JP2007303316A - モータポンプ - Google Patents
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Abstract
【課題】軸受からのパーティクルの発生を防止できるモータポンプを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のモータポンプは、ポンプケーシング1内に配置されたポンプ羽根車2と、ポンプ羽根車2と一体に回転するモータロータ3と、モータロータ3の径方向外側に配置されたモータステータ4と、ポンプ羽根車2およびモータロータ3を回転自在に支持するラジアル動圧軸受9,18と、ポンプ羽根車2と同心円上に配置された第1の永久磁石13と、第1の永久磁石13と向き合うようにポンプケーシング1に配置された第2の永久磁石14とを備える。第1の永久磁石13および第2の永久磁石14は互いに反発しあうように配置される。
【選択図】図1
【解決手段】本発明のモータポンプは、ポンプケーシング1内に配置されたポンプ羽根車2と、ポンプ羽根車2と一体に回転するモータロータ3と、モータロータ3の径方向外側に配置されたモータステータ4と、ポンプ羽根車2およびモータロータ3を回転自在に支持するラジアル動圧軸受9,18と、ポンプ羽根車2と同心円上に配置された第1の永久磁石13と、第1の永久磁石13と向き合うようにポンプケーシング1に配置された第2の永久磁石14とを備える。第1の永久磁石13および第2の永久磁石14は互いに反発しあうように配置される。
【選択図】図1
Description
本発明は、永久磁石型モータを備えたモータポンプに係り、特に半導体製造工程等の極めて高い清浄度が要求される環境で、純水や薬液等を圧送するのに好適なノンパーティクル(微粒子の発生しない)モータポンプに関する。
従来から、ポンプ羽根車がモータロータの一端に固定された一体構造のモータポンプが知られている(例えば、特許文献1参照)。かかるモータポンプは、モータロータの外側にモータステータが配置され、ポンプ羽根車の周囲にポンプケーシングが配置される構造を有し、ポンプケーシングの吸込口から吸込まれた液体がポンプ羽根車により加圧され、ポンプケーシングの吐出口から吐出されるようになっている。
半導体製造工程においては、半導体ウエハの洗浄に用いる純水の圧送用、各種薬液の圧送用等に当該液を可能な限り汚染しない構造のモータポンプが用いられている。これらのモータポンプにおいては、一般にラジアル滑り軸受およびスラスト滑り軸受により回転体が非接触に支持され、ポンプの取扱液によりこれらの軸受が潤滑されている(例えば、特許文献2参照)。
しかしながら、ポンプ運転中には、軸受のわずかな摺動による摩擦からパーティクルが生じてしまう。さらに、ポンプ停止時においては液体の動圧が発生しないため、回転体はラジアル滑り軸受およびスラスト滑り軸受の両方と接触し、ポンプ起動時にこれらの軸受からパーティクルが生じやすい。また、ラジアル滑り軸受とスラスト滑り軸受とが互いに直角に配置されていないと、軸受の回転側と固定側とがその外周部において接触してしまい、軸受の一部が大きく摩耗してしまう。このため、ラジアル滑り軸受とスラスト滑り軸受とを高精度で互いに直角に配置することが要求される。
本発明は、上述した事情に鑑みて為されたもので、軸受からのパーティクルの発生を防止できるモータポンプを提供することを目的とする。
上述した目的を達成するために、本発明は、ポンプケーシング内に配置されたポンプ羽根車と、複数の永久磁石を備え、前記ポンプ羽根車と一体に回転するモータロータと、前記モータロータの径方向外側に配置されたモータステータと、前記ポンプ羽根車および前記モータロータを回転自在に支持するラジアル動圧軸受と、前記ポンプ羽根車と同心円上に配置された第1の永久磁石と、前記第1の永久磁石と向き合うように前記ポンプケーシングに配置された第2の永久磁石とを備え、前記第1の永久磁石および前記第2の永久磁石は互いに反発しあうように配置されていることを特徴とするモータポンプを提供する。
