JP3345490B2 - グロー放電発光分光分析装置 - Google Patents
グロー放電発光分光分析装置Info
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/66—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light electrically excited, e.g. electroluminescence
- G01N21/67—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light electrically excited, e.g. electroluminescence using electric arcs or discharges
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、試料をスパッタリン
グしながら、発生した光を分析するグロー放電発光分光
分析装置に関するものである。
グしながら、発生した光を分析するグロー放電発光分光
分析装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】気体圧力が４〜１０Torr程度のアルゴン
（Ａｒ）雰囲気中で、二つの電極間に直流または高周波
の高電圧を印加すると、グロー放電が起こり、Ａｒイオ
ンが生成される。生成したＡｒイオンは高電界で加速さ
れ、陰極表面に衝突し、そこに存在する物質をたたき出
す。この現象をスパッタリングと呼ぶが、スパッタされ
た粒子（原子、分子、イオン）はプラズマ中で励起さ
れ、基底状態に戻る際にその元素に固有の波長の光を放
出する。この発光を分光器で分光して元素を同定する分
析法が、グロー放電発光分光分析方法と呼ばれている。
（Ａｒ）雰囲気中で、二つの電極間に直流または高周波
の高電圧を印加すると、グロー放電が起こり、Ａｒイオ
ンが生成される。生成したＡｒイオンは高電界で加速さ
れ、陰極表面に衝突し、そこに存在する物質をたたき出
す。この現象をスパッタリングと呼ぶが、スパッタされ
た粒子（原子、分子、イオン）はプラズマ中で励起さ
れ、基底状態に戻る際にその元素に固有の波長の光を放
出する。この発光を分光器で分光して元素を同定する分
析法が、グロー放電発光分光分析方法と呼ばれている。
【０００３】上述のグロー放電発光分光分析方法を具現
化した分析装置におけるグロー放電管として、図６に示
すような中空陽極型のグリムグロー放電管１が一般的に
用いられている。このグリムグロー放電管１は、陰極と
なる支持ブロック２と陽極ブロック３とが、絶縁物であ
るテフロンワッシャ４を介して接合されている。陽極ブ
ロック３は、アルゴンガス供給孔３ａと、第１および第
２真空排気孔３ｂ，３ｃ（減圧手段）とを有しおり、管
内Ｖがアルゴンの希ガス雰囲気（４〜１０Torr）とされ
ている。陽極ブロック３には、円筒状の中空陽極管３ｄ
が一体形成されており、この陽極管３ｄは、テフロンワ
ッシャ４を貫通して支持ブロック２の内方空間に収納さ
れて、試料５の表面５ａに近接している。この試料５
は、Ｏリング６を介し支持ブロック２に気密状態で押し
付けられている。
化した分析装置におけるグロー放電管として、図６に示
すような中空陽極型のグリムグロー放電管１が一般的に
用いられている。このグリムグロー放電管１は、陰極と
なる支持ブロック２と陽極ブロック３とが、絶縁物であ
るテフロンワッシャ４を介して接合されている。陽極ブ
ロック３は、アルゴンガス供給孔３ａと、第１および第
２真空排気孔３ｂ，３ｃ（減圧手段）とを有しおり、管
内Ｖがアルゴンの希ガス雰囲気（４〜１０Torr）とされ
ている。陽極ブロック３には、円筒状の中空陽極管３ｄ
が一体形成されており、この陽極管３ｄは、テフロンワ
ッシャ４を貫通して支持ブロック２の内方空間に収納さ
れて、試料５の表面５ａに近接している。この試料５
は、Ｏリング６を介し支持ブロック２に気密状態で押し
付けられている。
【０００４】上記グリムグロー放電管１は、陽極ブロッ
ク３と支持ブロック２との間に電源部９により高電圧を
印加してグロー放電を発生させるとともに、一般に銅か
らなる支持ブロック２を通じ試料５に負電圧を印加し、
グロー放電の発生により生成されるアルゴンの陽イオン
を試料５の表面５ａに衝突させて、試料５をスパッタリ
ングするものである。また、冷却液Ｋを、支持ブロック
２の冷却液導入路２ａからジャケット２ｂ内に導入して
冷却液排出路２ｃまで送給することにより、支持ブロッ
ク２および支持ブロック２を介し試料５と中空陽極管３
ｄを冷却している。
ク３と支持ブロック２との間に電源部９により高電圧を
