JP3510007B2 - 分子ポンプ - Google Patents
分子ポンプInfo
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- JP3510007B2 JP3510007B2 JP17027895A JP17027895A JP3510007B2 JP 3510007 B2 JP3510007 B2 JP 3510007B2 JP 17027895 A JP17027895 A JP 17027895A JP 17027895 A JP17027895 A JP 17027895A JP 3510007 B2 JP3510007 B2 JP 3510007B2
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- Japan
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- molecular pump
- rotor
- gap
- molecular
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、重水素やトリチウム等
の水素同位体を燃料とする核融合炉に必要な分子ポンプ
に関する。
の水素同位体を燃料とする核融合炉に必要な分子ポンプ
に関する。
【０００２】
【従来の技術】核融合装置等の分子ポンプには、ターボ
分子ポンプやヘリカル溝分子ポンプ等の高速回転をする
ロータと気体との相互作用を排気の原理に利用した分子
ポンプが使用され、又それら分子ポンプの軸受は、オイ
ルフリーの観点から磁気軸受が使用されている。
分子ポンプやヘリカル溝分子ポンプ等の高速回転をする
ロータと気体との相互作用を排気の原理に利用した分子
ポンプが使用され、又それら分子ポンプの軸受は、オイ
ルフリーの観点から磁気軸受が使用されている。
【０００３】ここにターボ分子ポンプは軸流圧縮機と類
似構造の高真空ポンプであり、又ヘリカル溝分子ポンプ
はロータの外面又はステータの内面のいずれか一方にヘ
リカル溝（ねじ溝）を有し、僅少の間隙をもってロータ
がステータ内で回転する式の高真空ポンプである。
似構造の高真空ポンプであり、又ヘリカル溝分子ポンプ
はロータの外面又はステータの内面のいずれか一方にヘ
リカル溝（ねじ溝）を有し、僅少の間隙をもってロータ
がステータ内で回転する式の高真空ポンプである。
【０００４】従来のターボ分子ポンプやヘリカル溝分子
ポンプでは、構成する磁気軸受や駆動モータ等のコイル
やリード線の電気絶縁には、ワニス、エポキシ樹脂、テ
フロン等の有機物が使われており、又そのロータはアル
ミ合金製であった。
ポンプでは、構成する磁気軸受や駆動モータ等のコイル
やリード線の電気絶縁には、ワニス、エポキシ樹脂、テ
フロン等の有機物が使われており、又そのロータはアル
ミ合金製であった。
【０００５】従来のターボ分子ポンプやヘリカル溝分子
ポンプは排気気体として窒素等を想定して設計されてい
るが、核融合装置においては分子量及び粘性係数が小さ
い水素や水素同位体（重水素、トリチウム）や分子量が
小さいヘリウム等の気体を主に排気することになる。
ポンプは排気気体として窒素等を想定して設計されてい
るが、核融合装置においては分子量及び粘性係数が小さ
い水素や水素同位体（重水素、トリチウム）や分子量が
小さいヘリウム等の気体を主に排気することになる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来技術による磁気軸
受型分子ポンプを核融合炉用に使用しようとすると、次
のような問題点を生ずる。
受型分子ポンプを核融合炉用に使用しようとすると、次
のような問題点を生ずる。
【０００７】（１）核融合炉では高エネルギーでかつ高
線量の放射線が発生するが、従来の磁気軸受や駆動モー
タのコイルの電気絶縁に使用している有機物は、該放射
線の照射を受けて電気的機械的性質が次第に劣化し、該
有機物の電気絶縁性の低下のために分子ポンプの正常な
運転が不可能となったり、分子ポンプの制御ユニットが
故障したりする恐れがあった。
線量の放射線が発生するが、従来の磁気軸受や駆動モー
タのコイルの電気絶縁に使用している有機物は、該放射
