JPH06159287A - ターボ分子ポンプ - Google Patents
ターボ分子ポンプInfo
- Publication number
- JPH06159287A JPH06159287A JP4320205A JP32020592A JPH06159287A JP H06159287 A JPH06159287 A JP H06159287A JP 4320205 A JP4320205 A JP 4320205A JP 32020592 A JP32020592 A JP 32020592A JP H06159287 A JPH06159287 A JP H06159287A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- partition wall
- heating
- casing
- heat
- maintenance
- Prior art date
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- Granted
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
- F05D—INDEXING SCHEME FOR ASPECTS RELATING TO NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, GAS-TURBINES OR JET-PROPULSION PLANTS
- F05D2260/00—Function
- F05D2260/60—Fluid transfer
- F05D2260/607—Preventing clogging or obstruction of flow paths by dirt, dust, or foreign particles
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 メンテナンス周期を長くしたり、メンテナン
スを不要にできる。 【構成】 回転翼５と回転軸７とをもつロータ６を高速
回転させ、ガスを吸気口２→隔壁１６内のガス通路→排
気口３の方向に流して、吸気口２を高真空にするととも
に排気口３を低真空にする。このとき、加熱部１５をコ
ントロール可能な電気ヒータ１４等の加熱手段により加
熱して、この加熱部１５の熱を熱の良導体１７を経て隔
壁１６に伝え、ガス通路を形成する同隔壁１６を加熱し
て、析出物の付着を防止するので、メンテナンス周期を
長くしたり、メンテナンスを不要にできる。
スを不要にできる。 【構成】 回転翼５と回転軸７とをもつロータ６を高速
回転させ、ガスを吸気口２→隔壁１６内のガス通路→排
気口３の方向に流して、吸気口２を高真空にするととも
に排気口３を低真空にする。このとき、加熱部１５をコ
ントロール可能な電気ヒータ１４等の加熱手段により加
熱して、この加熱部１５の熱を熱の良導体１７を経て隔
壁１６に伝え、ガス通路を形成する同隔壁１６を加熱し
て、析出物の付着を防止するので、メンテナンス周期を
長くしたり、メンテナンスを不要にできる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、軸方向に交互に配列さ
れた複数の回転翼及び固定翼を有するターボ分子ポンプ
に関するものである。
れた複数の回転翼及び固定翼を有するターボ分子ポンプ
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のターボ分子ポンプを図２により説
明すると、１がケーシング（ポンプ本体）、２が同ケー
シング１に設けた吸気口、３が同ケーシング１に設けた
排気口、４が同ケーシング１に取付けた静翼（固定
翼）、６がロータ、７が同ロータ６の回転軸、５が上記
ロータ６に取付けた動翼（回転翼）で、同動翼５と上記
静翼４とがロータ６の回転軸７方向に交互に配設されて
いる。
明すると、１がケーシング（ポンプ本体）、２が同ケー
シング１に設けた吸気口、３が同ケーシング１に設けた
排気口、４が同ケーシング１に取付けた静翼（固定
翼）、６がロータ、７が同ロータ６の回転軸、５が上記
ロータ６に取付けた動翼（回転翼）で、同動翼５と上記
静翼４とがロータ６の回転軸７方向に交互に配設されて
いる。
【０００３】８が上記回転軸７の周りに配設したステー
タで、同ステータ８と上記回転軸７との間には、ロータ
６を高速回転させるために上部軸受としてのボールベア
リング１０と下部軸受としてのボールベアリング１１と
モータ１３部とが設けられている。上記回転軸７には、
上記ボールベアリング１０、１１へ潤滑油１２を供給す
るための油供給孔９が設けられ、上記モータ１３は、回
転軸７と同心に配置されている。１４が加熱用電気ヒー
タで、同加熱用電気ヒータ１４がターボ分子ポンプの全
