JP2002180988A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. 吸気口と排気口を有し、ポンプケーシング内部に、ロータとステータにより排気部が構成された真空ポンプにおいて、
   前記排気口の近傍に位置する排気部のステータ側部材を加熱する加熱手段を、該排気口の近傍に位置する排気部のステータ側部材の少なくとも一部に接触させて、運転時に真空領域となるポンプ内部に配置したことを特徴とする真空ポンプ。
2. 前記排気口の近傍に位置する排気部のステータ側部材の温度を測定する温度検出手段を、その温度検知部を前記排気口の近傍に位置する排気部のステータ側部材に接触させて配置したことを特徴とする請求項１記載の真空ポンプ。
3. 前記排気部は翼排気部を有し、この翼排気部のステータ側部材、ロータ、該ロータを支承する軸受及び該ロータを回転させるモータの少なくとも一つを冷却する冷却手段を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の真空ポンプ。
4. 前記加熱手段の端子取出し部をシールする真空シール手段を有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の真空ポンプ。
5. 前記温度検出手段の端子取出し部をシールする真空シール手段を有することを特徴とする請求項２乃至４のいずれかに記載の真空ポンプ。
6. 前記排気部のステータ側部材を吸気口側と排気口側に熱的に断絶する断熱手段を有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の真空ポンプ。
7. 吸気口と排気口を有し、ポンプケーシング内部に、ロータとステータにより溝排気部が構成された真空ポンプにおいて、
   前記溝排気部のロータとの間で排気流路を形成するステータ側部材全体を加熱する加熱手段を、運転時に真空領域となるポンプ内部に配置したことを特徴とする真空ポンプ。
8. 前記溝排気部のロータとの間で排気流路を形成するステータ側部材の温度を測定する温度検出手段を、運転時に真空領域となるポンプ内部に配置したことを特徴とする請求項７記載の真空ポンプ。
9. 前記ポンプケーシング内部に、ロータとステータにより構成された翼排気部を更に有し、この翼排気部のステータ側部材、ロータ、該ロータを支承する軸受及び該ロータを回転させるモータの少なくとも一つを冷却する冷却手段を有することを特徴とする請求項７又は８記載の真空ポンプ。
10. 前記加熱手段の端子取出し部をシールする真空シール手段を有することを特徴とする請求項７乃至９のいずれかに記載の真空ポンプ。
11. 前記温度検出手段の端子取出し部をシールする真空シール手段を有することを特徴とする請求項８乃至１０のいずれかに記載の真空ポンプ。
12. 前記排気部のステータ側部材を吸気口側と排気口側に熱的に断絶する断熱手段を有することを特徴とする請求項７乃至１１のいずれかに記載の真空ポンプ。