線の照射を受けて電気的機械的性質が次第に劣化し、該
有機物の電気絶縁性の低下のために分子ポンプの正常な
運転が不可能となったり、分子ポンプの制御ユニットが
故障したりする恐れがあった。
【０００８】（２）分子ポンプはポンプ内のトリチウム
の滞留量を減らすために高温ベーキングを施す必要があ
る。しかし従来の磁気軸受や駆動モータ等のコイルの電
気絶縁に使用されている前記有機物は１００℃以上の長
時間のベーキングに耐えられないので、充分なベーキン
グを行えない問題点があった。
の滞留量を減らすために高温ベーキングを施す必要があ
る。しかし従来の磁気軸受や駆動モータ等のコイルの電
気絶縁に使用されている前記有機物は１００℃以上の長
時間のベーキングに耐えられないので、充分なベーキン
グを行えない問題点があった。
【０００９】（３）従来のヘリカル溝分子ポンプは、主
に窒素等の分子量や粘性係数が比較的大きな気体の大流
量排気を行うことを想定して設計されているため、ロー
タの熱膨張を考慮して、ロータとステータの間隙をかな
り広めに設定している。これは運転が定常状態に達した
時にロータの熱膨張により該間隙が最適な値となり、大
きな圧縮比が得られるようになっていた。
に窒素等の分子量や粘性係数が比較的大きな気体の大流
量排気を行うことを想定して設計されているため、ロー
タの熱膨張を考慮して、ロータとステータの間隙をかな
り広めに設定している。これは運転が定常状態に達した
時にロータの熱膨張により該間隙が最適な値となり、大
きな圧縮比が得られるようになっていた。
【００１０】しかし分子量が小さく粘性係数も小さい水
素同位体等のガスを排気する場合は、原理的に圧縮比が
低下する上に、摩擦による発熱が少ないために前記ロー
タの熱膨張も少なく、従って前記ロータとステータ間の
間隙は窒素ガスの定常運転時よりも広くなる。一般にヘ
リカル溝分子ポンプの圧縮比はロータとステータの間隙
の２乗に反比例して低下するので、該間隙が広くなるこ
とは大きな問題であった。
素同位体等のガスを排気する場合は、原理的に圧縮比が
低下する上に、摩擦による発熱が少ないために前記ロー
タの熱膨張も少なく、従って前記ロータとステータ間の
間隙は窒素ガスの定常運転時よりも広くなる。一般にヘ
リカル溝分子ポンプの圧縮比はロータとステータの間隙
の２乗に反比例して低下するので、該間隙が広くなるこ
とは大きな問題であった。
【００１１】（４）一般に分子ポンプの排気性能はロー
タの回転数に比例して向上するので、ロータ回転数はな
るべく高く設定したいが、ロータに発生する遠心力は該
ロータ材の許容応力以下とする必要がある。
タの回転数に比例して向上するので、ロータ回転数はな
るべく高く設定したいが、ロータに発生する遠心力は該
ロータ材の許容応力以下とする必要がある。
【００１２】従来の分子ポンプで使用しているアルミ合
金製のロータでは、温度が１２０℃を越えると許容応力
が急激に低下するため、作動温度が１２０℃に制限され
るという問題点があった。
金製のロータでは、温度が１２０℃を越えると許容応力
が急激に低下するため、作動温度が１２０℃に制限され
るという問題点があった。
【００１３】本発明はこれらの問題点を解消し、水素同
位体等の分子量や粘性係数の小さなガスの排気に適する
分子ポンプを提供することを目的とする。
位体等の分子量や粘性係数の小さなガスの排気に適する
分子ポンプを提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の目的を達
成すべく磁気軸受と駆動用モータを備えた分子ポンプに
おいて、該分子ポンプの内部に使用する電線の被覆材を
すべてセラミックスにより形成し、前記分子ポンプの少
なくとも一部をヘリカル溝分子ポンプとし、該ヘリカル
溝分子ポンプのステータ部に加熱部と冷却部を設けると
共に、該ステータ部に、前記ヘリカル溝分子ポンプのロ
ータとステータの間隙の大きさを検出するギャップセン
サーを設け、該ギャップセンサーからの検出信号に応じ
て前記加熱部と冷却部への熱量を制御可能に形成したこ
とを特徴とする。
成すべく磁気軸受と駆動用モータを備えた分子ポンプに
おいて、該分子ポンプの内部に使用する電線の被覆材を
すべてセラミックスにより形成し、前記分子ポンプの少
なくとも一部をヘリカル溝分子ポンプとし、該ヘリカル
