DE10022061A1 - Magnetlagerung mit Dämpfung - Google Patents
Magnetlagerung mit DämpfungInfo
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Abstract
Die Erfindung betrifft eine Magnetlagerung für schnell drehende Maschinen (1), insbesondere für Turboverdichter, Reibungsvakuumpumpen oder dergleichen, mit zwei Lagern (3, 4), die jeweils ein Statormagnetringpaket (5, 7) und ein Rotormagnetringpaket (6, 8) umfassen, sowie mit Mitteln (31) zur Dämpfung der Rotorbewegung vorzugsweise in radialer Richtung; zur Vereinfachung der Dämpfungsmittel wird vorgeschlagen, dass die Magnetlager (3, 4) aus konzentrisch zueinander angeordneten Magnetringpaketen (5, 6; 7, 8) bestehen, bei denen das ortsfeste Magnetringpaket (5 bzw. 7) außen und das rotierende Magnetringpaket (6 bzw. 8) innen angeordnet ist, dass die Dämpfungsmittel (32, 54, 55) den äußeren Umfangsflächen von mindestens einem Teil der Magnetringe der jeweils statorseitigen Magnetringpakete (5, 7) zugeordnet sind und aus nicht magnetisierbarem, elektrisch gut leitendem Werkstoff bestehen.
Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Magnetlagerung für
schnell drehende Maschinen, insbesondere für Turbover
dichter, Reibungsvakuumpumpen oder dergleichen, mit
zwei Magnetlagern, die jeweils aus einem statorseitigen
Magnetringpaket und einem rotorseitigen Magnetringpaket
bestehen, sowie mit Mitteln zur Dämpfung der Rotorbewe
gung.
Aus der EP 413 851 A1 ist eine Magnetlagerung dieser
Art bekannt. Sie besteht aus zwei Lagern. Das erste,
passiv ausgebildete Lager weist ineinander greifende
Stator- und Rotormagnetringe auf. Das zweite, axial ak
tiv ausgebildete Lager ist mit zwei axial voneinander
beabstandeten Rotormagnetringen ausgerüstet. In den von
diesen Ringen gebildeten Ringraum greift von außen eine
Ringscheibe aus nicht magnetisierbarem Material hoher
elektrischer Leitfähigkeit ein, welche die gewünschte
Dämpfung insbesondere der radialen Rotorbewegungen be
wirkt. Diese Dämpfung beruht auf der Induktion von Wir
belströmen durch Veränderungen der magnetischen Durch
flutung in dem elektrisch gut leitenden Werkstoff. Die
dabei in der senkrecht vom Magnetfeld durchsetzten
Scheibe induzierten Wirbelströme erzeugen elektromagne
tische Gegenkräfte, die radialen Auslenkungen des Ro
torsystems entgegenwirken und damit diese Bewegungen
dämpfen.
Nachteilig an der vorbekannten Lösung ist zunächst,
dass sowohl die Magnetringe des passiven Lagers als
auch die Magnetringe und die dazwischen angeordnete
Ringscheibe miteinander verzahnt sind. Dadurch ergibt
sich ein hoher Montageaufwand. Außerdem bereiten Ände
rungen in der Länge des Rotors, welche bei Temperatur
belastungen auftreten, Lagerprobleme. Weiterhin ist die
Dämpfung auf den Ort des aktiven Lagers beschränkt, das
heißt, dass die Dämpfung bewirkende Gegenkräfte nur lo
kal auftreten.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde,
eine Magnetlagerung mit den eingangs genannten Merkma
len zu schaffen, bei der die Dämpfung nicht nur auf ei
nes der beiden Lager beschränkt ist und die einfacher
hergestellt und montiert werden kann.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch die kennzeich
nenden Merkmale der Patentansprüche gelöst.
Dadurch, dass die Dämpfungsmittel jedem der Magnet
ringe, zugeordnet werden können, vorzugsweise minde
stens einem Teil der Magnetringe der jeweils statorsei
tigen Magnetringpakete zugeordnet ist, können in beiden
Magnetlagern die Rotorbewegung dämpfende Gegenkräfte
erzeugt werden, also nicht nur im aktiv geregelten La
ger. Eine Verzahnung von statorseitigen und rotorseiti
gen Ringen ist nicht mehr erforderlich. Herstellung und
Montage der Lager sind dadurch im Vergleich zum Stand
der Technik einfacher.
Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sollen
anhand von in den Fig. 1 bis 10 erläutert werden. Es
zeigen
Fig. 1 und 2 eine schematische Darstellung von
Maschinen mit Rotoren, die sich jeweils in ei
ner erfindungsgemäß ausgebildeten Magnetlage
rung abstützen,
Fig. 3 eine Turbomolekular-/Molekularvakuumpumpe
mit der erfindungsgemäßen Lagerung,
Fig. 4 bis 7 Teilschnitte durch Magnetlager
nach der Erfindung mit unterschiedlich gestal
teten Mitteln zur Axialregelung und
Fig. 8 bis 10 Beispiele für Ausführungen der
Magnetlager mit Dämpfungsmitteln.
Bei den in den Fig. 1 und 2 schematisch dargestell
ten Maschinen ist das rotierende System 2 in zwei Ma
gnetlagern 3, 4 aufgehängt. Jedes der Magnetlager 3, 4
besteht aus zwei Ringpaketen 5, 6 (Lager 3) bzw. 7, 8
(Lager 4). Das jeweils innere Ringpaket 5, 7 ist orts
fest montiert, die äußeren Ringpakete 6, 8, die das je
weils innere Ringpaket konzentrisch und berührungsfrei
(Spalt 9) umgeben, sind Bestandteile des rotierenden
Systems 2. Der Aufbau ist insgesamt rotationssymme
trisch. Ein Antriebsmotor ist nicht dargestellt.
Das rotierende System 2 ist auf beiden Stirnseiten mit
zentralen Ausnehmungen 11, 12 versehen. Die Wandungen
dieser Ausnehmungen bilden Aufnahmen 13, 14 für die ro
tierenden Magnetringpakete 6, 8. Bei der Aufnahme 14
handelt es sich um eine rohrförmige Armierung aus nicht
magnetisierbarem Werkstoff, z. B. CFK, welche vorzugs
weise über einen Presssitz am rotierenden System 2 be
festigt ist. Ein die Ausnehmung 12 umgebender Abschnitt
der Armierung 14 trägt auf seiner Innenseite das Magne
tringpaket 8.
In die Ausnehmungen 11, 12 ragen ortsfeste Träger 15,
16 mit Aufnahmen 17, 18 für die ortsfesten Magnetring
pakete 5, 7 derart hinein, dass die äußeren Ringpakete
6, 8 die inneren Pakete 5, 6 konzentrisch umfassen. Die
in den Figuren jeweils unteren Träger 16 weisen eine
zentrale Bohrung 19 für einen Wellenstumpf 20 des ro
tierenden Systems 2 auf, dessen Stirnseite ein Axial
sensor 21 zugeordnet ist.
Der Axialsensor 21 ist Bestandteil der Mittel zur
Axialregelung des Magnetlagers 4. Ein oder mehrere Spu
len 23 mit jeweils einem U-förmigen, zum Ringpaket 8
hin offenen Joch 24 erzeugen die mit gestrichelten Li
nien und Pfeilen 25 angedeuteten Magnetfelder. In den
Fig. 1 und 2 sind jeweils zwei das Ringpaket 8 umge
bende Spulen 23 vorgesehen. Ihre Jochbauteile 24 sind
durch eine Distanzscheibe 26 aus nicht-ferritischem
Werkstoff voneinander getrennt.
Der Steuerung der Spulen bzw. der von den Spulen 23 er
zeugten Magnetfelder in Abhängigkeit der vom Sensor 21
gelieferten Signale dient ein Regler 27. Im Spalt 28
zwischen den jeweils äußeren, rotierenden Ringpaketen
6, 8 und den Spulen 23 bzw. Stirnseiten der Schenkel
der Jochbauteile 24 werden die der Axial-Regelung die
nenden Magnetkräfte wirksam.
Die Ringpakete 5 bis 8 bestehen jeweils aus in axialer
Richtung magnetisierten Ringen, die derart polwechselnd
(beispielhaft angedeutet im Lager 3 nach Fig. 1) ange
ordnet sind, dass die Ringpakete 5, 6 bzw. 7, 8 der Ma
gnetlager 3, 4 einander abstoßen. Vorzugsweise sind so
viele Außen- und Innenringpaare vorgesehen, dass jedes
der Magnetringpakete auf beiden Seiten mit dem gleichen
Magnetpol endet. Bei der Lösung nach Fig. 1 bilden die
Ringpakete 5, 6 bzw. 7, 8 jeweils zwei konzentrisch zu
einander angeordnete Zylinder. Die Abmessungen der Ma
gnetringe der Magnetringpakete 5, 7 bzw. 6, 8 sind
zweckmäßig jeweils identisch. Bei der Lösung nach Fig.
