JPH038697U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH038697U JPH038697U JP6826589U JP6826589U JPH038697U JP H038697 U JPH038697 U JP H038697U JP 6826589 U JP6826589 U JP 6826589U JP 6826589 U JP6826589 U JP 6826589U JP H038697 U JPH038697 U JP H038697U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotor
- casing
- wall surface
- stainless steel
- molecular pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims 1
- 238000004881 precipitation hardening Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
図面は本考案に係わるポンプの一部切欠き正面
図である。 1……ケーシング、2……ステータ翼、3……
ロータ、4……ロータ翼、a……吸気口、b……
排気口。
図である。 1……ケーシング、2……ステータ翼、3……
ロータ、4……ロータ翼、a……吸気口、b……
排気口。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ケーシングの内壁面に取付けられたステータ翼
と、上記ケーシングの内部に配置されたロータの
外壁面に取付けられたロータ翼とを、ロータの軸
方向に交互に配置し、上記ロータを回転駆動させ
てロータ軸の一方向から吸気し他方向へ排気する
ターボ分子ポンプにおいて、 上記ロータ翼を析出硬化型のステンレス鋼で形
成し、ステータ翼をステンレス鋼で形成するとと
もに、その両方の表面を金属メツキにより表面処
理したことを特徴とするターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6826589U JPH038697U (ja) | 1989-06-12 | 1989-06-12 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6826589U JPH038697U (ja) | 1989-06-12 | 1989-06-12 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH038697U true JPH038697U (ja) | 1991-01-28 |
Family
ID=31602549
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6826589U Pending JPH038697U (ja) | 1989-06-12 | 1989-06-12 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH038697U (ja) |
-
1989
- 1989-06-12 JP JP6826589U patent/JPH038697U/ja active Pending
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