溝分子ポンプのステータ部に加熱部と冷却部を設けると
共に、該ステータ部に、前記ヘリカル溝分子ポンプのロ
ータとステータの間隙の大きさを検出するギャップセン
サーを設け、該ギャップセンサーからの検出信号に応じ
て前記加熱部と冷却部への熱量を制御可能に形成したこ
とを特徴とする。
【００１５】
【作用】請求項１の分子ポンプにおいて、分子ポンプの
内部の電線の被覆材をすべてセラミックスとしたので、
該分子ポンプを核融合炉に使用した場合に、核融合炉よ
り発生する高エネルギー・高線量の放射線によっても該
被覆の絶縁が劣化することがなく、又、トリチウムの滞
留量を減らすために該分子ポンプを１００℃以上でベー
キングを行っても充分これに耐えることができ、又前記
ステータ部の温度を加熱部と冷却部により調節可能とし
たので、該ステータ部の熱膨張量の制御により前記ロー
タとステータの間隙を能動的に制御することができる。
内部の電線の被覆材をすべてセラミックスとしたので、
該分子ポンプを核融合炉に使用した場合に、核融合炉よ
り発生する高エネルギー・高線量の放射線によっても該
被覆の絶縁が劣化することがなく、又、トリチウムの滞
留量を減らすために該分子ポンプを１００℃以上でベー
キングを行っても充分これに耐えることができ、又前記
ステータ部の温度を加熱部と冷却部により調節可能とし
たので、該ステータ部の熱膨張量の制御により前記ロー
タとステータの間隙を能動的に制御することができる。
【００１６】
【００１７】
【００１８】
【００１９】請求項２の分子ポンプにおいて、外部のケ
ーシングと内部のステータの間に弾性材を挟持させたの
で、ステータの昇温時の半径方向の伸びを吸収させるこ
とができる。
ーシングと内部のステータの間に弾性材を挟持させたの
で、ステータの昇温時の半径方向の伸びを吸収させるこ
とができる。
【００２０】
【実施例】本発明の第１実施例を図１により説明する。
【００２１】図１は磁気軸受型ヘリカル溝分子ポンプの
縦断面図を示し、Ａはケーシング、Ｂは軸、Ｃはヘリカ
ル溝分子ポンプ部のロータを示す。
縦断面図を示し、Ａはケーシング、Ｂは軸、Ｃはヘリカ
ル溝分子ポンプ部のロータを示す。
【００２２】ヘリカル溝分子ポンプ部のステータＤはケ
ーシングＡと内外の２層構造をなし、該層間には弾性材
Ｆが挟持されている。
ーシングＡと内外の２層構造をなし、該層間には弾性材
Ｆが挟持されている。
【００２３】又、ケーシングＡには冷却部として冷却水
ジャケットＥが設置されており、ステータＤには加熱部
として電熱式のヒータＧが埋設されている。
ジャケットＥが設置されており、ステータＤには加熱部
として電熱式のヒータＧが埋設されている。
【００２４】ステータＤにはギャップセンサー４が設け
てあり、ロータＣとステータＤの間隙を検知して、冷却
水ジャケットＥの通水量又はヒータＧへの通電量を制御
するよう構成されている。又ロータＣはチタン合金又は
耐熱鋼製として、従来のアルミ合金製のものよりも耐熱
度を高めている。
てあり、ロータＣとステータＤの間隙を検知して、冷却
水ジャケットＥの通水量又はヒータＧへの通電量を制御
するよう構成されている。又ロータＣはチタン合金又は
耐熱鋼製として、従来のアルミ合金製のものよりも耐熱
度を高めている。
【００２５】軸Ｂを支承する磁気軸受装置は、上部ラジ
アル変位センサー１、上部ラジアル軸受電磁石２、下部
ラジアル軸受電磁石５、下部ラジアル変位センサー６、
スラスト軸受電磁石７、スラスト変位センサー８等より
なり、モータステータ３は軸Ｂに設けた回転子（図示せ
ず）と共にモータを形成している。
アル変位センサー１、上部ラジアル軸受電磁石２、下部
ラジアル軸受電磁石５、下部ラジアル変位センサー６、
スラスト軸受電磁石７、スラスト変位センサー８等より
なり、モータステータ３は軸Ｂに設けた回転子（図示せ
ず）と共にモータを形成している。
【００２６】これら１乃至８の部品に使用されているコ
イル２ａ、３ａ、５ａ、７ａ等の電線は、銅線にニッケ
ルメッキを施し、その表面をすべてセラミック材により
被覆している。セラミック材には電気絶縁性のよいＡｌ
2 Ｏ3 やＳｉＯ2 、ＢｅＯ及び各種のニューセラミック
スが使用される。
イル２ａ、３ａ、５ａ、７ａ等の電線は、銅線にニッケ
