JP2020097925A - 真空ポンプにおける合成オイルの使用、および真空ポンプ - Google Patents
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Abstract
Description
プファイファーバキュームGmbHにおいて製造されるターボ分子ポンプHiPace 30およびHi Pace 80においては、通常使用されるオイルが、AeroShellタービンオイル560に対して交換される。これは、飛行においてタービンオイルとして使用され、そしてNATOコード O−154と称される。オイル・AeroShellタービンオイル560は、エステルベースの合成オイルである。これは、請求項に記載される特性を満たす。ターボ分子ポンプHiPace30、およびHiPace80において通常使用されるオイルは、100度において4.0mm2/sより低い動粘度を有し、そして120度におて2.5mm2/sより低い動粘度を有する。
Claims (12)
- 作動媒体としての合成オイルの真空ポンプ内における使用であって、合成オイルが、100℃において4.5から6.5mm2/sの領域の動粘度であることを特徴とする使用。
- 合成オイルが、120℃において3.0から6.5mm2/sの領域の動粘度であることを特徴とする請求項1に記載の使用。
- 合成オイルの蒸気圧が、100℃において0.005hPa以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の使用。
- 合成オイルの蒸気圧が、120℃において0.01hPa以下であることを特徴とする請求項1から3の少なくとも一項に記載の使用。
- 合成オイルが、0.005hPaの真空のもと60℃で1年後に1重量%以下、好ましくは0.5重量%以下、特に好ましくは0.2重量%以下、最も好ましくは0.1重量%以下の蒸発損失であることを特徴とする請求項1から4の少なくとも一項に記載の使用。
- 合成オイルが、通常圧力のもと、204℃で6.5時間の後に0.5重量%以下の蒸発損失であることを特徴とする請求項1から5の少なくとも一項に記載の使用。
- 合成オイルが、エステルベースのオイルであるか、又はパーフルオロポリエーテルベースのオイルであることを特徴とする請求項1から6の少なくとも一項に記載の使用。
- 真空ポンプの回転支承部が合成オイルによって潤滑されることを特徴とする請求項1から7の少なくとも一項に記載の使用。
- 真空ポンプがターボ分子ポンプであり、ローター軸、ローター軸の回転可能な支持を行うための回転支承部、および合成オイルの収容のための作動媒体貯蔵部を有し、当該合成オイルが回転支承部に供給されることを特徴とする請求項1から8の少なくとも一項に記載の使用。
- 請求項1から9の少なくとも一項に記載の合成オイルを含む作動媒体貯蔵部を有する真空ポンプ。
- 真空ポンプがターボ分子ポンプであり、ローター軸、ローター軸の回転可能な支持を行うための回転支承部、および回転支承部に供給されるべき合成オイルの収容のための作動媒体貯蔵部を有し、そして合成オイルを回転支承部に供給するための少なくとも一つの手段を有することを特徴とする請求項10に記載の真空ポンプ。
- 真空ポンプが、合成オイルをポンピングするためのオイルポンプを有さないことを特徴とする請求項10または11に記載の真空ポンプ。
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