JP2006037739A - ターボ分子ポンプ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 温度センサ3は、ターボ分子ポンプ1の温度を検出して信号を第2制御部12に出力する。また、第1制御部11は、ターボ分子ポンプ1に内蔵されている機種判別抵抗に一定の電圧を印可して、その抵抗値を検出することにより、ターボ分子ポンプ1の機種を検出して目標温度および温度上昇勾配を設定して、信号を第2制御部12に出力する。また、第2制御部12は、温度センサ3からの信号と、第1制御部11からの信号を受けて、ヒータ7の電源をオンオフ制御して、ターボ分子ポンプ1が上記目標温度に到達するまで、ターボ分子ポンプ1の温度を、上記温度上昇勾配に略沿うように上昇させるようになっている。
【選択図】 図1
Description
機種を特定する特定部を有するターボ分子ポンプと、
上記ターボ分子ポンプの温度を検出する温度検出手段と、
上記特定部を参照して上記ターボ分子ポンプの機種を判別する機種判別手段と、
上記ターボ分子ポンプを温めるヒータと、
上記機種判別手段からの信号に基づいて目標温度および温度上昇勾配を設定する条件設定手段と、
上記温度検出手段からの信号および上記条件設定手段からの信号に基づいて、上記ヒータを制御することによって、上記ターボ分子ポンプが上記目標温度に到達するまで、上記ターボ分子ポンプの温度を、上記温度上昇勾配に略沿うように上昇させるヒータ制御手段と
を備えることを特徴としている。
図3は、温度上昇勾配の幾つかの例と目標温度、その温度勾配を実現するためのヒータ用電源の状態(オンまたはオフ状態)の経時変化を示す図である。詳細には、図3(A)は、機種判別手段に入力されている異なる3種類のターボ分子ポンプに対応する温度上昇勾配a1、a2およびa3と、目標温度T2とを示す図であり、図3(B)は、上記温度上昇勾配a1、a2およびa3を実現できるヒータ用電源の状態(オンまたはオフ状態)の経時変化を定性的に示す図である。尚、三つの温度上昇勾配a1、a2およびa3を実現しているヒータは、同一である。
2 DSP制御装置
3 温度センサ
4 温度センサ用ケーブル
5 磁気軸受制御ケーブル
7,37 ヒータ
8 ヒータ用ケーブル
11 第1制御部
12 第2制御部
17,39 温度設定端子
18,40 勾配設定端子
31 特定部
32 機種判別回路
33 温度センサ部
34 温度検出回路
35 制御部
36 電源ON/OFF回路
38 ヒータ用電源
a1,a2,a3 温度上昇勾配
60,61,62 パルス波
Claims (4)
- 機種を特定する特定部を有するターボ分子ポンプと、
上記ターボ分子ポンプの温度を検出する温度検出手段と、
上記特定部を参照して上記ターボ分子ポンプの機種を判別する機種判別手段と、
上記ターボ分子ポンプを温めるヒータと、
上記機種判別手段からの信号に基づいて目標温度および温度上昇勾配を設定する条件設定手段と、
上記温度検出手段からの信号および上記条件設定手段からの信号に基づいて、上記ヒータを制御することによって、上記ターボ分子ポンプが上記目標温度に到達するまで、上記ターボ分子ポンプの温度を、上記温度上昇勾配に略沿うように上昇させるヒータ制御手段と
を備えることを特徴とするターボ分子ポンプ装置。 - 請求項1に記載のターボ分子ポンプ装置において、
上記条件設定手段は、外部から温度を表す信号を受ける温度設定端子と、外部から温度上昇勾配を表す信号を受ける勾配設定端子とを備え、
上記条件設定手段は、外部から上記目標温度設定端子を介して信号を受けると目標温度を設定すると共に、外部から上記勾配設定端子を介して信号を受けると温度上昇勾配を設定することを特徴とするターボ分子ポンプ装置。 - 請求項1または2に記載のターボ分子ポンプ装置において、
上記ヒータ制御手段は、
上記温度検出手段からの信号および上記条件設定手段からの信号を受けて上記ヒータを制御するための制御信号を生成する制御信号生成部と、
上記制御信号生成部からの信号に基づいて上記ヒータの電源をオンオフ制御するオンオフ制御部と
を備えることを特徴とするターボ分子ポンプ装置。 - 請求項3に記載のターボ分子ポンプ装置において、
上記ターボ分子ポンプが上記目標温度に到達した後、上記ヒータ制御手段が、上記温度検出手段からの信号に基づいて上記ヒータの電源のオンオフ制御を行うことにより、上記ターボ分子ポンプの温度が、上記目標温度を含む所定の温度域に制限されることを特徴とするターボ分子ポンプ装置。
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JP2004214494A JP2006037739A (ja) | 2004-07-22 | 2004-07-22 | ターボ分子ポンプ装置 |
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- 2004-07-22 JP JP2004214494A patent/JP2006037739A/ja active Pending
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