CN112219034B - 真空泵及温度控制装置 - Google Patents

Abstract

提供真空泵及温度控制装置，前述真空泵及温度控制装置能够以简易的结构防止随着温度传感器的异常而产生的泵的过度加热、过度冷却，前述温度传感器用于为了防止产物的堆积而设置的加热器或水冷用电磁阀的控制。温度传感器系统故障而测量温度在上限值和下限值之间恒定地持续那样的情况下，产生过度加热、过度冷却的不良情况，所以将其避免。TMS功能是将温度传感器的测量温度控制成目标温度那样的功能，所以若加热的对象、加热器容量等应用被特定的话，加热器、水冷用电磁阀的开启/关闭进行重复相同的循环那样的动作，确定继续地维持开启/关闭状态的时间上的上限。相对于该上限设置考虑余量度的允许时间，由此，改变开启/关闭状态，使得万一超过其允许时间不继续维持开启状态或关闭状态。

Description

真空泵及温度控制装置

技术领域

本发明涉及真空泵及温度控制装置，特别涉及如下真空泵及温度控制装置：能够以简易的结构防止随着温度传感器的异常而产生的泵的过度加热、过度冷却，前述温度传感器用于为了防止产物的堆积而设置的加热器或水冷用电磁阀的控制。

背景技术

随着近年的电子工学的发展，存储器、集积回路这样的半导体的需求急剧增大。

这些半导体通过向纯度极高的半导体基板掺杂杂质来赋予电气性质，通过蚀刻在半导体基板上形成精细的回路等而被制造。

并且，这些作业为了避免由于空气中的灰尘等造成的影响而需要在高真空状态的腔内进行。该腔的排气一般使用真空泵，但特别地从残留气体少而保养容易等观点考虑多使用真空泵中的一个的涡轮分子泵。

此外，半导体的制造工序中，使各种各样的工艺气体作用于半导体的基板的工序数较多，涡轮分子泵不仅用于使腔内真空，也被用于将这些工艺气体从腔内排气。

但是，有工艺气体为了提高反应性而被以高温的状态导入腔的情况。并且，这些工艺气体有若为被排出时被冷却的温度则作为固体向排气系统析出产物的情况。并且，这种工艺气体在涡轮分子泵内为低温且为固体状，有附着于涡轮分子泵内部而堆积的情况。

若工艺气体的析出物堆积于涡轮分子泵内部，则该堆积物使泵流路变窄，成为使涡轮分子泵的性能下降的原因。

为了解决该问题，以往在涡轮分子泵的基部等外周卷绕加热器、环状的水冷管且例如在基部等埋入温度传感器，进行加热器的加热、水冷管的冷却的控制（以下称作TMS。TMS；Temperature Management System），使得基于该温度传感器的信号将基部的温度保持在一定的范围的高温 （参照专利文献1、专利文献2）。

TMS的控制温度较高的话产物难以堆积，所以希望该温度尽可能变高。

另一方面，这样地使基部为高温时，涡轮分子泵的主体内具备的电子回路在排气负荷的变动、周围温度变化成高温的情况下等有超过极限温度而基于半导体存储器的储存机构被破坏的可能。此时，半导体存储器损坏而泵起动时间、错误历史等维护信息数据消失。

维护信息数据消失的情况下，也无法判断保养检查的时期、涡轮分子泵的更换时期等。因此，涡轮分子泵的运用上产生较大的障碍。因此，在超过既定温度的情况下进行基于水冷管的冷却。

将该TMS控制的一例在图7的流程图和图8的时机图表表示。图8的时机图表中关于加热器的控制将时刻在横轴表示，将被温度传感器测量的温度值在纵轴表示。此外，加热器的开启和关闭的状态也在纵轴表示。另外，用于控制水向水冷管流动的电磁阀的开闭借助被另外配设的温度传感器作为与加热器的控制独立的控制被进行。但是，关于该电磁阀的控制方法，与该加热器的控制相同，所以省略流程图和时机图表。

该例中，借助温度传感器测量涡轮分子泵的基部的温度，相对于加热器发送加热指令或为了控制水向水冷管的流动而将电磁阀开闭，使得测量温度为预先设定的基部的允许温度以下。

即，图7和图8中，控制装置开始运转后，将加热器开启来持续加热至时刻t2的初始阶段。此时，基于图7的流程图借助控制用中央处理器进行处理。即，TMS控制在每一定的取样周期Δt时间根据该流程图动作。首先，在至时刻t1的阶段中，在步骤1（图中简略为S1。以下相同）中开始加热器的控制，在步骤2中判定成由温度传感器测量的测量温度不足下限值，所以在步骤3开启加热器，在步骤4结束控制。至时刻t1的每个取样周期Δt时间的控制中重复该动作。