本発明の好ましい態様は、前記第1の永久磁石の同心円の径は、前記第2の永久磁石の同心円の径よりも小さいことを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記ポンプ羽根車および前記ポンプケーシングの互いに対向する面の少なくとも一方に、動圧を発生させる溝が形成されていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記モータロータはその回転軸中心に中空部を備え、該中空部内に前記ラジアル動圧軸受を配置したことを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記ラジアル動圧軸受は、非金属材料にて構成されていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記ポンプ羽根車および前記ポンプケーシングの互いに対向する面の少なくとも一方に、動圧を発生させる溝が形成されていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記モータロータはその回転軸中心に中空部を備え、該中空部内に前記ラジアル動圧軸受を配置したことを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記ラジアル動圧軸受は、非金属材料にて構成されていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記ポンプ羽根車、前記モータロータ、および前記ポンプケーシングは樹脂にて構成され、前記モータロータ中に前記複数の永久磁石が埋め込まれ、前記ポンプ羽根車中に前記第1の永久磁石が埋め込まれ、前記ポンプケーシング中に前記第2の永久磁石が埋め込まれ、前記モータステータの内周面が樹脂により被覆されていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記第1の永久磁石および前記第2の永久磁石の少なくとも1つは、リング状の永久磁石であることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記第1の永久磁石および前記第2の永久磁石の少なくとも1つは、前記ポンプ羽根車と同心円上に配列された複数の永久磁石であることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記第1の永久磁石および前記第2の永久磁石の少なくとも1つは、リング状の永久磁石であることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記第1の永久磁石および前記第2の永久磁石の少なくとも1つは、前記ポンプ羽根車と同心円上に配列された複数の永久磁石であることを特徴とする。
本発明によれば、第1および第2の永久磁石間の反発力によって、ポンプ停止時およびポンプ起動時においてポンプ羽根車を非接触で支持することができる。また、ポンプ運転時においては、ポンプ羽根車に作用する吸い込み圧力と吐出し圧力との差に起因するスラスト力を、第1および第2の永久磁石間の反発力によって相殺することができる。したがって、ポンプ羽根車を常時非接触で支持することができ、軸受からのパーティクルの発生を防止することができる。
さらに、本発明によれば、第1および第2の永久磁石間の反発力による非接触スラスト軸受を構成し、スラスト軸受の回転側と固定側との間に隙間が形成されるので、ラジアル動圧軸受とスラスト軸受とを厳密に直角に配置する必要がない。
以下、本発明の実施形態に係るモータポンプについて図面を参照して説明する。
図1は本発明の第1の実施形態におけるモータポンプの全体構成を示す断面図である。
図1に示すように、モータポンプは、ポンプ部11とモータ部12とから構成され、ポンプ部11は、ポンプケーシング1と、このポンプケーシング1内に配置されたポンプ羽根車2とから構成されている。モータ部12は、後に詳述するように、永久磁石型モータロータ3と、モータステータ4とを備えたブラシレスDCモータから構成されている。
図1は本発明の第1の実施形態におけるモータポンプの全体構成を示す断面図である。
図1に示すように、モータポンプは、ポンプ部11とモータ部12とから構成され、ポンプ部11は、ポンプケーシング1と、このポンプケーシング1内に配置されたポンプ羽根車2とから構成されている。モータ部12は、後に詳述するように、永久磁石型モータロータ3と、モータステータ4とを備えたブラシレスDCモータから構成されている。