2 verändern sich die Durchmesser der einander zugewand
ten Umfangsflächen der Ringe beider Ringpakete 5, 6
bzw. 7, 8 der Lager 3, 4 stufenweise (gleichsinnig), so
dass auch der Spalt 9 Stufenform hat. Auch der Spalt 28
im Lager 4 kann (anders als in Fig. 2 dargestellt)
Stufenform haben.
Im oberen Lager 3 kann der Querschnitt des rotierenden
Magneten kleiner gehalten werden als im Lager 4. Dies
spart Kosten für Magnetmaterial.
In Lager 4 ist es erforderlich, dass der Spalt 28 zwi
schen Polflächen der Jochbauteile und den Magneten, die
über den konstanten Innendurchmesser des CFK-Rohres ge
halten werden, klein ist, damit das Axiallager auf die
Magneten wirken kann.
Die Ringe der Magnetringpakete 5 bis 8 sind fest in ih
ren Aufnahmen 13, 14, 17, 18 gehaltert. Beiden Stirn
seiten eines jeden Magnetringes liegen kreisringförmige
Distanzscheiben 31 an, die aus nicht ferritischen Werk
stoffen bestehen, damit die magnetischen Kräfte vor
zugsweise in den Spalten 9 bzw. 28 wirksam werden. Hat
der Werkstoff der Distanzringscheiben 31 zusätzlich
elektrisch gut leitende Eigenschaften (z. B. Rupfer),
wird bereits eine Dämpfung der Rotorbewegungen erzielt.
Besonders wirksam sind die Dämpfungsmittel jedoch, wenn
sie den äußeren Umfangsflächen der Magnetringe der sta
torseitigen Magnetringpakete 5, 7 zugeordnet sind. Bei
der Ausführung nach Fig. 1 werden diese Dämpfungsmit
tel von einer Hülse 32 bzw. 33 aus elektrisch gut lei
tendem Werkstoff gebildet, die die Magnetringpakete 5,
7 umgeben.
Die Hülsen haben darüberhinaus die Wirkung, dass sie
die Magnetringe der Magnetringpakete 5, 7 kapseln. Da
durch sind die Magnetwerkstoffe vor aggressiven Gasen
(z. B. Wasserstoff bei Reibungsvakuumpumpen) geschützt.
Als Beispiel sind in Fig. 2 gestufte Hülsen 32, 33 für
die jeweils ortsfesten Ringpakete 5, 7 dargestellt. Sie
sind seitlich von den Ringpaketen mit den zugehörigen
Aufnahmen gasdicht verbunden, z. B. verschweißt. Auch
die rotierenden Magnetringpakete 6, 8 können ähnlich
gekapselt sein.
Vorzugsweise sind die Innen- und Außenringe der Ringpa
kete 5, 6 bzw. 7, 8 jeweils paarweise angeordnet. Zur
Verbesserung der Axialregelung kann es zweckmäßig sein,
dem äußeren, rotierenden Ringpaket 8 des axial aktiven
Magnetlagers 4 weitere Ringe hinzuzufügen. Varianten
dieser Art sind in den Fig. 1 und 2 dargestellt. Das
Ringpaket 8 weist zwei Ringe mehr als das Ringpaket 7
auf. Die beiden äußeren, mit 29 bezeichneten Ringe wur
den dem Paket 8 hinzugefügt. Dabei kann es sich um
weich-ferritische Ringe handeln; vorzugsweise sind aber
zwei weitere Magnetringe hinzugefügt.
Bei der in Fig. 3 dargestellten Maschine 1, eine Tur
bomolekular-/Molekularpumpe, sind im Gehäuse 35 mit dem
Anschlussflansch 36 Statorschaufeln 37 montiert. Der
magnetisch gelagerte Rotor 2 trägt Rotorschaufeln 38,
die zwischen den Statorschaufeln 37 umlaufen und die
Förderung der Gase bewirken. Bei der Pumpe 1 handelt es
sich um eine Compound-Pumpe. An den mit Schaufeln aus
gerüsteten Abschnitt schließt sich ein Molekularpumpen
abschnitt 39 an.
Der Rotor 2 ist in den beiden Magnetlagern 3 und 4 auf
gehängt. Das Magnetlager 3 befindet sich auf der Hoch
vakuumseite. Der Träger 15 des ortsfesten Magnetringpa
ketes 5 mit seiner Aufnahme 17 ist Bestandteil eines
Lagersterns 41.
Das Magnetlager 4 befindet sich auf der Vorvakuumseite
der Pumpe 1. Beide Lager haben etwa die gleiche Stei
figkeit. Der Schwerpunkt des rotierenden Systems 2 ist
mit 42 bezeichnet.
