JPS5867999U - タ−ボ分子ポンプ - Google Patents
タ−ボ分子ポンプInfo
- Publication number
- JPS5867999U JPS5867999U JP16351281U JP16351281U JPS5867999U JP S5867999 U JPS5867999 U JP S5867999U JP 16351281 U JP16351281 U JP 16351281U JP 16351281 U JP16351281 U JP 16351281U JP S5867999 U JPS5867999 U JP S5867999U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- casing
- rotor
- molecular pump
- groups
- multiple stages
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図面は本考案の一実施例を示す断面図である。
４・・・ロータ、５・・・回転翼群、６・・・ケーシン
グ、７・・・固定翼群、８・・・吸気口（主吸気口）、
９・・・排気口、１１・・・副吸気口。
グ、７・・・固定翼群、８・・・吸気口（主吸気口）、
９・・・排気口、１１・・・副吸気口。
Claims (1)
- 外周に羽根車をなす回転翼群を多段に設けてなるロータ
と、このロータを囲繞しその内周に前記回転翼群に隣接
する固定翼群を多段に設けてなるケーシングとを具備し
、前記ケーシングの一端側に設けた吸気口から該ケーシ
ング内に導入した気体分子を前記回転翼群と固定翼群と
によってケーシングの他端方向へ付勢し、該ケーシング
の他端側に設けた排気口から外部へ排出するようにした
ターボ形の分子ポンプにおいて、前記ケーシングの周壁
に１または２以上の副吸気口を開口させたことを特徴と
するターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16351281U JPS5867999U (ja) | 1981-10-31 | 1981-10-31 | タ−ボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16351281U JPS5867999U (ja) | 1981-10-31 | 1981-10-31 | タ−ボ分子ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5867999U true JPS5867999U (ja) | 1983-05-09 |
Family
ID=29955807
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16351281U Pending JPS5867999U (ja) | 1981-10-31 | 1981-10-31 | タ−ボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5867999U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63266189A (ja) * | 1987-04-24 | 1988-11-02 | Hitachi Ltd | 真空ポンプ |
| JPH03233193A (ja) * | 1990-02-06 | 1991-10-17 | Japan Atom Energy Res Inst | 真空ポンプ |
-
1981
- 1981-10-31 JP JP16351281U patent/JPS5867999U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63266189A (ja) * | 1987-04-24 | 1988-11-02 | Hitachi Ltd | 真空ポンプ |
| JPH03233193A (ja) * | 1990-02-06 | 1991-10-17 | Japan Atom Energy Res Inst | 真空ポンプ |
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