JP2004513277A - 真空ポンプ - Google Patents
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Abstract
真空ポンプ(10)はステータ(14)を有しており、このステータ(14)内にロータ(12)がラジアル磁気軸受け(16,18)とスラスト磁気軸受け(40)とによって無接触式に支承されている。スラスト磁気軸受け(40)は継鉄(44)を備えた電磁コイル(42)によってステータ(14)に、軸方向の磁界を発生させる。ロータ(12)には、前記継鉄(44)にほぼ軸方向で向かい合って位置している軸方向に磁化された永久磁石(50)が設けられている。ステータ(14)には、軸方向に永久磁化された補償磁石(54)が設けられており、この補償磁石(54)はロータ側の永久磁石(50)に対して軸方向で向かい合って位置しかつ逆向きに分極化されて配置されているので、ロータ側の永久磁石(50)と補償磁石(54)とは互いに反発し合う。ロータ側の永久磁石と継鉄との間の吸引力を補償磁石によって補償することにより、ロータはその中間位置では予荷重もしくはプリロードをかけられていない状態となる。これによってロータの中間位置を比較的小さな電磁コイル電流を用いて制御することができる。これによって、小さな電磁コイルが可能になり、熱発生の低減が行われ、そしてスラスト軸受けの所要電力消費量も減じられる。
Description
【0001】
本発明は、ステータを備えた真空ポンプであって、ステータにロータが、少なくとも1つのラジアル磁気軸受けと1つのスラスト磁気軸受けとによって無接触式に支承されている形式のものに関する。
【0002】
真空ポンプでは、ロータを支承するためにしばしば磁気軸受けが頻用される。磁気軸受けは高いロータ回転数を可能にし、かつ潤滑剤なしで作動する。これによってポンプ真空側の、潤滑剤による汚染が回避されている。ドイツ連邦共和国特許第3818556号明細書に基づき公知の真空ポンプでは、ラジアル軸受けがそれぞれ互いに軸方向に少しだけずらされて配置された永久磁石リングによって形成される。互いに反発し合う永久磁石リングが、ずらされた配置に基づいて軸方向でも反発し合うので、ロータは軸方向で予荷重もしくはプリロードをかけられている。ロータの一方の軸方向端部には、大きなプランジャ型磁石が配置されており、このプランジャ型磁石はロータディスクに対して吸引作用を加える。このプランジャ型磁石は、ロータを軸方向で予荷重もしくはプリロードをかけられた位置に保持するように制御されている。プランジャ型磁石は常時、軸方向の予荷重もしくはプリロードを補償しなければならない。欧州特許第0414127号明細書に基づき公知のスラスト軸受けでは、2つのロータディスクが軸方向で磁化されているので、ステータ側の電磁コイルは、この電磁コイルを通って流れる電流の方向に応じて、両軸方向で、つまり軸方向で前後もしくは上下に、ロータに作用することができる。ロータ側の磁気ディスクは電磁コイルの継鉄に対して吸引作用を加えるので、両軸方向で著しく大きな軸方向吸引力が発生し、この大きな軸方向吸引力はロータをその軸方向の中間位置から吸引する。このような軸方向吸引力は電磁コイルによって補償されなければならない。
【0003】
本発明の課題は、真空ポンプのスラスト磁気軸受けを改良することである。
【0004】
この課題は本発明によれば請求項1の特徴部に記載の特徴により解決される。
【0005】
本発明による真空ポンプのスラスト磁気軸受けでは、ステータに、軸方向で永久磁化された補償磁石が設けられており、この補償磁石はヨークもしくは継鉄に加えられるロータ側の永久磁石の磁界の力作用を補償する。補償磁石は、ロータ側の永久磁石に対して逆向きに分極化されて配置されているので、ロータ側の永久磁石と補償磁石とは相互に反発し合う。補償磁石は、ロータ側の永久磁石に対してエアギャップにより隔離されて直接に向かい合って位置するように配置されていてよいが、しかし継鉄の延在長さの別の個所に配置されていてもよい。補償磁石は、ほぼロータ側の永久磁石とステータ側の継鉄との間の軸方向の吸引力を補償する。これにより、スラスト磁気軸受けにおける軸方向の予荷重もしくはプリロードが回避される。それゆえに、ロータを電磁コイルによって、予荷重もしくはプリロードをかけられていない中間位置に保持することができる。軸方向の予荷重もしくはプリロードを取り除いたことによって、ロータの軸方向の中間位置を確実に制御するために、より小さな電磁コイルを使用することができる。電磁コイルに加えられるべき制御力が減じられているので、電磁コイルによる熱発生も著しく低減される。
【0006】
本発明の有利な構成では、スラスト磁気軸受けが環状に形成されている。この場合、電磁コイルと、継鉄と、ロータ側の永久磁石と、補償磁石とが、モータを巡って環状に配置されている。スラスト磁気軸受けは、ロータの一方の端面に配置されているのではなく、ロータを取り囲むように配置されているので、短い構成長さを有する真空ポンプが実現される。
【0007】
本発明の別の有利な構成では、セグメント状の継鉄を有する複数の電磁コイルが設けられている。これらの電磁コイルは継鉄と共に1つのリングにまとめられてロータを巡るように配置されている。さらに、全周にわたって、ロータ位置を検出するための複数の距離センサが設けられており、これらの距離センサは、ロータの傾倒運動を補償するために電磁コイルを作動制御する1つの制御装置に接続されている。このようにして、ロータの傾倒運動を補償することができる。スラスト軸受けの電磁コイルを相応に制御することによりロータの傾倒運動を回避することが可能であることにより、単数または複数のラジアル軸受けのために、支承力の制御を可能にしない永久磁石だけを使用することができる。
【0008】
本発明のさらに別の有利な構成では、ステータが、導電性の材料から成る渦電流式減衰ディスクを有している。この渦電流式減衰ディスクは、軸方向で見てロータ側の永久磁石と継鉄との間に配置されている。渦電流式減衰ディスクは、ロータの半径方向運動時に減衰ディスク内に誘導された渦電流によって、ロータの半径方向運動の減衰を生ぜしめる。このようにして、効果的な半径方向の減衰が実現される。このような減衰は、ロータの傾倒運動のアクティブな減衰に対して択一的にまたは補足的に設定することができる。
【0009】
スラスト軸受けは、ロータの重心のほぼ半径方向で、かつロータ重心の軸方向にそれぞれ配置された2つのラジアル軸受けの間に配置されていると有利である。ロータの重心は、両ラジアル軸受け間に位置しているのに対して、スラスト軸受けはほぼ重心横断平面に位置している。このような配置形式では、ロータの高い傾倒安定性が実現される。それと同時に、スラスト磁気軸受けは、スラスト磁気軸受けにより、相応するロータ傾倒モーメントを発生させるための高いトルクを生ぜしめることができるように配置されている。
【0010】
本発明のさらに別の有利な構成では、電磁コイルが、前記永久磁石の半径方向外側または半径方向内側に配置されている。電磁コイルおよび永久磁石のこのような配置は、ほぼ1つの横断平面において行われる。こうして、真空ポンプの構成長さは小さく保持される。
