CN106415020A

CN106415020A - 真空泵

Info

Publication number: CN106415020A
Application number: CN201580006309.4A
Authority: CN
Inventors: 野中学; 桦泽刚志
Original assignee: Edwards Japan Ltd
Current assignee: Edwards Japan Ltd
Priority date: 2014-02-04
Filing date: 2015-01-08
Publication date: 2017-02-15
Anticipated expiration: 2035-01-08
Also published as: EP3104015B1; US11009040B2; EP3104015A1; JP6386737B2; KR102214002B1; JP2015148151A; KR20160117414A; EP3104015A4; CN106415020B; US20170002832A1; WO2015118897A1

Abstract

提供一种真空泵，该真空泵能够仅将从螺纹槽排气流路的出口附近到排气端口的流路效率良好地加热，适合防止因螺纹槽排气流路的出口附近或前述流路中的工艺气体的温度下降造成的生成物的堆积。真空泵（P1）具备：螺纹槽排气部（Ps），该螺纹槽排气部（Ps）在转子（6）（旋转体）的内周侧和外周侧的至少一部分上具备螺纹槽排气流路（R1）、（R2）；外装箱（1），该外装箱（1）将螺纹槽排气部（Ps）包含在内部；排气端口（3），该排气端口（3）将由螺纹槽排气部（Ps）压缩的气体向外装箱（1）之外排出；隔壁（21），该隔壁（21）将从螺纹槽排气流路（R1）、（R2）的出口到排气端口（3）的流路（S）覆盖。

Description

真空泵

技术领域

本发明涉及作为半导体制造装置、平板显示器制造装置、太阳能面板制造装置中的工艺腔室、其他腔室的气体排气机构等利用的真空泵。

背景技术

以往，作为这种真空泵，例如已知有图10所示的真空泵P10。该图的真空泵P10（以下称作“以往泵P10”）作为借助转子6的旋转而将气体压缩、排出的机构，具备翼排气部Pt和螺纹槽排气部Ps。

特别是，在该以往泵P10中，作为螺纹槽排气部Ps的具体的结构，采用由转子6内周侧的螺纹槽排气流路R1和该转子6外周侧的螺纹槽排气流路R2向相同方向将气体压缩、排出的方式（并行流式），所以具有排气速度大的优点。关于这种并行流式的真空泵，例如在专利文献1中公开。

另外，在以往泵P10中，螺纹槽排气流路R1、R2的出口附近或从这里到排气端口3的流路S是借助泵的压缩作用而压力变高的工艺气体接触的部分。工艺气体中包含的升华性气体借助温度与其分压的关系而成为气体或固体，在温度较低或分压较高的环境下容易固化。因此，如果不将螺纹槽排气流路R1、R2出口附近或前述流路S的壁面温度保持得较高，则在螺纹槽排气流路R1、R2的出口附近或前述流路S中，工艺气体固化并作为生成物堆积。

但是，在以往泵P10中，螺纹槽排气流路R1、R2的出口附近或前述流路S设在与外气接触的外装箱1（具体而言是泵基座1B）上。因此，螺纹槽排气流路R1、R2的出口附近或前述流路S的壁面温度较低，在螺纹槽排气流路R1、R2的出口附近或前述流路S中，工艺气体的压缩热容易被散热，较早地发生因工艺气体的温度下降带来的生成物的堆积，有螺纹槽排气流路R1、R2的出口附近或前述流路S因生成物的堆积而容易堵塞等的问题。

作为解决前述问题的手段，也有通过在外装箱1的外侧设置带式加热器等加热机构来将螺纹槽排气流路R1、R2的出口附近和前述流路S的温度保持得较高的方法。但是，在该方法中，由于外装箱1暴露在外气中，所以从外装箱1向外气的热的放散较多，加热效率较差，而且还使内置在与外装箱1连结的定子柱4中的电装零件（径向磁力轴承10、10及驱动马达12等）的温度上升，还有容易导致因过热造成的电装零件的故障的问题。

