JP5931824B2 - 真空ポンプを芯出しするための及び/又は真空ポンプの浮遊磁界若しくは真空ポンプ用の回転機器の浮遊磁界を減少させるための方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 33
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 58
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 14
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 7
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 19
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 8
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 6
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 4
- 230000005347 demagnetization Effects 0.000 description 4
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 3
- KPLQYGBQNPPQGA-UHFFFAOYSA-N cobalt samarium Chemical compound [Co].[Sm] KPLQYGBQNPPQGA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 3
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N neodymium atom Chemical compound [Nd] QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910000938 samarium–cobalt magnet Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 238000007514 turning Methods 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 238000002788 crimping Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 1
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 1
- AJCDFVKYMIUXCR-UHFFFAOYSA-N oxobarium;oxo(oxoferriooxy)iron Chemical compound [Ba]=O.O=[Fe]O[Fe]=O.O=[Fe]O[Fe]=O.O=[Fe]O[Fe]=O.O=[Fe]O[Fe]=O.O=[Fe]O[Fe]=O.O=[Fe]O[Fe]=O AJCDFVKYMIUXCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 1
- CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N strontium atom Chemical compound [Sr] CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/05—Shafts or bearings, or assemblies thereof, specially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/056—Bearings
- F04D29/058—Bearings magnetic; electromagnetic
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- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/60—Mounting; Assembling; Disassembling
- F04D29/62—Mounting; Assembling; Disassembling of radial or helico-centrifugal pumps
- F04D29/622—Adjusting the clearances between rotary and stationary parts
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- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/60—Mounting; Assembling; Disassembling
- F04D29/64—Mounting; Assembling; Disassembling of axial pumps
- F04D29/642—Mounting; Assembling; Disassembling of axial pumps by adjusting the clearances between rotary and stationary parts
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/66—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing
- F04D29/661—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing especially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/662—Balancing of rotors
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/0408—Passive magnetic bearings
- F16C32/0423—Passive magnetic bearings with permanent magnets on both parts repelling each other
- F16C32/0425—Passive magnetic bearings with permanent magnets on both parts repelling each other for radial load mainly
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
- H01F41/02—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets
- H01F41/0253—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets for manufacturing permanent magnets
- H01F41/0286—Trimming
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2360/00—Engines or pumps
- F16C2360/44—Centrifugal pumps
- F16C2360/45—Turbo-molecular pumps
