JPS59144815A - 立形回転機械の軸受装置 - Google Patents
立形回転機械の軸受装置Info
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- JPS59144815A JPS59144815A JP58018615A JP1861583A JPS59144815A JP S59144815 A JPS59144815 A JP S59144815A JP 58018615 A JP58018615 A JP 58018615A JP 1861583 A JP1861583 A JP 1861583A JP S59144815 A JPS59144815 A JP S59144815A
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- Japan
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- bearing
- gravity
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- magnetic bearing
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/044—Active magnetic bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/048—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps comprising magnetic bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/58—Cooling; Heating; Diminishing heat transfer
- F04D29/5806—Cooling the drive system
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
- F05D—INDEXING SCHEME FOR ASPECTS RELATING TO NON-POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES OR ENGINES, GAS-TURBINES OR JET-PROPULSION PLANTS
- F05D2240/00—Components
- F05D2240/60—Shafts
- F05D2240/61—Hollow
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2360/00—Engines or pumps
- F16C2360/44—Centrifugal pumps
- F16C2360/45—Turbo-molecular pumps
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Thermal Sciences (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は立形回転機械の軸受装置に係り、特にロータの
高速回転の安定化及び回転機械の低騒音化、長寿命化に
有効な装置に関するものであって、例えばタープ分子ポ
ンプの如き立形高速回転機械に用いるに好適なものであ
る。
高速回転の安定化及び回転機械の低騒音化、長寿命化に
有効な装置に関するものであって、例えばタープ分子ポ
ンプの如き立形高速回転機械に用いるに好適なものであ
る。
第１図は従来のタープ分子ポンプの概略構造を示す縦断
面図である。分子ポンプ部はロータ１に設けられた回転
翼２及びケーシング４に同定された静止翼３から成る。
面図である。分子ポンプ部はロータ１に設けられた回転
翼２及びケーシング４に同定された静止翼３から成る。
ロータ１にはモータロータ（モータ回転子）６を備えた
回転軸５が締結されていて、玉軸受８． ａ 、、 ８
ｂで回転軸５を支持することによシロータ１は回転自
在に支持され、該軸５を囲む支持体１０に固定されたモ
ータステータ（モータ固定子）７からモータロータ６に
回転磁界が与えられ駆動される。このモータによりロー
タ１が駆動されると、回転軸５に設けられた軸方向の孔
９に油溜め１３内に封入された潤滑油１２が遠心ポンチ
作用によシ没み上げられ、孔９に連通した半径方向の孔
９． ａ 、 ９ ｂに分配され、玉軸受８ａ及び８ｂ
に給油される。また、モータ及び玉軸受は、冷却管１１
に通水することにより冷却される。
回転軸５が締結されていて、玉軸受８． ａ 、、 ８
ｂで回転軸５を支持することによシロータ１は回転自
在に支持され、該軸５を囲む支持体１０に固定されたモ
ータステータ（モータ固定子）７からモータロータ６に
回転磁界が与えられ駆動される。このモータによりロー