专利文献1：日本实开平5－38389号公报。

发明内容

本发明是为了解决前述问题而做出的发明，其目的是提供一种真空泵，该真空泵能够仅将从螺纹槽排气流路的出口附近到排气端口的流路效率良好地加热，适合防止因螺纹槽排气流路的出口附近或前述流路中的工艺气体的温度下降造成的生成物的堆积。

为了实现前述目的，本发明的特征在于，具备：螺纹槽排气部，该螺纹槽排气部在旋转体的内周侧和外周侧的至少一部分上具备螺纹槽排气流路；外装箱，该外装箱将前述螺纹槽排气部包含在内部；排气端口，该排气端口将由前述螺纹槽排气部压缩的气体向前述外装箱之外排出；隔壁，该隔壁将从前述螺纹槽排气流路的出口到前述排气端口的流路覆盖。

在前述本发明中，其特征在于，前述隔壁经由隔热件接合在其以外的泵结构零件上。

在前述本发明中，其特征在于，将前述排气端口做成由内外的筒体构成的多重筒构造，将一个筒体安装于前述外装箱，将另一个筒体安装于前述隔壁。

在前述本发明中，其特征在于，作为前述排气端口的构造，在前述隔壁上安装着端口部件。

在前述本发明中，其特征在于，在前述隔壁或构成前述螺纹槽排气流路的螺纹槽泵定子上，配设有加热机构和测温机构。

在前述本发明中，其特征在于，具备控制前述加热机构的控制机构。

在前述本发明中，其特征在于，前述排气端口与前述隔壁以外的泵结构零件非接触地设置。

在本发明中，作为真空泵的具体的结构，采用下述这样的结构：设置将从螺纹槽排气流路的出口到排气端口的流路覆盖的隔壁，由此该隔壁从前述外装箱及连结在其上的定子柱外壁将该流路内覆盖。因此，不易产生穿过前述流路或螺纹槽排气流路的出口附近的工艺气体的温度下降，并且能够将前述流路及螺纹槽排气流路的出口附近的壁面温度保持得较高，就这些点而言，能够提供适合于防止因螺纹槽排气流路的出口附近或前述流路中的工艺气体的温度下降造成的生成物的堆积的真空泵。

根据本发明，前述流路与外装箱及连结在其上的定子柱之间的热的出入被隔壁妨碍，所以能够仅将前述流路及螺纹槽排气流路出口附近效率良好地加热，也不会有因该加热而产生外装箱的温度上升的情况，由此，能够防止与外装箱连结的定子柱及内置在该定子柱中的电装零件的温度上升，能够实现因电装零件的过热造成的故障的减少及电装零件的长寿命化。此外，即使为了保护定子柱及内置在定子柱中的电装零件而在外装箱上设置冷却机构并将外装箱冷却，前述流路的温度也不会下降。

涉及本发明的真空泵如前述那样适合于防止生成物的堆积，能够实现因电装零件的过热造成的故障的减少及电装零件的长寿命化，所以将堆积的生成物除去等的泵维护的周期较长，泵性能也稳定，能够实现真空工艺的生产性的提高。

附图说明

图1是作为本发明的一实施方式的真空泵的剖视图。

图2是作为本发明的另一实施方式的真空泵的剖视图。

图3是作为本发明的另一实施方式的真空泵的剖视图。

图4是作为本发明的另一实施方式的真空泵的剖视图。

图5是作为本发明的另一实施方式的真空泵的剖视图。

图6是作为本发明的另一实施方式的真空泵的剖视图。

图7是作为本发明的另一实施方式的真空泵的剖视图。

图8是作为本发明的另一实施方式的真空泵的剖视图。

图9是作为本发明的另一实施方式的真空泵的剖视图。

图10是以往的真空泵的剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图对用来实施本发明的优选的方式详细地说明。

图1是作为本发明的第1实施方式的真空泵（螺纹槽泵并行流式）的剖视图。

图1的真空泵P1例如被作为半导体制造装置、平板显示器制造装置、太阳能面板制造装置中的工艺腔室或其他密闭腔室的气体排气机构等利用。

在该图的真空泵P1中，其外装箱1将多个泵结构零件包含在内部，所述多个泵结构零件例如是借助旋转翼13和固定翼14将气体排出的翼排气部Pt、利用螺纹槽19A、19B将气体排出的螺纹槽排气部Ps和它们的驱动系统等。