【0011】
継鉄は補償磁石と共に、軸線に対して傾けられていて、かつ/またはロータ側の永久磁石に対して半径方向でずらされて配置されていると有利である。このようにすれば、継鉄および補償磁石とロータ側の永久磁石との間のエアギャップが、横断平面に対して傾けられていて、その面積が増大されるので、より大きな磁石の使用が可能になり、その結果、より大きな磁力の実現が可能になる。
【0012】
継鉄の一方の自由端部はロータ側の永久磁石の軸方向に、継鉄の他方の自由端部はロータ側の永久磁石の半径方向に、それぞれ配置されていると有利である。継鉄自由端部が、ロータ側の永久磁石の半径方向外側または半径方向内側に配置されていることにより、スラスト磁気軸受けの各構成部分の入り組んでいない配置が実現される。ロータ全体は一方の側から軸方向でステータ内へ挿嵌され得るか、もしくはステータから取り出され得る。これによってステータ内でのロータの簡便な組付けが可能になる。
【0013】
ロータ側の永久磁石および補償磁石が軸方向で電磁コイルの外側に配置されている場合には、ロータ側の永久磁石および補償磁石を比較的大きく構成することができるので、大きな磁力を発生させることができる。これによって軸方向の支承ならびにロータの傾倒運動に対する安定化が改善される。
【0014】
スラスト磁気軸受けがアクティブな磁気軸受けとして構成されているのに対して、ラジアル軸受けはパッシブな磁気軸受けとして構成されている。
【0015】
次に、本発明の実施例を図面につき詳しく説明する。
【0016】
図1〜図5にはそれぞれ真空ポンプ10が示されている。この真空ポンプ10はターボ分子真空ポンプである。ターボ分子ポンプは、最高80000r.p.m.の高い回転数で作動する。高い回転数および高い信頼性に基づき、ステータ14内にロータ12を支承するためには無接触式の磁気軸受けが有利であることが判っている。
【0017】
図1〜図5に示した真空ポンプでは、それぞれ2つのパッシブなラジアル磁気軸受け16,18が設けられており、両ラジアル磁気軸受け16,18は、ロータ12の重心20に対して軸方向の間隔をおいてロータ12の各長手方向端部に配置されている。ロータ12の重心20は両ラジアル磁気軸受け16,18間のほぼ真ん中に位置している。両ラジアル磁気軸受け16,18はそれぞれ、同心的な円筒形のインナスリーブ24とアウタスリーブ22とから形成される。両スリーブは共に軸方向で磁化されており、かつ半径方向で互いに反発し合うように互いに分極化されて配置されている。各インナスリーブ24および各アウタスリーブ22は、軸方向で互いに接合された複数の磁気リングのパッケージから成っている。アウタスリーブ22およびインナスリーブ24の複数の磁気リングは軸方向でスペーサディスク26によって相互に分離されている。アウタスリーブ22はロータ12に固定されていて、ステータ側のインナスリーブ24を中心として回転する。両ラジアル磁気軸受け16,18の両インナスリーブ24および両アウタスリーブ22は同一に形成されている。
【0018】
両ラジアル磁気軸受け16,18のインナスリーブ24は複数の位置調整ねじ27によって軸方向に移動調節可能である。
【0019】
両ラジアル磁気軸受け16,18は軸方向での不安定な平衡位置を生ぜしめる。すなわち、ロータ12は、軸方向の一方の方向または他方の方向に変位する傾向を示す。
【0020】
ロータ12の両軸方向端部には、それぞれ転がり軸受けとして構成された受け軸受け(Fanglager)28,30が設けられている。
【0021】
ロータ12は主としてコンプレッサ部分13と軸15とから成っている。軸方向でコンプレッサ部分13と軸15のためのラジアル磁気軸受け18との間には電動モータ32が配置されており、この電動モータ32によってロータ12が無接触式に駆動される。電動モータ32は高周波モータである。
【0022】
コンプレッサ部分13と電動モータ32との間には、スラスト軸受け40が配置されている。このスラスト軸受け40は磁気軸受けであり、そしてドーナツ形の磁界を発生させる環形の電磁コイル42を有している。この電磁コイル42はヨークもしくは継鉄44によって取り囲まれている。継鉄44は、横断面L字形の2つの継鉄リング45,46から成っており、両継鉄リング45,46は横断面方形のフレームを形成している。この横断面方形のフレームはコンプレッサ側の内側のコーナ部もしくは角隅部で中断されている、つまり開いている。継鉄44は、5%のプラスチック含量を有する鉄複合材料から成っていると有利である。これによって渦電流の誘導が少なく保持され、そしてスラスト軸受け40の制御が加速される。円筒状のシールリング48により電磁コイル43はガス密に閉鎖されている。
【0023】
ロータのコンプレッサ部分13には、継鉄44に軸方向で向かい合って位置するように、軸方向で磁化された環状の永久磁石50が固定されている。この環状の永久磁石50はスリーブ52によってロータコンプレッサ部分13に保持される。電磁コイル42により発生させられた磁界は、形成された磁界の極性に応じて、すなわち電磁コイル42における流れ方向に応じて、ロータ用の環状の永久磁石50に軸方向で吸引作用または反発作用を与える。
【0024】
内側の継鉄リング46の軸方向の端面には、軸方向で永久磁化された環状の補償磁石54が固定されている。この補償磁石54は、ロータ側の永久磁石50に対して逆向きの極性を有しているので、ロータ側の永久磁石50と補償磁石54は互いに反発し合う。このようにして、ロータ側の環状の永久磁石50と内側の継鉄リング46とにより発生させられた吸引力は、ロータ側の環状の永久磁石50と環状の補償磁石54との間での相応する反発力によってほぼ補償される。
【0025】
こうして、両軸方向に作用し得る、つまり吸引方向にも反発方向にも作用し得るアクティブなスラスト軸受けが実現されている。補償磁石54を設けることによって、予荷重もしくはプリロードをほとんどかけられていない軸方向の中間位置を中心とした制御を行うことができる。予荷重もしくはプリロードがかけられていないことに基づき、ロータ12の軸方向の中間位置を保持するためには、比較的小さな軸方向制御力しか必要とならない。これによって小さな電磁コイル42の使用が可能になる。全体的に低減された所要の制御出力により、一層小さな電磁コイルおよび制御装置が可能となり、かつ電磁コイル42による熱発生の低減も達成される。
【0026】
ロータ軸15の軸方向の端部では、ステータハウジング58に、軸方向の誘導式の距離センサ60が設けられている。この距離センサ60は、ロータ12の正確な軸方向位置を誘導式の距離測定により検出し、そして相応する測定信号を制御装置(図示せず)に伝送する。この制御装置は、ロータ12の検出された軸方向位置、速度および加速度に関連して、電磁コイル42への相応する制御電流を制御し、これによりロータ12の軸方向位置を補正し、かつロータ12をその中間位置に保持する。
【0027】