Die Pumpe 1 ist mit Notlauflagern oder Fanglagern 44,
45 ausgerüstet. Das hochvakuumseitige Fanglager 44 be
findet sich in der Rotorausnehmung 11. Das vorvakuum
seitige Fanglager 45 ist unterhalb des Magnetlagers 4
zwischen dem Wellenstumpf 20 und dem ortsfesten Träger
16 angeordnet.
Als Antriebsmotor 46 ist ein Hochfrequenzmotor mit Sta
tor 47 und Anker 48 vorgesehen. Statorseitig ist wei
terhin ein Spaltrohr 49 vorgesehen, das den Statorraum
50 vakuumdicht zur Vorvakuumseite hin abdichtet. Das
Spaltrohr 49 durchsetzt den Spalt 28 zwischen den Spu
len 23 mit ihren Jochbauteilen 24 und dem rotierenden
Magnetringpaket 8. Es besteht deshalb zweckmäßig aus
nicht magnetisierbarem und elektrisch schlecht leiten
dem Werkstoff, z. B. CFK.
Rotorseitig ist die bereits beschriebene rohrförmige
Armierung 14 vorgesehen. Sie armiert nicht nur das
Ringpaket 8 sondern auch den Motoranker 48.
Um Toleranzen auszugleichen, lässt sich das Lager 4
über Justierschrauben 52 einstellen, auf denen der Trä
ger 16 des ortsfesten Ringpaketes 7 ruht. Zweckmäßig
wird so justiert, dass sich das rotierende System axial
im labilen Arbeitspunkt befindet. Um diesen Punkt er
folgt die axiale Regelung mit wenig Energie.
Die Fig. 4 bis 7 zeigen verschiedene Ausführungen
für das aktive Magnetlager 4. Bei der Lösung nach den
Fig. 4 (ohne Magnetfeldlinien) und 5 (mit Magnet
feldlinien) bilden jeweils vier Magnetringe die Ringpa
kete 7 und 8. Nur eine Spule 23 mit ihrem U-förmigen
Joch 24 ist vorgesehen. Der Abstand der Stirnseiten der
U-Schenkel des Jochs 24 entspricht etwa der axialen Ab
messung eines Magnetringes des Ringpaketes 8. Zur Er
zielung einer optimalen Wechselwirkung der Magnetkräfte
liegen die Stirnseiten der U-Schenkel in Höhe der Mit
ten zweier benachbarter Magnetringe des Ringpaketes 8,
bei der dargestellten Ausführung in Höhe der Mitten der
beiden mittleren Magnetringe.
Bei der Ausführung nach Fig. 6 ist ebenfalls nur eine
Spule 23 mit ihrem Joch 24 vorgesehen. Der Abstand der
den Ringen des Ringpaketes 8 zugewandten Stirnseiten
der Schenkel des U-förmigen Jochs 24 entspricht etwa
dem doppelten der axialen Abmessung eines Magnetringes.
Fig. 7 zeigt eine Lösung mit fünf Spulen 23 und Jochen
24. Das Ringpaket 8 weist sechs Magnetringe auf. Die
Stirnseiten der insgesamt sechs Jochschenkel liegen et
wa in der Höhe der Mitten der Magnetringe.
Zwischen jedem der Ringe der Magnetringpakete 7, 8 be
finden sich - wie bereits beschrieben - Distanz
ringscheiben 31, die je nach Werkstoff Einfluss auf die
Ausbildung der Magnetfeldlinien und/oder dämpfende Wir
kung haben.
Zweckmäßige Gestaltungen der Distanzringscheiben 31,
vorzugsweise zur Erzielung einer Dämpfungswirkung, so
wie ergänzende Beschichtungen der Magnetringe werden an
Hand von in den Fig. 8 bis 10 dargestellten Ausfüh
rungen des Magnetlagers 3 erläutert.
Besteht der Werkstoff der Distanzringscheiben 31 aus
einem für die Erzielung der Dämpfungswirkung zweckmäßi
gen Werkstoff mit hoher elektrischer Leitfähigkeit,
kann es zur Verbesserung der Dämpfungswirkung zweckmä
ßig sein, die Ränder der Distanzringscheiben 31 dort,
wo das Magnetfeld in den Spalt 9 eintritt, zu verstär
ken, z. B. kontinuierlich nach außen zunehmend, und die
Form der Magnetringe diesen Rändern anzupassen. In
Fig. 8 ist diese Ausführung dargestellt. Der spaltnahe
verstärkte Rand der mittleren Distanzringscheibe 31 ist
mit 54 bezeichnet. Dadurch, dass die Magnetfelder mehr
leitendes Material durchfluten, werden die von Wirbel
strömen erzeugten, die Dämpfung bewirkenden Gegenkräfte
größer.
