DE4410903A1

DE4410903A1 - System mit Vakuumpumpe, Meßgerät sowie Versorgungs-, Steuer-, Bedienungs- und Anzeigeeinrichtungen

Info

Publication number: DE4410903A1
Application number: DE4410903A
Authority: DE
Inventors: Anno Schoroth
Original assignee: Leybold AG
Current assignee: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date: 1994-03-29
Filing date: 1994-03-29
Publication date: 1995-10-05
Also published as: EP0754275A1; WO1995026471A1

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein System mit mindestens einer Vakuumpumpe, mit mindestens einem Meßgerät sowie mit Einrichtungen zur Versorgung, Steuerung, Bedienung und Anzeige.

Bekannte Systeme dieser Art bestehen aus einzelnen, sepa raten Baugruppen. Dazu gehören zum einen die Vakuumpumpe oder -pumpen mit ihren jeweiligen Versorgungs-, Steuerungs- und/oder Überwachungseinrichtungen. Die Meßgeräte, die in der Regel der Erfassung und Anzeige des erzeugten Vakuums dienen, können auch Steuerungsfunktionen übernehmen. Sie benötigen ihrerseits ebenfalls Versorgungs- und Steuerungs einrichtungen. Ist beispielsweise eine Turbomolekularvakuum pumpe eine der Pumpen des Vakuumsystems, dann benötigt diese zu ihrer Versorgung einen Frequenzumrichter. Zur Überwachung des Vorvakuums und auch zur Steuerung der Turbomolekularva kuumpumpe wird üblicherweise ein Wärmeleitungs-Vakuummeter eingesetzt. Soll zusätzlich das Hochvakuum überwacht werden, ist ein zweites Vakuummeßgerät erforderlich, beispielsweise ein Ionisations-Vakuummeter.

Bisher ist es üblich, jeweils eigenständig realisierte Geräte dieser Art zusammenzustellen. In der praktischen Anwendung müssen zwischen den Meßgeräten und den Überwa chungseinrichtungen der Pumpen funktionelle Verknüpfungen vorgenommen werden. Diese muß der Anwender zwischen den einzelnen Geräten physisch und logisch herstellen, das heißt, er muß eine Verdrahtungsanordnung entwerfen, körper lich realisieren, konfigurieren und testen.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, Systeme der eingangs erwähnten Art einfacher und preiswerter herzustellen; gleichzeitig soll erreicht werden, daß nicht nur die Anzahl der Funktionen erweitert sondern auch noch die Funktionssicherheit erhöht wird.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß die Vakuumpumpe und das Meßgerät gemeinsame Einrichtungen zur Versorgung und zur Steuerung haben. Zweckmäßig sind auch gemeinsame Bedienungs- und Anzeigeeinrichtungen vorgesehen.

Ein System mit den erfindungsgemäßen Merkmalen hat ein wesentlich geringeres Einbauvolumen. Außerdem ist der Installationsaufwand für den Anwender wesentlich kleiner. Dadurch ergeben sich geringere Produktionskosten, verbes serte Leistungsdaten und auch eine erhöhte Funktionssicher heit. Weiterhin können, wie weiter unten noch genauer erläutert, bisher nicht vorhandene Funktionen realisiert werden. Schließlich können Prozeßdaten vorverarbeitet werden, damit die Belastung einer übergeordneten Prozeß steuerung gering gehalten werden kann.

Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sollen anhand der Fig. 1 und 2 erläutert werden. Es zeigen

Fig. 1 ein Vakuumsystem nach dem Stand der Technik,

Fig. 2 ein Vakuumsystem nach der Erfindung,

Fig. 3 ein Vakuumsystem nach Fig. 2, ergänzt durch weitere Baugruppen und

Fig. 4 Kennlinien eines Glühkatodenvakuummeters und des Motorstromes einer Turbomolekularvakuumpumpe.

Fig. 1 zeigt ein System mit Vakuumpumpe, Meßgerät sowie Versorgungs-, Steuer-, Bedienungs- und Anzeigeeinrichtungen entsprechend dem Stand der Technik. Um den Rezipienten 1, in dem beispielsweise ein Behandlungsprozeß abläuft, zu evaku ieren, sind eine Turbomolekularvakuumpumpe 2 und eine Vorvakuumpumpe 3 vorgesehen. Der Messung und Überwachung des Druckes im Rezipienten 1 dient ein Totaldruckmeßgerät, das als Kaltkatoden-Ionisationsvakuummeter ausgebildet ist. Zur Messung und Überwachung des von der Vorvakuumpumpe 3 erzeug ten Vorvakuums ist als Totaldruckmeßgerät ein Wärmeleitungs vakuummeter vorgesehen.