ステータ14は軸方向で補償磁石54の手前に、良導電性の材料、たとえば銅から成る渦電流減衰ディスク62を有している。すなわち、渦電流減衰ディスク62は軸方向で、ロータ側の環状の永久磁石50とステータ側の補償磁石54との間に配置されている。ロータ12の半径方向運動時もしくは振動時には、ロータ側の環状の永久磁石50によって渦電流減衰ディスク62に渦電流が誘導される。これによってロータ12の機械的なエネルギが渦電流減衰ディスク62に誘導伝達され、そしてこの渦電流減衰ディスク62で熱に変換される。このようにしてロータ12の振動および揺動が効果的に減衰される。
【0028】
絶縁性のシールリング48によって、電磁コイル42は真空ポンプ10の真空部分に対して絶縁される。すなわち、電磁コイル42の電気的な線路は常時、真空ポンプ10の真空範囲の外側に延在しているので、シール問題は生じない。
【0029】
図2に示した第2実施例による真空ポンプ110は、スラスト軸受け140を除けば、図1に示した真空ポンプ10と同一である。図2の真空ポンプ110のスラスト軸受け140は、1つの電磁コイルにより形成されるのではなく、図3からも判るように、3つの電磁コイル141,142,143と、対応する継鉄内側リング区分1461,1462,1463と、対応する継鉄外側リング区分1451,1452,1453とから形成される。継鉄内側リング区分1461〜1463の間には、それぞれ継鉄内側リング区分1461〜1463を磁気的に互いに分離する非磁性材料から成るセグメント147が配置されている。さらに、3つの距離センサ160が設けられており、これら3つの距離センサ160は、ほぼスラスト軸受け140の横断平面においてステータ114に対するロータ112の軸方向の距離を検出する。合計3つの軸方向の距離センサ160により、ロータ位置を三次元的に検出することができるので、中間位置からの軸方向偏差だけではなく、ロータ112の傾倒運動をも検出することができる。1つの制御装置により別々に制御可能な電磁コイル141〜143に基づいて、ロータ112の傾倒運動もしくは傾倒振動を補償することができる。
【0030】
図4に示した第3実施例による真空ポンプ210では、電磁コイル241〜243が半径方向内側に配置されており、そして電磁コイル241〜243の半径方向外側にロータ側の環状の永久磁石250と、ステータ側の補償磁石254と、減衰ディスク262とが配置されている。これによって、より大きな永久磁石が可能になり、このような大きな永久磁石はロータに対して、より大きなトルクを発生させ、ひいてはより大きな安定化作用を発生させる。より大きな永久磁石によってスラスト軸受けの支持力が高められる。
【0031】
図5に示した真空ポンプ310の第4実施例では、ロータ側の永久磁石350と、ステータ側の補償磁石354と、減衰ディスク362と、この減衰ディスク362とロータ側の永久磁石350との間に形成されたギャップとが、正確に横断平面内に配置されているのではなく、この横断平面に対して約15゜の角度で傾けられて配置されている。ロータ側の永久磁石350およびステータ側の補償磁石354の磁化方向も同じく横断平面に対して15゜で傾けられている。これにより、ステータ314とロータ312との間で伝達される磁力が増大させられて、軸方向成分をも、より小さな半径方向成分をも有している。こうして、電磁コイル141〜143の適当な制御により、ステータ314内におけるロータ312の軸方向位置をも、ステータ314内におけるロータ312の半径方向位置をも制御することができる。これによって、ロータの半径方向ずれおよび振動を最小限に抑えることができる。
【0032】
ロータ側の永久磁石と継鉄との間の吸引力を補償磁石により補償することによって、ロータはその中間位置において予荷重もしくはプリロードをかけられていない状態となる。これによってロータの中間位置を、比較的小さな電磁コイル電流によって制御することができる。これによって小さな電磁コイルが可能になり、また減じられた熱発生が生ぜしめられ、スラスト軸受けの所要電力消費量も減じられる。
【図面の簡単な説明】
【図1】
本発明による真空ポンプの第1実施例を示す縦断面図である。
【図2】
3つの電磁コイルを有するスラスト磁気軸受けを備えた本発明による真空ポンプの第2実施例を示す縦断面図である。
【図3】
図2に示した真空ポンプのスラスト磁気軸受けの3つの電磁コイルと、所属の継鉄とを示す斜視図である。
【図4】
ロータ側の永久磁石と補償磁石とが電磁コイルの半径方向外側に配置されている本発明による真空ポンプの第3実施例を示す縦断面図である。
【図5】
半径方向に傾けられた磁石ギャップ面を備えた本発明による真空ポンプの第4実施例を示す縦断面図である。
本発明は、ステータを備えた真空ポンプであって、ステータにロータが、少なくとも1つのラジアル磁気軸受けと1つのスラスト磁気軸受けとによって無接触式に支承されている形式のものに関する。
【0002】
真空ポンプでは、ロータを支承するためにしばしば磁気軸受けが頻用される。磁気軸受けは高いロータ回転数を可能にし、かつ潤滑剤なしで作動する。これによってポンプ真空側の、潤滑剤による汚染が回避されている。ドイツ連邦共和国特許第3818556号明細書に基づき公知の真空ポンプでは、ラジアル軸受けがそれぞれ互いに軸方向に少しだけずらされて配置された永久磁石リングによって形成される。互いに反発し合う永久磁石リングが、ずらされた配置に基づいて軸方向でも反発し合うので、ロータは軸方向で予荷重もしくはプリロードをかけられている。ロータの一方の軸方向端部には、大きなプランジャ型磁石が配置されており、このプランジャ型磁石はロータディスクに対して吸引作用を加える。このプランジャ型磁石は、ロータを軸方向で予荷重もしくはプリロードをかけられた位置に保持するように制御されている。プランジャ型磁石は常時、軸方向の予荷重もしくはプリロードを補償しなければならない。欧州特許第0414127号明細書に基づき公知のスラスト軸受けでは、2つのロータディスクが軸方向で磁化されているので、ステータ側の電磁コイルは、この電磁コイルを通って流れる電流の方向に応じて、両軸方向で、つまり軸方向で前後もしくは上下に、ロータに作用することができる。ロータ側の磁気ディスクは電磁コイルの継鉄に対して吸引作用を加えるので、両軸方向で著しく大きな軸方向吸引力が発生し、この大きな軸方向吸引力はロータをその軸方向の中間位置から吸引する。このような軸方向吸引力は電磁コイルによって補償されなければならない。
【0003】
本発明の課題は、真空ポンプのスラスト磁気軸受けを改良することである。
【0004】
この課題は本発明によれば請求項1の特徴部に記載の特徴により解決される。
【0005】
