JP2002168249A - 回転機械 - Google Patents
回転機械Info
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- JP2002168249A JP2002168249A JP2000363638A JP2000363638A JP2002168249A JP 2002168249 A JP2002168249 A JP 2002168249A JP 2000363638 A JP2000363638 A JP 2000363638A JP 2000363638 A JP2000363638 A JP 2000363638A JP 2002168249 A JP2002168249 A JP 2002168249A
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- bearing
- thrust
- main shaft
- rotating body
- journal
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D29/00—Details, component parts, or accessories
- F04D29/05—Shafts or bearings, or assemblies thereof, specially adapted for elastic fluid pumps
- F04D29/051—Axial thrust balancing
- F04D29/0513—Axial thrust balancing hydrostatic; hydrodynamic thrust bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2360/00—Engines or pumps
- F16C2360/44—Centrifugal pumps
- F16C2360/45—Turbo-molecular pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Sliding-Contact Bearings (AREA)
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】従来において高速回転体の軸受にはアンギュラ
ーコンタクトの玉軸受が使用されていたため、許容回転
数が制限され、高速回転のためには軸受サイズを小さく
する必要があり、回転軸径が小さくなり、回転体の固有
振動数が低下してしまった。またグリース潤滑のため、
長期運用に際しては、潤滑剤の補充がひつようであっ
た。更に、軸受のおかれている周囲の作動流体に潤滑油
汚染を生じさせてしまう可能性があった。 【解決手段】本発明は上記のような課題を解決するた
め、玉軸受を用いずに、磁気軸受によって構成される上
方ジャーナル軸受部Ｕ、下方ジャーナル軸受部Ｋとガス
軸受によって構成されるスラスト軸受部Ｔを用いること
によって、回転体Ｓを周囲と非接触状態とすることとし
た。
ーコンタクトの玉軸受が使用されていたため、許容回転
数が制限され、高速回転のためには軸受サイズを小さく
する必要があり、回転軸径が小さくなり、回転体の固有
振動数が低下してしまった。またグリース潤滑のため、
長期運用に際しては、潤滑剤の補充がひつようであっ
た。更に、軸受のおかれている周囲の作動流体に潤滑油
汚染を生じさせてしまう可能性があった。 【解決手段】本発明は上記のような課題を解決するた
め、玉軸受を用いずに、磁気軸受によって構成される上
方ジャーナル軸受部Ｕ、下方ジャーナル軸受部Ｋとガス
軸受によって構成されるスラスト軸受部Ｔを用いること
によって、回転体Ｓを周囲と非接触状態とすることとし
た。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、回転体の軸受構造
に改良を加えた回転機械に関するものである。
に改良を加えた回転機械に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図５に回転機械の一例として従来のター
