JPS6345471U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6345471U JPS6345471U JP14034086U JP14034086U JPS6345471U JP S6345471 U JPS6345471 U JP S6345471U JP 14034086 U JP14034086 U JP 14034086U JP 14034086 U JP14034086 U JP 14034086U JP S6345471 U JPS6345471 U JP S6345471U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- container
- solenoid valve
- normally closed
- closed solenoid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Magnetically Actuated Valves (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す配管系統図、
第２図は従来の一例を示す配管系統図である。 １……容器、２……配管、３……真空計、４…
…ノーマルオープン型電磁弁、５……ノーマルク
ローズ型電磁弁、６……真空ポンプ。
第２図は従来の一例を示す配管系統図である。 １……容器、２……配管、３……真空計、４…
…ノーマルオープン型電磁弁、５……ノーマルク
ローズ型電磁弁、６……真空ポンプ。
Claims (1)
- 容器を真空にするための真空ポンプと、前記容
器と前記真空ポンプとの間に設けられ真空度をコ
ントロールするためのノーマルクローズ型電磁弁
と、前記容器と前記ノーマルクローズ型電磁弁と
の間に設けられ前記容器内の真空度を測定するた
めの真空計と、前記真空計と前記ノーマルクロー
ズ型電磁弁との間に設けられ配管内を不使用時に
外部に開放できるノーマルオープン型電磁弁とを
含むことを特徴とする真空装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14034086U JPS6345471U (ja) | 1986-09-11 | 1986-09-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14034086U JPS6345471U (ja) | 1986-09-11 | 1986-09-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6345471U true JPS6345471U (ja) | 1988-03-26 |
Family
ID=31047100
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14034086U Pending JPS6345471U (ja) | 1986-09-11 | 1986-09-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6345471U (ja) |
-
1986
- 1986-09-11 JP JP14034086U patent/JPS6345471U/ja active Pending