外装箱1呈将筒状的泵箱1A和有底筒状的泵基座1B在其筒轴方向上用紧固螺栓一体地连结的有底圆筒形，泵箱1A的上端部侧作为用来将气体吸入的吸气口2开口，此外，在泵基座1B的下端部侧面上，作为将由螺纹槽排气部Ps压缩的气体向外装箱1之外排出的机构而设有排气端口3。

吸气口2借助设在泵箱1A上缘的凸缘1C上的未图示的紧固螺栓，连接于例如半导体制造装置的工艺腔室等呈高真空的未图示的密闭腔室。排气端口3与未图示的辅助泵连通连接。

在泵箱1A内的中央部设有内置各种电装件的圆筒状的定子柱4。在图1的真空泵P1中，将该定子柱4一体地立设在泵基座1B的内底上，但作为与其不同的实施方式，例如也可以作为与泵基座1B分体的零件来形成定子柱4，并将定子柱4螺紧固定在泵基座1B的内底上。

在定子柱4的内侧设有旋转轴5，旋转轴5配置为，其上端部朝向吸气口2的方向，其下端部朝向泵基座1B的方向。

此外，旋转轴5的上端部设置为，从定子柱4的圆筒上端面向上方突出。

旋转轴5构成为，被作为支承机构的2组径向磁力轴承10、10和1组轴向磁力轴承11能够旋转地在径向和轴向上支承，在该支承状态下，被作为驱动机构的驱动马达12旋转驱动。另外，由于径向磁力轴承10、10、轴向磁力轴承11及驱动马达12是周知的，所以其详细说明省略。

在定子柱4的外侧，作为旋转体而设有转子6。转子6是被泵箱1A及泵基座1B包含在内部、并将定子柱4的外周包围的圆筒形状，为借助位于其大致中间的环状板体的连结部60将直径不同的2个筒体（第1筒体61和第2筒体62）在其筒轴方向上连结的形状。

在第1筒体61的上端，作为构成其上端面的部件，一体地设有端部件63，前述转子6构成为，经由该端部件63固定在旋转轴5上，并且经由旋转轴5被径向磁力轴承10、10及轴向磁力轴承11能够绕其轴心（旋转轴5）旋转地支承。

图1的真空泵P1中的转子6是通过从一个铝合金块切割加工、将第1筒体61、第2筒体62、连结部60及端部件63形成为一个零件的结构，但作为与其不同的实施方式，也可以采用例如以连结部60为边界将第1筒体61和第2筒体62构成为分体零件的方式。在此情况下，也可以是第1筒体61由铝合金等金属材料形成、第2筒体62由树脂形成等使第1筒体61与第2筒体62的构成材料分别不同的结构。

<<翼排气部Pt的详细情况>>

在图1的真空泵P1中，转子6的比大致中间靠上游的部分（具体而言，从连结部60到转子6的吸气口2侧端部的范围）作为翼排气部Pt发挥功能。以下，详细地说明该翼排气部Pt。

在转子6的比大致中间靠上游侧的转子6外周面、具体而言在第1筒体61的外周面上，一体地设有多个旋转翼13。这些多个旋转翼13以该转子6的旋转中心轴（旋转轴5）或外装箱1的轴心（以下称作“真空泵轴心”）为中心放射状地排列配置。

另一方面，在泵箱1A的内周侧设有多个固定翼14，这些多个固定翼14也以真空泵轴心为中心放射状地排列配置。

并且，在图1的真空泵P1中，将如前述那样放射状地配置的旋转翼13和固定翼14沿着真空泵轴心交替地多层地配置，由此构成真空泵P1的翼排气部Pt。

每个旋转翼13都是与转子6的外径加工部一体地通过切削加工切割形成的叶片状的切削加工件，以最适合于气体分子的排气的角度倾斜。每个固定翼14也都以最适合于气体分子的排气的角度倾斜。