体を外部から加熱するようになっている。
タで、同ステータ８と上記回転軸７との間には、ロータ
６を高速回転させるために上部軸受としてのボールベア
リング１０と下部軸受としてのボールベアリング１１と
モータ１３部とが設けられている。上記回転軸７には、
上記ボールベアリング１０、１１へ潤滑油１２を供給す
るための油供給孔９が設けられ、上記モータ１３は、回
転軸７と同心に配置されている。１４が加熱用電気ヒー
タで、同加熱用電気ヒータ１４がターボ分子ポンプの全
体を外部から加熱するようになっている。
【０００４】以上のターボ分子ポンプでは、動翼５と回
転軸７とをもつロータ６がモータ１３により高速回転す
ると、ガスが吸気口２→排気口３の方向（矢印Ａ1 →Ａ
2 参照）に流れて、吸気口２が高真空になるとともに排
気口３が低真空になる。
転軸７とをもつロータ６がモータ１３により高速回転す
ると、ガスが吸気口２→排気口３の方向（矢印Ａ1 →Ａ
2 参照）に流れて、吸気口２が高真空になるとともに排
気口３が低真空になる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】前記図２に示す従来の
ターボ分子ポンプでは、ガスを排気する際、ポンプ内部
の発熱により、即ち、モータ１３及びボールベアリング
１０、１１のロスや流入ガスと動翼（回転翼）５との摩
擦発熱等に基づくポンプ内部の発熱により、回転体５〜
７が高熱になるため、回転体材料にアルミ合金を使用し
ており、その関係から、ケーシング（ポンプ本体）１を
冷却水や空冷ファンにより冷却する必要がある。
ターボ分子ポンプでは、ガスを排気する際、ポンプ内部
の発熱により、即ち、モータ１３及びボールベアリング
１０、１１のロスや流入ガスと動翼（回転翼）５との摩
擦発熱等に基づくポンプ内部の発熱により、回転体５〜
７が高熱になるため、回転体材料にアルミ合金を使用し
ており、その関係から、ケーシング（ポンプ本体）１を
冷却水や空冷ファンにより冷却する必要がある。
【０００６】しかしケーシング１を冷却すると、ケーシ
ング１の温度が、排気するガスの析出温度以下になり、
ガス流路の内部に固化物が付着して、ポンプの性能低下
や接触による故障等を引き起こすので、洗浄等のメンテ
ナンスを定期的に行う必要がある。この問題を解決する
ため、ターボ分子ポンプの全体を外部から加熱する方
式、冷却水量を変化させる方式、或いはこれらの共用方
式が提案されているが、その何れもが、ケーシング１の
温度を上げるものであり、回転翼部、即ち、ケーシング
１内に位置して放射熱等によるケーシング１への熱放出
手段しかない回転翼部は、高温になって、クリープや強
度低下により、破壊に至る可能性がある。
ング１の温度が、排気するガスの析出温度以下になり、
ガス流路の内部に固化物が付着して、ポンプの性能低下
や接触による故障等を引き起こすので、洗浄等のメンテ
ナンスを定期的に行う必要がある。この問題を解決する
ため、ターボ分子ポンプの全体を外部から加熱する方
式、冷却水量を変化させる方式、或いはこれらの共用方
式が提案されているが、その何れもが、ケーシング１の
温度を上げるものであり、回転翼部、即ち、ケーシング
１内に位置して放射熱等によるケーシング１への熱放出
手段しかない回転翼部は、高温になって、クリープや強
度低下により、破壊に至る可能性がある。
【０００７】本発明は前記の問題点に鑑み提案するもの
であり、その目的とする処は、メンテナンス周期を長く
したり、メンテナンスを不要にできるターボ分子ポンプ
を提供しようとする点にある。
であり、その目的とする処は、メンテナンス周期を長く
したり、メンテナンスを不要にできるターボ分子ポンプ
を提供しようとする点にある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明は、軸方向に交互に配列された複数の回転
翼及び固定翼を有するターボ分子ポンプにおいて、ポン
プ内部のガス流路に伝熱体からなる隔壁を設け、同隔壁
とポンプ外部に位置する加熱部とを熱の良導体により連
結し、上記加熱部を加熱する電気ヒータ等の加熱手段を
同加熱部に設けている。
めに、本発明は、軸方向に交互に配列された複数の回転
翼及び固定翼を有するターボ分子ポンプにおいて、ポン
プ内部のガス流路に伝熱体からなる隔壁を設け、同隔壁
とポンプ外部に位置する加熱部とを熱の良導体により連
結し、上記加熱部を加熱する電気ヒータ等の加熱手段を
同加熱部に設けている。
【０００９】
【作用】本発明のターボ分子ポンプは前記のように構成
されており、回転翼と回転軸とをもつロータを高速回転
させ、ガスを吸気口→隔壁内のガス通路→排気口の方向
に流して、吸気口を高真空にするとともに排気口を低真
空にするとき、加熱部をコントロール可能な電気ヒータ
等の加熱手段により加熱して、この加熱部の熱を熱の良
導体を経て伝熱体によりなる隔壁に伝え、ガス通路を形