Bei der Ausführung nach Fig. 9 sind beispielsweise die
Magnetringe des Ringpaketes 5 allseitig beschichtet
(Beschichtung 55). Seitlich haben sie die Funktion der
Distanzscheiben 31, so dass sie bei ausreichender Dicke
der Beschichtung 55 und geeigneter Werkstoffauswahl die
die Magnetfeldlinien beeinflussende und/oder dämpfende
Wirkung haben. Zusätzlich wird erreicht, dass die Ma
gnetringe vor aggressiven Gasen geschützt sind. Dieser
Schutz kann auch dadurch erreicht werden, dass eine
Hülse 32 vorgesehen ist, sei sie stufenförmig, wie be
reits zu Fig. 2 beschrieben, oder zylindrisch, wie
beispielsweise in Fig. 10 (Ringpaket 5) dargestellt.
Die Distanzringscheiben 31 (bzw. Beschichtung 55) der
Magnetringe müssen ausreichend dick sein, um ihre Zwec
ke zu erfüllen, zumal auch die gewünschte Steifigkeit
des Lagers von der Dicke der Distanzscheiben abhängt.
Bei Reibungspumpen mittlerer Größenordnung hat sich ei
ne Dicke im Bereich von 0,25 bis 1 mm als zweckmäßig
erwiesen.
Weiterhin hat sich die Verwendung von spiralförmig ge
wickelten Folienspulen 23 als zweckmäßig erwiesen, da
ihr Raumbedarf relativ klein ist.
Claims (16)
1. Magnetlagerung für schnell drehende Maschinen (1),
insbesondere für Turboverdichter, Reibungsvakuum
pumpen oder dergleichen, mit zwei Lagern (3, 4),
die jeweils ein Statormagnetringpaket (5, 7) und
ein Rotormagnetringpaket (6, 8) umfassen, sowie
mit Mitteln (31) zur Dämpfung der Rotorbewegung
vorzugsweise in radialer Richtung, dadurch gekenn
zeichnet, dass die Magnetlager (3, 4) aus konzen
trisch zueinander angeordneten Magnetringpaketen
(5, 6; 7, 8) bestehen, bei denen das ortsfeste Ma
gnetringpaket (5 bzw. 7) außen und das rotierende
Magnetringpaket (6 bzw. 8) innen angeordnet ist,
dass die Dämpfungsmittel (32, 54, 55) den äußeren
Umfangsflächen von mindestens einem Teil der Ma
gnetringe der jeweils statorseitigen Magnetringpa
kete (5, 7) zugeordnet sind und aus nicht magneti
sierbarem, elektrisch gut leitendem Werkstoff be
stehen.
2. Magnetlagerung nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, dass die Dämpfungsmittel aus Distanz
ringscheiben (31) bestehen, die zwischen den be
troffenen Magnetringen angeordnet sind, und dass
spaltnahe Ränder (54) der Distanzringscheiben (31)
verstärkt sind.
3. Magnetlagerung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch ge
kennzeichnet, dass als Dämpfungsmittel Hülsen (32)
vorgesehen sind, die die äußeren Umfangsflächen
der statorseitigen Magnetringpakete (5, 7) umfas
sen.
4. Magnetlagerung nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch
gekennzeichnet, dass Magnetringe gekapselt sind
(Beschichtung 55) und dass die Schichten der Kap
selung die Funktion der Dämpfungsmittel haben.
5. Magnetlagerung nach einem der vorhergehenden An
sprüche, dadurch gekennzeichnet, dass auch die ro
tierenden Magnetringpakete (6, 8) mit Dämpfungs
mitteln nach den vorhergehenden Ansprüchen ausge
rüstet sind.
6. Magnetlagerung nach einem der vorhergehenden An
sprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens
eine von einem Lagesensor (21) gesteuerte Spule
(23) sowie Polbauteile (24) das äußere Magnetring
paket (8) des axial geregelten Lagers (4) umgeben.
7. Magnetlagerung nach einem der vorhergehenden An
sprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Anzahl
der Magnetringe der beiden Ringpakete (7, 8) eines
Magnetlagers (3, 4) verschieden ist.
8. Magnetlagerung nach Anspruch 7, dadurch gekenn
zeichnet, dass die Anzahl der Magnetringe des ro
tierenden Magnetringpaketes (6, 8) größer ist als
die Anzahl der Magnetringe des ortsfesten Magne
tringpaares (5, 7).