<<由翼排气部Pt进行的排气动作的说明>>

在由以上的结构构成的翼排气部Pt中，借助驱动马达12的起动，旋转轴5、转子6及多个旋转翼13一体地高速旋转，最上层的旋转翼13对从吸气口2入射的气体分子施加朝下方向（从吸气口2朝向排气端口3的方向）的动量。具有该朝下方向的动量的气体分子被固定翼14向下一层的旋转翼13侧送入。将以上那样的向气体分子的动量的施加和送入动作反复多层地进行，由此，将吸气口2侧的气体分子以朝向转子6的下游依次转移的方式排出。

<<螺纹槽排气部Ps的详细情况>>

在图1的真空泵P1中，转子6的比大致中间靠下游的部分（具体而言，从连结部60到转子6的排气端口3侧端部的范围）作为螺纹槽排气部Ps发挥功能。以下详细地说明该螺纹槽排气部Ps。

转子6的比大致中间靠下游侧的转子6部分、具体而言构成转子6的第2筒体62，是作为螺纹槽排气部Ps的旋转部件旋转的部分，经由既定的缝隙插入、容纳在构成螺纹槽排气部Ps的内外2重圆筒形的螺纹槽排气部定子18A、18B之间。

内外2重圆筒形的螺纹槽排气部定子18A、18B中的内侧的螺纹槽排气部定子18A，是以其外周面与第2筒体62的内周面对置的方式配置的圆筒形的固定部件，配置为被第2筒体62的内周包围。外侧的螺纹槽排气部定子18B是以其内周面与第2筒体62的外周面对置的方式配置的圆筒形的固定部件，配置为将第2筒体62的外周包围。

在内侧的螺纹槽排气部定子18A的外周部，作为在前述转子6的内周侧（具体而言在第2筒体62的内周侧）形成螺纹槽排气通路R1的机构，形成有以深度朝向下方小径化的圆锥形状变化的螺纹槽19A。该螺纹槽19A从内侧螺纹槽排气部定子18A的上端朝向下端螺旋状地刻设，借助这样的具备螺纹槽19A的内侧螺纹槽排气部定子18A，在第2筒体62的内周侧形成用于气体排气的螺纹槽排气流路（以下称作“内侧螺纹槽排气流路R1”）。

在外侧的螺纹槽排气部定子18B的内周部，作为在前述转子6的外周侧（具体而言在第2筒体62的外周侧）形成螺纹槽排气通路R2的机构，形成有与前述螺纹槽19A同样的螺纹槽19B。借助这样的具备螺纹槽19B的外侧螺纹槽排气部定子18B，在第2筒体62的外周侧形成螺纹槽排气流路（以下称作“外侧螺纹槽排气流路R2”）。

虽然图示省略，但也可以构成为，通过将之前说明的螺纹槽19A、19B形成在第2筒体62的内周面或外周面或其两面上，设置前述那样的螺纹槽排气流路R1、R2。此外，也可以将这些螺纹槽排气流路R1、R2设在转子6的内周侧和外周侧的一部分上。

在螺纹槽排气部Ps中，借助螺纹槽19A和第2筒体62的内周面处的拖拽效应及螺纹槽19B和第2筒体62的外周面处的拖拽效应，将气体在压缩的同时移送，所以螺纹槽19A的深度设定为，在内侧螺纹槽排气流路R1的上游入口侧（距吸气口2较近的流路开口端）最深，在其下游出口侧（距排气端口3较近的流路开口端）最浅。这对于螺纹槽19B也是同样的。

外侧螺纹槽排气流路R2的入口（上游端侧）连通于多层配置的固定翼14中的最下层的固定翼14E与后述的连通开口部H的上游端之间的间隙（以下称作“最终间隙G1”）。此外，该流路R2的出口（下游端侧）经由泵内排气口侧的流路S（以下称作“泵内排气口侧流路S”）连通于排气端口3。

内侧螺纹槽排气流路R1的入口（上游端侧）在转子6的大致中间处朝向该转子6的内周面（具体而言是连结部60的内表面）而开口。此外，该流路R1的出口（下游端侧）经由泵内排气口侧流路S连通于排气端口3。