Der Turbomolekularpumpe 2 zugeordnet ist ein Gerät 11 (Pumpencontroller), das in bekannter Weise ein Netzteil 12, einen Frequenzumrichter 13, eine zentrale Steuerung 16 sowie Bedienungs- und Anzeigeeinrichtungen 17 aufweist. Zur Einbeziehung der Turbomolekularvakuumpumpe 2 in eine Prozeß steuerung, mit der der im Rezipienten ablaufende Prozeß gesteuert wird, ist das Gerät 11 zusätzlich mit einem Rechner-Interface 18 ausgerüstet. Weiterhin sind eine Mehrzahl von Ein- und Ausgängen - gemeinsam mit 19 bezeich net - vorgesehen, über die das Gerät 11 Steuersignale empfängt oder abgibt.

Das Wärmeleitungsvakuummeter umfaßt den Sensor 5 und das Gerät 21. Im Gerät 21 befinden sich Netzteil 22 sowie die Sensorversorgung und Signalaufbereitung 25. Zusätzlich sind die zentrale Steuerung 26, die Bedienungs- und Anzeigeein richtungen 27, das Rechner-Interface 28 sowie die Steuersi gnal-Ein- und -ausgänge 29 vorhanden.

Das Kaltkatoden-Ionisationsvakuummeter besteht aus dem Sensor 4 und dem Gerät 31. Im Gerät 31 sind das Netzteil 32, die Sensorversorgung und Signalaufbereitung 34, die zentrale Steuerung 36, Bedienungs- und Anzeigeeinrichtungen 37, Rechner-Interface 38 sowie Steuersignal-Ein- und -ausgängen 39 untergebracht.

In der Fig. 1 sind weiterhin Beispiele für eine gegensei tige Verknüpfung dargestellt. Einer der Ausgänge 29 des zum Wärmeleitungsvakuummeter 5 zugehörenden Gerätes 21 ist über die Leitung 41 mit einem der Eingänge 19 des der Turbomole kularvakuumpumpe 2 zugeordneten Gerätes 11 verbunden. Über diese Verbindung ist es möglich, mit Hilfe des Wärmelei tungsvakuummeters 5, 21 das Einschalten der Turbomolekular vakuumpumpe 2 zu steuern bzw. zu überwachen. Über die Leitung 42 ist einer der Ausgänge 19 des Gerätes 11 mit einem Eingang 39 des Gerätes 31 verbunden. Über diese Verbindung 42 kann das Ein- und Ausschalten des Kaltkato den-Ionisationsvakuummeters 4, 31 gesteuert werden. Die Rechner-Interfaces 18, 28, 38 sind über die Leitungen 47, 48, 49 mit dem Prozeßrechner 43 verbunden. Schließlich müssen sämtliche Geräte 11, 21 und 31 an das Netz ange schlossen werden (Leitungen 44, 45, 46).

Fig. 2 zeigt ein Ausführungsbeispiel für ein entsprechend der Erfindung gestaltetes Vakuumsystem. Der Turbomolekular vakuumpumpe 2 sowie den beiden Druckmeßsensoren 4 und 5 ist nur ein Gerät 51 zugeordnet. Zweckmäßig handelt es sich um den Pumpencontroller 11 mit dem Frequenzumrichter 53. Der Pumpencontroller 11 ist durch Baugruppen mit den folgenden Funktionen ergänzt:

- Baugruppe 54 zur Versorgung des Sensors 4 des Kaltka toden-Ionisationsvakuummeters sowie zur Aufbereitung der gelieferten Signale und
- Baugruppe 55 zur Versorgung des Sensors 5 des Wärme leitungsvakuummeters sowie zur Aufbereitung der gelie ferten Signale.