成する同隔壁を加熱して、析出物の付着を防止する。
されており、回転翼と回転軸とをもつロータを高速回転
させ、ガスを吸気口→隔壁内のガス通路→排気口の方向
に流して、吸気口を高真空にするとともに排気口を低真
空にするとき、加熱部をコントロール可能な電気ヒータ
等の加熱手段により加熱して、この加熱部の熱を熱の良
導体を経て伝熱体によりなる隔壁に伝え、ガス通路を形
成する同隔壁を加熱して、析出物の付着を防止する。
【００１０】
【実施例】次に本発明のターボ分子ポンプを図１に示す
一実施例により説明すると、１がケーシング、２が同ケ
ーシング１に設けた吸気口、３が後記隔壁１６に設けた
排気口、４が同ケーシング１に取付けた静翼（固定
翼）、６がロータ、７が同ロータ６の回転軸、５が上記
ロータ６に取付けた動翼（回転翼）で、同動翼５と上記
静翼４とがロータ６の回転軸７方向に交互に配設されて
いる。なお上記静翼４及び動翼５は、ねじ溝翼であって
も差し支えない。
一実施例により説明すると、１がケーシング、２が同ケ
ーシング１に設けた吸気口、３が後記隔壁１６に設けた
排気口、４が同ケーシング１に取付けた静翼（固定
翼）、６がロータ、７が同ロータ６の回転軸、５が上記
ロータ６に取付けた動翼（回転翼）で、同動翼５と上記
静翼４とがロータ６の回転軸７方向に交互に配設されて
いる。なお上記静翼４及び動翼５は、ねじ溝翼であって
も差し支えない。
【００１１】８が上記回転軸７の周りに配設したステー
タで、同ステータ８と上記回転軸７との間には、ロータ
６を高速回転させるために上部軸受としてのボールベア
リング１０と下部軸受としてのボールベアリング１１と
モータ１３部とが設けられている。上記回転軸７には、
上記ボールベアリング１０、１１へ潤滑油１２を供給す
るための油供給孔９が設けられ、上記モータ１３は、回
転軸７と同心に配置されている。
タで、同ステータ８と上記回転軸７との間には、ロータ
６を高速回転させるために上部軸受としてのボールベア
リング１０と下部軸受としてのボールベアリング１１と
モータ１３部とが設けられている。上記回転軸７には、
上記ボールベアリング１０、１１へ潤滑油１２を供給す
るための油供給孔９が設けられ、上記モータ１３は、回
転軸７と同心に配置されている。
【００１２】１６が伝熱体よりなる隔壁で、同隔壁１６
が上記ケーシング１内下部にガス通路を形成し、同隔壁
１６の一部がケーシング１壁を貫通し、ケーシング１外
へ延びて、そこに排気口３が形成されている。同隔壁１
６は、ケーシング１及びステータ８に対して熱隔離され
ている。１７が同排気口３とは反対側のケーシング１壁
を貫通した熱の良導体、１５がケーシング１外に位置す
る加熱部、１８が同加熱部１５とケーシング１との間に
介装したスペーサで、加熱部１５と伝熱体よりなる隔壁
１６とが熱の良導体１７により連結されている。
が上記ケーシング１内下部にガス通路を形成し、同隔壁
１６の一部がケーシング１壁を貫通し、ケーシング１外
へ延びて、そこに排気口３が形成されている。同隔壁１
６は、ケーシング１及びステータ８に対して熱隔離され
ている。１７が同排気口３とは反対側のケーシング１壁
を貫通した熱の良導体、１５がケーシング１外に位置す
る加熱部、１８が同加熱部１５とケーシング１との間に
介装したスペーサで、加熱部１５と伝熱体よりなる隔壁
１６とが熱の良導体１７により連結されている。
【００１３】上記加熱部１５は、排気口３側のケーシン
グ１外にもあり、この部分では、加熱部１５と隔壁１６
の延長部とが直接接触し、同加熱部１５とケーシング１
との間にスペーサ１８が介装されている。１４が上記各
加熱部１５を加熱する電気ヒータである。なおケーシン
グ１には、水冷手段または空冷手段（図示せず）が設け
られており、この水冷手段または空冷手段により、ケー
シング１が冷却されて、回転体５〜７の温度上昇が限度
温度以下に抑えられるようになっている。
グ１外にもあり、この部分では、加熱部１５と隔壁１６
の延長部とが直接接触し、同加熱部１５とケーシング１
との間にスペーサ１８が介装されている。１４が上記各
加熱部１５を加熱する電気ヒータである。なおケーシン
グ１には、水冷手段または空冷手段（図示せず）が設け
られており、この水冷手段または空冷手段により、ケー
シング１が冷却されて、回転体５〜７の温度上昇が限度
温度以下に抑えられるようになっている。
【００１４】次に前記図１に示すターボ分子ポンプの作
用を具体的に説明する。動翼（回転翼）５と回転軸７と
をもつロータ６をモータ１３により高速回転させ、ガス
を吸気口２→隔壁１６内のガス通路→排気口３（矢印Ａ
1 →Ａ2 参照）に流して、吸気口２を高真空にするとと
もに排気口３を低真空にする。このとき、加熱部１５を
コントロール可能な電気ヒータ１４により加熱して、こ
の加熱部１５の熱を熱の良導体１７を経て伝熱体により
なる隔壁１６に伝えて、隔壁１６を加熱する一方、排気