在转子6及螺纹槽排气部定子18A、18B的下端部与泵基座1B的内底部之间设置既定的间隙（在图1的真空泵P1中，是绕定子柱4的下部外周一圈的方式的间隙），由此，前述泵内排气口侧流路S以从螺纹槽排气流路R1、R2的出口到排气端口3的方式形成。

在转子6的大致中间处开设有连通开口部H，连通开口部H以将转子6的表背面之间贯通的方式形成，由此以将存在于转子6的外周侧的气体的一部分向内侧的螺纹槽排气流路R1引导的方式发挥功能。具备这样的功能的连通开口部H例如也可以如图1那样以将连结部60的内外表面贯通的方式形成。此外，在图1的真空泵P1中，设置多个前述连通开口部H，配置为，使这些多个连通开口部H相对于真空泵轴心呈点对称。

<<螺纹槽排气部Ps的排气动作的说明>>

借助之前说明的由翼排气部Pt的排气动作进行的移送而到达最终间隙G1或螺纹槽排气流路R2的入口（上游端）的气体分子从螺纹槽排气流路R2或连通开口部H向螺纹槽排气流路R1转移。转移的气体分子借助由转子6的旋转产生的效应、即第2筒体62的外周面和螺纹槽19B处的拖拽效应、及第2筒体62的内周面和螺纹槽19A处的拖拽效应，在被从迁移流压缩为粘性流的同时朝向泵内排气口侧流路S转移。并且，到达泵内排气口侧流路S的气体分子向排气端口3流入，经由未图示的辅助泵被向外装箱1之外排出。

<<隔壁的说明>>

在图1的真空泵P1中，采用下述这样的结构：在形成泵内排气口侧流路S的内壁的一部分的泵基座1B的内底上设有隔壁设置空间，在该空间中设置隔壁21，由此设有将泵内排气口侧流路S覆盖的隔壁21。特别是，在图1的真空泵P1中，作为这样的隔壁21的具体的构造例，设为下述这样的构造：内侧螺纹槽排气部定子18A的排气口侧端部作为延长部18A－1被延长而成为隔壁21的一部分。在前述延长部18A－1与定子柱4外壁之间有间隙G4，确保了隔热。

隔壁21由热的良导体（例如铝合金等）构成，形成泵内排气口侧流路S的内壁的一部分，作为将泵内排气口侧流路S内从外装箱1覆盖的机构发挥功能。

在隔壁21与泵基座1B的内底（泵内排气口侧流路S的内壁的一部分）之间设有用于隔热的空隙G2。此外，该隔壁21经由由热的不良导体（例如不锈钢合金、陶瓷等）构成的隔热件22接合在其以外的泵结构零件（在图1的例子中是泵基座1B的内周层部）上。密封机构T1作为防止气体经由空隙G2从排气端口3向螺纹槽排气部Ps上游倒流的机构发挥功能。隔热件22也可以兼具防止气体从排气端口3向螺纹槽排气部Ps上游倒流的功能。

在图1的真空泵P1中，从隔壁21向泵基座1B的热的移动被前述空隙G2及隔热件22阻止，所以能够在将隔壁21保持为高温并提高泵内排气口侧流路S内的温度的同时，有效地防止外装箱1（泵基座1B、泵箱1A）及定子柱4的温度上升。

<<加热机构的说明>>

在图1的真空泵P1中，采用通过将内侧和外侧的螺纹槽排气部定子18A、18B用紧固螺栓安装到隔壁21上、将螺纹槽排气部定子18A、18B定位固定的结构，以及通过作为加热机构而在隔壁21中埋设棒状的加热器HT、来以该加热器HT自身的发热将隔壁21加热并以来自隔壁21的热传导将螺纹槽排气部定子18A、18B加热的结构。

在图1的真空泵P1中，在螺纹槽排气流路R1、R2中将气体压缩时产生的热（气体压缩热）经由螺纹槽排气部定子18A、18B向隔壁21传递，并且该传递的热被空隙G2及隔热件22在隔壁21中保持，所以仅借助气体压缩热，隔壁21的温度也上升，与此对应，泵内排气口侧流路S内的温度也上升。