Bei einer abgewandelten Ausführungsform sind die Druckmeß geräte 4, 54 und 5, 55 zweckmäßig als Transmitter ausge führt, das heißt, daß sich die jeweiligen der Signalaufbe reitung (Verstärkung, Wandlung in digitale oder analoge Signale usw.) dienenden elektronischen Bauteile in unmit telbarer Nähe der Sensoren befinden. Druckmeßgeräte dieser Art benötigen nur noch eine Stromversorgung und einen Signalanschluß, über den die abgegebenen Signale der Signal verarbeitungs-Elektronik im Gerät 51 störungsfrei zugeführt werden.

Der besondere Vorteil der Erfindung liegt darin, daß die übrigen im Gerät 51, z. B. dem Pumpencontroller 11, vorhan denen Funktionsgruppen Netzteil 52, zentrale Steuerung (Microcontroller) 56, Bedienungs- und Anzeigeeinrichtungen 57, das Rechner-Interface 58 und auch die Ein- und Ausgänge 59 zur weiteren Prozeßsteuerung ohne nennenswerten Aufwand für die Meßfunktionen mitgenutzt werden können.

In Fig. 3 sind beispielsweise zusätzliche Bauteile einge zeichnet, die mit dem Block 59 in Verbindung stehen und mit Hilfe der zentralen Steuerung 56 betätigt werden können. Im einzelnen handelt es sich um

- ein zwischen dem Rezipienten 1 und der Turbomolekular vakuumpumpe 2 angeordnetes Ventil 61,
- ein parallel zum Ventil 61 und zur Turbomolekularvaku umpumpe 2 geschaltetes Ventil 62,
- eine Kühleinrichtung 63 und eine Heizeinrichtung 64 für die Turbomolekularvakuumpumpe 2 sowie
- ein Belüftungsventil 65 für den Rezipienten 1.

Die Ventile 61, 62 ermöglichen die Steuerung der Vorevaku ierung des Rezipienten 1 mit Hilfe der Vorpumpe 3 und - in Abhängigkeit der von den Drucksensoren 4 und 5 gelieferten Signale - die Zuschaltung der Turbomolekularvakuumpumpe 2. Die Steuerung der Einrichtungen 63 und 64 erfolgt tempera turabhängig. Ein dem Gehäuse der Turbomolekularvakuumpumpe 2 zugeordneter Sensor ist mit 66 bezeichnet.

Weiterhin besteht die Möglichkeit, mit Hilfe der Steuerung 56 im Gerät 51 eine Druckregulierung im Rezipienten 1 vorzunehmen. Beispielsweise kann in Abhängigkeit vom Druck-Istwert im Rezipienten 1, erfaßt durch den Sensor 4, die Drehzahl des Rotors der Turbomolekularvakuumpumpe 2 gesteu ert werden, da die Kompression einer Turbomolekularvakuum pumpe von der Rotordrehzahl abhängt. Eine andere - auch zusätzliche - Möglichkeit der Druckregulierung besteht darin, über das Ventil 65 kontrolliert Gas in den Rezipi enten 1 einzulassen.

Der Strom der Turbomolekularvakuumpumpe 2 kann auch zum Ein- bzw. Ausschalten eines Hochvakuummeßgerätes herangezogen werden. Bei Kaltkatoden oder Glühkatoden-Ionisationsvakuum metern können dadurch unerwünschte Sputtereffekte vermieden werden.

Eine Druckregulierung der beschriebenen Art kann auch ohne Vakuummeßgerät 4, 54 durchgeführt werden. Es ist bekannt, daß der Motorstrom einer Turbomolekularvakuumpumpe ein Maß für den Druck im angeschlossenen Rezipienten ist. Informa tionen über die Größe des Motorstromes stehen im Gerät 51 zur Verfügung. In Abhängigkeit dieser Informationen kann die Rotordrehzahl der Turbomolekularvakuumpumpe 2 und/oder die Belüftung über das Ventil 25 gesteuert werden.

Innerhalb gewisser Grenzen kann der drehende Rotor der Turbomolekularvakuumpumpe auch - ähnlich wie ein Gasrei bungsvakuummeter - zur Druckmessung eingesetzt werden. Dazu wird der Antrieb der Turbomolekularvakuumpumpe vorübergehend abgeschaltet und der durch die Gasreibung bedingte Dreh zahlabfall des Rotors über einen definierten Zeitraum gemessen. Aus dieser Verzögerung läßt sich bei bekannten Vorvakuumdruck der Hochvakuumdruck berechnen.