このモータポンプは、半導体製造工程における純水や薬液の圧送に好適な、いわゆるノンパーティクルポンプであり、その接液部が樹脂材料により構成されている。すなわち、ポンプケーシング1は樹脂材により構成され、ポンプ羽根車2もテフロン(登録商標)等の樹脂材により構成されている。ポンプ羽根車2の内部には渦巻状の流体の流路が形成されている。ポンプケーシング1には円筒状の吸込口1aが設けられており、この吸込口1aから吸い込まれた液体は、ポンプ羽根車2の吸込マウス部2aからポンプ羽根車2内部の渦巻状の流路に入る。そして、液体はポンプ羽根車2の回転により加圧され、吐出口1bから吐出される。
モータロータ3はテフロン(登録商標)等の樹脂で構成され、ポンプ羽根車2とモータロータ3とは一体に構成されている。モータロータ3は、ロータ本体3aと、このロータ本体3aに埋め込まれた複数の永久磁石3bとから構成されている。モータロータ3の径方向外側には所定の間隙を介してモータステータ4が配置されている。
モータステータ4は、その外周面がモータフレーム5に固定され、また、その内周側には樹脂からなるステータキャン6が配置されている。モータステータ4は、鉄心からなるステータコア4aとコイル4bとにより構成されている。コイル4bには電線7が接続されており、この電線7は外部電源(図示せず)に接続されている。外部電源からは電流がモータステータ4に供給され、モータステータ4に形成される磁界により、永久磁石3bを備えたモータロータ3が回転するようになっている。このようにして、モータロータ3と一体に構成されるポンプ羽根車2がモータ部12により回転駆動される。
ステータキャン6は、モータロータ3を囲むように配置され、ステータキャン6の周壁6aはモータロータ3とモータステータ4との間に位置している。ステータキャン6のフランジ部6bはポンプケーシング1に固定されており、フランジ部6bとポンプケーシング1との間には、シール部材としてのOリング8が配置されている。ステータキャン6およびポンプケーシング1によって形成された密閉空間内には、ポンプ羽根車2およびモータロータ3が収容されている。ポンプケーシング1とモータフレーム5との間にもシール部材19が配置されており、これによってポンプケーシング1とモータフレーム5との間の微小な隙間がシールされている。このような構造により、モータ部12とポンプ部11との密封構造が確立され、ポンプ内部の取扱液が外部に漏れることを防止することができる。また、ポンプ羽根車2とモータロータ3とは一体構造であるため、軸封機構を設けることを不要とすることができる。
なお、本実施形態においては、シール部材19は、ポンプケーシング1またはモータフレーム5と同じ材料(樹脂)から形成されており、溶解させた樹脂をポンプケーシング1とモータフレーム5との間に流し込むことによって接着性のあるシール部材19が形成されている。また、図1に示す例では、Oリング8とシール部材19の両方を設けているが、いずれか一方のみを設けてもよい。
なお、本実施形態においては、シール部材19は、ポンプケーシング1またはモータフレーム5と同じ材料(樹脂)から形成されており、溶解させた樹脂をポンプケーシング1とモータフレーム5との間に流し込むことによって接着性のあるシール部材19が形成されている。また、図1に示す例では、Oリング8とシール部材19の両方を設けているが、いずれか一方のみを設けてもよい。
ステータキャン6の底部6cには、回転軸方向に延びる支柱9が固定されている。支柱9はステータキャン6の底部6cを貫通して延び、支柱9と底部6cとの間の微小な隙間を埋めるようにシール部材20が配置されている。このシール部材20としては、Oリングや接着剤などが用いられる。支柱9はSiCやアルミナなどのセラミック等の非金属材料からなり、その外周面には、動圧を発生させる2条のヘリングボーン溝10が軸方向に並んで形成されている。モータロータ3の内部には、その回転軸に沿って延びる円筒状の中空部が形成されており、この中空部にラジアル動圧軸受が配置されている。すなわち、ラジアル動圧軸受は、外周面に形成されたヘリングボーン溝10を有する支柱9と、支柱9の径方向外側に微小な隙間を介して配置される円筒状のスリーブ18とから構成される。スリーブ18はモータロータ3の内周面に固定されており、モータロータ3と同心上に配置されている。ここで、スリーブ18もSiCやアルミナなどの非金属材料により構成されている。