印加してグロー放電を発生させるとともに、一般に銅か
らなる支持ブロック２を通じ試料５に負電圧を印加し、
グロー放電の発生により生成されるアルゴンの陽イオン
を試料５の表面５ａに衝突させて、試料５をスパッタリ
ングするものである。また、冷却液Ｋを、支持ブロック
２の冷却液導入路２ａからジャケット２ｂ内に導入して
冷却液排出路２ｃまで送給することにより、支持ブロッ
ク２および支持ブロック２を介し試料５と中空陽極管３
ｄを冷却している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のグロ
ー放電発光分光分析装置は、試料５の表面５ａを、支持
ブロック２に埋設されたＯリング６で真空シールして支
持ブロック２に押し付けて、その試料５により、中空陽
極管３ｄを収納する支持ブロック２の内方空間の開口部
を密閉し、この内方空間を真空引きするようになってい
る。そのため、分析対象となる試料５は、Ｏリング６の
全周部に接合できる外形を有するとともに分析対象面５
ａが平面となった形状のものに限られ、Ｏリング６の全
周部に接合できない小さい外形サイズの試料や、分析対
象面が平面でない球形や円柱状の試料は、支持ブロック
２にこれの内方空間を密閉するよう押し付けられないの
で、分析することができない。
ー放電発光分光分析装置は、試料５の表面５ａを、支持
ブロック２に埋設されたＯリング６で真空シールして支
持ブロック２に押し付けて、その試料５により、中空陽
極管３ｄを収納する支持ブロック２の内方空間の開口部
を密閉し、この内方空間を真空引きするようになってい
る。そのため、分析対象となる試料５は、Ｏリング６の
全周部に接合できる外形を有するとともに分析対象面５
ａが平面となった形状のものに限られ、Ｏリング６の全
周部に接合できない小さい外形サイズの試料や、分析対
象面が平面でない球形や円柱状の試料は、支持ブロック
２にこれの内方空間を密閉するよう押し付けられないの
で、分析することができない。
【０００６】そこで本発明は、支持ブロックの内方空間
の開口部を密閉できない小さな外形サイズの試料や、分
析対象面が非平面の試料をも分析することが可能なグロ
ー放電発光分光分析装置を提供することを目的とするも
のである。
の開口部を密閉できない小さな外形サイズの試料や、分
析対象面が非平面の試料をも分析することが可能なグロ
ー放電発光分光分析装置を提供することを目的とするも
のである。
【０００７】
【課題を解決しようとするための手段】上記目的を達成
するために、本発明に係るグロー放電発光分光分析装置
は、陽極管を有する陽極ブロックと、上記陽極管を収納
する内方空間を有する支持ブロックと、この支持ブロッ
クの内容空間を真空引きする減圧手段と、上記支持ブロ
ックにシール部材を介して押し付けられる試料ホルダ
と、上記陽極ブロックと試料ホルダとの間に電圧を印加
してグロー放電を発生させる給電手段とを備え、上記試
料ホルダは、その内面における上記陽極管と対向する部
分に陽極管に向かって凹入する凹所が形成され、この凹
所に上記陽極管の中空部に臨む開口が形成されており、
試料が上記凹所内に配置されて、試料の分析対象面が上
記開口を通して陽極管の中空部に臨んでいる。さらに、
上記試料ホルダが、試料を上記凹所に押し付ける押圧板
を有し、その押圧板に水ジャケットが形成され、その水
ジャケットの両端開口部に、試料ホルダに設けられた冷
却液導入路および冷却液排出路が連通している。
するために、本発明に係るグロー放電発光分光分析装置
は、陽極管を有する陽極ブロックと、上記陽極管を収納
する内方空間を有する支持ブロックと、この支持ブロッ
クの内容空間を真空引きする減圧手段と、上記支持ブロ
ックにシール部材を介して押し付けられる試料ホルダ
と、上記陽極ブロックと試料ホルダとの間に電圧を印加
してグロー放電を発生させる給電手段とを備え、上記試
料ホルダは、その内面における上記陽極管と対向する部
分に陽極管に向かって凹入する凹所が形成され、この凹
所に上記陽極管の中空部に臨む開口が形成されており、
試料が上記凹所内に配置されて、試料の分析対象面が上
記開口を通して陽極管の中空部に臨んでいる。さらに、
上記試料ホルダが、試料を上記凹所に押し付ける押圧板
を有し、その押圧板に水ジャケットが形成され、その水
ジャケットの両端開口部に、試料ホルダに設けられた冷
却液導入路および冷却液排出路が連通している。
【０００８】
【作用】試料を、これの分析対象面を開口に向けて凹所
内に配置した状態で試料ホルダに取り付け、この試料を
取り付けた試料ホルダの外面を、シール部材を介して支
持ブロックに押し付けると、分析対象面が、開口を通し
て陽極管の中空部に臨み、試料により開口を閉塞された
