JPS5897163U - スパツタ装置 - Google Patents
スパツタ装置Info
- Publication number
- JPS5897163U JPS5897163U JP19557581U JP19557581U JPS5897163U JP S5897163 U JPS5897163 U JP S5897163U JP 19557581 U JP19557581 U JP 19557581U JP 19557581 U JP19557581 U JP 19557581U JP S5897163 U JPS5897163 U JP S5897163U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooling water
- sputtering device
- abstract
- target
- processed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図はスパッタ装置の断面構造図、第２図は本考案に
かきる冷却水パージ用配管を設けた部分断面図である。 図中、１は真空チャンバ、２は被処理基板、３ ゛はタ
ーゲット、６はターゲット支持体、７は流入配管、８は
排出配管、９は水溜め部、１０は冷却水パージ用配管、
１１はバルブを示す。
かきる冷却水パージ用配管を設けた部分断面図である。 図中、１は真空チャンバ、２は被処理基板、３ ゛はタ
ーゲット、６はターゲット支持体、７は流入配管、８は
排出配管、９は水溜め部、１０は冷却水パージ用配管、
１１はバルブを示す。
Claims (1)
- 真空チャンバ内部で被処理基板とターゲットとを対峙さ
せた構造を有するスパッタ装置において、ターゲット支
持へ供給する冷却水配管の所望位置に冷却水パージ用ガ
ス配管が設けられたことを特徴とするスパッタ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19557581U JPS5897163U (ja) | 1981-12-24 | 1981-12-24 | スパツタ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19557581U JPS5897163U (ja) | 1981-12-24 | 1981-12-24 | スパツタ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5897163U true JPS5897163U (ja) | 1983-07-01 |
Family
ID=30108842
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19557581U Pending JPS5897163U (ja) | 1981-12-24 | 1981-12-24 | スパツタ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5897163U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6223978A (ja) * | 1985-07-24 | 1987-01-31 | Fujitsu Ltd | スパツタ装置 |
-
1981
- 1981-12-24 JP JP19557581U patent/JPS5897163U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6223978A (ja) * | 1985-07-24 | 1987-01-31 | Fujitsu Ltd | スパツタ装置 |
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