经过时刻t1至时刻t2的取样周期Δt中，在步骤1开始加热器的控制，在步骤2，判定成由温度传感器测量的测量温度为下限值以上，所以进入步骤5。但是，该步骤5中，测量温度不足上限值，所以进入步骤4而控制结束。即，直至到达上限值的时刻t2，加热器的开启被维持而持续加热。

时刻t2时首次在步骤5判定成超过上限值，所以进入步骤6而关闭加热器。

在上限值关闭加热器后也由于热容的关系，基部的温度不会急剧下降，而是描绘过冲曲线。另一方面，在超过该上限值的附近，另外进行电磁阀的控制，电磁阀打开而从水冷管供给水。

过冲后，在至时刻t3的取样周期Δt时间中在步骤2并非不足下限值，在步骤5也不高于上限值，所以原样到达步骤4。因此，加热器关闭的状态被继续维持。

并且，时刻t3在基部的温度不足下限值时在步骤2中判定成不足下限值，进入步骤3再次开启加热器。并且，通过在不足该下限值的附近另外进行的电磁阀的控制关闭电磁阀。

专利文献1：日本特开2002-257079号公报。

专利文献2：日本特许第5782378号公报。

但是，为了进行TMS控制，作为温度传感器使用热敏电阻那样的情况下，缆线断线时热敏电阻的电阻值为无限大。此时，从电阻值电压转换的温度值例如检测成-150度。另一方面，短路的情况下电阻值为零，电压转换的温度值例如检测为600度等异常的温度。

此外，温度传感器与泵的壁部之间产生间隙或经由壁部的铝而短路等温度传感器未被正确配置的状态下测量的温度值也有不为前述那样的特异值的情况。

进而，使用串行通信的温度传感器的情况下，温度传感器系统损坏时有被锁定为最后的测量温度的情况。

无法检查这样的状况而TMS控制原样继续的情况下，有发生泵的过度加热、过度冷却等而对泵的功能造成损害的情况。

发明内容

本发明是鉴于这样的以往的问题而作出的，其目的在于提供真空泵及温度控制装置，前述真空泵及温度控制装置能够以简易的结构防止随着温度传感器的异常而产生的泵的过度加热、过度冷却，前述温度传感器用于为了防止产物的堆积而设置的加热器或水冷用电磁阀的控制。

因此本发明（技术方案1）是真空泵的发明是一种真空泵，前述真空泵具备温度传感器和温度控制，前述温度传感器测量泵的温度，前述温度控制进行加热器及/或冷却装置的控制，使得由该温度传感器测量的温度重复上限值和下限值地经过，其特征在于，该温度控制具有被设定的规定时间，使得包括通常运转时从前述上限值至下一个前述下限值、及从前述下限值至下一个前述上限值的经过时间，无法确认前述上限值或前述下限值的状态的变化的状态下超过前述规定时间时，将前述加热器及/或前述冷却装置的控制强制地进行，实现前述状态的变化，及/或进行异常的通知。

温度控制中设定规定时间，使得一定包括通常运转时从上限值至下一个下限值、及从下限值至下一个的上限值的经过时间。

温度传感器正常动作的情况下进行上限值和下限值之间的重复的控制。

因此不会超过规定时间。

但是，无法确认上限值或下限值的状态的变化的状态下超过规定时间时，判断成发生温度传感器系统的异常。此时，将加热器及/或冷却装置的控制强制地进行，实现状态的变化。由此，能够将泵的运转安全地持续。此外，能够通知异常。进行此时的判断无需另外的异常监视用的温度传感器，能够通过软件处理实现。

此外，本发明（技术方案2）是真空泵的发明，其特征在于，设定成，前述规定时间包括不足前述下限值的经过时间、及超过前述上限值的经过时间。

不只能够在上限值和下限值的的两个温度阈值之间考虑温度传感器系统的损害风险，在测量温度不足下限值的区域、比上限值高的区域也能够考虑温度传感器系统的损害。因此，能够在所有的温度区域检查温度传感器系统的故障。

