーターディスク
１５９ スペーサーリング
１６１ ローターハブ
１６３ ホルベックロータースリーブ
１６５ ホルベックロータースリーブ
１６７ ホルベックステータースリーブ
１６９ ホルベックステータースリーブ
１７１ ホルベック間隙
１７３ ホルベック間隙
１７５ ホルベック間隙
１７９ 接続チャネル
１８１ ローラー支承部
１８３ 永久磁石支承部
１８５ スプラッシュナット
１８７ ディスク
１８９ インサート
１９１ ローター側の支承半部
１９３ ステーター側の支承半部
１９５ リングマグネット
１９７ リングマグネット
１９９ 支承部間隙
２０１ 担持部分
２０３ 担持部分
２０５ 半径方向の支柱
２０７ カバー要素
２０９ 支持リング
２１１ 固定リング
２１３ さらばね
２１５ 緊急用または安全用支承部
２１７ モーターステーター
２１９ 中間空間
２２１ 壁部
２２３ ラビリンスシール
２２５ 装置コンポーネント
２２７ 電子的な装置
２２９ インターフェース
２３１ 破断設定箇所
２３３ 材料除去
２３５ 突起部
２３７ 導体路
２３９ 評価ユニット
２４１ 除去装置

Claims (15)

1. 真空装置（１１１）、特に真空ポンプ、真空測定装置、リーク検出装置、及び／又は真空チャンバー装置であって、少なくとも一つの装置コンポーネント（２２５）を有し、および、特に装置制御のため、及び／又は装置調整のための、一つの電子的な装置（２２７）を有し、その際、電子的な装置（２２７）が、装置コンポーネント（２２５）のインターフェース（２２９）に接続されており、そして接続によって、装置操作設定の確定のための電子的な装置（２２７）の状態変更が発生させられていることを特徴とする真空装置（１１１）。
2. 電子的な装置（２２７）の状態変更が、インターフェース（２２９）における接続によって不可逆的に発生させられていることを特徴とする請求項１に記載の真空装置（１１１）。
3. 電子的な装置（２２７）の完全な、及び／又は部分的な取り外しによって、特に無効設定の確定のための更なる状態変更を電子的な装置において発生させるためにインターフェース（２２９）が形成されており、及び／又は、インターフェース（２２９）からの完全な、及び／又は部分的な取り外しによって、及び／又は他の装置コンポーネントのインターフェースへの接続によって、特に無効設定の確定のための更なる状態変更を受けるよう電子的な装置（２２７）が形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の真空装置（１１１）。
4. インターフェース（２２９）が、電子的な装置（２２７）の装置特有の状態変更を発生させるために形成されており、その際、好ましくは、装置特有の状態変更によって装置特有の装置操作設定が確定されていることを特徴とする請求項１から３の少なくとも一項に記載の真空装置（１１１）。
5. 状態変更が、特に電子的な装置（２２７）の二つの別々の状態の間の移行によって段階的に発生されられている、又は状態変更が、特に二つの状態の間の無段階の移行によって無段階に発生させられていることを特徴とする請求項１から４の少なくとも一項に記載の真空装置（１１１）。
6. インターフェース（２２９）における接続によって、複数の状態変更が発生させられており、特に複数の並列に、又は直列に発生させられる状態変更が発生させられていることを特徴とする請求項１から５の少なくとも一項に記載の真空装置（１１１）。
7. インターフェース（２２９）が、電子的な装置（２２７）の機械的、電気的、磁気的、及び／又は光学的状態変更の発生のために形成されており、及び／又は、電子的な装置が、インターフェース（２２９）への接続によって、機械的、電気的、磁気的、及び／又は光学的状態変更を受けるよう形成されていることを特徴とする請求項１から６の少なくとも一項に記載の真空装置（１１１）。