本発明による真空ポンプのスラスト磁気軸受けでは、ステータに、軸方向で永久磁化された補償磁石が設けられており、この補償磁石はヨークもしくは継鉄に加えられるロータ側の永久磁石の磁界の力作用を補償する。補償磁石は、ロータ側の永久磁石に対して逆向きに分極化されて配置されているので、ロータ側の永久磁石と補償磁石とは相互に反発し合う。補償磁石は、ロータ側の永久磁石に対してエアギャップにより隔離されて直接に向かい合って位置するように配置されていてよいが、しかし継鉄の延在長さの別の個所に配置されていてもよい。補償磁石は、ほぼロータ側の永久磁石とステータ側の継鉄との間の軸方向の吸引力を補償する。これにより、スラスト磁気軸受けにおける軸方向の予荷重もしくはプリロードが回避される。それゆえに、ロータを電磁コイルによって、予荷重もしくはプリロードをかけられていない中間位置に保持することができる。軸方向の予荷重もしくはプリロードを取り除いたことによって、ロータの軸方向の中間位置を確実に制御するために、より小さな電磁コイルを使用することができる。電磁コイルに加えられるべき制御力が減じられているので、電磁コイルによる熱発生も著しく低減される。
【0006】
本発明の有利な構成では、スラスト磁気軸受けが環状に形成されている。この場合、電磁コイルと、継鉄と、ロータ側の永久磁石と、補償磁石とが、モータを巡って環状に配置されている。スラスト磁気軸受けは、ロータの一方の端面に配置されているのではなく、ロータを取り囲むように配置されているので、短い構成長さを有する真空ポンプが実現される。
【0007】
本発明の別の有利な構成では、セグメント状の継鉄を有する複数の電磁コイルが設けられている。これらの電磁コイルは継鉄と共に1つのリングにまとめられてロータを巡るように配置されている。さらに、全周にわたって、ロータ位置を検出するための複数の距離センサが設けられており、これらの距離センサは、ロータの傾倒運動を補償するために電磁コイルを作動制御する1つの制御装置に接続されている。このようにして、ロータの傾倒運動を補償することができる。スラスト軸受けの電磁コイルを相応に制御することによりロータの傾倒運動を回避することが可能であることにより、単数または複数のラジアル軸受けのために、支承力の制御を可能にしない永久磁石だけを使用することができる。
【0008】
本発明のさらに別の有利な構成では、ステータが、導電性の材料から成る渦電流式減衰ディスクを有している。この渦電流式減衰ディスクは、軸方向で見てロータ側の永久磁石と継鉄との間に配置されている。渦電流式減衰ディスクは、ロータの半径方向運動時に減衰ディスク内に誘導された渦電流によって、ロータの半径方向運動の減衰を生ぜしめる。このようにして、効果的な半径方向の減衰が実現される。このような減衰は、ロータの傾倒運動のアクティブな減衰に対して択一的にまたは補足的に設定することができる。
【0009】
スラスト軸受けは、ロータの重心のほぼ半径方向で、かつロータ重心の軸方向にそれぞれ配置された2つのラジアル軸受けの間に配置されていると有利である。ロータの重心は、両ラジアル軸受け間に位置しているのに対して、スラスト軸受けはほぼ重心横断平面に位置している。このような配置形式では、ロータの高い傾倒安定性が実現される。それと同時に、スラスト磁気軸受けは、スラスト磁気軸受けにより、相応するロータ傾倒モーメントを発生させるための高いトルクを生ぜしめることができるように配置されている。
【0010】
本発明のさらに別の有利な構成では、電磁コイルが、前記永久磁石の半径方向外側または半径方向内側に配置されている。電磁コイルおよび永久磁石のこのような配置は、ほぼ1つの横断平面において行われる。こうして、真空ポンプの構成長さは小さく保持される。
【0011】
継鉄は補償磁石と共に、軸線に対して傾けられていて、かつ/またはロータ側の永久磁石に対して半径方向でずらされて配置されていると有利である。このようにすれば、継鉄および補償磁石とロータ側の永久磁石との間のエアギャップが、横断平面に対して傾けられていて、その面積が増大されるので、より大きな磁石の使用が可能になり、その結果、より大きな磁力の実現が可能になる。
【0012】
継鉄の一方の自由端部はロータ側の永久磁石の軸方向に、継鉄の他方の自由端部はロータ側の永久磁石の半径方向に、それぞれ配置されていると有利である。継鉄自由端部が、ロータ側の永久磁石の半径方向外側または半径方向内側に配置されていることにより、スラスト磁気軸受けの各構成部分の入り組んでいない配置が実現される。ロータ全体は一方の側から軸方向でステータ内へ挿嵌され得るか、もしくはステータから取り出され得る。これによってステータ内でのロータの簡便な組付けが可能になる。
【0013】
ロータ側の永久磁石および補償磁石が軸方向で電磁コイルの外側に配置されている場合には、ロータ側の永久磁石および補償磁石を比較的大きく構成することができるので、大きな磁力を発生させることができる。これによって軸方向の支承ならびにロータの傾倒運動に対する安定化が改善される。
【0014】
スラスト磁気軸受けがアクティブな磁気軸受けとして構成されているのに対して、ラジアル軸受けはパッシブな磁気軸受けとして構成されている。
【0015】
次に、本発明の実施例を図面につき詳しく説明する。
【0016】
図1〜図5にはそれぞれ真空ポンプ10が示されている。この真空ポンプ10はターボ分子真空ポンプである。ターボ分子ポンプは、最高80000r.p.m.の高い回転数で作動する。高い回転数および高い信頼性に基づき、ステータ14内にロータ12を支承するためには無接触式の磁気軸受けが有利であることが判っている。
【0017】
図1〜図5に示した真空ポンプでは、それぞれ2つのパッシブなラジアル磁気軸受け16,18が設けられており、両ラジアル磁気軸受け16,18は、ロータ12の重心20に対して軸方向の間隔をおいてロータ12の各長手方向端部に配置されている。ロータ12の重心20は両ラジアル磁気軸受け16,18間のほぼ真ん中に位置している。両ラジアル磁気軸受け16,18はそれぞれ、同心的な円筒形のインナスリーブ24とアウタスリーブ22とから形成される。両スリーブは共に軸方向で磁化されており、かつ半径方向で互いに反発し合うように互いに分極化されて配置されている。各インナスリーブ24および各アウタスリーブ22は、軸方向で互いに接合された複数の磁気リングのパッケージから成っている。アウタスリーブ22およびインナスリーブ24の複数の磁気リングは軸方向でスペーサディスク26によって相互に分離されている。アウタスリーブ22はロータ12に固定されていて、ステータ側のインナスリーブ24を中心として回転する。両ラジアル磁気軸受け16,18の両インナスリーブ24および両アウタスリーブ22は同一に形成されている。
【0018】
両ラジアル磁気軸受け16,18のインナスリーブ24は複数の位置調整ねじ27によって軸方向に移動調節可能である。
【0019】
両ラジアル磁気軸受け16,18は軸方向での不安定な平衡位置を生ぜしめる。すなわち、ロータ12は、軸方向の一方の方向または他方の方向に変位する傾向を示す。
【0020】
ロータ12の両軸方向端部には、それぞれ転がり軸受けとして構成された受け軸受け(Fanglager)28,30が設けられている。
【0021】
ロータ12は主としてコンプレッサ部分13と軸15とから成っている。軸方向でコンプレッサ部分13と軸15のためのラジアル磁気軸受け18との間には電動モータ32が配置されており、この電動モータ32によってロータ12が無接触式に駆動される。電動モータ32は高周波モータである。
【0022】