口３側の加熱部１５を電気ヒータ１４により加熱して、
この加熱部１５の熱を隔壁１６に直接伝え、隔壁１６を
加熱して、析出物の付着を防止する。
用を具体的に説明する。動翼（回転翼）５と回転軸７と
をもつロータ６をモータ１３により高速回転させ、ガス
を吸気口２→隔壁１６内のガス通路→排気口３（矢印Ａ
1 →Ａ2 参照）に流して、吸気口２を高真空にするとと
もに排気口３を低真空にする。このとき、加熱部１５を
コントロール可能な電気ヒータ１４により加熱して、こ
の加熱部１５の熱を熱の良導体１７を経て伝熱体により
なる隔壁１６に伝えて、隔壁１６を加熱する一方、排気
口３側の加熱部１５を電気ヒータ１４により加熱して、
この加熱部１５の熱を隔壁１６に直接伝え、隔壁１６を
加熱して、析出物の付着を防止する。
【００１５】そしてケーシング１を図示を省略した水冷
手段または空冷手段により、冷却して、回転体５〜７の
温度上昇を限度温度以下に抑える。
手段または空冷手段により、冷却して、回転体５〜７の
温度上昇を限度温度以下に抑える。
【００１６】
【発明の効果】本発明のターボ分子ポンプは前記のよう
に回転翼と回転軸とをもつロータを高速回転させ、ガス
を吸気口→隔壁内のガス通路→排気口の方向に流して、
吸気口を高真空にするとともに排気口を低真空にすると
き、加熱部をコントロール可能な電気ヒータ等の加熱手
段により加熱して、この加熱部の熱を熱の良導体を経て
伝熱体によりなる隔壁に伝え、ガス通路を形成する同隔
壁を加熱して、析出物の付着を防止するので、メンテナ
ンス周期を長くしたり、メンテナンスを不要にできる。
に回転翼と回転軸とをもつロータを高速回転させ、ガス
を吸気口→隔壁内のガス通路→排気口の方向に流して、
吸気口を高真空にするとともに排気口を低真空にすると
き、加熱部をコントロール可能な電気ヒータ等の加熱手
段により加熱して、この加熱部の熱を熱の良導体を経て
伝熱体によりなる隔壁に伝え、ガス通路を形成する同隔
壁を加熱して、析出物の付着を防止するので、メンテナ
ンス周期を長くしたり、メンテナンスを不要にできる。
【図１】本発明のターボ分子ポンプの一実施例を示す縦
断側面図である。
断側面図である。
【図２】従来のターボ分子ポンプを示す縦断側面図であ
る。
る。
１ ケーシング ２ 吸気口 ３ 排気口 ４ 固定翼（静翼） ５ 回転翼（動翼） ６ ロータ ７ 回転軸 １４ 電気ヒータ等の加熱手段 １５ 加熱部 １６ 伝熱体よりなる隔壁 １７ 熱の良導体 １８ スペーサ
Claims (1)
- 【請求項１】 軸方向に交互に配列された複数の回転翼
及び固定翼を有するターボ分子ポンプにおいて、ポンプ
内部のガス流路に伝熱体からなる隔壁を設け、同隔壁と
ポンプ外部に位置する加熱部とを熱の良導体により連結
し、上記加熱部を加熱する電気ヒータ等の加熱手段を同
加熱部に設けたことを特徴とするターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4320205A JP2865959B2 (ja) | 1992-11-30 | 1992-11-30 | ターボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4320205A JP2865959B2 (ja) | 1992-11-30 | 1992-11-30 | ターボ分子ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06159287A true JPH06159287A (ja) | 1994-06-07 |
| JP2865959B2 JP2865959B2 (ja) | 1999-03-08 |
Family
ID=18118888
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4320205A Expired - Lifetime JP2865959B2 (ja) | 1992-11-30 | 1992-11-30 | ターボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2865959B2 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09310696A (ja) * | 1996-03-21 | 1997-12-02 | Osaka Shinku Kiki Seisakusho:Kk | 分子ポンプ |
| US5879139A (en) * | 1995-07-07 | 1999-03-09 | Tokyo Electron Limited | Vacuum pump with gas heating |
| JPH11193793A (ja) * | 1997-12-26 | 1999-07-21 | Ebara Corp | ターボ分子ポンプ |