除此以外，在该图的真空泵P1中，还能够用加热器HT将隔壁21加热，所以能够在防止外装箱1及定子柱4的温度上升的同时，进一步提高泵内排气口侧流路S内的温度，能够有效地防止泵内排气口侧流路S内的生成物的附着、堆积。

另外，在图1的真空泵P1中，之前说明的最终间隙G1及定子柱4外壁部附近被保持为较低的压力，所以有即使将其温度保持为低温、生成物堆积的风险也较低的特征。

<<排气端口的详细情况>>

在图1的真空泵P1中，作为排气端口3的具体的结构，形成从泵基座1B的外侧面将隔壁21贯通而连通到泵内排气口侧流路S的结构的贯通孔23，在该贯通孔23处作为端口部件将筒体24安装到外装箱1上。

此外，在图1的真空泵P1中，通过在隔壁21的贯通部21A上接合由热的良导体（例如铝合金等）构成的筒体25的一端部，将该筒体25安装到隔壁21上，并且通过将安装的筒体25的另一端部插入到前述筒体24内，使排气端口3成为由内外的筒体24、25构成的多重筒构造，采用遍及从排气端口3的入口（上游端）到出口（下游端）的全范围配置该筒体25的结构。内侧的筒体25不与外侧的筒体24或泵基座1A接触，从而与这些外装零件隔热地配置。

根据前述那样的排气端口3的结构，借助隔壁21的热，内侧的筒体25的温度上升，通过该温度上升，排气端口3的出口附近被高温化，所以也能够有效地防止排气端口3的出口附近处的生成物的附着、堆积。另外，在连接于排气端口3的出口的配管被温度管理而高温化的情况下，也可以将内侧的筒体25省略。

图2至图9是作为本发明的其他实施方式的真空泵的剖视图。各个图的真空泵P2～P9的基本的结构与图1的真空泵P1是同样的，所以在各个图中，对于与图1相同的部件赋予相同的附图标记，将其详细说明省略，以下仅说明不同的部分。

<<图2的真空泵P2的特征>>

在图1的真空泵P1中，将外侧的螺纹槽排气部定子18B与隔壁21形成为分体零件，但代替此方案，在图2的真空泵P2中将该螺纹槽排气部定子18B与隔壁21形成为一个零件，由此实现了零件件数及组装工序数的削减。

<<图3的真空泵P3的特征>>

在图3的真空泵P3中，在图1的泵内空间G3（外侧的螺纹槽排气部定子18B与泵基座1B之间的间隙）中设有将隔壁21的一部分延伸设置而成的延设部26。该延设部26作为减少从外侧的螺纹槽排气部定子18B经由气体向泵基座1B侧散逸的热量的机构发挥功能。

即，在图1的真空泵P1中，借助由翼排气部Pt的排气动作进行的移送而到达最终间隙G1及螺纹槽排气流路R2的入口（上游端）的气体分子还向泵内空间G3流入。向该泵内空间G3内流入的气体量越多，经由泵内空间G3内的气体从外侧的螺纹槽排气部定子18B向泵基座1B侧散逸的热量就越多。对于这一点，在图3的真空泵P3中，在这样的泵内空间G3中存在隔壁21的延设部26，所以流入到泵内空间G3中的气体量减少，随之，从外侧的螺纹槽排气部定子18B向泵基座1B侧散逸的热量也减少。

此外，在图3的真空泵P3中，作为使得隔壁21在因转子6与堆积的生成物的接触而转子6损坏时的破坏转矩下不旋转的机构，构成为，在泵基座1B的内底面上立设旋转阻止块M，另一方面，与其对应，在隔壁21上设置凹部N，在该凹部N中配置旋转阻止块M。另外，旋转阻止块M不与凹部N接触。这是为了防止热从隔壁21经由旋转阻止块M向泵基座1B侧散逸。

<<图4的真空泵P4的特征>>

在图1的真空泵P1中，在比转子6的下端或螺纹槽排气部定子18A、18B的下端低的位置设有排气端口3，但在图4的真空泵P4中，作为比其高的位置的一例，通过以排气端口3的下部与转子6的下端或螺纹槽排气部定子18A、18B的下端大致并列的方式设置该排气端口3，将泵内排气口侧流路S的高度设定得较低，在真空泵轴心方向上实现了真空泵P4整体的缩短、小型化。