タ１が駆動されると、回転軸５に設けられた軸方向の孔
９に油溜め１３内に封入された潤滑油１２が遠心ポンチ
作用によシ没み上げられ、孔９に連通した半径方向の孔
９． ａ 、 ９ ｂに分配され、玉軸受８ａ及び８ｂ
に給油される。また、モータ及び玉軸受は、冷却管１１
に通水することにより冷却される。
このように構成された分子ポンプは２００ ＣＩＯ〜５
’００００ ｒｐｍで使用され、上部吸気口Ａから下部
排気口Ｂに気体分子が排気され清浄な真空が得られる。
’００００ ｒｐｍで使用され、上部吸気口Ａから下部
排気口Ｂに気体分子が排気され清浄な真空が得られる。
しかし、上記の従来の分子ポンプ構造では、玉軸受が高
速で使用されるため、玉軸受固有のころがシ音及び摩擦
による発熱が大きく、給油不足になると、短時間に玉軸
受が劣化し使用できなくなる。特に上部側の玉軸受８ａ
に対しては給油不足になりやすい。また給油温度は下部
側に比較して上部側の方が玉軸受及びモータの熱を吸収
するため高く斤るので特に上部玉軸受８ａは荷酷な使用
条件に置かれる。さらに、玉軸受及びロータの発熱に対
しては冷却管１１に冷却水を通水し外部に放熱させてい
るが、冷却管１１は通水による管内の汚れにより長期間
使用すると冷却能力が低下するなどの欠点がある。才だ
、ロータが上下の玉軸受で支持されているため回転時の
吸振作用がなく、高精度のバランス作業を必要とするば
かりでなく、床などから伝達される外部加振に対しては
直接玉軸受に加振力が伝達されるため、玉軸受に異常な
振動荷重が作用し損傷することもある。
速で使用されるため、玉軸受固有のころがシ音及び摩擦
による発熱が大きく、給油不足になると、短時間に玉軸
受が劣化し使用できなくなる。特に上部側の玉軸受８ａ
に対しては給油不足になりやすい。また給油温度は下部
側に比較して上部側の方が玉軸受及びモータの熱を吸収
するため高く斤るので特に上部玉軸受８ａは荷酷な使用
条件に置かれる。さらに、玉軸受及びロータの発熱に対
しては冷却管１１に冷却水を通水し外部に放熱させてい
るが、冷却管１１は通水による管内の汚れにより長期間
使用すると冷却能力が低下するなどの欠点がある。才だ
、ロータが上下の玉軸受で支持されているため回転時の
吸振作用がなく、高精度のバランス作業を必要とするば
かりでなく、床などから伝達される外部加振に対しては
直接玉軸受に加振力が伝達されるため、玉軸受に異常な
振動荷重が作用し損傷することもある。
本発明は上記従来技術の欠点に鑑みなされたもので、高
速回転性能及び剛久性にすぐれ、かつ構造簡単で低コス
トの立形回転機械の軸受装置を提供することを目的とす
る。
速回転性能及び剛久性にすぐれ、かつ構造簡単で低コス
トの立形回転機械の軸受装置を提供することを目的とす
る。
本発明に係る立形回転機械の軸受装置は、ロータの重心
よシも上部を機械的接触軸受で、またロータの重心より
も下部を非接触の磁気軸受で支持するようにしたことを
特徴とするものである。
よシも上部を機械的接触軸受で、またロータの重心より
も下部を非接触の磁気軸受で支持するようにしたことを
特徴とするものである。
この磁気軸受は回転時のロータの撮動を減衰さるように
渦電流などの電磁誘導電流によるダンピング作用を持つ
ことが好ましい。
渦電流などの電磁誘導電流によるダンピング作用を持つ
ことが好ましい。
本発明による軸受装置をターボ分子ポンプに適用した実
施例を第１図を参照して説明する。このターボ分子ポン
プにおいて分子ポンプ部は澱１図に示したそれと同一構
造である。この実施例ではロータ１は吊鐘状の空洞を形
成して、！＝−シ、その頂部に回転軸５が締結されてい
て、該軸５はロータ１内に軸方向に延在して因る支持体
１ｏの上部に格納された玉軸受８に支持されている。ロ
ータ１の下部は、ロータ１の下縁に固着した永久磁石１
４ａと支持体１０に固着した永久磁石１４ｂとで構成さ
れた磁気軸受１５で非接触的に支持されている。また、
ロータ１の駆動手段として、支持体１０外面にモータス
テータ７を固定すると共に、ロータ１の内面にモータロ
ータ６を嵌合してアウタロータ形の駆動モータを構成し
である。Ｊ：肥土軸受８ば、ロータ１（モータロータ６
も含めて）の重心よシ土方に位置し、磁気軸受１５は該
重心よりも下方ｒ（位置している。
施例を第１図を参照して説明する。このターボ分子ポン
プにおいて分子ポンプ部は澱１図に示したそれと同一構
造である。この実施例ではロータ１は吊鐘状の空洞を形
成して、！＝−シ、その頂部に回転軸５が締結されてい
て、該軸５はロータ１内に軸方向に延在して因る支持体
１ｏの上部に格納された玉軸受８に支持されている。ロ
ータ１の下部は、ロータ１の下縁に固着した永久磁石１
４ａと支持体１０に固着した永久磁石１４ｂとで構成さ
れた磁気軸受１５で非接触的に支持されている。また、
ロータ１の駆動手段として、支持体１０外面にモータス
テータ７を固定すると共に、ロータ１の内面にモータロ
ータ６を嵌合してアウタロータ形の駆動モータを構成し