进而，本发明（技术方案3）是温度控制装置的发明，具备对象物和温度传感器，前述对象物被温度控制，前述温度传感器测量该对象物的温度，进行加热器及/或冷却装置的控制，使得由该温度传感器测量的温度重复上限值和下限值地经过，其特征在于，具有被设定的规定时间，使得包括通常运转时从前述上限值至下一个前述下限值、及从前述下限值至下一个前述上限值的经过时间，无法确认前述上限值或前述下限值的状态的变化的状态下超过前述规定时间时，将前述加热器及/或前述冷却装置的控制强制地进行，实现前述状态的变化，及/或进行异常的通知。

发明效果

如以上那样说明，根据本发明（技术方案1），构成为，无法确认上限值或下限值的状态的变化的状态超过规定时间时，强制进行加热器及/或冷却装置的控制，实现状态的变化，及/或进行异常的通知，所以能够将泵的运转安全地持续。此外，能够通知异常。为了进行此时的判断而无需另外的异常监视用的温度传感器，能够通过软件处理来实现。

附图说明

图1是本发明的实施方式的加热器系统的系统结构图。

图2是涡轮分子泵的结构图。

图3是本实施方式的TMS控制的流程图。

图4是温度传感器系统故障时的TMS控制的时机图表。

图5是本实施方式的其他方式的流程图（其1）。

图6是本实施方式的其他方式的流程图（其2）。

图7是表示TMS控制的一例的流程图（以往）。

图8是表示TMS控制的一例的时机图表（以往）。

具体实施方式

以下，对本发明的实施方式进行说明。将本发明的实施方式的加热器系统的系统结构图在图1表示，此外，在图2表示涡轮分子泵的结构图。

图1中控制装置200被与泵主体100分体地记载，但即使涡轮分子泵为泵主体100和控制装置200被一体化也能够应用本实施方式。

在控制装置200配设有进行泵的控制的泵控制部1。并且，该泵控制部1将进行磁轴承的控制的磁轴承控制部3和进行马达的控制的马达旋转控制部5监视控制。在后述的泵主体100的基部129卷绕加热器7，在该加热器7的附近配设有用于检测该基部129的温度的温度传感器9。并且，在该控制装置200配设有用于进行TMS控制的温度控制部11。该温度控制部11将由温度传感器9检测的温度借助温度测量部13转换成既定的温度信号，将该温度信号作为测量温度值输入。该测量温度值超过后述的阈值时生成开启/关闭信号，该开启/关闭信号被相对于加热器输出部15输出。加热器输出部15中基于被输入的开启/关闭信号将加热器7加热或停止。并且，温度控制部11检测温度传感器系统的异常时相对于泵控制部1发出异常通知信号17。

另外，在本实施方式中，对加热器系统的系统结构图进行说明，但关于电磁阀系统的系统结构图也为相同的结构。

接着，对泵主体100进行说明。

图2中，在泵主体100的圆筒状的外筒127的上端形成有吸气口101。在外筒127的内侧具备旋转体103，前述旋转体103把用于将气体抽吸排出的涡轮叶片的多个旋转翼102a、102b、102c・・・在周部放射状且多层地形成。

在该旋转体103的中心安装有转子轴113，该转子轴113例如借助所谓的5轴控制的磁轴承被在空中悬浮支承且被位置控制。

上侧径向电磁铁104为，4个电磁铁被在转子轴113的径向的坐标轴且互相正交的X轴和Y轴上成对地配置。与该上侧径向电磁铁104接近且对应地具备由4个电磁铁构成的上侧径向传感器107。该上侧径向传感器107构成为，检测转子轴113的径向位移，送向控制装置200。

在控制装置200，基于上侧径向传感器107检测的位移信号，经由具有PID调节功能的补偿回路控制上侧径向电磁铁104的励磁，调整转子轴113的上侧的径向位置。

转子轴113由高透磁率材料（铁等）等形成，被上侧径向电磁铁104的磁力吸引。该调整被在X轴方向和Y轴方向上分别独立地进行。

此外，下侧径向电磁铁105及下侧径向传感器108被与上侧径向电磁铁104及上侧径向传感器107相同地配置，将转子轴113的下侧的径向位置与上侧的径向位置相同地调整。

进而，轴向电磁铁106A、106B被转子轴113的下部所具备的圆板状的金属盘111上下夹持地配置。金属盘111由铁等的高透磁率材料构成。为了检测转子轴113的轴向位移而具备轴向传感器109，构成为其轴向位移信号被送向控制装置200。

