JP5931824B2 - 真空ポンプを芯出しするための及び/又は真空ポンプの浮遊磁界若しくは真空ポンプ用の回転機器の浮遊磁界を減少させるための方法 - Google Patents
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Description
14 ハウジング
16 回転子
18 吸引フランジ
20 吸引口
22 予備真空フランジ
24 気体流出口
26 回転機器
28 下部材
30 回転軸
32 固定子盤
34 離間要素
36 回転軸
38 回転子盤
40 駆動装置
42 転がり軸受
44 永久磁石型磁気軸受
46 固定子側のマグネットリングスタック
48 固定子側のマグネットリング
50 回転子側のマグネットリングスタック
52 回転子側のマグネットリング
54 ギャップ
56 支持部材
58 ブレース
60,62 保持部材
64 安全軸受
66 転がり軸受
68 ベアリングスリーブ
70 ピボット部材
72 軸受ギャップ
74,76,77 領域
Claims (14)
- 真空ポンプ(10)を芯出しするため及び/又は真空ポンプ(10)の浮遊磁界若しくは真空ポンプ(10)用の回転機器(26)の浮遊磁界を減少させるための方法であって、
前記真空ポンプ(10)又は前記回転機器(26)は、1つの回転子(16)と、少なくとも1つの永久磁石型磁気軸受(44)を有する1つの固定子とを備え、この永久磁石型磁気軸受(44)は、この回転子(16)とこの固定子とを相対的に回転可能に軸支するために形成されている当該方法において、
偏心を、及び/又は少なくとも前記真空ポンプ(10)の稼働中に前記軸受(44)によって生成された浮遊磁界を減少させるように、この軸受(44)によって生成された磁界を変化させるため、この軸受(44)の形及び/又はこの軸受の材料に固有の永久磁石特性が、偏心の状態に基づいて及び/又は浮遊磁界の状態に基づいて変更されることを特徴とする方法。 - 前記回転子(16)及び前記固定子はそれぞれ、前記磁気軸受(44)を形成するために少なくとも1つの永久磁石リング(48,52)を有し、偏心及び/又は浮遊磁界を減少させるため、前記永久磁石リング(48,52)のうちの少なくとも1つの永久磁石リングが、当該形及び/又は材料に固有の永久磁石特性に関して変更されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 偏心度及び/又は浮遊磁界が測定され、この測定された偏心度に依存して、及び/又はこの測定された浮遊磁界に依存して、この偏心度及び/又はこの浮遊磁界が減少されるように、当該変更が実施されることを特徴とする請求項1又は2に記載の方法。
- 前記回転子(16)の偏心度が検出され、この回転子(16)の偏心度が減少されるように、前記軸受(44)の回転子側の部分(50)の、形及び/又は材料に固有の永久磁石特性が変更されること、及び
前記固定子の偏心度が検出され、この固定子の偏心度が減少されるように、前記軸受(44)の固定子側の部分(46)の、形及び/又は材料に固有の永久磁石特性が変更されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の方法。 - 浮遊磁界を減少させるため、前記軸受(44)の回転子側の部分(50)の、形及び/又は材料に固有の永久磁石特性が変更されることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の方法。
- 偏心を減少させるため、形及び/又は材料に固有の永久磁石特性が、前記軸受(44)のそれぞれの他方の部分(46,50)に向いている表面を形成する、この軸受(44)の回転子側の部分(50)の領域内(74,76)で及び/又はこの軸受(44)の固定子側の部分(46)の領域内で変更されること、及び/又は
浮遊磁界を減少させるため、形及び/又は材料に固有の永久磁石特性が、前記軸受(44)の固定子側の部分(46)とは反対側の表面を形成する、この軸受(44)の回転子側の部分(50)の領域内で変更されることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の方法。 - 浮遊磁界を変更するため、材料が、前記軸受(44)から除去されることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の方法。
- 前記材料は、切削加工法によって除去されることを特徴とする請求項7に記載の方法。
- 前記軸受(44)は、少なくとも1つの領域(74)内で減磁されることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の方法。
- 前記軸受(44)が、少なくとも1つの領域(74)内で加熱され、この温度より上では、前記軸受(44)の永久磁石材料が、その永久磁石特性の少なくとも一部を持続して消失することを特徴とする請求項9に記載の方法。
- 前記軸受(44)は、レーザー照射による熱線を通じて加熱されることを特徴とする請求項10に記載の方法。
- 請求項1〜11のいずれか1項に記載の方法により製造されるか又は製造可能である真空ポンプ(10)又は真空ポンプ用(10)の回転機器(26)。
- 真空ポンプ(10)又は、真空ポンプ(10)用の回転機器(26)であって、
前記真空ポンプ(10)又は前記回転機器(26)は、1つの回転子(16)と、少なくとも1つの永久磁石型磁気軸受(44)を有する1つの固定子とを備え、この永久磁石型磁気軸受(44)は、この回転子(16)とこの固定子とを相対的に回転可能に軸支するために形成されている当該真空ポンプ又は前記回転機器において、
前記軸受(44)の形及び/又は前記軸受(44)の材料に固有の永久磁石特性が、偏心の状態に基づいて及び/又は浮遊磁界の状態に基づいて変更されていることを特徴とする真空ポンプ又は回転機器。 - 形及び/又は材料に固有の永久磁石特性が、前記軸受(44)のそれぞれの他方の部分(46,50)に向いている表面を形成する、この軸受(44)の回転子側の部分(50)の領域内(74,76)で及び/又はこの軸受(44)の固定子側の部分(46)の領域内で変更されていること、及び/又は
形及び/又は材料に固有の永久磁石特性が、前記軸受(44)の固定子側の部分(46)とは反対側の表面を形成する、この軸受(44)の回転子側の部分(50)の領域内で変更されていることを特徴とする請求項12又は13に記載の装置真空ポンプ又は回転機器。
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