ボ分子ポンプを示す。ターボ分子ポンプの全体的な構成
は後述の発明の実施の形態の欄で詳説する。
ボ分子ポンプを示す。ターボ分子ポンプの全体的な構成
は後述の発明の実施の形態の欄で詳説する。
【０００３】従来においては主軸１の下方部分の軸受に
は、アンギュラーコンタクトの玉軸受１７が使用され、
当該軸受１７によって、主軸１をジャーナル方向、スラ
スト方向双方に支持していた。
は、アンギュラーコンタクトの玉軸受１７が使用され、
当該軸受１７によって、主軸１をジャーナル方向、スラ
スト方向双方に支持していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
ものであると、玉軸受の許容回転数の制限から、高速回
転のためには軸受サイズを小さくして周速を下げる必要
があり、回転軸径が小さくなり、回転体の固有振動数が
低下してしまう。
ものであると、玉軸受の許容回転数の制限から、高速回
転のためには軸受サイズを小さくして周速を下げる必要
があり、回転軸径が小さくなり、回転体の固有振動数が
低下してしまう。
【０００５】また、玉軸受はグリース潤滑のため、長期
運用に際しては、潤滑剤の補充が必要であり、構造が複
雑化する上に、軸受のおかれている周囲の作動流体に潤
滑油汚染を生じさせてしまう。
運用に際しては、潤滑剤の補充が必要であり、構造が複
雑化する上に、軸受のおかれている周囲の作動流体に潤
滑油汚染を生じさせてしまう。
【０００６】
【課題を解決するための手段】そこで本発明は上記のよ
うな課題を解決するため、回転体をジャーナル軸受部及
びスラスト軸受部によって支持することとし、ジャーナ
ル軸受部またはスラスト軸受部の一方に永久磁石の反発
力を利用した磁気軸受を用い、他方にガス軸受を用いた
のである。
うな課題を解決するため、回転体をジャーナル軸受部及
びスラスト軸受部によって支持することとし、ジャーナ
ル軸受部またはスラスト軸受部の一方に永久磁石の反発
力を利用した磁気軸受を用い、他方にガス軸受を用いた
のである。
【０００７】これによって、すべての軸受が非接触型の
軸受となり、軸受の周速に対する制限が緩和されるため
に、回転径を小さくする必要がなくなり回転体の固有振
動数が低下することを防止できる。
軸受となり、軸受の周速に対する制限が緩和されるため
に、回転径を小さくする必要がなくなり回転体の固有振
動数が低下することを防止できる。
【０００８】さらに、軸受は非接触型のものであるの
で、潤滑剤を用いる必要がなくなり、軸受まわりの構造
が複雑化する不都合や、軸受のおかれている周囲の作動
流体に潤滑油汚染を生じさせることもなくなる。
で、潤滑剤を用いる必要がなくなり、軸受まわりの構造
が複雑化する不都合や、軸受のおかれている周囲の作動
流体に潤滑油汚染を生じさせることもなくなる。
【０００９】なお、すべての軸受部を永久磁石の反発力
を利用した磁気軸受により構成することも考えられる
が、アーンショウ（Earnshow)の定理を静磁場に適用す
ることで導出されるように、このような軸受は安定な機
構にはなり得ない。
を利用した磁気軸受により構成することも考えられる
が、アーンショウ（Earnshow)の定理を静磁場に適用す
ることで導出されるように、このような軸受は安定な機
構にはなり得ない。
【００１０】これに対して、本発明のようにいずれか一
方にガス軸受を適用すれば，ガス軸受は回転体とケーシ
ング側との間の一定の空間にガスを閉じこめて、動圧を
発生させるものであり、ケーシングによって回転体の一
部を包み込んだような構造を有する関係上、それがジャ
ーナル軸受として使用されてもスラスト軸受として使用
されても、他方の反発形永久磁石による磁気軸受を補助
して、位置決め機能を補完する役割を果たす。
方にガス軸受を適用すれば，ガス軸受は回転体とケーシ
ング側との間の一定の空間にガスを閉じこめて、動圧を
発生させるものであり、ケーシングによって回転体の一
部を包み込んだような構造を有する関係上、それがジャ
ーナル軸受として使用されてもスラスト軸受として使用