并且，轴向电磁铁106A、106B基于该轴向位移信号经由具有控制装置200的PID调节功能的补偿回路被励磁控制。轴向电磁铁106A和轴向电磁铁106B借助磁力将金属盘111分别向上方和下方吸引。

这样，控制装置200适当调节该轴向电磁铁106A、106B作用于金属盘111的磁力，使转子轴113在轴向上磁悬浮，在空间上非接触地保持。

马达121具备以包围转子轴113的方式周状地配置的多个磁极。各磁极被控制装置200控制，使得借助作用于各磁极与转子轴113之间的电磁力将转子轴113旋转驱动。

与旋转翼102a、102b、102c・・・隔开些许空隙地配设有多张固定翼123a、123b、123c・・・。旋转翼102a、102b、102c・・・分别将排出气体的分子通过碰撞向下方移送，所以被从与转子轴113的轴线垂直的平面以既定的角度倾斜地形成。

此外，固定翼123也同样地从与转子轴113的轴线垂直的平面以既定的角度倾斜地形成，且被向外筒127的内侧与旋转翼102的层交替地配设。

并且，固定翼123的一端被以嵌插于多个被层叠的固定翼间隔件125a、125b、125c・・・之间的状态支承。

固定翼间隔件125是环状的部件，例如由铝、铁、不锈钢、铜等金属、或将这些金属作为成分包含的合金等的金属构成。

在固定翼间隔件125的外周隔开些许空隙地固定有外筒127。在外筒127的底部配设有基部129，在固定翼间隔件125的下部与基部129之间配设有带螺纹的间隔件131。并且，在基部129中的带螺纹的间隔件131的下部形成有排气口133，与外部连通。

带螺纹的间隔件131为由铝、铜、不锈钢、铁、或将这些金属作为成分的合金等的金属构成的圆筒状的部件，在其内周面刻设有多条螺旋状的螺纹槽131a。

螺纹槽131a的螺旋的方向为，排出气体的分子沿旋转体103的旋转方向移动时该分子被向排气口133移送的方向。

在与旋转体103的旋转翼102a、102b、102c・・・连续的最下部，圆筒部102d垂下。该圆筒部102d的外周面为圆筒状，且向带螺纹的间隔件131的内周面伸出，与该带螺纹的间隔件131的内周面隔着既定的间隙地接近。

基部129为构成涡轮分子泵10的基底部的圆盘状的部件，一般由铁、铝、不锈钢等金属构成。此外，在该基部129埋设有未图示的水冷管。并且，在水冷管的侧部配设有未图示的水冷用的温度传感器。

基部129将涡轮分子泵10物理性地保持且也兼具热的传导路的功能，所以具有铁、铝、铜等的刚性，希望使用热传导率也高的金属。

在该结构中，旋转翼102被马达121驱动而与转子轴113一同旋转时，通过旋转翼102与固定翼123的相互作用，穿过吸气口101抽吸来自腔的排出气体。

被从吸气口101抽吸的排出气体穿过旋转翼102与固定翼123之间被向基部129移送。此时，由于排出气体与旋转翼102接触或碰撞时产生的摩擦热、由马达121产生的热的传导、辐射等，旋转翼102的温度上升，但该热由于辐射或基于排出气体的气体分子等的传导而被向固定翼123侧传递。

固定翼间隔件125在外周部互相接合，固定翼123将从旋转翼102接收的热、排出气体与固定翼123接触或碰撞时产生的摩擦热等向外筒127、带螺纹的间隔件131传递。

向带螺纹的间隔件131移送来的排出气体被螺纹槽131a引导且被送向排气口133。

接着，对本实施方式的作用进行说明。

在图3表示本实施方式的TMS控制的流程图。此外，在图4表示温度传感器系统故障时的TMS控制的时机图表。另外，关于与图7、图8相同的要素标注相同的附图标记而省略说明。

例如，加热器控制的情况下，一般为了避免开启/关闭的反复而设置上限/下限的两个温度阈值，控制成测量温度在下限值以下的话开启加热器7，在上限值以上的话关闭加热器7。下限值以下的状态下温度传感器9故障的情况下检测为“低温异常”，上限值以上的状态下温度传感器9故障的情况下检测为“高温异常”。