コンプレッサ部分13と電動モータ32との間には、スラスト軸受け40が配置されている。このスラスト軸受け40は磁気軸受けであり、そしてドーナツ形の磁界を発生させる環形の電磁コイル42を有している。この電磁コイル42はヨークもしくは継鉄44によって取り囲まれている。継鉄44は、横断面L字形の2つの継鉄リング45,46から成っており、両継鉄リング45,46は横断面方形のフレームを形成している。この横断面方形のフレームはコンプレッサ側の内側のコーナ部もしくは角隅部で中断されている、つまり開いている。継鉄44は、5%のプラスチック含量を有する鉄複合材料から成っていると有利である。これによって渦電流の誘導が少なく保持され、そしてスラスト軸受け40の制御が加速される。円筒状のシールリング48により電磁コイル43はガス密に閉鎖されている。
【0023】
ロータのコンプレッサ部分13には、継鉄44に軸方向で向かい合って位置するように、軸方向で磁化された環状の永久磁石50が固定されている。この環状の永久磁石50はスリーブ52によってロータコンプレッサ部分13に保持される。電磁コイル42により発生させられた磁界は、形成された磁界の極性に応じて、すなわち電磁コイル42における流れ方向に応じて、ロータ用の環状の永久磁石50に軸方向で吸引作用または反発作用を与える。
【0024】
内側の継鉄リング46の軸方向の端面には、軸方向で永久磁化された環状の補償磁石54が固定されている。この補償磁石54は、ロータ側の永久磁石50に対して逆向きの極性を有しているので、ロータ側の永久磁石50と補償磁石54は互いに反発し合う。このようにして、ロータ側の環状の永久磁石50と内側の継鉄リング46とにより発生させられた吸引力は、ロータ側の環状の永久磁石50と環状の補償磁石54との間での相応する反発力によってほぼ補償される。
【0025】
こうして、両軸方向に作用し得る、つまり吸引方向にも反発方向にも作用し得るアクティブなスラスト軸受けが実現されている。補償磁石54を設けることによって、予荷重もしくはプリロードをほとんどかけられていない軸方向の中間位置を中心とした制御を行うことができる。予荷重もしくはプリロードがかけられていないことに基づき、ロータ12の軸方向の中間位置を保持するためには、比較的小さな軸方向制御力しか必要とならない。これによって小さな電磁コイル42の使用が可能になる。全体的に低減された所要の制御出力により、一層小さな電磁コイルおよび制御装置が可能となり、かつ電磁コイル42による熱発生の低減も達成される。
【0026】
ロータ軸15の軸方向の端部では、ステータハウジング58に、軸方向の誘導式の距離センサ60が設けられている。この距離センサ60は、ロータ12の正確な軸方向位置を誘導式の距離測定により検出し、そして相応する測定信号を制御装置(図示せず)に伝送する。この制御装置は、ロータ12の検出された軸方向位置、速度および加速度に関連して、電磁コイル42への相応する制御電流を制御し、これによりロータ12の軸方向位置を補正し、かつロータ12をその中間位置に保持する。
【0027】
ステータ14は軸方向で補償磁石54の手前に、良導電性の材料、たとえば銅から成る渦電流減衰ディスク62を有している。すなわち、渦電流減衰ディスク62は軸方向で、ロータ側の環状の永久磁石50とステータ側の補償磁石54との間に配置されている。ロータ12の半径方向運動時もしくは振動時には、ロータ側の環状の永久磁石50によって渦電流減衰ディスク62に渦電流が誘導される。これによってロータ12の機械的なエネルギが渦電流減衰ディスク62に誘導伝達され、そしてこの渦電流減衰ディスク62で熱に変換される。このようにしてロータ12の振動および揺動が効果的に減衰される。
【0028】
絶縁性のシールリング48によって、電磁コイル42は真空ポンプ10の真空部分に対して絶縁される。すなわち、電磁コイル42の電気的な線路は常時、真空ポンプ10の真空範囲の外側に延在しているので、シール問題は生じない。
【0029】
図2に示した第2実施例による真空ポンプ110は、スラスト軸受け140を除けば、図1に示した真空ポンプ10と同一である。図2の真空ポンプ110のスラスト軸受け140は、1つの電磁コイルにより形成されるのではなく、図3からも判るように、3つの電磁コイル141,142,143と、対応する継鉄内側リング区分1461,1462,1463と、対応する継鉄外側リング区分1451,1452,1453とから形成される。継鉄内側リング区分1461〜1463の間には、それぞれ継鉄内側リング区分1461〜1463を磁気的に互いに分離する非磁性材料から成るセグメント147が配置されている。さらに、3つの距離センサ160が設けられており、これら3つの距離センサ160は、ほぼスラスト軸受け140の横断平面においてステータ114に対するロータ112の軸方向の距離を検出する。合計3つの軸方向の距離センサ160により、ロータ位置を三次元的に検出することができるので、中間位置からの軸方向偏差だけではなく、ロータ112の傾倒運動をも検出することができる。1つの制御装置により別々に制御可能な電磁コイル141〜143に基づいて、ロータ112の傾倒運動もしくは傾倒振動を補償することができる。
【0030】
図4に示した第3実施例による真空ポンプ210では、電磁コイル241〜243が半径方向内側に配置されており、そして電磁コイル241〜243の半径方向外側にロータ側の環状の永久磁石250と、ステータ側の補償磁石254と、減衰ディスク262とが配置されている。これによって、より大きな永久磁石が可能になり、このような大きな永久磁石はロータに対して、より大きなトルクを発生させ、ひいてはより大きな安定化作用を発生させる。より大きな永久磁石によってスラスト軸受けの支持力が高められる。
【0031】
図5に示した真空ポンプ310の第4実施例では、ロータ側の永久磁石350と、ステータ側の補償磁石354と、減衰ディスク362と、この減衰ディスク362とロータ側の永久磁石350との間に形成されたギャップとが、正確に横断平面内に配置されているのではなく、この横断平面に対して約15゜の角度で傾けられて配置されている。ロータ側の永久磁石350およびステータ側の補償磁石354の磁化方向も同じく横断平面に対して15゜で傾けられている。これにより、ステータ314とロータ312との間で伝達される磁力が増大させられて、軸方向成分をも、より小さな半径方向成分をも有している。こうして、電磁コイル141〜143の適当な制御により、ステータ314内におけるロータ312の軸方向位置をも、ステータ314内におけるロータ312の半径方向位置をも制御することができる。これによって、ロータの半径方向ずれおよび振動を最小限に抑えることができる。
【0032】
ロータ側の永久磁石と継鉄との間の吸引力を補償磁石により補償することによって、ロータはその中間位置において予荷重もしくはプリロードをかけられていない状態となる。これによってロータの中間位置を、比較的小さな電磁コイル電流によって制御することができる。これによって小さな電磁コイルが可能になり、また減じられた熱発生が生ぜしめられ、スラスト軸受けの所要電力消費量も減じられる。
【図面の簡単な説明】
【図1】