されても、他方の反発形永久磁石による磁気軸受を補助
して、位置決め機能を補完する役割を果たす。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を、タ
ーボ分子ポンプに適用した例を図１〜図３を参照して説
明する。
ーボ分子ポンプに適用した例を図１〜図３を参照して説
明する。
【００１２】まず、本ターボ分子ポンプは上部ケースＣ
１及び下部ケースＣ２を主体として形成される。
１及び下部ケースＣ２を主体として形成される。
【００１３】ケーシングＣ内にタービン部Ｒを有する回
転体Ｓを配置し、ケーシングＣと回転体Ｓとの間に上方
ジャーナル軸受部Ｕ、下方ジャーナル軸受部Ｋ及びスラ
スト軸受部Ｔを構成して、回転体Ｓを駆動部Ｍによって
高速駆動するようにしている。
転体Ｓを配置し、ケーシングＣと回転体Ｓとの間に上方
ジャーナル軸受部Ｕ、下方ジャーナル軸受部Ｋ及びスラ
スト軸受部Ｔを構成して、回転体Ｓを駆動部Ｍによって
高速駆動するようにしている。
【００１４】以下において、上記各部の構成要素につい
て詳述する。
て詳述する。
【００１５】まず回転体Ｓは、主軸１と、当該主軸１に
外嵌されたロータ２１と、当該ロータのさらにラジアル
方向外側面に設けられた回転翼２と、ロータ２１の上端
側の内周に設けられた上方ジャーナル軸受部Ｕの一構成
要素でもある永久磁石３と、主軸１の軸方向中間部分に
設けられた駆動部Ｍの一構成要素たるモータ回転子８
と、当該主軸１の下方部分に設けられた下方ジャーナル
軸受部Ｋの一構成要素でもある永久磁石１０と、さらに
主軸１の下端にねじ止めされたスラスト軸受部Ｔの一構
成要素でもある鰐状部材たるスラストランナ１３によっ
て構成されている。
外嵌されたロータ２１と、当該ロータのさらにラジアル
方向外側面に設けられた回転翼２と、ロータ２１の上端
側の内周に設けられた上方ジャーナル軸受部Ｕの一構成
要素でもある永久磁石３と、主軸１の軸方向中間部分に
設けられた駆動部Ｍの一構成要素たるモータ回転子８
と、当該主軸１の下方部分に設けられた下方ジャーナル
軸受部Ｋの一構成要素でもある永久磁石１０と、さらに
主軸１の下端にねじ止めされたスラスト軸受部Ｔの一構
成要素でもある鰐状部材たるスラストランナ１３によっ
て構成されている。
【００１６】上方ジャーナル軸受部Ｕは、上記の回転体
Ｓに設けられた永久磁石３と、上部ケースＣ１の中心部
に取り付けた上部カバーＣ４を介してこの永久磁石３と
対向する位置に反発力が生じるように設置された永久磁
石６とによって構成される。
Ｓに設けられた永久磁石３と、上部ケースＣ１の中心部
に取り付けた上部カバーＣ４を介してこの永久磁石３と
対向する位置に反発力が生じるように設置された永久磁
石６とによって構成される。
【００１７】磁石の配列については下方ジャーナル軸受
部Ｋにおける配列とほぼ同様になるので、下方ジャーナ
ル軸受部Ｋのところで詳述する。
部Ｋにおける配列とほぼ同様になるので、下方ジャーナ
ル軸受部Ｋのところで詳述する。
【００１８】駆動部Ｍは、主軸１に設置されたモータ回
転子８と、当該モータ回転子８と対面するように下部ケ
ースＣ２の中心部のボス孔内周に設けられたモータ固定
子９とによって構成される。
転子８と、当該モータ回転子８と対面するように下部ケ
ースＣ２の中心部のボス孔内周に設けられたモータ固定
子９とによって構成される。
【００１９】下方ジャーナル軸受部Ｋは、主軸１の下方
部分に固定された永久磁石１０と、当該永久磁石１０と
対向する位置に反発力を生じるように下部ケースＣ２の
内周に設置された永久磁石１１から構成される。
部分に固定された永久磁石１０と、当該永久磁石１０と
対向する位置に反発力を生じるように下部ケースＣ２の
内周に設置された永久磁石１１から構成される。
【００２０】ここで、図３を用いて、永久磁石の配列に
ついて詳説する。
ついて詳説する。
【００２１】主軸１またはロータ２１には上下方向に分
極したリング状の磁極片が軸方向に３段に取り付けてあ
り、相隣接する磁極片の隣接面側は同じ極性となるよう
に配置されている。一方、下部ケースＣ２または上部カ
バーＣ４側には、前記主軸１またはロータ２１の磁極片