在上限值和下限值之间的状态下温度传感器9故障的情况下，以往无法进行异常检查。然而，在该温度范围维持一定温度在实际运转中不进行的情况下，在本实施方式中，通过设置规定时间，判断成在温度传感器9由发生损害的风险，使加热器7的输出状态变化。

以下，设想在图4的时刻t100温度传感器系统故障而测量温度在上限值与下限值之间恒定持续的情况。

如图4所示，时刻t96时为由温度传感器9测量的测量温度超过上限值的状态。该时刻t96的控制中，首先，在图3的步骤1中开始加热器控制。步骤2中由温度传感器9测量的测量温度由温度控制部11判定成不足下限值，所以进入步骤5。步骤5中由温度传感器9测量的测量温度超过上限值所以进入步骤6而关闭加热器7。但是，步骤6中加热器输出部15关闭加热器7的同时将计时器初始化。其后，在步骤4中该控制结束。此外，在该时刻t96的附近，通过使用另外用于水冷而配设的温度传感器的控制打开电磁阀，所以借助水冷管冷却基部129的温度。但是，水冷用的温度传感器和加热器用的温度传感器配设于不同的部位，所以用于水冷而设置的上限值和下限值一般与该加热器用的上限值和下限值稍微不同。

在时刻t97为由温度传感器9测量的测量温度在过冲后不足上限值的状态。时刻t96以后也在到达时刻t97为止在每个取样周期Δt时间进行根据图3的流程图的动作。其间，由温度传感器9测量的测量温度维持超过上限值的状态，所以在步骤6维持加热器7的关闭。此时计时器的计数继续。

在时刻t98为由温度传感器9测量的测量温度不足下限值的状态。时刻t97之后至时刻t98也在每个取样周期Δt时间进行根据图3的流程图的动作。此时，判定成步骤2中由温度传感器9测量的测量温度不足下限值所以进入步骤5。在步骤5判定成不比上限值高所以到达步骤7。在步骤7判断计时器的计数值是否为例如90分等预先设定的规定时间。该90分这样的规定时间希望例如针对每个泵相对于通过实验等算出的到达泵的过度加热或过度冷却的时间乘以2倍等余量率从而确定。

这样地设定规定时间是因为，温度传感器系统故障而测量温度在上限值和下限值之间恒定地持续那样的情况下，一直持续基于加热器7的加热、基于水冷管的冷却，不会发生变为过度加热、过度冷却的不良情况所以能将其避免。

TMS功能是将温度传感器的测量温度控制成目标温度的功能，所以若加热对象、加热器容量等的应用（適用アプリケーション）被特定的话，加热器、水冷用电磁阀的开启/关闭进行重复相同的循环的动作，确定开启/关闭状态被继续地维持的时间的上限。优选的是，相对于该上限设置考虑余量度的允许时间，由此，改变开启/关闭状态，使得万一超过其允许时间不继续地维持开启状态或关闭状态。

温度传感器9正常动作的情况下，不超过该规定时间。因此，步骤7中计时器的计数值被判断为规定时间以内，进入步骤4。

时刻t97之后至时刻t98也在每个取样周期Δt时间进行根据图3的流程图的动作。

时刻t98中，步骤2中由温度传感器9测量的测量温度被判定成不足下限值，所以在步骤3开启加热器7，在步骤4结束控制。但是，步骤3中加热器输出部15开启加热器7的同时将计时器初始化。通过该初始化，计时器重新开始计数。在该时刻t98的附近，水冷用的电磁阀也关闭，所以借助加热器7加热基部129的温度。下限值处开启加热器7后也由于热容的关系，基部129的温度不会急剧上升，描绘下冲曲线。

在至到达下冲的时刻t99的取样周期Δt时间，在步骤2判断成测量温度不足下限值，所以进入步骤3而继续开启加热器7。此时计时器的计数继续。

下冲后在至到达时刻t100的取样周期Δt时间在步骤2并非不足下限值，在步骤5也不比上限值高，所以到达步骤7。并且，在步骤7计时器时间未期满所以进入步骤4。因此，继续维持加热器7开启的状态。

接着，对在时刻t100温度传感器系统故障而测量温度在上限值与下限值之间恒定持续时的处理进行说明。此时，时刻t100之后的每个取样周期Δt时间的处理为，在步骤2测量温度并非不足下限值而进入步骤5，在步骤5也不比上限值高所以进入步骤7。并且，在步骤7计时器时间未期满所以进入步骤4。因此，加热器7开启的状态长时间继续维持。但是，步骤7的判断中，计时器的计数值为规定时间以上时进入步骤8来进行计时器结束处理。