8. インターフェース（２２９）が、電子的な装置の状態変更のための機械的な造形を有しており、その際、好ましくは、機械的な造形が、少なくとも一つの突起部（２３５）によって、特にマンドレル状、又はウェブ状の突起部（２３５）によって、及び／又は少なくとも一つの切り欠き部によって形成されていることを特徴とする請求項１から７の少なくとも一項に記載の真空装置（１１１）。
9. 電子的な装置（２２７）の状態変更が、少なくとも一つの材料除去（２３３）によって、及び／又は少なくとも一つの材料中断によって形成されており、特に、電子的な装置（２２７）の配線基板における導体路（２３７）の中断によって形成されており、及び／又は、電子的な装置（２２７）の状態変更が、少なくとも電気的な伝導性の変更によって、及び／又は少なくとも色の変更によって形成されていることを特徴とする請求項１から８の少なくとも一項に記載の真空装置（１１１）。
10. 電子的な装置（２２７）の状態変更が、電子的、光学的、磁気的、及び／又は機械的に検出可能であり、特に評価ユニット（２３９）によって検出可能であることを特徴とする請求項１から９の少なくとも一項に記載の真空装置（１１１）。
11. 特に請求項１から１０のいずれか一項に記載の、真空装置（１１１）のための装置コンポーネント（２２５）であって、特に装置制御のため、及び／又は装置調整のための電子的な装置（２２７）の接続のためのインターフェース（２２９）を有し、その際、電子的な装置（２２７）の接続によって、電子的な装置（２２７）において、装置操作設定の確定のための状態変更を発生させるようインターフェース（２２９）が形成されていることを特徴とする装置コンポーネント（２２５）。
12. 特に請求項１から１０のいずれか一項に記載の、真空装置（１１１）のための電子的な装置であって、装置コンポーネント（２２５）のインターフェース（２２９）に接続するための少なくとも一つの接続部分を有し、および装置操作設定の確定のための少なくとも一つの設定装置を有し、その際、装置コンポーネント（２２５）のインターフェース（２２９）に接続部分を接続することによって、装置操作設定の確定のための状態変更を受けるよう、設定装置が形成されていることを特徴とする電子的な装置。
13. 電気的な装置（１１１）、特に真空ポンプ、真空チャンバー、又はリーク検出装置であって、少なくとも一つの装置コンポーネント（２２５）を有し、および特に装置制御のため、及び／又は装置調整のための電子的な装置（２２７）を有し、その際、電子的な装置（２２７）が、装置コンポーネントのインターフェース（２２９）に接続されており、その際、接続によって、装置操作設定の確定のための電子的な装置（２２７）の状態変更が発生させられており、そして電子的な装置（２２７）の状態変更が、少なくとも一つの材料除去（２３３）によって、及び／又は少なくとも一つの材料中断によって形成されていることを特徴とする電気的な装置（１１１）。
14. 特に請求項１から１０のいずれか一項に記載の、真空装置（１１１）の組み立て、及び／又は始動のための方法であって、当該方法において、
    少なくとも一つの装置コンポーネント（２２５）が提供され、
    特に装置制御のため、及び／又は装置調整のための、少なくとも一つの電子的な装置（２２７）が提供され、
    電子的な装置（２２７）が、装置コンポーネント（２２５）のインターフェース（２２９）に接続され、そして、
    接続によって、装置操作設定の確定のための電子的な装置（２２７）の状態変更が発生させられることを特徴とする方法。
15. 特に請求項１３に記載の、電気的な装置（１１１）の組み立て、及び／又は始動のための方法において、
    少なくとも一つの装置コンポーネント（２２５）が提供され、
    特に装置制御のため、及び／又は装置調整のための、少なくとも一つの電子的な装置（２２７）が提供され、
    電子的な装置（２２７）が、装置コンポーネント（２２５）のインターフェース（２２９）に接続され、そして接続によって、装置操作設定の確定のための、材料除去（２３３）の形式の、及び／又は材料中断の形式の電子的な装置（２２７）の状態変更が発生させられることを特徴とする方法。