に対して外輪または内輪となる関係で、上下方向に分極
したリング状の磁極片が軸方向に３段に取り付けてあ
り、相隣接する磁極片の隣接面側は、同じ極性となるよ
うに配置されている。
極したリング状の磁極片が軸方向に３段に取り付けてあ
り、相隣接する磁極片の隣接面側は同じ極性となるよう
に配置されている。一方、下部ケースＣ２または上部カ
バーＣ４側には、前記主軸１またはロータ２１の磁極片
に対して外輪または内輪となる関係で、上下方向に分極
したリング状の磁極片が軸方向に３段に取り付けてあ
り、相隣接する磁極片の隣接面側は、同じ極性となるよ
うに配置されている。
【００２２】そして、主軸１またはロータ２１に設置さ
れた永久磁石と、下部ケースＣ２または上部ケースＣ４
に設置された永久磁石とは、主軸１のラジアル方向に同
じ極性で相対するように設定されている。
れた永久磁石と、下部ケースＣ２または上部ケースＣ４
に設置された永久磁石とは、主軸１のラジアル方向に同
じ極性で相対するように設定されている。
【００２３】こうすることによって、主軸１は磁石の反
発力により、ジャーナル方向について、非接触の状態を
保つことが可能になる。
発力により、ジャーナル方向について、非接触の状態を
保つことが可能になる。
【００２４】スラスト軸受部Ｔは、図２に示すように、
主軸１の下端に取り付けられる鰐状部材たるスラストラ
ンナ１３と、当該スラストランナ１３を一定間隔をおい
て上下から挟み込むような形状で下部ケースＣ２、およ
びこの下部ケースＣ２の下面に取り付けられる底面ケー
スＣ３に設置されたスプリングプレート１４と、当該ス
プリングプレート１４のスラストランナ１３との対向面
を覆うように設けられたスラストフォイル１５から構成
される動圧ガス軸受である。
主軸１の下端に取り付けられる鰐状部材たるスラストラ
ンナ１３と、当該スラストランナ１３を一定間隔をおい
て上下から挟み込むような形状で下部ケースＣ２、およ
びこの下部ケースＣ２の下面に取り付けられる底面ケー
スＣ３に設置されたスプリングプレート１４と、当該ス
プリングプレート１４のスラストランナ１３との対向面
を覆うように設けられたスラストフォイル１５から構成
される動圧ガス軸受である。
【００２５】そして、当該スラストフォイル１５とスプ
リングプレート１４は回転方向には動かないように固定
されており、スラストランナ１３が回転しても静止状態
を維持する。
リングプレート１４は回転方向には動かないように固定
されており、スラストランナ１３が回転しても静止状態
を維持する。
【００２６】最後にタービン部Ｒは、ロータ２１のラジ
アル方向外側面に設けられた回転翼２と、当該回転翼２
と互い違いになるように上部ケースＣ１の内周ステータ
部に設置された固定翼１６とからなり、その下方部には
排気空間ｘが設けられている。
アル方向外側面に設けられた回転翼２と、当該回転翼２
と互い違いになるように上部ケースＣ１の内周ステータ
部に設置された固定翼１６とからなり、その下方部には
排気空間ｘが設けられている。
【００２７】なお、図において符号７，１２で示すもの
は、何らかの原因で主軸１の支持状態が不適切になった
時に働くタッチベアリングである。
は、何らかの原因で主軸１の支持状態が不適切になった
時に働くタッチベアリングである。
【００２８】次に、以上のような構成をとる本ターボ分
子ポンプの動作について説明する。
子ポンプの動作について説明する。
【００２９】まず、外部から駆動部Ｍに動力があたえら
れることによって、モータ回転子８とともに主軸１が回
転し始める。図３に示すように低速回転時より、上方ジ
ャーナル軸受部Ｕと下方ジャーナル軸受部Ｋに設けられ
た永久磁石３と６，１０と１１の反発力によって、主軸
１はジャーナル方向については非接触の状態にある。
れることによって、モータ回転子８とともに主軸１が回
転し始める。図３に示すように低速回転時より、上方ジ
ャーナル軸受部Ｕと下方ジャーナル軸受部Ｋに設けられ
た永久磁石３と６，１０と１１の反発力によって、主軸
１はジャーナル方向については非接触の状態にある。
【００３０】スラスト方向については、低速回転時にお
いては回転と共に、スラストランナ１３が上下のスラス
