JP2018080609A - ポンプ状態推定装置およびターボ分子ポンプ - Google Patents
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Abstract
Description
さらに好ましい実施形態では、前記コンダクタンス情報は、予め定められた所定ガス種を使用した場合のコンダクタンス情報である。
さらに好ましい実施形態では、前記チャンバ内圧力が準静的状態か否かを判定する状態判定部を備え、前記演算部は、前記状態判定部により準静的状態と判定された場合に前記推定領域および前記導入ガス流量の演算を行う。
さらに好ましい実施形態では、前記相関情報は、前記導入ガスの分子量をM、前記排気口圧をPout、前記導入ガス流量をQin、前記吸気口圧をPin、前記モータ電流値をImtrとした場合に、M,PoutおよびPinをパラメータとしてQin(M,Pout,Pin)と表される第1のデータと、M,PoutおよびQinをパラメータとしてPin(M,Pout,Qin)と表される第2のデータと、M,PoutおよびQinをパラメータとしてImtr(M,Pout,Qin)と表される第3のデータとを含む。
さらに好ましい実施形態では、前記推定領域および前記推定領域における導入ガス流量を、ポンプ運転時間の経過とともに逐次的に推定する。
さらに好ましい実施形態では、前記推定領域におけるポンプ排気口圧が所定閾値以上となったときに警報を発生する警報部をさらに備える。
さらに好ましい実施形態では、前記推定領域は前記ガスの分子量に応じて複数の部分領域に分割されると共に、前記部分領域毎に許容流量値が設定され、少なくとも一つの前記部分領域において前記演算した導入ガス流量が該部分領域の前記許容流量値以上となったときに、警報を発生する警報部をさらに備える。
さらに好ましい実施形態では、ポンプ状態推定装置は、前記推定領域のガス種範囲内に所定ガス種を予め設定し、前記所定ガス種が前記演算部で演算された導入ガス流量だけ流れている場合のロータ温度を推定するロータ温度推定部と、前記ロータ温度推定部で推定した前記ロータ温度におけるロータ寿命時間の逆数値の時間積算値に基づいて、クリープ寿命か否かを判定するクリープ寿命判定部とを備える。
本発明の好ましい実施形態によるターボ分子ポンプは、上述のポンプ状態推定装置を備える。
−第1の実施の形態−
図1は、本実施の形態のポンプ状態推定装置8を備える真空システムの一例を示すブロック図である。真空システムとしては、例えばエッチング装置等があげられ、プロセスチャンバ1においてエッチング処理が行われる。真空システム全体の制御は、メインコントローラ5にて行われる。
Qin=Qin(M、Pout、Pin) …(1)
Pin=Pin(M、Pout、Qin) …(2)
Imtr=Imtr(M、Pout、Qin) …(3)
Qin_est=C×(Pc−Pin_est) …(4)
Qin_est=(Qin/Pin)×Pin_est …(5)
Pin_est=[C/{C+(Qin/Pin)}]×Pc …(6)
図2は、演算部81で行われる排気状態推定に関する演算処理の一例を示すフローチャートである。式(1)、(2)から分かるように、一組の(M、Pout)に対して複数のデータ(Pin、Qin)が求まるが、ステップS10では、その内の一つを用いて(Qin/Pin)を算出する。
上述した推定曲線L2およびQin_est曲線L3は、コンダクタンス情報C、チャンバ内圧力Pcおよびモータ電流値Imtrを取得するたびに算出されるので、推定曲線L2およびQin_est曲線L3の時間的な推移から生成物堆積量の評価およびクリープ歪み進展に対する予防保全動作を行うことができる。生成物堆積量の評価および予防保全動作の処理は推定部82において行われる。
上述のように、推定曲線L2および流量推定値Qin_estを用いることによって生成物堆積の状況およびクリープ歪み進展状況を把握することができる。図7は、推定曲線L2を利用した生成物堆積に対する予防保全動作を説明する図である。(M、Pout)面上における推定曲線L2は、分子量M=M1においてPoutが極大となるような凸曲線になっている。図3において説明したように、図7はポンプ排気速度がアルゴンガスで最大となる場合の推定曲線L2を示したものであり、分子量M1のガスはアルゴンガスである。
図8は、流量推定値Qin_estを利用したクリープ歪みに関する予防保全動作を説明する図である。図8は、図6に導入ガス流量Qinの許容流量Qin_lmtを示す平面S3を追加したものである。一般的に、導入ガス流量Qinとロータ温度とにはある程度の相関がある。ここでは、クリープ歪みの進展が著しくなるロータ温度に対応する導入ガス流量Qinを、許容流量Qin_lmtとする。なお、後述するように、許容流量Qin_lmtはガス種や排気口圧Poutにも依存する。流量推定値Qin_estが許容流量Qin_lmt以上となるポンプ状態ではクリープ歪みの進展が著しいので、そのような場合には、図1の推定部82は、クリープ歪み警報信号を出力する。
