JP7057128B2 - 真空ポンプ及び真空ポンプの堆積物検知装置並びに真空ポンプの堆積物検知方法 - Google Patents
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Description
10 ・・・ケーシング
11 ・・・ベース
11a・・・ガス排気口
12 ・・・円筒部
12a・・・ガス吸気口
12b・・・フランジ
20 ・・・ロータ
21 ・・・ロータシャフト
22 ・・・回転翼
23 ・・・タッチダウン軸受
24 ・・・ボス孔
25 ・・・ボルト
26 ・・・ロータフランジ
27 ・・・シャフトフランジ
28 ・・・ロータ円筒部
28a・・・外周面
30 ・・・モータ
31 ・・・回転子
32 ・・・固定子
40 ・・・ステータコラム
41 ・・・ボルト
50 ・・・磁気軸受
51 ・・・ラジアル電磁石
51a・・・ラジアルセンサ(ポジションセンサ)
52 ・・・アキシャル電磁石
52a・・・アキシャルセンサ
60 ・・・制御ユニット
70 ・・・固定翼
71 ・・・スペーサ
80 ・・・ステータ
81 ・・・ねじ溝部
82 ・・・振動センサ
PA ・・・ターボ分子ポンプ機構
PB ・・・ねじ溝ポンプ機構
Claims (5)
- ロータの回転動作によってガスを排気する真空ポンプであって、
前記ロータを回転駆動させるモータの電流値を検出する電流値検出手段と、
前記ロータと前記真空ポンプのねじ溝部に堆積する堆積物との接触を検知する接触検知手段と、
前記電流値が所定値以上の状態で前記接触検知手段が前記ロータと前記堆積物との接触を検知した場合に、前記真空ポンプのオーバーホールが必要であると判定する判定手段と、
を備え、
前記モータの電流値は、前記堆積物の堆積量に比例して増大していると推測されることを特徴とする真空ポンプ。 - 前記接触検知手段は、前記ロータと前記堆積物との接触に起因する振動を検知する振動センサであることを特徴とする請求項1記載の真空ポンプ。
- 前記接触検知手段は、前記ロータに接続されたシャフトの軸心からの変位を測定するポジションセンサであることを特徴とする請求項1記載の真空ポンプ。
- ロータの回転動作によってガスを排気する真空ポンプの堆積物検知装置であって、
前記ロータを回転駆動させるモータの電流値を検出する電流値検出手段と、
前記ロータと前記真空ポンプのねじ溝部に堆積する堆積物との接触を検知する接触検知手段と、
前記電流値が所定値以上の状態で前記接触検知手段が前記ロータと前記堆積物との接触を検知した場合に、前記真空ポンプのオーバーホールが必要であると判定する判定手段と、
を備え、
前記モータの電流値は、前記堆積物の堆積量に比例して増大していると推測されることを特徴とする真空ポンプの堆積物検知装置。 - ロータの回転動作によってガスを排気する真空ポンプの堆積物検知方法であって、
前記ロータを回転駆動するモータの電流値を検出する工程と、
前記ロータと前記真空ポンプのねじ溝部に堆積する堆積物との接触を検知する工程と、
前記電流値が所定値以上の状態で前記ロータと前記堆積物との接触を検知した場合に、前記真空ポンプのオーバーホールが必要であると判定する工程と、
を含み、
前記モータの電流値は、前記堆積物の堆積量に比例して増大していると推測されることを特徴とする真空ポンプの堆積物検知方法。
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JP2017254060A JP7057128B2 (ja) | 2017-12-28 | 2017-12-28 | 真空ポンプ及び真空ポンプの堆積物検知装置並びに真空ポンプの堆積物検知方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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Family Applications (1)
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JP2017254060A Active JP7057128B2 (ja) | 2017-12-28 | 2017-12-28 | 真空ポンプ及び真空ポンプの堆積物検知装置並びに真空ポンプの堆積物検知方法 |
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WO2010007975A1 (ja) | 2008-07-14 | 2010-01-21 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
WO2016076191A1 (ja) | 2014-11-12 | 2016-05-19 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ及び該真空ポンプの異常原因推定方法 |
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JPH1162846A (ja) * | 1997-08-08 | 1999-03-05 | Ebara Corp | 真空ポンプの故障予知システム |
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2017
- 2017-12-28 JP JP2017254060A patent/JP7057128B2/ja active Active
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