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
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- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
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Description
14 ハウジング
16 回転子
18 吸引フランジ
20 吸引口
22 予備真空フランジ
24 気体流出口
26 回転機器
28 下部材
30 回転軸
32 固定子盤
34 離間要素
36 回転軸
38 回転子盤
40 駆動装置
42 転がり軸受
44 永久磁石型磁気軸受
46 固定子側のマグネットリングスタック
48 固定子側のマグネットリング
50 回転子側のマグネットリングスタック
52 回転子側のマグネットリング
54 ギャップ
56 支持部材
58 ブレース
60,62 保持部材
64 安全軸受
66 転がり軸受
68 ベアリングスリーブ
70 ピボット部材
72 軸受ギャップ
74,76,77 領域
Claims (14)
- 真空ポンプ(10)を芯出しするため及び/又は真空ポンプ(10)の浮遊磁界若しくは真空ポンプ(10)用の回転機器(26)の浮遊磁界を減少させるための方法であって、
前記真空ポンプ(10)又は前記回転機器(26)は、1つの回転子(16)と、少なくとも1つの永久磁石型磁気軸受(44)を有する1つの固定子とを備え、この永久磁石型磁気軸受(44)は、この回転子(16)とこの固定子とを相対的に回転可能に軸支するために形成されている当該方法において、
偏心を、及び/又は少なくとも前記真空ポンプ(10)の稼働中に前記軸受(44)によって生成された浮遊磁界を減少させるように、この軸受(44)によって生成された磁界を変化させるため、この軸受(44)の形及び/又はこの軸受の材料に固有の永久磁石特性が、偏心の状態に基づいて及び/又は浮遊磁界の状態に基づいて変更されることを特徴とする方法。 - 前記回転子(16)及び前記固定子はそれぞれ、前記磁気軸受(44)を形成するために少なくとも1つの永久磁石リング(48,52)を有し、偏心及び/又は浮遊磁界を減少させるため、前記永久磁石リング(48,52)のうちの少なくとも1つの永久磁石リングが、当該形及び/又は材料に固有の永久磁石特性に関して変更されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 偏心度及び/又は浮遊磁界が測定され、この測定された偏心度に依存して、及び/又はこの測定された浮遊磁界に依存して、この偏心度及び/又はこの浮遊磁界が減少されるように、当該変更が実施されることを特徴とする請求項1又は2に記載の方法。
- 前記回転子(16)の偏心度が検出され、この回転子(16)の偏心度が減少されるように、前記軸受(44)の回転子側の部分(50)の、形及び/又は材料に固有の永久磁石特性が変更されること、及び
前記固定子の偏心度が検出され、この固定子の偏心度が減少されるように、前記軸受(44)の固定子側の部分(46)の、形及び/又は材料に固有の永久磁石特性が変更されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の方法。 - 浮遊磁界を減少させるため、前記軸受(44)の回転子側の部分(50)の、形及び/又は材料に固有の永久磁石特性が変更されることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の方法。
- 偏心を減少させるため、形及び/又は材料に固有の永久磁石特性が、前記軸受(44)のそれぞれの他方の部分(46,50)に向いている表面を形成する、この軸受(44)の回転子側の部分(50)の領域内(74,76)で及び/又はこの軸受(44)の固定子側の部分(46)の領域内で変更されること、及び/又は
浮遊磁界を減少させるため、形及び/又は材料に固有の永久磁石特性が、前記軸受(44)の固定子側の部分(46)とは反対側の表面を形成する、この軸受(44)の回転子側の部分(50)の領域内で変更されることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の方法。 - 浮遊磁界を変更するため、材料が、前記軸受(44)から除去されることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の方法。
- 前記材料は、切削加工法によって除去されることを特徴とする請求項7に記載の方法。
- 前記軸受(44)は、少なくとも1つの領域(74)内で減磁されることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の方法。
- 前記軸受(44)が、少なくとも1つの領域(74)内で加熱され、この温度より上では、前記軸受(44)の永久磁石材料が、その永久磁石特性の少なくとも一部を持続して消失することを特徴とする請求項9に記載の方法。
- 前記軸受(44)は、レーザー照射による熱線を通じて加熱されることを特徴とする請求項10に記載の方法。
- 請求項1〜11のいずれか1項に記載の方法により製造されるか又は製造可能である真空ポンプ(10)又は真空ポンプ用(10)の回転機器(26)。
- 真空ポンプ(10)又は、真空ポンプ(10)用の回転機器(26)であって、
前記真空ポンプ(10)又は前記回転機器(26)は、1つの回転子(16)と、少なくとも1つの永久磁石型磁気軸受(44)を有する1つの固定子とを備え、この永久磁石型磁気軸受(44)は、この回転子(16)とこの固定子とを相対的に回転可能に軸支するために形成されている当該真空ポンプ又は前記回転機器において、
前記軸受(44)の形及び/又は前記軸受(44)の材料に固有の永久磁石特性が、偏心の状態に基づいて及び/又は浮遊磁界の状態に基づいて変更されていることを特徴とする真空ポンプ又は回転機器。 - 形及び/又は材料に固有の永久磁石特性が、前記軸受(44)のそれぞれの他方の部分(46,50)に向いている表面を形成する、この軸受(44)の回転子側の部分(50)の領域内(74,76)で及び/又はこの軸受(44)の固定子側の部分(46)の領域内で変更されていること、及び/又は
形及び/又は材料に固有の永久磁石特性が、前記軸受(44)の固定子側の部分(46)とは反対側の表面を形成する、この軸受(44)の回転子側の部分(50)の領域内で変更されていることを特徴とする請求項12又は13に記載の装置真空ポンプ又は回転機器。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102012216450.2 | 2012-09-14 | ||
DE201210216450 DE102012216450A1 (de) | 2012-09-14 | 2012-09-14 | Verfahren zum Zentrieren einer Vakuumpumpe oder einer Rotationseinheit für eine Vakuumpumpe |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014059059A JP2014059059A (ja) | 2014-04-03 |
JP5931824B2 true JP5931824B2 (ja) | 2016-06-08 |
Family
ID=49123644