<<图5的真空泵P5的特征>>

在图1的真空泵P1中，将外侧的螺纹槽排气部定子18B与隔壁21构成为分体零件，但在图5的真空泵P5中，将该螺纹槽排气部定子18B与隔壁21作为一个零件用铸件等一体形成，由此实现了零件件数的削减。

<<图6的真空泵P6的特征>>

在图1的真空泵P1中，作为排气端口3的具体的结构，在泵基座1B的贯通孔23中作为端口部件嵌入装配有筒体24，但代替此方案，在图6的真空泵P6中，将该贯通孔23扩大，构成为使得贯通孔23和该筒体24成为非接触的状态，并且将该筒体24的入口（上游端）侧延长到隔壁21的贯通部21A并嵌入接合于该贯通部21A，由此，在隔壁21上直接安装该筒体24。在此情况下，排气端口3仅由筒体24构成，成为与隔壁21以外的泵结构零件非接触地设置的结构。

根据这样的排气端口3的结构，筒体24自身被隔壁21的热加热，所以能够将之前说明的图1的筒体25省略，能够实现零件件数及组装工序数的削减。

另外，在图6的真空泵P6中，密封机构T1、T2作为防止大气从贯通孔23向泵内流入的真空密封件发挥功能。

<<图7的真空泵P7的特征>>

在图7的真空泵P7中，构成为，作为测温机构27，将由热敏电阻、热电偶、白金电阻件等构成的温度测量元件27A埋设到隔壁21中，设置基于温度测量元件27A中的测量值来控制加热机构（加热器HT）的未图示的控制机构，由此对隔壁21进行温度管理，实现泵内的过热防止。

关于前述加热机构（加热器HT）的控制机构，例如也可以并用将流到加热器HT中的电流值增减的电流控制、和通过调整设置在泵基座1B中的冷却管C的未图示的阀来增减流过冷却管C的冷却介质的流量的流量控制。

关于前述测温机构27及控制机构，对于图1至图6的真空泵P1～P6也能够应用。此外，前述测温机构27也可以设置在螺纹槽泵定子18a、18b上。这一点关于加热机构（加热器HT）也是同样的。

<<图8的真空泵P8的特征>>

在图7的真空泵P7中，作为测温机构27的具体的设置例，大致沿着真空泵轴心方向将测温机构27埋设在隔壁21中（纵置式），但代替此方案，在图8的真空泵P8中，沿着与真空泵轴心方向大致正交的方向将测温机构27埋设在隔壁21中（横置式）。

在前述那样的温度测量元件27A的纵置式中，需要至少比温度测量元件27A的长度高的隔壁21，另一方面，在温度测量元件27A的横置式中，不需要这样高的隔壁21，所以能够将隔壁21的高度设定得较低，在真空泵轴心方向上能够实现真空泵P7整体的缩短、小型化。

<<图9的真空泵P9的特征>>

在图1的真空泵P1中，作为加热机构的具体例，采用以加热器HT自身的发热将隔壁21加热的结构，但代替此方案，在图9的真空泵P9中，采用以使用线圈30的电磁感应加热方式将隔壁21加热的结构。

该电磁感应加热方式由在隔壁21的外底面上作为发热用芯28设置的电阻较小的强磁性体、与该发热用芯28对置的作为磁轭29设置在泵基座1B上的电阻较大的强磁性体、和容纳在磁轭29内的线圈30构成。该结构是一例，根据需要也可以适当变更电磁感应加热方式的结构。

在前述那样的结构的电磁感应加热方式中，如果使交流电流流到线圈30中，则在发热用芯28的内部产生涡流，发热用芯28自身发热而将隔壁21加热。另外，由于磁轭29电阻较大，所以借助该电磁感应加热方式产生的磁轭29自身的发热小到能够忽视的程度。由此，也不会有因磁轭29的发热而导致泵基座1B成为高温的情况。

