JPS59116587U - 真空排気装置 - Google Patents
真空排気装置Info
- Publication number
- JPS59116587U JPS59116587U JP988383U JP988383U JPS59116587U JP S59116587 U JPS59116587 U JP S59116587U JP 988383 U JP988383 U JP 988383U JP 988383 U JP988383 U JP 988383U JP S59116587 U JPS59116587 U JP S59116587U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- vacuum exhaust
- main
- exhaust equipment
- evacuation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の真空排気装置の構成を示す系統図、第２
図はクライオポンプケース内の残留ガス圧力と空気の熱
伝導度の関係を示す図、第３図は本考案の構成を示す系
統図である。 １１・・・配管、１２・・・バブル。
図はクライオポンプケース内の残留ガス圧力と空気の熱
伝導度の関係を示す図、第３図は本考案の構成を示す系
統図である。 １１・・・配管、１２・・・バブル。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 被排気真空容器との取合口をもつマニホールドに、主真
空バルブを介して複数の主排気用真空ポンプを接続し、
且つ、前記主排気用真空ポンプのうち、少く共１つがク
ライオポンプである真空排気装置において、 前記クライオポンプ用の主真空バルブをバイパスする配
管と、その途中に設けたバルブを特徴とする真空排気装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP988383U JPS59116587U (ja) | 1983-01-28 | 1983-01-28 | 真空排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP988383U JPS59116587U (ja) | 1983-01-28 | 1983-01-28 | 真空排気装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59116587U true JPS59116587U (ja) | 1984-08-06 |
Family
ID=30141330
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP988383U Pending JPS59116587U (ja) | 1983-01-28 | 1983-01-28 | 真空排気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59116587U (ja) |
-
1983
- 1983-01-28 JP JP988383U patent/JPS59116587U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS59116587U (ja) | 真空排気装置 | |
| JPS5935602U (ja) | 蒸気タ−ビンプラントの真空破壊装置 | |
| JPS60110685U (ja) | タ−ボ分子ポンプを用いた排気系 | |
| JPS5912756U (ja) | エアブレ−キの配管構造 | |
| JPS5999196U (ja) | タ−ボ圧縮機の制御装置 | |
| JPS5819244U (ja) | リ−ク試験装置 | |
| JPS59152436U (ja) | リ−クテスト装置 | |
| JPS6073830U (ja) | 可変気筒数エンジン | |
| JPS6049442U (ja) | 液化ガス貯槽の差圧検出装置 | |
| JPS5958938U (ja) | 低圧処理装置 | |
| JPS5839584U (ja) | 希ガスサンプリング装置 | |
| JPS59157466U (ja) | 真空炉排気ガスの冷却装置 | |
| JPS59121833U (ja) | 半導体製造装置 | |
| JPS5842742U (ja) | 高圧ガス切替え導入装置 | |
| JPS5897163U (ja) | スパツタ装置 | |
| JPS5867998U (ja) | オイルフリ−多室排気装置 | |
| JPS6119178U (ja) | 低温配管系における可燃性ガスの漏洩防止装置 | |
| JPS6015647U (ja) | 圧力計用導管構造 | |
| JPS6175832U (ja) | ||
| JPS6042731U (ja) | 半導体製造装置の排気装置 | |
| JPS60176544U (ja) | 薄膜形成装置 | |
| JPS59163293U (ja) | 液化ガスの移し換え装置 | |
| JPS59148500U (ja) | ポンプ圧を利用した空気圧縮装置 | |
| JPS601403U (ja) | 膜分離装置 | |
| JPS59115531U (ja) | 密閉形開閉器 |