本発明による真空ポンプの第1実施例を示す縦断面図である。
【図2】
3つの電磁コイルを有するスラスト磁気軸受けを備えた本発明による真空ポンプの第2実施例を示す縦断面図である。
【図3】
図2に示した真空ポンプのスラスト磁気軸受けの3つの電磁コイルと、所属の継鉄とを示す斜視図である。
【図4】
ロータ側の永久磁石と補償磁石とが電磁コイルの半径方向外側に配置されている本発明による真空ポンプの第3実施例を示す縦断面図である。
【図5】
半径方向に傾けられた磁石ギャップ面を備えた本発明による真空ポンプの第4実施例を示す縦断面図である。
Claims (10)
- ステータ(14)を備えた真空ポンプであって、ステータ(14)にロータ(12)がラジアル磁気軸受け(16,18)とスラスト磁気軸受け(40)とによって無接触式に支承されており、スラスト磁気軸受け(40)がステータ(14)に、軸方向の磁界を発生させる電磁コイル(42)と、対応する継鉄(44)とを有していて、ロータ(12)に前記継鉄(44)にほぼ軸方向で向かい合って位置している軸方向に磁化された永久磁石(50)を有している形式のものにおいて、ステータ(14)に、ロータ側の永久磁石(50)の磁界を補償する、軸方向に永久磁化された補償磁石(54)が設けられていることを特徴とする真空ポンプ。
- スラスト磁気軸受け(40)が環状に形成されており、電磁コイル(42)と、継鉄(44)と、ロータ側の永久磁石(50)と、補償磁石(54)とがロータ(12)を巡って環状に配置されている、請求項1記載の真空ポンプ。
- 複数の電磁コイル(141〜143)が継鉄(146)と共に、ロータ(112)を巡って環状に配置されている、請求項1または2記載の真空ポンプ。
- ステータ(14)が、導電性の材料から成る渦電流式減衰ディスク(62)を有しており、該渦電流式減衰ディスク(62)が、軸方向でロータ側の永久磁石(50)と継鉄(44)との間に配置されている、請求項1から3までのいずれか1項記載の真空ポンプ。
- 複数の距離センサ(160)が、ロータ位置を検出するために唯一つのロータ横断平面に設けられており、該距離センサ(160)が、ロータ(112)の傾倒運動を補償するために電磁コイル(141〜143)を制御する1つの制御装置に接続されている、請求項3または4記載の真空ポンプ。
- 継鉄(44)の一方の自由端部がロータ側の永久磁石(50)の軸方向に、継鉄(44)の他方の自由端部がロータ側の永久磁石(50)の半径方向に、それぞれ配置されている、請求項1から5までのいずれか1項記載の真空ポンプ。
- スラスト磁気軸受け(40)が、ロータ(12)の重心(20)のほぼ半径方向で、2つのラジアル磁気軸受け(16,18)の間に配置されており、両ラジアル磁気軸受け(16,18)が、それぞれロータ重心(20)に対して軸方向の間隔を置いて配置されている、請求項1から6までのいずれか1項記載の真空ポンプ。
- 電磁コイル(42;241〜243)が、半径方向で見て前記永久磁石(54;254)の外側または内側に配置されている、請求項1から7までのいずれか1項記載の真空ポンプ。
- 継鉄(340)と補償磁石(354)との間のエアギャップが、横断平面に対して傾けられている、請求項1から8までのいずれか1項記載の真空ポンプ。
- ラジアル磁気軸受け(16;18)が、軸方向で互いにずれなしに配置されている永久磁石リング(22,24)によって形成されている、請求項1から9までのいずれか1項記載の真空ポンプ。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013515192A (ja) * | 2009-12-22 | 2013-05-02 | ヌオーヴォ ピニォーネ ソシエタ ペル アチオニ | 遠心圧縮機の動的スラストバランス調整 |
JP2016089824A (ja) * | 2014-11-07 | 2016-05-23 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | 真空ポンプ |
Families Citing this family (41)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10119075A1 (de) | 2001-04-19 | 2002-10-24 | Leybold Vakuum Gmbh | Vakuumleitung |
DE20211510U1 (de) * | 2002-07-13 | 2003-11-27 | Leybold Vakuum Gmbh | Magnetlager |
DE10254670A1 (de) * | 2002-11-22 | 2004-06-24 | Minebea Co., Ltd. | Elektromotor für einen Pumpenantrieb |
US6914361B2 (en) | 2003-03-07 | 2005-07-05 | Leybold Vakuum Gmbh | Magnetic bearing |
DE10320851A1 (de) * | 2003-05-09 | 2004-11-25 | Leybold Vakuum Gmbh | Turbopumpe |
DE102004027039B3 (de) * | 2004-06-02 | 2005-11-10 | Technische Universität Chemnitz | Einrichtung zur berührungslosen Messung von Abständen |
DE602004025916D1 (de) * | 2004-07-20 | 2010-04-22 | Varian Spa | Rotationsvakuumpumpe und ihr Auswuchtverfahren |
GB0419152D0 (en) * | 2004-08-27 | 2004-09-29 | Kernow Instr Technology Ltd | A contactless magnetic rotary bearing and a rheometer incorporating such bearing |
US20080211252A1 (en) * | 2005-12-19 | 2008-09-04 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Method and apparatus for repairing bed-liner coatings |
DE102007036692A1 (de) | 2006-09-22 | 2008-03-27 | Ebm-Papst St. Georgen Gmbh & Co. Kg | Lüfter |
US8267636B2 (en) * | 2007-05-08 | 2012-09-18 | Brooks Automation, Inc. | Substrate transport apparatus |