ラジアル動圧軸受の固定側部材を構成する支柱9と、ラジアル動圧軸受の回転側部材を構成するスリーブ18とは、わずかなクリアランスを隔てて対面するようになっている。ポンプ羽根車2によって昇圧された液体の一部は、モータロータ3とステータキャン6との間の微小な隙間を通って、ラジアル動圧軸受に導かれる。そして、モータロータ3の回転により、支柱9とスリーブ18との間に液体の動圧が発生し、これによりモータロータ3およびポンプ羽根車2が非接触で支持される。本実施形態では、ラジアル動圧軸受がモータロータ3内に配置されているので、ポンプ全体を小型化することができるという利点がある。
図1に示すモータポンプは、液体の移送に使用される、いわゆる遠心式ポンプである。上述するように、ラジアル動圧軸受は、回転側(スリーブ18)と固定側(支柱9)との間に介在する液体の動圧を利用することで回転側を非接触で支持する。しかしながら、時として、吸込口1aからの液体が途絶え、ポンプ内部に液体が存在しない状況に置かれる場合がある。このような場合でも、回転側と固定側との間に介在する気体により動圧が発生し、ポンプ羽根車2を非接触で支持することができる。このように、本実施形態におけるラジアル動圧軸受は、液体および気体などの流体を利用して軸受機能を発揮するように構成されている。
なお、動圧を発生させるための溝は、スリーブ18の支柱9に対向する面に設けてもよく、または支柱9とスリーブ18の両方に設けてもよい。また、溝のパターンとしては、ヘリングボーン溝に限られず、動圧を発生させる形状であれば特に限定されない。
モータロータ3の永久磁石3bはロータ本体3aに埋め込まれており、永久磁石3bがポンプ取扱液と接触しないように構成されている。これにより、酸やアルカリ等の薬液を圧送する場合に永久磁石3bが溶解してしまうという問題を防止することができる。また、モータロータ3はステータキャン6によって液密に封止されているので、薬液によってモータステータ4が腐食されてしまうことが防止される。さらに、接液部であるポンプケーシング1、ポンプ羽根車2、およびモータロータ3は樹脂により構成されているので、金属イオンが溶出せず、取扱液を清浄に保つことができる。
図2(a)は図1に示すII-II線から見たポンプ羽根車を示す図であり、第1の永久磁石の一例を示す。図1および図2(a)に示すように、ポンプ羽根車2の前面側の側板(吸込側の側板)にはリング状の永久磁石(第1の永久磁石)13が埋設されている。この永久磁石13に向き合うように、リング状の永久磁石(第2の永久磁石)14がポンプケーシング1に埋設されている(図1参照)。これらの永久磁石13,14はポンプ羽根車2と同心上に配置されており、互いに反発しあうように対向する面が同磁極に着磁されている。このような配置により、永久磁石13,14の反発力によってポンプ羽根車2を非接触で支持することができる。すなわち、永久磁石13,14は、ポンプ羽根車2を非接触で支持するスラスト軸受として機能する。
図1に示すように、永久磁石13の径(磁極の径)D1は、永久磁石14の径(磁極の径)D2よりもやや小さく設定されている。より詳しくは、回転軸方向から見たときに、永久磁石13と永久磁石14とが重なり合う程度に、永久磁石13の径D1が永久磁石14の径D2よりも小さく設定される。このような配置により、永久磁石14から発生する磁力によって、回転する永久磁石13(すなわちポンプ羽根車2)に求心力を与えることができる。したがって、これらの永久磁石13,14は、スラスト軸受として機能するだけでなく、非接触のラジアル軸受としても機能することができ、上記ラジアル動圧軸受の補助的な役割を担うことができる。なお、同一の径を有する第1および第2の永久磁石を用いて非接触型のスラスト軸受を構成してもよい。ただし、回転する永久磁石13に求心力を与えるためには、本実施形態のように、永久磁石13の径D1を永久磁石14の径D2よりも小さく設定することが好ましい。
一般に、ポンプ運転時において、吸い込み圧力と吐出し圧力との差によるスラスト力により、ポンプ羽根車2は吸い込み側に押される。本実施形態によれば、ポンプ羽根車2に設けられた永久磁石13と、ポンプケーシング1に設けられた永久磁石14との反発力により、ポンプ羽根車2を非接触で支持することができる。したがって、ポンプの停止時、起動時、および運転時においても、スラスト軸受からパーティクルが発生することがない。