である。Ｊ：肥土軸受８ば、ロータ１（モータロータ６
も含めて）の重心よシ土方に位置し、磁気軸受１５は該
重心よりも下方ｒ（位置している。
一方、玉軸受８及びモータステータ７の冷却手段として
、支持体１ｏの下部に送風器１６を配置すると共に、支
持体１ｏを中空形状にしてそれに挿入した管１８に送風
器１６の支持枠１７を固定し、送風器１６がらの空気流
が矢印のように管］８内を通シ玉軸受８側を経て管１８
の外側をモータステータ７に沿って流れるよう構成しで
ある。
、支持体１ｏの下部に送風器１６を配置すると共に、支
持体１ｏを中空形状にしてそれに挿入した管１８に送風
器１６の支持枠１７を固定し、送風器１６がらの空気流
が矢印のように管］８内を通シ玉軸受８側を経て管１８
の外側をモータステータ７に沿って流れるよう構成しで
ある。
このように構成されたターボ分子ポンプにおいて、前記
駆動モータにょ）ロータ１が回転すると、玉軸受８は、
支持体１ｏ内の油溜め１３がら遠心ポンプ作用で回転軸
５の軸方向孔９及び半径方向孔９ａを経て潤滑油が給油
されるが、図示のように４閏滑油の給油径路が短かいた
め確実に給油されると共に、潤滑油は管１ｓｉｂ噴流さ
れる空気によシ、冷却されるため回転軸５及び玉軸受８
は効果的に冷却される。また、玉軸受８はロータ１の重
心点よりも上部に配置されているので、ロータ１は振シ
子型の支持方式となっておシ、このためロータ１には重
力方向に復元力が作用する。さらに、本構造ではロータ
１を重力方向に位（托決めし安定に回転させるように磁
気軸受１５を配置して非接触でロータ１を支持すると共
に、磁気軸受１５に銅製のカバー（図示していなめ）を
設けて渦電流損を利用した吸振機能（ダンピング機能）
を持たせであるため、ロータ１の振動が吸収される。こ
の場合、支点となる玉軸受８と磁気軸受１５との間隔が
大きいため、磁気軸受１５による減衰作用に効果的に働
き、高速回転時に安定した振動特性が得られる。また、
上記したように振９子形のロータ支持構造となっている
ため、回転系としては共振点が従来構造に比較し著しる
しく低下するからロータ１のバランス作業が簡単で、し
かも低速領域に共振点があるから不釣合応答感度も低く
運転がし易い。
駆動モータにょ）ロータ１が回転すると、玉軸受８は、
支持体１ｏ内の油溜め１３がら遠心ポンプ作用で回転軸
５の軸方向孔９及び半径方向孔９ａを経て潤滑油が給油
されるが、図示のように４閏滑油の給油径路が短かいた
め確実に給油されると共に、潤滑油は管１ｓｉｂ噴流さ
れる空気によシ、冷却されるため回転軸５及び玉軸受８
は効果的に冷却される。また、玉軸受８はロータ１の重
心点よりも上部に配置されているので、ロータ１は振シ
子型の支持方式となっておシ、このためロータ１には重
力方向に復元力が作用する。さらに、本構造ではロータ
１を重力方向に位（托決めし安定に回転させるように磁
気軸受１５を配置して非接触でロータ１を支持すると共
に、磁気軸受１５に銅製のカバー（図示していなめ）を
設けて渦電流損を利用した吸振機能（ダンピング機能）
を持たせであるため、ロータ１の振動が吸収される。こ
の場合、支点となる玉軸受８と磁気軸受１５との間隔が
大きいため、磁気軸受１５による減衰作用に効果的に働
き、高速回転時に安定した振動特性が得られる。また、
上記したように振９子形のロータ支持構造となっている
ため、回転系としては共振点が従来構造に比較し著しる
しく低下するからロータ１のバランス作業が簡単で、し
かも低速領域に共振点があるから不釣合応答感度も低く
運転がし易い。
棟だ、本実施例ではロータ１の駆動をアウタロータ方式
のモータ構造で行うので、従来構造に比較し駆動トル７
が大きくとれるため小容量の電力で高速回転させること
ができ、したがって従来構造に比較し玉軸受の損失及び
モータの動力が少ないため冷却能力の大きな冷却設備を
必要とせず、図示のように送風器１６による冷却で十分
である。
のモータ構造で行うので、従来構造に比較し駆動トル７
が大きくとれるため小容量の電力で高速回転させること
ができ、したがって従来構造に比較し玉軸受の損失及び
モータの動力が少ないため冷却能力の大きな冷却設備を
必要とせず、図示のように送風器１６による冷却で十分
である。
また、この送風冷却方式は、冷却管の腐食、汚染物の沈
着、水漏れなどを起し易い従来の通水冷却に比較して長
期間の使用後も初期と同じ冷却能力で玉軸受及びモータ
を冷却で卒、故障しにくい。
着、水漏れなどを起し易い従来の通水冷却に比較して長
期間の使用後も初期と同じ冷却能力で玉軸受及びモータ
を冷却で卒、故障しにくい。
さらに、構造が簡単なために玉軸受８を交換する場合は
支持体１０を取りはずすことにより軸受部を外部に取シ
出せるので保守小検が簡単である。
支持体１０を取りはずすことにより軸受部を外部に取シ
出せるので保守小検が簡単である。
第３図は他の実施例を示す図であり、第２図と兵なると
ころは磁気軸受１５の近傍部分において支持体１０の外
周に振れ止めリング１９を配置したことにあり、この振