9. Magnetlagerung nach einem der vorhergehenden An
sprüche, dadurch gekennzeichnet, dass sich die
Durchmesser der einander zugewandten Umfangsflä
chen der Ringe eines Ringpaketpaares (5, 6 bzw. 7,
8) stufenweise ändern.
10. Reibungspumpe mit Rotor und Stator, dadurch ge
kennzeichnet, dass der Rotor (2) in einer Magnet
lagerung nach den vorhergehenden Ansprüchen aufge
hängt ist.
11. Reibungspumpe nach Anspruch 10, dadurch gekenn
zeichnet, dass die Magnetringe der Ringpakete (5,
6, 7, 8) in Aufnahmen befestigt sind und dass als
Aufnahme für die Magnetringe des äußeren Ringpak
tes (8) des axial aktiven Lagers (4) eine rohrför
mige Armierung dient, die mit einem ersten Ab
schnitt am rotierenden System (2) befestigt ist
und mit einem zweiten Abschnitt die Magnetringe
des Ringpaketes (8) trägt.
12. Reibungspumpe nach Anspruch 11, dadurch gekenn
zeichnet, dass die Armierung (14) auch den Anker
(48) eines Antriebsmotors (46) umgibt.
13. Reibungspumpe nach Anspruch 10, 11 oder 12, da
durch gekennzeichnet, dass zentral angeordnete
Träger (15, 16) für die ortsfesten Magnetringpake
te (5, 7) vorgesehen sind, dass einer der Träger
(16, 16) mit einer zentralen Bohrung (19) ausgerü
stet ist, dass ein Wellenstumpf (20) des rotieren
den Systems (2) die Bohrung (19) durchsetzt und
dass der freien Stirnseite des Wellenstumpfes (20)
ein Axialsensor (21) zugeordnet ist.
14. Reibungspumpe nach Anspruch 13, dadurch gekenn
zeichnet, dass einer der Träger (15, 16) axial ju
stierbar ist.
15. Reibungspumpe nach einem der Ansprüche 10 bis 14,
dadurch gekennzeichnet, dass ein Antriebsmotor
(46) mit einem Spaltrohr (49) vorgesehen ist und
dass das Spaltrohr (49) den Spalt (28) des axial
aktiven Lagers (4) durchsetzt.
16. Reibungspumpe nach einem der Ansprüche 10 bis 15,
dadurch gekennzeichnet, dass das passive Lager (3)
auf der Hochvakuumseite, das axial aktive Lager
(4) auf der Vorvakuumseite angeordnet ist.
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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US10/275,459 US6833643B2 (en) | 2000-05-06 | 2001-04-11 | Magnetic bearing with damping |
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---|---|---|---|
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Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007049084A1 (en) | 2005-10-25 | 2007-05-03 | Oroszi Janos | Magnetic bearing for radial and axial load with repulsive permanent magnets |
DE102006021498B4 (de) * | 2006-05-09 | 2008-07-24 | Universität Bremen | Elektrische Wechselstrommaschine |
DE102008035891A1 (de) * | 2008-07-31 | 2010-02-04 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
EP2333344A3 (de) * | 2009-11-26 | 2012-07-18 | Oerlikon Leybold Vacuum GmbH | Vakuumpumpe |
GB2490863A (en) * | 2011-05-06 | 2012-11-21 | Edwards Ltd | A magnetic bearing assembly including a rotating magnet array |
DE102012219982A1 (de) * | 2012-10-31 | 2014-04-30 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
DE102014105581A1 (de) * | 2014-04-17 | 2015-11-05 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
EP3018373A1 (de) * | 2014-11-07 | 2016-05-11 | Pfeiffer Vacuum GmbH | Vakuumpumpe |
EP3088746A1 (de) * | 2015-04-30 | 2016-11-02 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
DE202016003991U1 (de) * | 2016-06-29 | 2017-10-02 | Leybold Gmbh | Vakuumpumpe |
CN112412980A (zh) * | 2020-11-16 | 2021-02-26 | 饶俊 | 永磁偏置径向磁轴承 |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4323759B2 (ja) * | 2002-05-27 | 2009-09-02 | キヤノン株式会社 | 露光装置およびデバイス製造方法 |
US20050194683A1 (en) * | 2004-03-08 | 2005-09-08 | Chen-Hua Yu | Bonding structure and fabrication thereof |
GB0412667D0 (en) * | 2004-06-07 | 2004-07-07 | Boc Group Plc | Vacuum pump impeller |