本実施形態に係るモータポンプは、永久磁石13,14から構成されるスラスト軸受に加えて、動圧によりポンプ羽根車2を支持するスラスト動圧軸受を備えている。すなわち、図2(a)に示すように、ポンプ羽根車2のケーシング側対向面(吸込側の表面)には、動圧を発生させるスパイラル溝15が形成されている。また、これらのスパイラル溝15に対向するように、ポンプケーシング1には平滑な側面1cが形成されている(図1参照)。
回転するポンプ羽根車2によって昇圧された液体の一部は、ポンプ羽根車2の前面とポンプケーシング1の側面1cとの間に入り込み、スパイラル溝15によって動圧が発生する。そして、この動圧によりポンプ羽根車2が非接触で支持される。このように、スパイラル溝15が形成されたポンプ羽根車2およびポンプケーシング1の側面1cは、ポンプ羽根車2を軸方向から非接触で支持するスラスト動圧軸受を構成する。
ポンプ羽根車2の回転速度が速くなると、吸い込み方向に働くスラスト力も大きくなるため、ポンプ羽根車2とポンプケーシング1とが接触してしまうおそれがある。本実施形態によれば、回転するポンプ羽根車2とポンプケーシング1との間に動圧が発生するため、ポンプ羽根車2がポンプケーシング1に接触してしまうことを防止することができる。したがって、ポンプ羽根車2をより高速で回転させることが可能となり、小型で、かつ流量の大きいポンプを実現することができる。
なお、ポンプ羽根車2の前面に形成される溝は、動圧を発生させるものであればスパイラル溝に限られない。たとえば、スパイラル溝に代えて、ヘリングボーン溝を形成してもよい。また、ポンプケーシング1の側面1cにも動圧を発生させる溝を形成してもよい。なお、スパイラル溝15を省略し、永久磁石13,14によってのみスラスト軸受を構成することも可能である。
図2(b)は第1の永久磁石の他の例を示す図である。この例では、第1の永久磁石は、ポンプ羽根車2と同心円上に配列された複数の永久磁石16から構成されている。この場合、第2の永久磁石も、ポンプ羽根車2と同心円上に配列された複数の永久磁石から構成してもよい。
次に、本発明の第2の実施形態におけるモータポンプについて図3を参照して説明する。図3は本発明の第2の実施形態におけるモータポンプの全体構成を示す断面図である。なお、同一の構成または機能を有する部材または要素には、同一の符号を付して重複した説明を省略する。
図3に示すように、モータロータ3の内部には中空部は形成されていなく、ラジアル動圧軸受はモータロータ3の外周面に配置されている。すなわち、ラジアル動圧軸受は、1条のヘリングボーン溝17が形成された外周面を有するモータロータ3と、ステータキャン6の内周面に固定されたスリーブ18とから構成されている。このヘリングボーン溝17およびスリーブ18は、モータロータ3の永久磁石3bとポンプ羽根車2との間に位置している。ステータキャン6のフランジ部6bとポンプケーシング1との間には、シール部材としてのOリング8が配置されており、第1の実施形態と同様に密封構造が確保されている。なお、本実施形態においても、ポンプケーシング1とモータフレーム5との間にシール部材19(図1参照)を配置してもよい。
ポンプ羽根車2の回転によって昇圧された液体の一部は、ヘリングボーン溝17とスリーブ18との間の微小な隙間に入り込み、ここで液体の動圧が発生する。したがって、ポンプ運転中は、ラジアル動圧軸受によってポンプ羽根車2およびモータロータ3が非接触で支持される。本実施形態においては、モータロータ3自体がラジアル動圧軸受を構成するので、支柱を必要とせず、構造を簡単にすることができ、かつポンプ全体を小型化することができるという利点がある。なお、動圧を発生する流体は液体に限られず、気体であってもよい。
これまで本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されず、その技術的思想の範囲内において種々異なる形態にて実施されてよいことは言うまでもない。
1 ポンプケーシング
2 ポンプ羽根車
3 モータロータ
3a ロータ本体
3b 永久磁石
4 モータステータ
5 モータフレーム
6 ステータキャン
7 電線
8 Oリング
9 支柱
10 ヘリングボーン溝
11 ポンプ部
12 モータ部
13,16 第1の永久磁石
14 第2の永久磁石
15 スパイラル溝
17 ヘリングボーン溝
18 スリーブ
19,20 シール部材
2 ポンプ羽根車
3 モータロータ
3a ロータ本体
3b 永久磁石
4 モータステータ
5 モータフレーム
6 ステータキャン