図10は、記憶部83に予め記憶しているターボ分子ポンプ3の排気特性データの一例を示したものであり、ガスの分子量Mおよび排気口圧Poutと許容流量Qin_lmtとの関係を示す図である。図10の横軸はガスの分子量Mを表しており、縦軸は許容流量Qin_lmtを表す。曲線群LG1は、排気口圧Poutを固定した場合の分子量Mと許容流量Qin_lmtとの関係を示す曲線群である。例えば、曲線L4(Pout1)、L4(Pout2)、L4(Pout3)は、それぞれ排気口圧がPout1、Pout2、Pout3の場合の分子量Mと許容流量Qin_lmtとの関係を示す曲線である。また、範囲MRは推定されたガス種Mの範囲を示している。使用可能性のあるガス種はこの範囲に含まれ、M1は基準ガスに設定されたガスの分子量を表している。通常、基準ガスとしてはターボ分子ポンプ排気における代表的なガスであるアルゴンあるいは窒素を用いるが、必ずしもこれらに限定する必要はない。
判定方法2では、演算部81でロータ温度を推定してクリープ寿命の判定を行う。図11は、分子量Mを範囲MRの任意の一つ(M=M1)に固定した場合の、導入ガス流量Qinとロータ温度Trとの関係を示す図である。図11の横軸は導入ガス流量Qinを表しており、縦軸はロータ温度Trを表している。曲線群LG2は、排気口圧Poutを固定した場合の導入ガス流量Qinとロータ温度Trとの関係を示す曲線群である。例えば、曲線L7(Pout1)、L7(Pout2)、L7(Pout3)は、それぞれ排気口圧がPout1、Pout2、Pout3の場合の導入ガス流量Qinとロータ温度Trとの関係を示す曲線である。これらのデータは、予め記憶部83に記憶されている。
(C1)ポンプ状態推定装置8は、ターボ分子ポンプ3のポンプ単体に関する、吸気口圧Pin、排気口圧Pout、導入ガスの種類、導入ガス流量Qin、およびモータ電流値Imtrの間の相関情報を記憶する記憶部83と、ポンプ運転中におけるプロセスチャンバ1からターボ分子ポンプ3までの流路コンダクタンスに関するコンダクタンス情報C、モータ電流値Imtrおよびプロセスチャンバ1のチャンバ内圧力Pcと上記相関情報とに基づいて、導入ガスの種類およびポンプ排気口圧の推定領域(例えば、推定曲線L2で表される(Mest、Pout_est)の範囲)と推定領域における導入ガス流量(例えば、曲線L3で表される流量推定値Qin_est)とを演算する演算部81と、を備える。
Claims (9)
- ガスを導入しつつプロセスが行われる真空チャンバを排気するターボ分子ポンプの、ポンプ状態を推定するポンプ状態推定装置であって、
前記ターボ分子ポンプのポンプ単体に関する、吸気口圧、排気口圧、導入ガスの種類、導入ガス流量およびモータ電流値の間の相関情報を記憶する記憶部と、
ポンプ運転中における前記真空チャンバから前記ターボ分子ポンプまでの流路コンダクタンスに関するコンダクタンス情報、モータ電流値および前記真空チャンバのチャンバ内圧力と前記相関情報とに基づいて、前記導入ガスの種類およびポンプ排気口圧の推定領域と前記推定領域における導入ガス流量とを演算する演算部と、を備えるポンプ状態推定装置。 - 請求項1に記載のポンプ状態推定装置において、
前記コンダクタンス情報は、予め定められた所定ガス種を使用した場合のコンダクタンス情報である、ポンプ状態推定装置。 - 請求項1または2に記載のポンプ状態推定装置において、
前記チャンバ内圧力が準静的状態か否かを判定する状態判定部を備え、
前記演算部は、前記状態判定部により準静的状態と判定された場合に前記推定領域および前記導入ガス流量の演算を行う、ポンプ状態推定装置。 - 請求項1に記載のポンプ状態推定装置において、
前記相関情報は、前記導入ガスの分子量をM、前記排気口圧をPout、前記導入ガス流量をQin、前記吸気口圧をPin、前記モータ電流値をImtrとした場合に、M,PoutおよびPinをパラメータとしてQin(M,Pout,Pin)と表される第1のデータと、M,PoutおよびQinをパラメータとしてPin(M,Pout,Qin)と表される第2のデータと、M,PoutおよびQinをパラメータとしてImtr(M,Pout,Qin)と表される第3のデータとを含む、ポンプ状態推定装置。 - 請求項1から請求項4までのいずれか一項に記載のポンプ状態推定装置において、
前記推定領域および前記推定領域における導入ガス流量を、ポンプ運転時間の経過とともに逐次的に推定する、ポンプ状態推定装置。 - 請求項5に記載のポンプ状態推定装置において、
前記推定領域におけるポンプ排気口圧が所定閾値以上となったときに警報を発生する警報部をさらに備える、ポンプ状態推定装置。 - 請求項5に記載のポンプ状態推定装置において、
前記推定領域は前記ガスの分子量に応じて複数の部分領域に分割されると共に、前記部分領域毎に許容流量値が設定され、
少なくとも一つの前記部分領域において前記演算した導入ガス流量が該部分領域の前記許容流量値以上となったときに、警報を発生する警報部をさらに備える、ポンプ状態推定装置。 - 請求項5に記載のポンプ状態推定装置において、
前記推定領域のガス種範囲内に所定ガス種を予め設定し、前記所定ガス種が前記演算部で演算された導入ガス流量だけ流れている場合のロータ温度を推定するロータ温度推定部と、
前記ロータ温度推定部で推定した前記ロータ温度におけるロータ寿命時間の逆数値の時間積算値に基づいて、クリープ寿命を推定するリープ寿命推定部とを備える、ポンプ状態推定装置。 - 請求項1から請求項8までの少なくとも一項に記載のポンプ状態推定装置を備える、ターボ分子ポンプ。
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