れ止めリング１９はロータ１の内周部と間隙を置いて対
向している。これは、地震などの突発的女外部加振に対
し、このリング１９とロータ内周部とが接触することに
よって静止翼３と回転翼２との接触を防止することを目
的として設けたものである。したがって、勿論通常の運
転時はロータ１はリング１９と接触していない。
ころは磁気軸受１５の近傍部分において支持体１０の外
周に振れ止めリング１９を配置したことにあり、この振
れ止めリング１９はロータ１の内周部と間隙を置いて対
向している。これは、地震などの突発的女外部加振に対
し、このリング１９とロータ内周部とが接触することに
よって静止翼３と回転翼２との接触を防止することを目
的として設けたものである。したがって、勿論通常の運
転時はロータ１はリング１９と接触していない。
なお分子ポンプの高速、大形化にょシ駆動モータ及び軸
受の発熱に対して上記のような通風冷却方式では不十分
な場合には、通風冷却を通水冷却にすればよい。また、
冷却用の送風器を組込んだ実施例を示したが、コンプレ
ッサーなどの外部空気源を利用すれば送風器の組込みは
不要で、より構造が簡単になシ低コスト化ができる。ま
た、上記実施例においては上部軸受として玉軸受を使用
しているが、球面ピボット軸受等の滑シ軸受を使用して
も前記作用効果を奏することはいうまでもない。
受の発熱に対して上記のような通風冷却方式では不十分
な場合には、通風冷却を通水冷却にすればよい。また、
冷却用の送風器を組込んだ実施例を示したが、コンプレ
ッサーなどの外部空気源を利用すれば送風器の組込みは
不要で、より構造が簡単になシ低コスト化ができる。ま
た、上記実施例においては上部軸受として玉軸受を使用
しているが、球面ピボット軸受等の滑シ軸受を使用して
も前記作用効果を奏することはいうまでもない。
本発明によれば、ロータは重心よシ上部を機械的接触軸
受、重心よシ下部を非接触磁気軸受で支持されているた
め振り子型支持となり、復元性がよく、低速領域に共振
点を持つようにすることができるので、高速回転時の安
定性が向上する。従って極変に厳密なロータのバランス
作業は必要でない。捷た機械的な接触軸受は上部のみに
あるので、従来の如き上下に機械的接触軸受と配置した
ものに比べて潤滑系や冷却系の簡素化が可能で軸受の発
熱・摩損・騒音を減少させることができ、故障も起シに
くい。更に、上記振り子型支持のため外部からの衝撃や
振動荷重で損偏する恐れは少い。
受、重心よシ下部を非接触磁気軸受で支持されているた
め振り子型支持となり、復元性がよく、低速領域に共振
点を持つようにすることができるので、高速回転時の安
定性が向上する。従って極変に厳密なロータのバランス
作業は必要でない。捷た機械的な接触軸受は上部のみに
あるので、従来の如き上下に機械的接触軸受と配置した
ものに比べて潤滑系や冷却系の簡素化が可能で軸受の発
熱・摩損・騒音を減少させることができ、故障も起シに
くい。更に、上記振り子型支持のため外部からの衝撃や
振動荷重で損偏する恐れは少い。
第１図は従来の立型ターボ分子ポンプを示す縦断面一′
、第２図及び第３図は本発明を実施した立型ターパ？分
子ポンプの夫々異る例を示す縦断面図である。 １・・・ロータ、 ２・・・回転翼、３・・
・静止翼、 ４・・・ケーシング、５・・・
回転軸、 ６・・・モータロータ、７・・・
モータステータ、 ８，８ａ、８ｂ・・・玉軸受、１０
・・・支持体、 １２・・・潤滑油溜り、１４
ａ、１４ｂ・・・永久磁石、１５・・・磁気軸受、１６
・・・送風器。 代理人 本 多 小 ゼしユ」’、：、、；
１図 第２図 第３図
、第２図及び第３図は本発明を実施した立型ターパ？分
子ポンプの夫々異る例を示す縦断面図である。 １・・・ロータ、 ２・・・回転翼、３・・
・静止翼、 ４・・・ケーシング、５・・・
回転軸、 ６・・・モータロータ、７・・・
モータステータ、 ８，８ａ、８ｂ・・・玉軸受、１０
・・・支持体、 １２・・・潤滑油溜り、１４
ａ、１４ｂ・・・永久磁石、１５・・・磁気軸受、１６
・・・送風器。 代理人 本 多 小 ゼしユ」’、：、、；
１図 第２図 第３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 鉛直軸線の周シに回転するロータを有する立形回転
機械において、ロータの重心よりも上部を機械的接触軸
受で支持し、ロータの重心よりも下部を非接触磁気軸受
で支持するようにしたことを特徴とする立形回転機械の
軸受装置。 ２ ロータ内部の吊鐘状空洞の頂部に固着したロータ回
転軸を該空洞内に延びる支持体の上部に設けた機械的接
触軸受で支持し、該空洞の子球部を非接触磁気軸受で支
持し、上記支持体に該機械的接触軸受に給油する潤滑系
を設けたことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
軸受装置。 ３ 前記磁気軸受が電磁誘導電流積に基づくダンピング
作用を有することを特徴とする特許請求の範囲第１項又