トフォイル１５の間で摺動する。スラストランナ１３が
高速回転するにつれて、周囲の作動ガスが粘性によりス
ラストフォイル１５とスラストランナ１３の間に引きず
り込まれ、その部分の作動ガスの圧力が大きくなる。
いては回転と共に、スラストランナ１３が上下のスラス
トフォイル１５の間で摺動する。スラストランナ１３が
高速回転するにつれて、周囲の作動ガスが粘性によりス
ラストフォイル１５とスラストランナ１３の間に引きず
り込まれ、その部分の作動ガスの圧力が大きくなる。
【００３１】そして回転速度が一定値を越えると、スラ
ストフォイル１５とスラストランナ１３の間の圧力がス
ラストフォイル１５のばね力にうち勝って、図２に示す
ようにスラストランナ１３がスラストフォイル１５に非
接触の状態となる。非接触となる回転数はスラスト軸受
組立時の間隙の取り方に依存する。
ストフォイル１５とスラストランナ１３の間の圧力がス
ラストフォイル１５のばね力にうち勝って、図２に示す
ようにスラストランナ１３がスラストフォイル１５に非
接触の状態となる。非接触となる回転数はスラスト軸受
組立時の間隙の取り方に依存する。
【００３２】こうして主軸１の回転数が一定値を越える
と、回転体Ｓはスラスト方向においても非接触の状態と
なる。
と、回転体Ｓはスラスト方向においても非接触の状態と
なる。
【００３３】以上のようにして、本ターボ分子ポンプ
は。回転体Ｓをグリース潤滑が不要な軸受Ｕ、Ｋ、Ｔに
よって支持しているので、周囲の作動流体に潤滑油汚染
を生じさせることがなくなり、オイルフリーでクリーン
な排気を行うことが可能になる。
は。回転体Ｓをグリース潤滑が不要な軸受Ｕ、Ｋ、Ｔに
よって支持しているので、周囲の作動流体に潤滑油汚染
を生じさせることがなくなり、オイルフリーでクリーン
な排気を行うことが可能になる。
【００３４】更に、回転体Ｓは他の構成部分と非接触の
状態になるので、軸受部Ｕ、Ｋの回転軸径を小さくする
必要がなくなり、回転体の固有振動数の低下を回避する
ことができるので、高速運転しても振動の発生を抑える
ことができる。
状態になるので、軸受部Ｕ、Ｋの回転軸径を小さくする
必要がなくなり、回転体の固有振動数の低下を回避する
ことができるので、高速運転しても振動の発生を抑える
ことができる。
【００３５】また、潤滑機構が不要であるので軸受部の
構造が簡略化され、保守管理が容易になる利点も得られ
る。
構造が簡略化され、保守管理が容易になる利点も得られ
る。
【００３６】その他、各部の具体的構成は、上記実施形
態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない
範囲で種々変形が可能である。
態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない
範囲で種々変形が可能である。
【００３７】例えば、本実施形態では磁気軸受をジャー
ナル軸受部に、動圧ガス軸受をスラスト軸受部に用いて
いるが、動圧ガス軸受をジャーナル軸受部に、磁気軸受
をスラスト軸受部に用いることも可能である。さらに、
動圧ガス軸受の代わりに、静圧ガス軸受を使用すること
も可能である。また永久磁石の形状は、リング状に限ら
ず、板状のものを使用することも可能である。
ナル軸受部に、動圧ガス軸受をスラスト軸受部に用いて
いるが、動圧ガス軸受をジャーナル軸受部に、磁気軸受
をスラスト軸受部に用いることも可能である。さらに、
動圧ガス軸受の代わりに、静圧ガス軸受を使用すること
も可能である。また永久磁石の形状は、リング状に限ら
ず、板状のものを使用することも可能である。
【００３８】さらに上記実施形態では、本発明の軸受を
ターボ分子ポンプに組み込む場合について考えたが、高
速回転体を利用する機械であれば、本発明の軸受を組み
込むことは可能である。例えば、図４に示すようにブロ
ワに組み込むことも可能である。
ターボ分子ポンプに組み込む場合について考えたが、高
速回転体を利用する機械であれば、本発明の軸受を組み
込むことは可能である。例えば、図４に示すようにブロ
ワに組み込むことも可能である。
【００３９】ブロワの構造について概説する。ブロワは