| US6793466B2 (en) * | 2000-10-03 | 2004-09-21 | Ebara Corporation | Vacuum pump |
| US6926493B1 (en) | 1997-06-27 | 2005-08-09 | Ebara Corporation | Turbo-molecular pump |
| WO2015118897A1 (ja) * | 2014-02-04 | 2015-08-13 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
| WO2015151679A1 (ja) * | 2014-03-31 | 2015-10-08 | エドワーズ株式会社 | 排気口部品、および真空ポンプ |
| US10221863B2 (en) | 2015-03-18 | 2019-03-05 | Shimadzu Corporation | Vacuum pump |
| TWI780855B (zh) * | 2021-01-22 | 2022-10-11 | 日商島津製作所股份有限公司 | 真空泵 |
-
1992
- 1992-11-30 JP JP4320205A patent/JP2865959B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5879139A (en) * | 1995-07-07 | 1999-03-09 | Tokyo Electron Limited | Vacuum pump with gas heating |
| JPH09310696A (ja) * | 1996-03-21 | 1997-12-02 | Osaka Shinku Kiki Seisakusho:Kk | 分子ポンプ |
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| EP3104015A4 (en) * | 2014-02-04 | 2017-08-30 | Edwards Japan Limited | Vacuum pump |
| JP2015148151A (ja) * | 2014-02-04 | 2015-08-20 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
| KR20160117414A (ko) * | 2014-02-04 | 2016-10-10 | 에드워즈 가부시키가이샤 | 진공 펌프 |
| CN106415020A (zh) * | 2014-02-04 | 2017-02-15 | 埃地沃兹日本有限公司 | 真空泵 |
| WO2015118897A1 (ja) * | 2014-02-04 | 2015-08-13 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
| US11009040B2 (en) | 2014-02-04 | 2021-05-18 | Edwards Japan Limited | Vacuum pump |
| CN106415020B (zh) * | 2014-02-04 | 2022-02-01 | 埃地沃兹日本有限公司 | 真空泵 |
| WO2015151679A1 (ja) * | 2014-03-31 | 2015-10-08 | エドワーズ株式会社 | 排気口部品、および真空ポンプ |
| JP2015194116A (ja) * | 2014-03-31 | 2015-11-05 | エドワーズ株式会社 | 排気口部品、および真空ポンプ |
| CN106460856A (zh) * | 2014-03-31 | 2017-02-22 | 埃地沃兹日本有限公司 | 排气口零件及真空泵 |
| US11009044B2 (en) | 2014-03-31 | 2021-05-18 | Edwards Japan Limited | Outlet port part and vacuum pump |
| US10221863B2 (en) | 2015-03-18 | 2019-03-05 | Shimadzu Corporation | Vacuum pump |
| TWI780855B (zh) * | 2021-01-22 | 2022-10-11 | 日商島津製作所股份有限公司 | 真空泵 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2865959B2 (ja) | 1999-03-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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