7 電線
8 Oリング
9 支柱
10 ヘリングボーン溝
11 ポンプ部
12 モータ部
13,16 第1の永久磁石
14 第2の永久磁石
15 スパイラル溝
17 ヘリングボーン溝
18 スリーブ
19,20 シール部材
Claims (8)
- ポンプケーシング内に配置されたポンプ羽根車と、
複数の永久磁石を備え、前記ポンプ羽根車と一体に回転するモータロータと、
前記モータロータの径方向外側に配置されたモータステータと、
前記ポンプ羽根車および前記モータロータを回転自在に支持するラジアル動圧軸受と、
前記ポンプ羽根車と同心円上に配置された第1の永久磁石と、
前記第1の永久磁石と向き合うように前記ポンプケーシングに配置された第2の永久磁石とを備え、
前記第1の永久磁石および前記第2の永久磁石は互いに反発しあうように配置されていることを特徴とするモータポンプ。 - 前記第1の永久磁石の同心円の径は、前記第2の永久磁石の同心円の径よりも小さいことを特徴とする請求項1に記載のモータポンプ。
- 前記ポンプ羽根車および前記ポンプケーシングの互いに対向する面の少なくとも一方に、動圧を発生させる溝が形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載のモータポンプ。
- 前記モータロータはその回転軸中心に中空部を備え、該中空部内に前記ラジアル動圧軸受を配置したことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のモータポンプ。
- 前記ラジアル動圧軸受は、非金属材料にて構成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のモータポンプ。
- 前記ポンプ羽根車、前記モータロータ、および前記ポンプケーシングは樹脂にて構成され、
前記モータロータ中に前記複数の永久磁石が埋め込まれ、
前記ポンプ羽根車中に前記第1の永久磁石が埋め込まれ、
前記ポンプケーシング中に前記第2の永久磁石が埋め込まれ、
前記モータステータの内周面が樹脂により被覆されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のモータポンプ。 - 前記第1の永久磁石および前記第2の永久磁石の少なくとも1つは、リング状の永久磁石であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載のモータポンプ。
- 前記第1の永久磁石および前記第2の永久磁石の少なくとも1つは、前記ポンプ羽根車と同心円上に配列された複数の永久磁石であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載のモータポンプ。
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---|---|---|---|
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100985200B1 (ko) | 2008-10-10 | 2010-10-05 | 금종관 | 모터 펌프 |
KR101412891B1 (ko) * | 2012-12-28 | 2014-06-27 | 삼성전기주식회사 | 유체 동압 베어링 어셈블리 및 이를 포함하는 모터 |
JP2021004570A (ja) * | 2019-06-26 | 2021-01-14 | 日本電産株式会社 | キャンドモータポンプ |
-
2006
- 2006-05-09 JP JP2006130804A patent/JP2007303316A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR101412891B1 (ko) * | 2012-12-28 | 2014-06-27 | 삼성전기주식회사 | 유체 동압 베어링 어셈블리 및 이를 포함하는 모터 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090402 |
|
A072 | Dismissal of procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A073 Effective date: 20100803 |