JPH01118190U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01118190U JPH01118190U JP1391688U JP1391688U JPH01118190U JP H01118190 U JPH01118190 U JP H01118190U JP 1391688 U JP1391688 U JP 1391688U JP 1391688 U JP1391688 U JP 1391688U JP H01118190 U JPH01118190 U JP H01118190U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- purge gas
- magnetic bearing
- evacuation
- pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 6
- 238000010926 purge Methods 0.000 claims 5
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
第１図は本考案に係る真空排気装置の一例を示
す説明図。第２図は磁気軸受複合分子ポンプの一
例を示す断面図。第３図及び第４図は従来例を示
す説明図。 １…真空容器、２…磁気軸受複合分子ポンプ、
２２…補助真空ポンプ、２６…開閉バルブ、２８
…制御手段、２９…真空計。
す説明図。第２図は磁気軸受複合分子ポンプの一
例を示す断面図。第３図及び第４図は従来例を示
す説明図。 １…真空容器、２…磁気軸受複合分子ポンプ、
２２…補助真空ポンプ、２６…開閉バルブ、２８
…制御手段、２９…真空計。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 真空容器１に連結された磁気軸受複合分子ポ
ンプ２と、該磁気軸受複合分子ポンプ２の後段側
に連結された補助真空ポンプ２２と、前記磁気軸
受複合分子ポンプ２のガス圧縮位置よりも後段で
補助真空ポンプ２２よりも前段の真空排気経路の
位置から補助真空ポンプ２２側にパージガスを供
給するパージガス供給手段３０とからなることを
特徴とする真空排気装置。 ２ パージガス供給手段３０には真空排気経路へ
のパージガスの供給停止を行うための開閉バルブ
２６が備えられ、且つ磁気軸受複合分子ポンプ２
のガス圧縮位置よりも後段で且つ補助真空ポンプ
２２よりも前段の真空排気経路には真空計２９が
設けられ、しかも該真空計２９には真空排気経路
内の測定圧が予め設定された所定設定圧力値以下
に減圧した際に前記開閉バルブ２６を開放させて
真空排気経路内にパージガスを供給可能とするバ
ルブ開閉用の制御手段２８が設けられてなること
を特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載
の真空排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988013916U JPH0720395Y2 (ja) | 1988-02-03 | 1988-02-03 | 真空排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988013916U JPH0720395Y2 (ja) | 1988-02-03 | 1988-02-03 | 真空排気装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01118190U true JPH01118190U (ja) | 1989-08-09 |
| JPH0720395Y2 JPH0720395Y2 (ja) | 1995-05-15 |
Family
ID=31224637
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988013916U Expired - Lifetime JPH0720395Y2 (ja) | 1988-02-03 | 1988-02-03 | 真空排気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0720395Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114008736A (zh) * | 2019-06-19 | 2022-02-01 | 爱德华兹真空泵有限责任公司 | 多个真空腔室排气系统和抽空多个真空腔室的方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60110685U (ja) * | 1983-12-28 | 1985-07-26 | 日本電子株式会社 | タ−ボ分子ポンプを用いた排気系 |
| JPS60163663U (ja) * | 1984-04-09 | 1985-10-30 | 株式会社日立製作所 | 電子顕微鏡等の真空排気装置 |
| JPS61277896A (ja) * | 1985-05-31 | 1986-12-08 | Shimadzu Corp | タ−ボ分子ポンプの磁気軸受装置 |
| JPS62168992A (ja) * | 1985-11-27 | 1987-07-25 | Shimadzu Corp | タ−ボ分子ポンプの腐食性ガス排気方法 |
-
1988
- 1988-02-03 JP JP1988013916U patent/JPH0720395Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60110685U (ja) * | 1983-12-28 | 1985-07-26 | 日本電子株式会社 | タ−ボ分子ポンプを用いた排気系 |
| JPS60163663U (ja) * | 1984-04-09 | 1985-10-30 | 株式会社日立製作所 | 電子顕微鏡等の真空排気装置 |
| JPS61277896A (ja) * | 1985-05-31 | 1986-12-08 | Shimadzu Corp | タ−ボ分子ポンプの磁気軸受装置 |
| JPS62168992A (ja) * | 1985-11-27 | 1987-07-25 | Shimadzu Corp | タ−ボ分子ポンプの腐食性ガス排気方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114008736A (zh) * | 2019-06-19 | 2022-02-01 | 爱德华兹真空泵有限责任公司 | 多个真空腔室排气系统和抽空多个真空腔室的方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0720395Y2 (ja) | 1995-05-15 |
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