は第２項記載の軸受装置。 ４ 前記支持体の外面にモータ固定子を取付けて前記空
洞の内面に固定されたモータ回転子と共同してロータ駆
動用モータを形成せしめ、該モータ及び前、記機械的接
触軸受を冷却するため流体の通路を上記支持体内に設け
たこと特徴とする特許請求の範囲第２項記載の軸受装置
。 ５ ロータの下部にロータの一定角度以上の傾斜を防止
する常時は非接触の振れ止めを設けたことを特徴とする
特許請求の範囲第１．第２．第３又は第４項記載の抽受
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58018615A JPS59144815A (ja) | 1983-02-07 | 1983-02-07 | 立形回転機械の軸受装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58018615A JPS59144815A (ja) | 1983-02-07 | 1983-02-07 | 立形回転機械の軸受装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59144815A true JPS59144815A (ja) | 1984-08-20 |
Family
ID=11976525
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58018615A Pending JPS59144815A (ja) | 1983-02-07 | 1983-02-07 | 立形回転機械の軸受装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59144815A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01134796U (ja) * | 1988-03-08 | 1989-09-14 | ||
| EP1247987A2 (en) * | 2001-03-19 | 2002-10-09 | Seiko Instruments Inc. | Turbo molecular pump |
| WO2020145149A1 (ja) * | 2019-01-10 | 2020-07-16 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
| WO2020145150A1 (ja) * | 2019-01-10 | 2020-07-16 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
-
1983
- 1983-02-07 JP JP58018615A patent/JPS59144815A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01134796U (ja) * | 1988-03-08 | 1989-09-14 | ||
| EP1247987A2 (en) * | 2001-03-19 | 2002-10-09 | Seiko Instruments Inc. | Turbo molecular pump |
| EP1247987A3 (en) * | 2001-03-19 | 2002-11-13 | Seiko Instruments Inc. | Turbo molecular pump |
| KR100842977B1 (ko) * | 2001-03-19 | 2008-07-01 | 에드워즈 가부시키가이샤 | 터보분자펌프 |
| WO2020145149A1 (ja) * | 2019-01-10 | 2020-07-16 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
| WO2020145150A1 (ja) * | 2019-01-10 | 2020-07-16 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
| JP2020112079A (ja) * | 2019-01-10 | 2020-07-27 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
| EP3910201A4 (en) * | 2019-01-10 | 2022-10-05 | Edwards Japan Limited | VACUUM PUMP |
| US11808272B2 (en) | 2019-01-10 | 2023-11-07 | Edwards Japan Limited | Vacuum pump including levitated magnetic bearing |
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