JP5312876B2 - 回転部の軸受け装置及びそれを用いたポンプ - Google Patents
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Description
軸と、
前記軸に挿通される円筒部材と、
前記軸及び前記円筒部材の一方が固定されたガイド部材とされ、前記軸及び前記円筒部材の他方を含んで被回転駆動部が形成され、前記被回転駆動部を回転駆動する回転駆動部と、
前記被回転駆動部の回転時に前記軸と前記円筒部材との隙間に気体圧を発生させて、前記軸と前記円筒部材とをラジアル方向にて非接触に維持する少なくとも一つのラジアル軸受けと、
前記軸及び前記円筒部材の一方にて、スラスト方向に沿って間隔をおいて、かつ、スラスト方向でN極とS極の異極同士が隣り合うように配置された複数の永久磁石リングを含む第1部材と、前記軸及び前記円筒部材の他方にて、前記第1部材に対向して配置されて磁性を帯びる第2部材とを含み、スラスト方向にてフリーの前記被回転駆動部を、該被回転駆動部のスラスト方向の荷重と吊り合ったスラスト方向での所定位置に維持する少なくとも一つのスラスト軸受けと、
を有することを特徴とする。
前記第2部材は、前記軸の直径方向にて対向する一方の位置にて、周方向の一部に亘ってスラスト方向にそれぞれ配置された複数の永久磁石と、前記軸の直径方向にて対向する他方の位置にて周方向の他の一部に亘って配置された磁性体とを含むことができる。こうすると、前記回転駆動部の駆動に従い、スラスト方向にて変化する前記所定位置に従って前記被回転駆動部を往復動させることができる。
前記軸受け装置はさらに、
タンクと、
前記少なくとも一つのラジアル軸受けにて発生した動圧を前記タンクに導く第1流路と、
前記タンク内の動圧を前記少なくとも一つのラジアル軸受けに戻し供給する第2流路と、
前記回転駆動部の少なくとも回転停止時に前記タンクを前記第2流路と連通させる弁と、
を有することができる。
図1は、本実施形態に係る回転部の軸受け装置を含む真空ポンプ、例えば複合型ポンプの断面図である。この複合型ポンプ10は、第1ケーシング20と第2ケーシング30とをボルト40にて連結した外観形状を有する。第1ケーシング20は、一端を吸気口22とし、第1フランジ24を有する他端を連結口として、吸気口22から連結口まで連通する第1中空部26を有する中空筒体である。第2ケーシング30は、一端に排気ポート32が連結され、第2フランジ34を有する他端を連結口とし、外周に冷却フィン38を有する中空筒体である。第1,第2ケーシング20,30は、第1,第2フランジ24,34同士を、Oリング42を介してボルト40にて締結することで気密に連結されている。
図1に示す実施形態では、軸50が固定されたガイド部材とされ、円筒部材60とその付属品である回転体80及びロータ92にて被回転駆動部が形成され、被回転駆動部60,80,92を回転駆動する回転駆動部がステータ94である。
第1,第2ラジアル軸受け100A,100Bの各々は、被回転駆動部60,80,92の回転時に軸50と円筒部材60との隙間に流体圧を発生させて、軸50と円筒部材60とをラジアル方向にて非接触に維持するものである。この種の軸受けとしてグルーブ軸受けが知られている。グルーブ軸受とは、軸または軸受けの表面に多数の溝を設けたもので、回転時に多数の溝にて発生する流体圧にて被回転駆動部を支持するものである。グルーブ軸受けは大別して2種類あり、一つは静圧気体軸受けであり、他の一つは動圧気体軸受けである。本実施形態の第1,第2ラジアル軸受け100A,100Bの各々はそれら2つのいずれか一つが採用されるが、本実施形態では動圧気体軸受けを採用している。このために、第1,第2ラジアル軸受け100A,100Bの各々は、図2に示すように、軸50の外周面に例えばヘリングボーン型の多数の動圧溝102を形成して構成している。
先ず、第1,第2ラジアル軸受け100A,100Bの作用について説明する。モータ90のうちステータ94のコイルに通電すると、ロータ92及びステータ94間での相互磁気作用により、ロータ92が回転駆動される。ロータ92の回転により円筒部材60と共に回転体80が回転され、回転体80の外面に形成されたねじ溝81によって吸気口22より気体を吸引して、複合型ポンプ10のうちのターボ分子ポンプが作動する。
図1に示すように、第1,第2ラジアル軸受け100A,100Bの間にて軸50に形成されるスラスト軸受け110は、図2に示すように軸50の直径を他の箇所よりも小径とされた磁石配列部112を有する。この磁石配列部112には、図5及び図6に示す第1部材113が配置される。この第1部材113は、スラスト方向に沿って間隔をおいて、かつ、スラスト方向で異極同士が隣り合うように配置された複数の永久磁石114,116を含んでいる。永久磁石114,116は互いに着磁方向が異なり、永久磁石114をS極リングと称し、永久磁石116をN極リングと称する。
排気ポート32とステータ94が固定された第2ケーシング30の上方より、第1部材113が取付けられた軸50を挿入する。軸50の下端のフランジ52が、第2ケーシング30の軸受け壁部37にOリング72を介してボルト70により気密に締結される。