EP1818553B1 (de) * | 2004-12-01 | 2010-03-03 | JTEKT Corporation | Berührungslager |
CN101326413B (zh) * | 2005-12-06 | 2012-04-25 | 开利公司 | 用于磁力轴承压缩机的急停轴承的润滑系统 |
CN100458198C (zh) * | 2006-11-21 | 2009-02-04 | 浙江大学 | 一种自适应转子重量的永磁推力轴承 |
DE102007032443A1 (de) * | 2007-07-10 | 2009-01-15 | Voith Patent Gmbh | Hybridlager und Verfahren zu dessen Herstellung |
RU2398977C1 (ru) * | 2009-03-17 | 2010-09-10 | Борис Иосифович Кантин | Регулируемая магнитодинамическая опора вертикального ротора |
US8803392B2 (en) * | 2010-06-19 | 2014-08-12 | Peter S. Aronstam | Axial magnetic suspension |
US8941278B2 (en) * | 2010-07-19 | 2015-01-27 | Peter S. Aronstam | Method and apparatus for hybrid suspension system |
DE102013100853A1 (de) * | 2013-01-29 | 2014-07-31 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Verfahren zum Beschichten und/oder Lackieren von Magnetringen eines Rotor-Magnetlagers, Rotor-Magnetlager sowie Vakuumpumpe |
US10125814B2 (en) * | 2013-10-24 | 2018-11-13 | Raymond James Walsh | Passive magnetic bearing |
NO335600B1 (no) * | 2013-05-27 | 2015-01-12 | Inst Energiteknik | Magnetiske lagre |
CN104295603A (zh) * | 2013-07-15 | 2015-01-21 | 卓向东 | 永磁推力轴承及立式磁悬浮电动机 |
EP3376604A1 (de) * | 2017-03-17 | 2018-09-19 | Siemens Aktiengesellschaft | Unterwasserverbindungssystem |
CN108868892B (zh) * | 2018-01-12 | 2024-04-02 | 刘慕华 | 一种转子系统及其控制方法和燃气轮机发电机组及其控制方法 |
CN108708904A (zh) * | 2018-06-26 | 2018-10-26 | 坎德拉(深圳)科技创新有限公司 | 永磁轴承 |
GB2578899B (en) * | 2018-11-13 | 2021-05-26 | Edwards Ltd | Vacuum pump |
US11670336B2 (en) * | 2020-10-08 | 2023-06-06 | Seagate Technology Llc | Magnetic bearings for data storage devices |
GB2607339A (en) * | 2021-06-04 | 2022-12-07 | Edwards Ltd | Holweck drag pump |
JP2023125645A (ja) * | 2022-02-28 | 2023-09-07 | 国立大学法人 岡山大学 | 磁気浮上式電動機および磁気浮上式ポンプ |
GB2621344A (en) * | 2022-08-09 | 2024-02-14 | Leybold Gmbh | Magnetic bearing and vacuum pump |
GB2621346A (en) * | 2022-08-09 | 2024-02-14 | Leybold Gmbh | Vacuum pump |
GB2621345A (en) * | 2022-08-09 | 2024-02-14 | Leybold Gmbh | Vacuum pump |
EP4108930A1 (de) * | 2022-08-31 | 2022-12-28 | Pfeiffer Vacuum Technology AG | Vakuumpumpe mit einem in axialler richtung verstellbaren magnetträger |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3958842A (en) * | 1975-02-03 | 1976-05-25 | Hughes Aircraft Company | Radial magnetic bearing |
DE3239328A1 (de) * | 1982-10-23 | 1984-04-26 | Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik Wetzlar Gmbh, 6334 Asslar | Magnetisch gelagerte turbomolekularpumpe mit schwingungsdaempfung |
EP0413851A1 (de) * | 1989-08-25 | 1991-02-27 | Leybold Aktiengesellschaft | Lagerring für Magnetlager |
DE4436831C2 (de) * | 1993-12-13 | 1997-09-11 | Siemens Ag | Magnetische Lagerung einer Rotorwelle unter Verwendung von Hoch-T¶c¶-Supraleitermaterial |
DE19727550A1 (de) * | 1996-08-21 | 1998-02-26 | Canders Wolf R Prof Dr Ing | Magnetische Lagerung eines Rotors in einem Stator |
DE4232869C2 (de) * | 1991-09-30 | 1999-08-26 | Nsk Ltd | Supraleitende Lagereinheit und Verfahren zu ihrem Betrieb |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4471331A (en) | 1982-11-08 | 1984-09-11 | At&T Technologies, Inc. | Magnetically supported work fixture |
DE3931661A1 (de) | 1989-08-25 | 1991-04-04 | Leybold Ag | Magnetgelagerte vakuumpumpe |
JPH03255220A (ja) | 1990-03-06 | 1991-11-14 | Osaka Shinku Kiki Seisakusho:Kk | 磁気軸受装置 |
FR2659396B1 (fr) * | 1990-03-07 | 1992-05-15 | Cit Alcatel | Pompe a vide pour vide moleculaire propre. |
US5330967A (en) * | 1990-07-17 | 1994-07-19 | Koyo Seiko Co., Ltd. | Superconducting bearing device stabilized by trapped flux |