ルメッキを施し、その表面をすべてセラミック材により
被覆している。セラミック材には電気絶縁性のよいＡｌ
2 Ｏ3 やＳｉＯ2 、ＢｅＯ及び各種のニューセラミック
スが使用される。
【００２７】又、セラミック材による電線の被覆は、焼
結により形成する方法の他繊維状のセラミックスの織布
による被覆が採用される。
結により形成する方法の他繊維状のセラミックスの織布
による被覆が採用される。
【００２８】本第１実施例の磁気軸受型ヘリカル溝分子
ポンプの作用について説明する。
ポンプの作用について説明する。
【００２９】該分子ポンプは、ロータＣの高速回転によ
り吸気口Ｘより吸気をして排気口Ｙより排気を行う。本
例ではポンプのヘリカル溝をロータＣ側に設けている
が、これはステータＤ側に設けてもよい。
り吸気口Ｘより吸気をして排気口Ｙより排気を行う。本
例ではポンプのヘリカル溝をロータＣ側に設けている
が、これはステータＤ側に設けてもよい。
【００３０】軸ＢにはロータＣを固定すると共に、該軸
Ｂを２組のラジアル磁気軸受及び１組のスラスト磁気軸
受で支承しており、無潤滑での運転が可能となってい
る。
Ｂを２組のラジアル磁気軸受及び１組のスラスト磁気軸
受で支承しており、無潤滑での運転が可能となってい
る。
【００３１】本分子ポンプにおけるロータＣとステータ
Ｄの間隙の制御方法について説明する。
Ｄの間隙の制御方法について説明する。
【００３２】本分子ポンプの運転時、常にギャップセン
サー４によりロータＣとステータＤの間隙を測定し、該
間隙が目標値よりも大きくなればヒータＧの通電量を減
らし、或いは冷却水ジャケットＥの通水量を増やして、
ステータＤ部の温度が下がるように自動制御する。
サー４によりロータＣとステータＤの間隙を測定し、該
間隙が目標値よりも大きくなればヒータＧの通電量を減
らし、或いは冷却水ジャケットＥの通水量を増やして、
ステータＤ部の温度が下がるように自動制御する。
【００３３】同間隙が目標値よりも小さくなれば冷却水
ジャケットＥの通水量を減らし、或いはヒータＧの通電
量を増やすように自動制御する。
ジャケットＥの通水量を減らし、或いはヒータＧの通電
量を増やすように自動制御する。
【００３４】かくしてステータＤの温度制御を通して該
ステータＤの熱膨張量を制御することにより、ロータＣ
とステータＤの間隙を調節して、該間隙を目標値に保持
することができる。
ステータＤの熱膨張量を制御することにより、ロータＣ
とステータＤの間隙を調節して、該間隙を目標値に保持
することができる。
【００３５】又、ステータＤとケーシングＡ間の弾性材
Ｆは、ステータＤの昇温時の急激な半径方向の伸びを吸
収して、分子ポンプの運転時にステータＤやケーシング
Ａに無理な力がかからないように作用する。
Ｆは、ステータＤの昇温時の急激な半径方向の伸びを吸
収して、分子ポンプの運転時にステータＤやケーシング
Ａに無理な力がかからないように作用する。
【００３６】更にコイル２ａ、３ａ、５ａ、７ａ等の電
線はすべてセラミック被覆としたので、核融合炉より発
生する高エネルギー・高線量の放射線によっても該被覆
の電気絶縁が劣化することがない。
線はすべてセラミック被覆としたので、核融合炉より発
生する高エネルギー・高線量の放射線によっても該被覆
の電気絶縁が劣化することがない。
【００３７】又、トリチウムの滞留量を減らすために該
分子ポンプを１００℃以上でベーキングをしたり、又は
ロータＣとステータＤの間隙を調節するために該ステー
タＤをヒータＧで加熱する場合でも、該セラミック製の
被覆はこれら熱に充分耐えるので、前記電線の被覆の絶
縁性が劣化することがない。
分子ポンプを１００℃以上でベーキングをしたり、又は
ロータＣとステータＤの間隙を調節するために該ステー
タＤをヒータＧで加熱する場合でも、該セラミック製の
被覆はこれら熱に充分耐えるので、前記電線の被覆の絶
縁性が劣化することがない。
【００３８】本発明の第２実施例を図２により説明す
る。
る。
【００３９】図２は磁気軸受型複合分子ポンプの縦断面
図を示し、ロータＪはターボ分子ポンプ部の動翼Ｈとヘ
リカル溝分子ポンプ部のロータＣからなる。
図を示し、ロータＪはターボ分子ポンプ部の動翼Ｈとヘ
リカル溝分子ポンプ部のロータＣからなる。
【００４０】これに対するステータ側も、ターボ分子ポ