図11は、スラスト軸受け110の組み立て上の便宜から、軸50の第1ラジアル軸受け100Aの領域を小径部51に形成している。小径部51を有する図11に示す軸50が図2とさらに異なる点は、スラスト軸受け110を形成する8個の永久磁石114,116を軸50に挿入した後、その上端に抜け止めのCリング51Aを圧入した点である。よって、図2に示す軸50を用いた場合のように、8個の永久磁石114,116を円周方向で半割りピース状として装着しなくても良い。図11に示す円筒部材60は、Cリング51Aと干渉しないための逃げ孔61を有すると共に、軸50の小径部51にフィットさせるための厚肉部62を有する。
図12は、図1とは異なるターボ分子ポンプ130を示している。図12に示すターボ分子ポンプ130が図1と異なる点は、排気ポート32が第2ケーシング30の第2中空部36に連通して第2ケーシング30の側面に取付けられている点である。この場合、図1に示すねじシール部120に代えて隙間シール部132が形成されている。このため、軸50と円筒部材60の下端側では、軸50と円筒部材60との間の隙間が隙間シール部132によって気密にシールされ、排気ルートとは機能しない。つまり、図12のターボ分子ポンプ130は回転体80の回転によるターボ分子ポンプみのとして機能し、図1に示すねじシール部120による補助ポンプを有していない。
本実施形態では、スラスト軸受け110における第1,第2部材113,118を変更することで、被回転駆動部60,80,92を回転させながら往復動させることもできる。図13は、軸50、円筒部材60、第1,第2ラジアル軸受け100A,100Bを有する点で上述の実施形態と同じである。図13に示すスラスト軸受け140が上述したスラスト軸受け110と異なっている。
図15は、回転するピストンを往復動させて気体通路の連通/遮断が可能なポンプを示している。この種のポンプは、特開平6−129354に開示されているが、図15は本実施形態に係るスラスト軸受け140を用いて同一機能を実現したものである。
ラジアル軸受け100A,100Bとして動圧軸受けを採用した場合、回転停止時及びその付近では発生する動圧が弱くなり、ラジアル軸受けとして機能しなくなる。そこで、少なくとも回転停止時には動圧軸受けから静圧軸受けに切り替えることができる。例えば図1に示す実施形態において、図17に示すように、軸50の偏心孔170A及びバイパス孔108に接続される第1配管200と、第1配管200に接続されたタンク202と、タンク202に接続された第2配管204と、軸50の中心孔104に接続される第3配管206と、第3配管206途中に設けられた弁208とをさらに設ける。弁208は、通常時は中心孔104からのポンプ出力を排気するが、回転停止時付近では例えば信号Sに基づいて切り替えられて、第3配管206の大気開放口を閉鎖し、第2配管204と第3配管206とを接続する。
Claims (5)
- 軸と、
前記軸に挿通される円筒部材と、
前記軸及び前記円筒部材の一方が固定されたガイド部材とされ、前記軸及び前記円筒部材の他方を含んで被回転駆動部が形成され、前記被回転駆動部を回転駆動する回転駆動部と、
前記被回転駆動部の回転時に前記軸と前記円筒部材との隙間に気体圧を発生させて、前記軸と前記円筒部材とをラジアル方向にて非接触に維持する少なくとも一つのラジアル軸受けと、
前記軸及び前記円筒部材の一方にて、スラスト方向に沿って間隔をおいて、かつ、スラスト方向でN極とS極の異極同士が隣り合うように配置された複数の永久磁石リングを含む第1部材と、前記軸及び前記円筒部材の他方にて、前記第1部材に対向して配置されて磁性を帯びる第2部材とを含み、前記第1部材と前記第2部材との間に磁気吸引力を作用させて、スラスト方向にてフリーの前記被回転駆動部を、該被回転駆動部のスラスト方向の荷重と吊り合ったスラスト方向での所定位置に維持する少なくとも一つのスラスト軸受けと、
を有し、
前記第1部材は、前記複数の永久磁石リングの各々が、周方向の各位置で連続的にスラスト位置が異なるようにスラスト方向に対して傾斜したリング状に形成され、
前記第2部材は、前記軸の直径方向にて対向する一方の位置にて、周方向の一部に亘ってスラスト方向にそれぞれ配置された複数の永久磁石と、前記軸の直径方向にて対向する他方の位置にて周方向の他の一部に亘って配置された磁性体とを含み、
前記回転駆動部の駆動に従い、スラスト方向にて変化する前記所定位置に従って前記被回転駆動部を往復動させることを特徴とする回転部の軸受け装置。 - 請求項1において、
前記回転駆動部は、前記軸をガイド部材とし、前記軸の周りで前記被回転駆動部である前記円筒部材を回転駆動することを特徴とする回転部の軸受け装置。 - 請求項1または2において、
スラスト方向にて隣り合う2つのラジアル軸受けの間に、前記少なくとも一つのスラスト軸受けを配置したことを特徴とする回転部の軸受け装置。 - 請求項1乃至3のいずれかにおいて、
前記少なくとも一つのラジアル軸受けは、前記回転駆動部の回転時に前記軸と前記円筒部材との隙間に動圧を発生させて、前記軸と前記円筒部材とをラジアル方向にて非接触に維持し、
前記軸受け装置はさらに、
タンクと、
前記少なくとも一つのラジアル軸受けにて発生した動圧を前記タンクに導く第1流路と、
前記タンク内の動圧を前記少なくとも一つのラジアル軸受けに戻し供給する第2流路と、
前記回転駆動部の少なくとも回転停止時に前記タンクを前記第2流路と連通させる弁と、
を有することを特徴とする回転部の軸受け装置。 - 請求項1乃至4のいずれかに記載の回転部の軸受け装置を含むことを特徴とするポンプ。
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