该计时器结束处理中，为了不在规定时间以上维持相同的输出状态而强制地使输出颠倒。即，若为加热器7开启的状态则使其关闭。但是，其后也可以在每个规定时间交替重复基于加热器的加热和基于电磁阀的冷却。或者也可以不颠倒主力地通知温度传感器系统的异常。也可以使其颠倒的同时通知异常。

如上所述，在上限值和下限值的两个温度阈值之间考虑温度传感器系统的损害风险。因此，在温度传感器系统无损害的情况下，测量温度一定到达上限值和下限值而输出状态正常地颠倒。另一方面，在温度传感器系统发生损害的情况下在经过规定时间后测量温度也不到达上限值或下限值。但是，此时使输出状态颠倒的话能够持续运转。此外，能够通知异常。进行此时的判断无需另外的异常监视用的温度传感器，能够通过软件处理实现。

另外，在本实施方式中，相对于加热器与水冷用的电磁阀分别配设一个温度传感器来说明，但在相对于加热器和水冷用的电磁阀配设有共通的一个温度传感器的情况下也能够同样地应用。

此外，上述说明中主要对加热器控制的情况进行了说明，但是关于水冷用的电磁阀控制的情况也能够同样地应用。该情况下，在上限值打开电磁阀使水流向水冷管，在下限值关闭电磁阀来停水。

接着，在图5、图6表示本实施方式的其他方式的流程图。另外，关于与图3、图7相同的要素，标注相同的附图标记而省略说明。

图5基本上与图7的流程图的结构相同，但在以下方面与图7不同：在步骤3及步骤6和步骤4之间的图中附图标记A所示的部位，插入进行图6所示的计时器处理的副路径。即，图6中在步骤10中判断加热器7的输出指示是否从开启变化成关闭、或从关闭变化成开启。并且，在判断成加热器7的输出指示变化的情况下，进入至步骤11将计时器初始化，在步骤12中返回图5的流程图。

另一方面，步骤10中判断成加热器7的输出指示不变化的情况下进入至步骤7。步骤7中判定计时器的计数值是否为规定时间。步骤7的判断中，计时器的计数值为规定时间以上时进入步骤8来进行前述的计时器结束处理。

根据以上说明，不仅能够在上限值和下限值的两个温度阈值之间考虑温度传感器系统的损害风险，在测量温度不足下限值的区域、比上限值高的区域也能够考虑温度传感器系统的损害。

另外，本发明只要不脱离本发明的精神就能够进行各种改变，并且，本发明显然也涉及该改变。

附图标记说明

1 泵控制部

3 磁轴承控制部

5 马达旋转控制部

7 加热器

9 温度传感器

11 温度控制部

13 温度测量部

15 加热器输出部

17 异常通知信号

100 泵主体

200 控制装置。

Claims (3)

1.一种真空泵，前述真空泵具备温度传感器和温度控制，

前述温度传感器测量泵的温度，

前述温度控制进行加热器及/或冷却装置的控制，使得由该温度传感器测量的温度重复上限值和下限值地经过，其特征在于，

该温度控制具有被设定的规定时间，使得包括通常运转时从前述上限值至下一个前述下限值、及从前述下限值至下一个前述上限值的经过时间，

在前述测量的温度在前述上限值和前述下限值之间恒定持续后超过前述规定时间时，将前述加热器及/或前述冷却装置的控制强制地进行，实现前述状态的变化，及/或进行异常的通知。

2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

设定成，前述规定时间包括不足前述下限值的经过时间、及超过前述上限值的经过时间。

3.一种温度控制装置，具备对象物和温度传感器，

前述对象物被温度控制，

前述温度传感器测量该对象物的温度，

进行加热器及/或冷却装置的控制，使得由该温度传感器测量的温度重复上限值和下限值地经过，其特征在于，

具有被设定的规定时间，使得包括通常运转时从前述上限值至下一个前述下限值、及从前述下限值至下一个前述上限值的经过时间，

在前述测量的温度在前述上限值和前述下限值之间恒定持续后超过前述规定时间时，将前述加热器及/或前述冷却装置的控制强制地进行，实现前述状态的变化，及/或进行异常的通知。

Images