主軸１の回転に関わる部分については前述のターボ分子
ポンプとほぼ同様の構造を有する。そこで同様の働きを
なす部分については同様の符号を用いて説明する。即ち
回転体Ｓ、駆動部Ｍ、上方ジャーナル軸受部Ｕ、下方ジ
ャーナル軸受部Ｋ、スラスト軸受部Ｔからなる構造を有
する。 以上の各構成部の内部構造もターボ分子
ポンプとほぼ同様の構造である。ただブロワは送風をな
すという役割を果たすために、これらの各部に加えて、
吸入口１９、送風口２０、ブロワ翼車１８を備えてい
る。
主軸１の回転に関わる部分については前述のターボ分子
ポンプとほぼ同様の構造を有する。そこで同様の働きを
なす部分については同様の符号を用いて説明する。即ち
回転体Ｓ、駆動部Ｍ、上方ジャーナル軸受部Ｕ、下方ジ
ャーナル軸受部Ｋ、スラスト軸受部Ｔからなる構造を有
する。 以上の各構成部の内部構造もターボ分子
ポンプとほぼ同様の構造である。ただブロワは送風をな
すという役割を果たすために、これらの各部に加えて、
吸入口１９、送風口２０、ブロワ翼車１８を備えてい
る。
【００４０】ブロワは、主軸１を高速回転させることに
よって、主軸１に固定されたブロワ翼車１８を回転さ
せ、吸入口１９から外気を取り入れ、送風口２０から高
速で送風をおくる。そして、主軸１の回転数が一定値に
達したときに、ターボ分子ポンプの場合と同様に回転体
Ｓは完全な非接触状態となる。
よって、主軸１に固定されたブロワ翼車１８を回転さ
せ、吸入口１９から外気を取り入れ、送風口２０から高
速で送風をおくる。そして、主軸１の回転数が一定値に
達したときに、ターボ分子ポンプの場合と同様に回転体
Ｓは完全な非接触状態となる。
【００４１】この場合も、回転時における回転体Ｓの非
接触状態を作り出すことによって、オイル潤滑を省くこ
とが可能になることから、前述のターボ分子ポンプの場
合に得られる効果と同様の効果が得られることになり、
加えてブロワの姿勢に制限がなくなり自由に配置できる
ようになるという効果も生じ、取付方位が比較的まちま
ちであるブロアにとってきわめて有効な軸受構造とな
る。
接触状態を作り出すことによって、オイル潤滑を省くこ
とが可能になることから、前述のターボ分子ポンプの場
合に得られる効果と同様の効果が得られることになり、
加えてブロワの姿勢に制限がなくなり自由に配置できる
ようになるという効果も生じ、取付方位が比較的まちま
ちであるブロアにとってきわめて有効な軸受構造とな
る。
【００４２】
【発明の効果】本発明は、以上説明したような形態で実
施され、以下に記載されるような効果を奏する。
施され、以下に記載されるような効果を奏する。
【００４３】まず、回転中は主軸と軸受は非接触とな
り、潤滑が不要になるので、周囲の作動流体に潤滑油汚
染を生じさせることがなく、回転機械の内外を共にクリ
ーンな状態に維持することができる。
り、潤滑が不要になるので、周囲の作動流体に潤滑油汚
染を生じさせることがなく、回転機械の内外を共にクリ
ーンな状態に維持することができる。
【００４４】更に、軸受部の回転軸径を適切にとること
ができ、回転体の固有振動数の低下がないため、高速で
運転しても振動の発生を抑えることができる。
ができ、回転体の固有振動数の低下がないため、高速で
運転しても振動の発生を抑えることができる。
【００４５】また、潤滑機構は不要であるので、軸受部
の構造が簡略化され、保守管理が容易になる利点も得ら
れる。
の構造が簡略化され、保守管理が容易になる利点も得ら
れる。
【図１】本実施形態におけるターボ分子ポンプの断面
図。
図。
【図２】本実施形態におけるターボ分子ポンプのスラス
ト軸受部の拡大断面図。
ト軸受部の拡大断面図。
【図３】本実施形態におけるターボ分子ポンプのジャー
ナル軸受部の拡大断面図。
ナル軸受部の拡大断面図。
【図４】本実施形態におけるブロワの断面図。
【図５】従来のターボ分子ポンプの断面図。