在以上说明的实施方式的真空泵P1～P9中，作为其具体的结构，采用了下述这样的结构：在从螺纹槽排气流路R1、R2的出口到排气端口3的泵内排气口侧流路S中设置隔壁21，该隔壁21从外装箱1将泵内排气口侧流路S内覆盖。因此，不易产生穿过泵内排气口侧流路S及螺纹槽排气流路R1、R2的出口附近的工艺气体的温度下降，并且能够将泵内排气口侧流路S及螺纹槽排气流路R1、R2的出口附近的壁面温度保持得较高，就这些点而言，能够防止因螺纹槽排气流路R1、R2的出口附近及泵内排气口侧流路S中的工艺气体的温度下降带来的生成物的堆积。

此外，根据真空泵P1～P2，泵内排气口侧流路S与外装箱1之间的热的出入被隔壁21妨碍，所以能够仅将泵内排气口侧流路S及螺纹槽排气流路R1、R2出口附近效率良好地加热，此外，也不会因该加热而产生外装箱1的温度上升。由此，能够防止与外装箱1连结的定子柱4及内置在该定子柱4中的电装零件（径向磁力轴承10、10及驱动马达12等）的温度上升，能够减少因这样的电装零件的过热造成的故障。此外，即使为了保护定子柱4及内置在定子柱4中的电装零件而在外装箱1上设置冷却机构并将外装箱1冷却，泵内排气口侧流路S的温度也不会下降。

本发明并不限定于以上说明的实施方式，能够在本发明的技术思想内由本领域技术人员进行很多变形。

例如，本发明对于在之前说明的本实施方式的真空泵中将翼排气部Pt省略的形式的真空泵也能够应用。

附图标记说明

1 外装箱；1A 泵箱；1B 泵基座；2 吸气口；3 排气端口；4 定子柱；5 旋转轴；6 转子；60 连结部；61 第1筒体；62 第2筒体；63 端部件；10 径向磁力轴承；11 轴向磁力轴承；12 驱动马达；13 旋转翼；14 固定翼；14E 最下层的固定翼；18A 内侧螺纹槽排气部定子；18A－1 内侧螺纹槽排气部定子的延长部；18B 外侧螺纹槽排气部定子；19A、19B 螺纹槽；21 隔壁；21A 隔壁的贯通部；22 隔热件；23 贯通孔；24、25 筒体；26 隔壁的延设部；27 测温机构；27A 温度测量元件；28 发热用芯；29 磁轭；30 线圈；C 冷却管；G1 最终间隙（最下层的旋转翼与连通开口部的上游端之间的间隙）；G2 空隙；G3 泵内空间；G4 间隙；H 连通开口部；HT 加热器（加热机构）；M 旋转阻止块；N 凹部；P1～P10 真空泵；Pt 翼排气部；Ps 螺纹槽排气部；R1 内侧的螺纹槽排气通路；R2 外侧的螺纹槽排气通路；S 泵内排气口侧流路（从螺纹槽排气流路的出口到排气端口的流路）；T1、T2 密封机构。

Claims

1.一种真空泵，其特征在于，具备：

螺纹槽排气部，该螺纹槽排气部在旋转体的内周侧和外周侧的至少一部分上具备螺纹槽排气流路；

外装箱，该外装箱将前述螺纹槽排气部包含在内部；

排气端口，该排气端口将由前述螺纹槽排气部压缩的气体向前述外装箱之外排出；

隔壁，该隔壁将从前述螺纹槽排气流路的出口到前述排气端口的流路覆盖。

2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

前述隔壁经由隔热件接合在其以外的泵结构零件上。

3.如权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，

将前述排气端口做成由内外的筒体构成的多重筒构造，将一个筒体安装于前述外装箱，将另一个筒体安装于前述隔壁。

4.如权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，

作为前述排气端口的构造，在前述隔壁上安装着端口部件。

5.如权利要求1～4中任一项所述的真空泵，其特征在于，

在前述隔壁或构成前述螺纹槽排气流路的螺纹槽泵定子上，配设有加热机构和测温机构。

6.如权利要求5所述的真空泵，其特征在于，

具备控制前述加热机构的控制机构。

7.如权利要求1、2、5、6中任一项所述的真空泵，其特征在于，

前述排气端口与前述隔壁以外的泵结构零件非接触地设置。