JP2016089824A - 真空ポンプ - Google Patents
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Abstract
Description
13 ハウジング
16 ローター
18 吸引フランジ
20 吸引開口部
22 予真空フランジ
24 気体退出開口部
26 回転ユニット
28 下部部分
30 回転軸
32 ステーターディスク
34 スペーサー要素
36 ローター軸
38 ローターディスク
40 駆動ユニット
42 ボール支承部
44 永久磁石支承部
46 ステーター側のマグネットリング積層部
48 ステーター側のマグネットリング
50 ローター側のマグネットリング積層部
52 ローター側のマグネットリング
54 間隙
56 キャリア部分
58 支柱
60 保持部分
62 保持部分
64 安全用支承部
66 ボール支承部
68 安全用スリーブ
70 ピン部分
72 間隙
74 保持要素
76 フランジ
78 外側ねじ山
80 キャリア部
82 内側ねじ山
84 貫通孔
86 介入開口部
88 セットスクリュー
A 二重矢印
Claims (14)
- ローター及びステーターを有し少なくとも一つの永久磁石支承部を有する真空ポンプであって、当該永久磁石支承部が、ローター及びステーターの反対方向の回転可能な支承の為に形成されており、およびステーター側に少なくとも一つのマグネットリングの為のキャリア部が設けられている真空ポンプにおいて、
少なくとも一つのマグネットリング(48)を有するキャリア部(80)が、支承部(44)の分解無しに軸方向に位置調整可能なキャリア部(80)として形成されていることを特徴とする真空ポンプ。 - 少なくとも一つのマグネットリング(48)を有するキャリア部(80)が、軸方向に連続的に位置調整可能なキャリア部(80)として形成されていることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。
- キャリア部(80)が、内側ねじ山(82)を有すること、およびステーター側の保持要素(74)に外側ねじ山(78)を有するフランジ(76)が設けられていること、およびキャリア部(80)が、ステーター側のフランジ(76)に回転可能に配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載の真空ポンプ。
- キャリア部(80)がシリンダー形状に形成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
- キャリア部(80)が少なくとも一つの介入開口部(86)を有すること、およびステーター側の保持要素(74)が、少なくとも一つの介入開口部(86)と対応する少なくとも一つの貫通穴(84)を有することを特徴とする請求項3に記載の真空ポンプ。
- 介入開口部(86)が、キャリア部(80)の周囲にわたって放射相称に分配されて配置されていることを特徴とする請求項5に記載の真空ポンプ。
- 少なくとも一つの貫通孔(84)が、長穴として形成されていることを特徴とする請求項5に記載の真空ポンプ。
- 保持要素(74)内のキャリア部(80)の固定の為に少なくとも一つの固定装置(88)が設けられていることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
- ローター(16)及びステーター(18)が、其々少なくとも一つの永久磁石的なリング(48,52)を有していることを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
- ローター(16)及びステーター(18)が、其々一つの永久磁石的なリング積層部(46,50)を有することを特徴とする請求項1から9のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
- キャリア部(80)の内部に、少なくとも一つの安全用支承部(64)が設けられていることを特徴とする請求項1から10のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
- 安全用支承部(64)が、ローラー支承部(66)として形成されていることを特徴とする請求項11に記載の真空ポンプ。
- ローラー支承部(66)が、オイルを使用しないローラー支承部として形成されていることを特徴とする請求項12に記載の真空ポンプ。
- 真空ポンプ(10)がターボ分子ポンプとして形成されていることを特徴とする請求項1から13のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
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Cited By (2)
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---|---|---|---|---|
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Families Citing this family (6)
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6445032U (ja) * | 1987-09-14 | 1989-03-17 | ||
JP2004513277A (ja) * | 2000-09-02 | 2004-04-30 | ライボルト ヴァークウム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 真空ポンプ |
JP2014059059A (ja) * | 2012-09-14 | 2014-04-03 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | 真空ポンプを芯出しするための及び/又は真空ポンプの浮遊磁界若しくは真空ポンプ用の回転機器の浮遊磁界を減少させるための方法 |
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---|---|---|---|---|
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---|---|---|---|---|
JPS6445032U (ja) * | 1987-09-14 | 1989-03-17 | ||
JP2004513277A (ja) * | 2000-09-02 | 2004-04-30 | ライボルト ヴァークウム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 真空ポンプ |
JP2014059059A (ja) * | 2012-09-14 | 2014-04-03 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | 真空ポンプを芯出しするための及び/又は真空ポンプの浮遊磁界若しくは真空ポンプ用の回転機器の浮遊磁界を減少させるための方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017082757A (ja) * | 2015-08-18 | 2017-05-18 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | 真空ポンプ又は回転ユニットの漂遊ベクトル磁場の減少の為の方法並びに真空ポンプ及び回転ユニット |
GB2570006A (en) * | 2018-01-09 | 2019-07-10 | Edwards Ltd | Magnetic bearing and vacuum pump with such a magnetic bearing |
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