Ｓ・・・回転体 ３，６，１０，１１・・・永久磁石（磁石） Ｕ・・・上方ジャーナル軸受部（ジャーナル軸受部） Ｋ・・・下方ジャーナル軸受部（ジャーナル軸受部） Ｔ・・・スラスト軸受部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｆ１６Ｃ 17/04 Ｆ１６Ｃ 17/04 Ａ Ｆターム(参考） 3H022 AA01 BA06 CA11 CA14 CA15 CA16 CA20 DA08 DA11 DA17 DA20 3H031 DA02 EA00 EA07 FA11 FA13 FA14 FA15 FA16 3J011 AA04 CA02 JA02 KA02 KA03 3J102 AA01 BA03 BA19 CA19 CA20 DA03 DA07 DA11
Claims (1)
- 【請求項１】回転体の回転をジャーナル軸受部及びスラ
スト軸受部によって支持するようにしたものにおいて、
ジャーナル軸受部またはスラスト軸受部の一方に永久磁
石の反発力を利用した磁気軸受を用い、他方にガス軸受
を用いたことを特徴とする回転機械。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000363638A JP2002168249A (ja) | 2000-11-29 | 2000-11-29 | 回転機械 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000363638A JP2002168249A (ja) | 2000-11-29 | 2000-11-29 | 回転機械 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002168249A true JP2002168249A (ja) | 2002-06-14 |
Family
ID=18834718
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000363638A Pending JP2002168249A (ja) | 2000-11-29 | 2000-11-29 | 回転機械 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002168249A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011033027A (ja) * | 2009-08-01 | 2011-02-17 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | ターボ分子ポンプ・ロータ |
| WO2021069874A1 (en) * | 2019-10-09 | 2021-04-15 | Edwards Limited | Vacuum pump comprising an axial magnetic bearing and a radial gas foil bearing |
-
2000
- 2000-11-29 JP JP2000363638A patent/JP2002168249A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011033027A (ja) * | 2009-08-01 | 2011-02-17 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | ターボ分子ポンプ・ロータ |
| WO2021069874A1 (en) * | 2019-10-09 | 2021-04-15 | Edwards Limited | Vacuum pump comprising an axial magnetic bearing and a radial gas foil bearing |
| US20230313804A1 (en) * | 2019-10-09 | 2023-10-05 | Edwards Limited | Vacuum pump comprising an axial magnetic bearing and a radial gas foil bearing |
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