Einrichtungen der in Fig. 2 und 3 dargestellten Art ermög lichen auch einen vorzugsweise automatisch ablaufenden Nullpunkt-Abgleich von Vakuummeßgeräten mit Sensoren, deren untere Meßbereichsgrenze etwa zwischen 10^-4 und 1 mbar liegt (z. B. Pirani-, Piezo- und Kapazitätssensoren). Wenn der Druck im Rezipienten 1 deutlich kleiner als die untere Meßbereichsgrenze des jeweiligen Meßsystems ist, kann der Nullpunkt des Meßsystems mit hinreichender Genauigkeit ermittelt und gegebenenfalls korrigiert werden. Zum Erkennen der Druckvoraussetzung kann wieder der Motorstrom der Turbomolekularvakuumpumpe 2 herangezogen werden.

Wie bereits erwähnt, ist mit Hilfe des Ventils 65 die Belüftung des Rezipienten 1 steuerbar. Eine Kontrolle der Belüftung des Rezipienten ist insbesondere beim Einsatz von magnetisch gelagerten Turbomolekularvakuumpumpen von Bedeu tung. Bei Pumpen dieser Art treten bei einem zu schnellen Belüftungsvorgang unzulässig hohe Achsialkräfte, die wegen der begrenzten Lagerkräfte zu axialen Rotorauslenkungen und damit zu Kontakten des Rotors mit den mechanischen Notlauflagern führen. Zur Vermeidung derartiger Lagerkon takte ist es bekannt, eine Drossel in der Belüftungsleitung vorzusehen. Diese Maßnahme führt jedoch häufig zu sehr langen Belüftungszeiten. Es ist deshalb zweckmäßig, das Belüftungsventil 65 derart anzusteuern, daß die Rotoraus lenkung einen maximal zulässigen Wert nicht überschreitet. Informationen über die axiale Rotorauslenkung sind im Gerät 51 bekannt bzw. abfragbar. Diese können zur Regelung des Ventils 65 herangezogen werden. Es ist deshalb möglich, optimal kurze Belüftungszeiten ohne die Gefahr von Kontakten des Rotors mit seinen Notlauflagern zu erzielen.

Bei mit Gleichstrommotoren angetriebenen, magnetisch gela gerten Turbomolekularvakuumpumpen, vorzugsweise bei magne tisch gelagerten Turbomolekularvakuumpumpen, erzeugen die Motorspulen im Falle der Unterbrechung der Energiezufuhr (Netzausfall) eine induzierte Spannung. Wegen der relativ hohen Rotationsenergie des Rotors ermöglicht diese Spannung - zumindest für einen begrenzten Zeitraum - die elektrische Versorgung von verschiedenen Verbrauchern des Vakuumsystems. Dazu gehören zum Beispiel die Ventile, Sensoren und auch die Steuereinheit 51 selbst. Diese Bauteile sind damit unemp findlich gegenüber kurzzeitigen Netzausfällen und können den sicheren Betriebszustand einer Vakuumanlage für die Zeit der Netzausfälle gewährleisten.

Üblicherweise handelt es sich bei Vakuumprozessen um zy klische Abläufe. Bei gegebenen Prozeßparametern (Rezipi entenvolumen, Saugvermögen, Leitwerte, usw.) sind die zeitlichen Verläufe von Rotordrehzahl, Motorstrom und Vakuumwerte innerhalb gewisser Toleranzgrenzen reproduzier bar gleich. Diese Verläufe lassen sich innerhalb des Gerätes 51 mit Hilfe der Stufe 56 einmalig erfassen und als Soll-Verläufe dauerhaft speichern. Abweichungen von den Soll-Werten über zulässige Toleranzgrenzen hinaus können bei weiteren Prozeßabläufen frühzeitig erkannt und als Warn- bzw. Störmeldung an die Prozeßsteuerung gemeldet werden.