JPH04219493A (ja) * | 1990-08-10 | 1992-08-10 | Ebara Corp | ターボ分子ポンプ |
US5196748A (en) * | 1991-09-03 | 1993-03-23 | Allied-Signal Inc. | Laminated magnetic structure for superconducting bearings |
JP3961032B2 (ja) | 1993-12-13 | 2007-08-15 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 回転子軸の磁気軸受装置 |
FR2715201B1 (fr) * | 1994-01-19 | 1996-02-09 | Inst Nat Polytech Grenoble | Palier magnétique et ensemble comportant une partie statorique et une partie rotorique suspendue par un tel palier. |
-
2000
- 2000-05-06 DE DE10022061A patent/DE10022061A1/de not_active Withdrawn
-
2001
- 2001-04-11 JP JP2001582724A patent/JP2003532838A/ja active Pending
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- 2001-04-11 US US10/275,459 patent/US6833643B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3958842A (en) * | 1975-02-03 | 1976-05-25 | Hughes Aircraft Company | Radial magnetic bearing |
DE3239328A1 (de) * | 1982-10-23 | 1984-04-26 | Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik Wetzlar Gmbh, 6334 Asslar | Magnetisch gelagerte turbomolekularpumpe mit schwingungsdaempfung |
EP0413851A1 (de) * | 1989-08-25 | 1991-02-27 | Leybold Aktiengesellschaft | Lagerring für Magnetlager |
DE4232869C2 (de) * | 1991-09-30 | 1999-08-26 | Nsk Ltd | Supraleitende Lagereinheit und Verfahren zu ihrem Betrieb |
DE4436831C2 (de) * | 1993-12-13 | 1997-09-11 | Siemens Ag | Magnetische Lagerung einer Rotorwelle unter Verwendung von Hoch-T¶c¶-Supraleitermaterial |
DE19727550A1 (de) * | 1996-08-21 | 1998-02-26 | Canders Wolf R Prof Dr Ing | Magnetische Lagerung eines Rotors in einem Stator |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
JP 03255220 A.,In: Patent Abstracts of Japan * |
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007049084A1 (en) | 2005-10-25 | 2007-05-03 | Oroszi Janos | Magnetic bearing for radial and axial load with repulsive permanent magnets |
DE102006021498B4 (de) * | 2006-05-09 | 2008-07-24 | Universität Bremen | Elektrische Wechselstrommaschine |
DE102008035891A1 (de) * | 2008-07-31 | 2010-02-04 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
US8814542B2 (en) | 2008-07-31 | 2014-08-26 | Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh | Vacuum pump |
EP2333344A3 (de) * | 2009-11-26 | 2012-07-18 | Oerlikon Leybold Vacuum GmbH | Vakuumpumpe |
US9464667B2 (en) | 2011-05-06 | 2016-10-11 | Edwards Limited | Magnetic bearing assembly formed by measuring first and second order transverse stray magnetic fields |
GB2490863A (en) * | 2011-05-06 | 2012-11-21 | Edwards Ltd | A magnetic bearing assembly including a rotating magnet array |
GB2490863B (en) * | 2011-05-06 | 2018-04-18 | Edwards Ltd | Magnetic bearing assembly |
DE102012219982A1 (de) * | 2012-10-31 | 2014-04-30 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
EP2728194A3 (de) * | 2012-10-31 | 2015-06-17 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
DE102014105581A1 (de) * | 2014-04-17 | 2015-11-05 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
EP3018373A1 (de) * | 2014-11-07 | 2016-05-11 | Pfeiffer Vacuum GmbH | Vakuumpumpe |
DE102014116241B4 (de) | 2014-11-07 | 2020-05-28 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
EP3088746A1 (de) * | 2015-04-30 | 2016-11-02 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
DE202016003991U1 (de) * | 2016-06-29 | 2017-10-02 | Leybold Gmbh | Vakuumpumpe |
WO2018001811A1 (de) * | 2016-06-29 | 2018-01-04 | Leybold Gmbh | Vakuumpumpe |
CN112412980A (zh) * | 2020-11-16 | 2021-02-26 | 饶俊 | 永磁偏置径向磁轴承 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
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US6833643B2 (en) | 2004-12-21 |
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