US9752615B2 (en) | 2007-06-27 | 2017-09-05 | Brooks Automation, Inc. | Reduced-complexity self-bearing brushless DC motor |
CN101790673B (zh) | 2007-06-27 | 2013-08-28 | 布鲁克斯自动化公司 | 用于自轴承电机的位置反馈 |
CN102007366B (zh) | 2007-06-27 | 2014-06-18 | 布鲁克斯自动化公司 | 多维位置传感器 |
US8823294B2 (en) * | 2007-06-27 | 2014-09-02 | Brooks Automation, Inc. | Commutation of an electromagnetic propulsion and guidance system |
KR101496654B1 (ko) | 2007-06-27 | 2015-02-27 | 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 | 리프트 능력 및 감소된 코깅 특성들을 가지는 전동기 고정자 |
US8283813B2 (en) | 2007-06-27 | 2012-10-09 | Brooks Automation, Inc. | Robot drive with magnetic spindle bearings |
KR20100056468A (ko) | 2007-07-17 | 2010-05-27 | 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 | 챔버 벽들에 일체화된 모터들을 갖는 기판 처리 장치 |
US20100109463A1 (en) * | 2008-10-31 | 2010-05-06 | University Of Virginia Patent Foundation | Hybrid Five Axis Magnetic Bearing System Using Axial Passive PM Bearing Magnet Paths and Radial Active Magnetic Bearings with Permanent Magnet Bias and Related Method |
US9217439B2 (en) | 2010-07-02 | 2015-12-22 | Edwards Japan Limited | Vacuum pump |
WO2012079654A1 (de) * | 2010-12-16 | 2012-06-21 | Baumüller Nürnberg GmbH | Elektrische maschine, insbesondere eines pumpenaggregates |
US9048701B2 (en) * | 2011-08-30 | 2015-06-02 | Siemens Industry, Inc. | Passive magnetic bearings for rotating equipment including induction machines |
DE102011118661A1 (de) | 2011-11-16 | 2013-05-16 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Reibungsvakuumpumpe |
GB2507501B (en) * | 2012-10-30 | 2015-07-15 | Edwards Ltd | Vacuum pump |
GB2507500B (en) | 2012-10-30 | 2015-06-17 | Edwards Ltd | Vacuum pump |
WO2014119191A1 (ja) * | 2013-01-31 | 2014-08-07 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
DE102013110251A1 (de) * | 2013-09-17 | 2015-03-19 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Anordnung mit einer Vakuumpumpe sowie Verfahren zur Kompensation eines Magnetfeldes wenigstens eines in einer Vakuumpumpe angeordneten, ein magnetisches Störfeld erzeugenden Bauteiles |
JP6427963B2 (ja) * | 2014-06-03 | 2018-11-28 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
EP3106668B1 (de) * | 2015-06-17 | 2020-08-12 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
EP3112689B1 (de) * | 2015-07-01 | 2018-12-05 | Pfeiffer Vacuum GmbH | Splitflow-vakuumpumpe |
DE102016012252A1 (de) * | 2016-07-13 | 2018-01-18 | Schwarzer Precision GmbH & Co. KG | Pumpenbaugruppe für eine Pumpe, Pumpe und Verfahren zur Verringerung oder Beseitigung von Störgeräuschen und/oder Vibrationen bei Pumpen |
GB2553362A (en) * | 2016-09-05 | 2018-03-07 | Edwards Ltd | Vacuum pump assembly |
JP7003418B2 (ja) * | 2017-02-17 | 2022-01-20 | 株式会社島津製作所 | 磁気軸受装置および真空ポンプ |
CN108194374B (zh) * | 2017-12-29 | 2020-02-07 | 李少龙 | 一种磁悬浮内流式转子管道泵 |
GB2578899B (en) * | 2018-11-13 | 2021-05-26 | Edwards Ltd | Vacuum pump |
GB2581203A (en) * | 2019-02-11 | 2020-08-12 | Edwards Ltd | Vacuum pump |
GB2588146A (en) * | 2019-10-09 | 2021-04-21 | Edwards Ltd | Vacuum pump |
JP2022185262A (ja) * | 2021-06-02 | 2022-12-14 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプおよびリークディテクタ |
GB2621346A (en) * | 2022-08-09 | 2024-02-14 | Leybold Gmbh | Vacuum pump |
GB2621344B (en) * | 2022-08-09 | 2024-07-24 | Leybold Gmbh | Magnetic bearing and vacuum pump |
GB2621343A (en) * | 2022-08-09 | 2024-02-14 | Leybold Gmbh | Vacuum pump |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE976816C (de) * | 1950-09-13 | 1964-05-06 | Max Baermann | Magnetische Lagerung und Zentrierung fuer drehbare Teile |
DE2337226A1 (de) * | 1973-07-21 | 1975-02-06 | Maschf Augsburg Nuernberg Ag | Vakuumpumpe mit einem im innenraum ihres gehaeuses gelagerten laeufer |
CH583856A5 (ja) * | 1974-09-27 | 1977-01-14 | Balzers Patent Beteilig Ag | |
DE2524061C3 (de) * | 1975-05-30 | 1980-04-30 | Arthur Pfeiffer-Vakuumtechnik-Wetzlar Gmbh, 6334 Asslar | Magnetisch gelagerte Turbovakuumpumpe mit Fanglager |
US4312628A (en) | 1979-05-21 | 1982-01-26 | Cambridge Thermionic Corporation | Turbomolecular vacuum pump having virtually zero power magnetic bearing assembly with single axis servo control |
JPS5841296A (ja) * | 1981-09-04 | 1983-03-10 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 磁気軸受を応用した小型軸流分子ポンプ |
JPH0646036B2 (ja) * | 1982-11-19 | 1994-06-15 | セイコー電子工業株式会社 | 軸流分子ポンプ |
DE3715216A1 (de) * | 1987-05-07 | 1988-11-17 | Doll Robert | Tauchpumpe, insbesondere fuer tiefsiedende fluessigkeiten |
DE3818556A1 (de) | 1988-06-01 | 1989-12-07 | Pfeiffer Vakuumtechnik | Magnetlager fuer eine schnell rotierende vakuumpumpe |
DE3931661A1 (de) * | 1989-08-25 | 1991-04-04 | Leybold Ag | Magnetgelagerte vakuumpumpe |
JPH04219493A (ja) * | 1990-08-10 | 1992-08-10 | Ebara Corp | ターボ分子ポンプ |
DE4227663A1 (de) | 1992-08-21 | 1994-02-24 | Leybold Ag | Verfahren zur Überprüfung der Betriebsposition des rotierenden Systems einer Vakuumpumpe, vorzugsweise Turbomolekularpumpe |
FR2728738B1 (fr) * | 1994-12-26 | 1997-01-31 | Cit Alcatel | Ensemble tournant comportant notamment des moyens de sustentation radiaux et une butee axiale magnetique |
JPH0921420A (ja) * | 1995-07-06 | 1997-01-21 | Osaka Shinku Kiki Seisakusho:Kk | 高速回転機械の磁気軸受装置 |
US6201329B1 (en) * | 1997-10-27 | 2001-03-13 | Mohawk Innovative Technology, Inc. | Pump having magnetic bearing for pumping blood and the like |
JP3930170B2 (ja) * | 1998-02-18 | 2007-06-13 | 株式会社荏原製作所 | 循環ファン装置 |
-
2000
- 2000-09-02 DE DE10043235A patent/DE10043235A1/de not_active Withdrawn
-
2001
- 2001-08-10 US US10/363,473 patent/US6877963B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-08-10 WO PCT/EP2001/009252 patent/WO2002018794A1/de not_active Application Discontinuation
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- 2001-08-10 EP EP01965186A patent/EP1313951A1/de not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013515192A (ja) * | 2009-12-22 | 2013-05-02 | ヌオーヴォ ピニォーネ ソシエタ ペル アチオニ | 遠心圧縮機の動的スラストバランス調整 |
JP2016089824A (ja) * | 2014-11-07 | 2016-05-23 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | 真空ポンプ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6877963B2 (en) | 2005-04-12 |
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WO2002018794A1 (de) | 2002-03-07 |
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