Weitere Möglichkeiten zur Erzielung ergänzender Funktionen ohne zusätzlichen Hardware-Aufwand sollen anhand der Fig. 4 erläutert werden. Diese Figur zeigt den Verlauf von Kennli nien in einem Koordinatensystem. Normierte Werte (y-Achse) sind in Abhängigkeit des Druckes (x-Achse) dargestellt. Die Kennlinie 71 ist charakteristisch für ein Glühkatodenvaku ummeter. Es ist einsetzbar im Druckbereich von etwa 10^-7 bis 10^-1 mbar. Im Druckbereich von 5·10^-4 bis 10^-1 mbar ist das gelieferte Signal jedoch nicht eindeutig, da die zu nächst ansteigende Kennlinie 71 bei etwa 5-10^-2 mbar ein Maximum überschreitet und danach wieder abfällt. Zur exakten Identifizierung des gemessenen Druckes kann die Kennlinie 72 des Motorstromes der Turbomolekularvakuumpumpe 2 herangezo gen werden. Im Bereich der zweideutigen Signale des Glühka todenvakuummeters ist die Motorstromkennlinie 72 ansteigend. Jedem Druckmeßwert kann durch gleichzeitige Feststellung des Motorstromes (größer oder kleiner als der Motorstrom bei 5·10^-2 mbar) der richtige Druck zugeordnet werden. Innerhalb des Nennmeßbereichs werden zweckmäßig die Meßwerte des Glühkatoden-Ionisationsvakuummeters zur Kalibrierung der druckproportionalen Motorstromkennlinie herangezogen.

Claims

1. System mit mindestens einer Vakuumpumpe (2, 3), mit mindestens einem Meßgerät (4, 5) sowie mit Einrich tungen zur Versorgung, Steuerung, Bedienung und Anzei ge, dadurch gekennzeichnet, daß die Vakuumpumpe (2, 3) und das Meßgerät (4, 5) gemeinsame Einrichtungen zur Versorgung, Steuerung, Bedienung und Anzeige haben.

2. System nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß es eine Vorvakuumpumpe (3), eine Hochvakuumpumpe (2) und zwei Vakuummeßgeräte (4, 5) umfaßt und daß nur ein Gerät (51) vorgesehen ist, in dem die Einrichtungen zur Versorgung, Steuerung, Bedienung und Anzeige für den größten Teil der Bestandteile des Systems untergebracht sind.

3. System nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß es zusätzlich Steuerventile (61, 62, 65), eine Heizeinrichtung (64), eine Kühleinrichtung (63) usw. umfaßt und daß die Steuerung und Bedienung dieser Bau teile ebenfalls mit den im Gerät (51) befindlichen Einrichtungen erfolgt.

4. System nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeich net, daß die Meßgeräte (4, 5) als Transmitter ausge führt sind.

5. Verfahren zum Betrieb eines Systems nach den Ansprüchen 1, 2, 3 oder 4 mit Vakuumpumpen (2, 3), mit Meßgeräten (4 und/oder 5) und einem gemeinsamen Gerät zur Ver sorgung, Steuerung, Bedienung und Anzeige, dadurch gekennzeichnet, daß in einem an das System angeschlos senen Rezipienten (1) eine Druckregulierung durchge führt wird.

6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß zur Druckregelung der Istwert eines Druckmeßgerätes oder der Motorstrom einer Vakuumpumpe, vorzugsweise Turbomolekularpumpe (2), herangezogen wird und daß zur Druckregulierung entweder Gas in den Rezipienten eingelassen oder die Drehzahl des Rotors der Vakuum pumpe geregelt wird.

7. Verfahren zum Betrieb eines Systems nach den Ansprüchen 1, 2, 3 oder 4 mit Vakuumpumpen (2, 3), mit Meßgeräten (4 und/oder 5) und einem gemeinsamen Gerät zur Ver sorgung, Steuerung, Bedienung und Anzeige, dadurch gekennzeichnet, daß bei Vakuummeßgeräten mit Sensoren, deren untere Meßbereichsgrenze etwa zwischen 10^-4 und 1 mbar liegt, ein vorzugsweise automatisch ablaufender Nullpunkt-Abgleich vorgenommen wird, indem zum Erkennen der Druckvoraussetzung der Motorstrom einer Turbomole kularvakuumpumpe (2) herangezogen wird.