ンプ部の静翼Ｉとヘリカル溝分子ポンプ部のステータＤ
よりなる。
ンプ部の静翼Ｉとヘリカル溝分子ポンプ部のステータＤ
よりなる。
【００４１】ロータＣはチタン合金又は耐熱鋼製とし、
温度調節が可能な冷却水ジャケットＥとヒータＧ、及び
弾性材Ｆは共にヘリカル溝分子ポンプ部の外周にのみ設
けてある。
温度調節が可能な冷却水ジャケットＥとヒータＧ、及び
弾性材Ｆは共にヘリカル溝分子ポンプ部の外周にのみ設
けてある。
【００４２】図２の磁気軸受及び駆動用モータは、図１
におけるのと同様の構造であり、これら１乃至８の部品
に使用されている線輪等の電線も、すべてセラミック被
覆としている。
におけるのと同様の構造であり、これら１乃至８の部品
に使用されている線輪等の電線も、すべてセラミック被
覆としている。
【００４３】本第２実施例の磁気軸受型複合分子ポンプ
の作用について説明する。
の作用について説明する。
【００４４】該分子ポンプは、ロータＪの高速回転によ
り吸気口Ｘより吸気を行い、動翼Ｈ及び静翼Ｉ等よりな
るターボ分子ポンプ部と、ロータＣ及びステータＤより
なるヘリカル溝分子ポンプ部とにより、第１実施例より
もより高い圧縮比で排気口Ｙより排気を行う。
り吸気口Ｘより吸気を行い、動翼Ｈ及び静翼Ｉ等よりな
るターボ分子ポンプ部と、ロータＣ及びステータＤより
なるヘリカル溝分子ポンプ部とにより、第１実施例より
もより高い圧縮比で排気口Ｙより排気を行う。
【００４５】ヘリカル溝分子ポンプ部にのみ冷却水ジャ
ケットＥ及びヒータＧを設けたのは、ヘリカル溝分子ポ
ンプの方がターボ分子ポンプと較べて、ロータとステー
タの間隙の排気性能に及ぼす影響が大きいからである。
ケットＥ及びヒータＧを設けたのは、ヘリカル溝分子ポ
ンプの方がターボ分子ポンプと較べて、ロータとステー
タの間隙の排気性能に及ぼす影響が大きいからである。
【００４６】ギャップセンサー４の信号により、これら
冷却水ジャケットＥ及びヒータＧがステータＤの温度調
節を行って、該ロータＣとステータＤの間隙を制御す
る。
冷却水ジャケットＥ及びヒータＧがステータＤの温度調
節を行って、該ロータＣとステータＤの間隙を制御す
る。
【００４７】前記電線のセラミック被覆材の作用は第１
実施例と同様で、本複合分子ポンプを核融合炉の水素同
位体等の排気に用いる場合に特に有効である。
実施例と同様で、本複合分子ポンプを核融合炉の水素同
位体等の排気に用いる場合に特に有効である。
【００４８】
【発明の効果】このように本発明によれば、核融合炉の
水素同位体等を排気する場合に、核融合炉より発生する
高エネルギー・高線量の放射線に対して耐久性を有し、
トリチウムの滞留量を減らすための高温ベーキングにも
長時間耐えると共に、分子量や粘性係数の小さな気体に
対しても高い排気性能の得られる分子ポンプを提供する
ことができる。
水素同位体等を排気する場合に、核融合炉より発生する
高エネルギー・高線量の放射線に対して耐久性を有し、
トリチウムの滞留量を減らすための高温ベーキングにも
長時間耐えると共に、分子量や粘性係数の小さな気体に
対しても高い排気性能の得られる分子ポンプを提供する
ことができる。
【図１】本発明の第１実施例の磁気軸受型ヘリカル溝分
子ポンプの縦断面図である。
子ポンプの縦断面図である。
【図２】本発明の第２実施例の磁気軸受型複合分子ポン
プの縦断面図である。
プの縦断面図である。
1、6 変位センサー
2、5 ラジアル軸受電磁石
2a、3a、5a、7a コイル
４ ギャップセンサー
Ａ ケーシング
Ｂ 軸
Ｃ ロータ
Ｄ ステータ
Ｅ 冷却水ジャケット
Ｆ 弾性材
Ｇ ヒータ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 村上 義夫
茨城県那珂郡那珂町大字向山801番地の
１ 日本原子力研究所那珂研究所内
(72)発明者 中村 順一
茨城県那珂郡那珂町大字向山801番地の
１ 日本原子力研究所那珂研究所内
(72)発明者 井口 昌司
大阪府大阪市中央区北浜３−２−25 株
式会社大阪真空機器製作所内
(56)参考文献 特開 昭59−46394（ＪＰ，Ａ)
特開 昭63−154891（ＪＰ，Ａ)
実開 平４−4526（ＪＰ，Ｕ)