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013188971A Active JP5931824B2 (ja) | 2012-09-14 | 2013-09-12 | 真空ポンプを芯出しするための及び/又は真空ポンプの浮遊磁界若しくは真空ポンプ用の回転機器の浮遊磁界を減少させるための方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP2708753B1 (ja) |
JP (1) | JP5931824B2 (ja) |
DE (1) | DE102012216450A1 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102014103060B4 (de) * | 2014-03-07 | 2019-01-03 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Verfahren zum Wuchten eines Rotors einer Vakuumpumpe oder eines Rotors einer Rotationseinheit für eine Vakuumpumpe |
DE102014105581A1 (de) * | 2014-04-17 | 2015-11-05 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
GB201408899D0 (en) | 2014-05-20 | 2014-07-02 | Edwards Ltd | Magnetic bearing |
DE102014116241B4 (de) | 2014-11-07 | 2020-05-28 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
EP3034881B1 (de) * | 2014-12-18 | 2018-10-31 | Pfeiffer Vacuum GmbH | Vakuumpumpe |
DE102015113681B3 (de) | 2015-08-18 | 2016-11-24 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Verfahren zum Reduzieren eines magnetischen Streuvektorfelds einer Vakuumpumpe oder Rotationseinheit sowie Vakuumpumpe und Rotationseinheit |
GB2570006A (en) * | 2018-01-09 | 2019-07-10 | Edwards Ltd | Magnetic bearing and vacuum pump with such a magnetic bearing |
GB2578899B (en) * | 2018-11-13 | 2021-05-26 | Edwards Ltd | Vacuum pump |
EP3708843B1 (de) * | 2020-07-27 | 2022-07-27 | Pfeiffer Vacuum Technology AG | Verfahren zur herstellung eines elektromotors oder eines vakuumgeräts mit einem solchen |
GB2615990B (en) | 2022-01-13 | 2024-04-17 | Edwards Ltd | A pump and a method of reducing a stray magnetic field of the pump |
GB2615365B (en) * | 2022-02-08 | 2024-04-24 | Edwards Ltd | Bearing assembly and vacuum pump |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58119621U (ja) * | 1982-02-09 | 1983-08-15 | 三菱電機株式会社 | 磁気反発形軸受装置 |
JPS6230565A (ja) * | 1985-07-31 | 1987-02-09 | Toshiba Corp | 磁気軸受装置 |
JPH045771Y2 (ja) * | 1986-02-19 | 1992-02-18 | ||
JPH076541B2 (ja) * | 1987-02-24 | 1995-01-30 | 株式会社東芝 | 磁気軸受装置 |
JPH01267389A (ja) * | 1988-04-15 | 1989-10-25 | Hitachi Ltd | 真空ポンプ |
FR2659395B1 (fr) * | 1990-03-07 | 1992-05-15 | Cit Alcatel | Pompe a vide a suspension magnetique. |
JP2541371B2 (ja) * | 1990-12-19 | 1996-10-09 | ダイキン工業株式会社 | 高速度回転真空ポンプの磁気軸受構造 |
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JP3046533B2 (ja) * | 1995-10-11 | 2000-05-29 | 株式会社荏原製作所 | 軸受ユニット |
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DE10321925B4 (de) * | 2003-05-15 | 2008-10-02 | Vacuumschmelze Gmbh & Co. Kg | Radiales Magnetlager, Verfahren zum Zusammenbau eines Magnetlagers sowie Rotationsmaschine mit einem radialen Magnetlager |
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-
2012
- 2012-09-14 DE DE201210216450 patent/DE102012216450A1/de not_active Withdrawn
-
2013
- 2013-08-28 EP EP13182010.2A patent/EP2708753B1/de active Active
- 2013-09-12 JP JP2013188971A patent/JP5931824B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102012216450A1 (de) | 2014-03-20 |
EP2708753A3 (de) | 2015-05-20 |
EP2708753A2 (de) | 2014-03-19 |
EP2708753B1 (de) | 2016-11-23 |
JP2014059059A (ja) | 2014-04-03 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150223 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A601 | Written request for extension of time |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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R250 | Receipt of annual fees |
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