8. Verfahren zum Betrieb eines Systems nach den Ansprüchen 1, 2, 3 oder 4 mit Vakuumpumpen (2, 3), und einem gemeinsamen Gerät zur Versorgung, Steuerung, Bedienung und Anzeige, bei welchem eine der Vakuumpumpen eine Turbomolekularvakuumpumpe (2) mit magnetisch gelagertem Rotor ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Belüftung eines an das System angeschlossenen Rezipienten (1) derart ausgeführt wird, daß im einzigen Gerät (51) vorliegende Informationen über die axiale Rotoraus lenkung als Istwert herangezogen und in Abhängigkeit dieser Werte ein Belüftungsventil derart gesteuert wird, daß unzulässige axiale Rotorauslenkungen vermieden sind.

9. Verfahren zum Betrieb eines Systems nach den Ansprüchen 1, 2, 3 oder 4 mit Vakuumpumpen (2, 3), mit Meßgeräten (4 und/oder 5) und einem gemeinsamen Gerät zur Ver sorgung, Steuerung, Bedienung und Anzeige, bei welchem eine der Vakuumpumpen eine Turbomolekularvakuumpumpe (2) mit elektromotorischem Antrieb ist, dadurch ge kennzeichnet, daß der Antriebsmotor der Turbomoleku larvakuumpumpe bei einer Unterbrechung der Energie zu fuhr als Spannungsgenerator betrieben wird und daß die Steuerung der dazu notwendigen Schritte mit den in der gemeinsamen Steuereinheit (51) befindlichen Bauteilen erfolgt.

10. Verfahren zum Betrieb eines Systems nach den Ansprüchen 1, 2, 3 oder 4 mit Vakuumpumpen (2, 3), mit Meßgeräten (4 und/oder 5) und einem gemeinsamen Gerät zur Ver sorgung, Steuerung, Bedienung und Anzeige, dadurch gekennzeichnet, daß bei der Durchführung zyklisch ablaufender Vakuumprozesse typische Verläufe von Rotordrehzahl, Motorstrom, Vakuumwerte usw. gespeichert werden und daß bei Abweichungen von den Soll-Verläufen über zulässige Toleranzgrenzen hinaus Warn- bzw. Störmeldungen initiiert werden.

11. Verfahren zum Betrieb eines Systems nach den Ansprüchen 1, 2, 3 oder 4 mit Vakuumpumpen (2, 3), mit Meßgeräten (4, 5) und einem gemeinsamen Gerät zur Versorgung, Steuerung, Bedienung und Anzeige, bei welchen eine Vakuumpumpe als Turbomolekularvakuumpumpe und ein Meßgerät als Glühkatoden-Ionisationsvakuummeter ausgebildet ist, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Druckbereich, in dem das Glühkatoden-Ionisationsvaku ummeter keine eindeutigen Signale liefert, der Strom des Antriebsmotors der Turbomolekularvakuumpumpe (2) zur Identifizierung des Signals herangezogen wird.

12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß zur Kalibrierung der druckproportionalen Motorstrom kennlinie innerhalb des Nennmeßbereiches die Meßwerte des Glühkatoden-Ionisationsvakuummeters herangezogen werden.

13. Verfahren zum Betrieb eines Systems nach den Ansprüchen 1, 2, 3 oder 4 mit Vakuumpumpen (2, 3), mit Meßgeräten (4 und/oder 5) und einem gemeinsamen Gerät zur Ver sorgung, Steuerung, Bedienung und Anzeige, bei welchem eine der Vakuumpumpen eine Turbomolekularvakuumpumpe (2) mit elektromotorischem Antrieb ist, dadurch gekenn zeichnet, daß zum Ein- bzw. Ausschalten eines Hochva kuummeßgerätes (4) der Motorstrom der Turbomolekular vakuumpumpe (2) herangezogen wird.

14. Verfahren zum Betrieb eines Systems nach den Ansprüchen 1, 2, 3 oder 4 mit Vakuumpumpen (2, 3), mit Meßgeräten (4 und/oder 5) und einem gemeinsamen Gerät zur Ver sorgung, Steuerung, Bedienung und Anzeige, bei welchem eine der Vakuumpumpen eine Turbomolekularvakuumpumpe (2) mit elektromotorischem Antrieb ist, dadurch ge kennzeichnet, daß die Turbomolekularvakuumpumpe (2) zur Druckmessung verwendet wird, indem der Antrieb der Turbomolekularvakuumpumpe vorübergehend abgeschaltet und der durch die Gasreibung bedingte Drehzahlabfall des Rotors über einen definierten Zeitraum gemessen wird.