実開 平５−36094（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
F04D 19/04
H02K 7/09
Claims (2)
- 【請求項１】 磁気軸受と駆動用モータを備えた分子ポ
ンプにおいて、該分子ポンプの内部に使用する電線の被
覆材をすべてセラミックスにより形成し、前記分子ポン
プの少なくとも一部をヘリカル溝分子ポンプとし、該ヘ
リカル溝分子ポンプのステータ部に加熱部と冷却部を設
けると共に、該ステータ部に、前記ヘリカル溝分子ポン
プのロータとステータの間隙の大きさを検出するギャッ
プセンサーを設け、該ギャップセンサーからの検出信号
に応じて前記加熱部と冷却部への熱量を制御可能に形成
したことを特徴とする分子ポンプ。 - 【請求項２】 前記ステータ部を外部のケーシングと内
部のステータの円周方向の２層の構造に形成し、該外部
のケーシングに冷却部を設けると共に該内部のステータ
内にはヒータを設け、これら外部のケーシングと内部の
ステータの層間には弾性材を挟持させたことを特徴とす
る請求項１に記載の分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17027895A JP3510007B2 (ja) | 1995-06-13 | 1995-06-13 | 分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17027895A JP3510007B2 (ja) | 1995-06-13 | 1995-06-13 | 分子ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08338394A JPH08338394A (ja) | 1996-12-24 |
| JP3510007B2 true JP3510007B2 (ja) | 2004-03-22 |
Family
ID=15901990
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17027895A Expired - Fee Related JP3510007B2 (ja) | 1995-06-13 | 1995-06-13 | 分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3510007B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005124158A1 (ja) * | 2004-06-17 | 2005-12-29 | Osaka Vacuum, Ltd. | 耐放射線用分子ポンプ |
| WO2019058117A1 (en) * | 2017-09-20 | 2019-03-28 | Edwards Limited | TRUNK PUMP AND VACUUM PUMPS PACKAGE COMPRISING A TRUCK PUMP |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3716068B2 (ja) * | 1997-04-22 | 2005-11-16 | 三菱重工業株式会社 | ターボ分子ポンプ及び同ターボ分子ポンプを有する真空容器 |
| JP4218765B2 (ja) * | 1997-06-27 | 2009-02-04 | 株式会社荏原製作所 | ターボ分子ポンプ |
| JP3825538B2 (ja) * | 1997-08-29 | 2006-09-27 | 樫山工業株式会社 | 高真空ポンプ |
| TW504548B (en) * | 1998-06-30 | 2002-10-01 | Ebara Corp | Turbo molecular pump |
| DE60037353T2 (de) * | 1999-02-19 | 2008-12-04 | Ebara Corp. | Turbomolekularpumpe |
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1995
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