試料ホルダが、シール部材を介して支持ブロックの内方
空間の開口部を密閉する。したがって、シール部材より
も小さい外形サイズの試料を、シール部材よりも大きな
外形サイズの試料ホルダを介して支持ブロックに気密状
態に取り付けて、凹所の開口を介しスパッタリングして
分析を行うことができる。また、試料の片方の面全体
に、冷却構造を備えた押圧板が接触して、試料を十分に
冷却できる。
内に配置した状態で試料ホルダに取り付け、この試料を
取り付けた試料ホルダの外面を、シール部材を介して支
持ブロックに押し付けると、分析対象面が、開口を通し
て陽極管の中空部に臨み、試料により開口を閉塞された
試料ホルダが、シール部材を介して支持ブロックの内方
空間の開口部を密閉する。したがって、シール部材より
も小さい外形サイズの試料を、シール部材よりも大きな
外形サイズの試料ホルダを介して支持ブロックに気密状
態に取り付けて、凹所の開口を介しスパッタリングして
分析を行うことができる。また、試料の片方の面全体
に、冷却構造を備えた押圧板が接触して、試料を十分に
冷却できる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の好適な実施例について図面を
参照しながら説明する。図１は本発明の一実施例に係る
グロー放電発光分光分析装置の概略構成を示す。同図に
おいて、グリムグロー放電管１０から放出されて、その
窓板１３を透過した光Ｌが、分光器１５に入射する。分
光器１５は、入射スリット１４、この入射スリットから
入射した光Ｌを波長に応じて異った回折角度で回折する
回折格子１６、回折光を通過させる出射スリット１７お
よび回折光の強度を測定する光電子増倍管１８を備えて
いる。
参照しながら説明する。図１は本発明の一実施例に係る
グロー放電発光分光分析装置の概略構成を示す。同図に
おいて、グリムグロー放電管１０から放出されて、その
窓板１３を透過した光Ｌが、分光器１５に入射する。分
光器１５は、入射スリット１４、この入射スリットから
入射した光Ｌを波長に応じて異った回折角度で回折する
回折格子１６、回折光を通過させる出射スリット１７お
よび回折光の強度を測定する光電子増倍管１８を備えて
いる。
【００１０】図２は図１の分析装置におけるグリムグロ
ー放電管１０の参考となる構成例を示す。図２の放電管
１０は、分析対象面１１ａが平面で、且つその面積がシ
ール部材としてのＯリング６内に納まる比較的小さな外
形サイズの試料１１の分析を行うためのものを例示して
いる。この試料１１が内装される試料ホルダ１２は、上
方に開口した箱形のホルダ本体１２ａと、このホルダ本
体の開口部をカバーする金属製のマスク板１２ｂとを、
Ｏリング７を介して気密状態に一体に接合した構成にな
っており、図示しない押圧装置により、支持ブロック２
に押し当てられている。マスク板１２ｂは、平板状であ
り、Ｏリング６を介し支持ブロック２に気密状態に押し
付けられている。マスク板１２ｂの内面における陽極管
３ｄに対向する部分には、試料１１を挿入する凹所１２
ｃが陽極管３ｄに向かって凹入する方向に形成され、さ
らに、この凹所１２ｃに、陽極管３ｄの内径と同一内径
の開口１２ｄが形成されている。
ー放電管１０の参考となる構成例を示す。図２の放電管
１０は、分析対象面１１ａが平面で、且つその面積がシ
ール部材としてのＯリング６内に納まる比較的小さな外
形サイズの試料１１の分析を行うためのものを例示して
いる。この試料１１が内装される試料ホルダ１２は、上
方に開口した箱形のホルダ本体１２ａと、このホルダ本
体の開口部をカバーする金属製のマスク板１２ｂとを、
Ｏリング７を介して気密状態に一体に接合した構成にな
っており、図示しない押圧装置により、支持ブロック２
に押し当てられている。マスク板１２ｂは、平板状であ
り、Ｏリング６を介し支持ブロック２に気密状態に押し
付けられている。マスク板１２ｂの内面における陽極管
３ｄに対向する部分には、試料１１を挿入する凹所１２
ｃが陽極管３ｄに向かって凹入する方向に形成され、さ
らに、この凹所１２ｃに、陽極管３ｄの内径と同一内径
の開口１２ｄが形成されている。
【００１１】試料１１は、スプリングのような弾性体８
により、凹所１２ｃの底面に分析対象面１１ａが押し付
けられて開口１２ｄを閉塞する状態に保持され、分析対
象面１１ａが開口１２ｄを通して陽極管３ｄの中空部に
臨んでいる。したがって、Ｏリング６の径に対し格段に
小さい外形サイズの試料１１を、Ｏリング６の全周部に
接合する面積を有するマスク板１２ｂを備えた試料ホル
ダ１２を介して、支持ブロック２に気密状態に押し付け
て取り付けることができる。
により、凹所１２ｃの底面に分析対象面１１ａが押し付
けられて開口１２ｄを閉塞する状態に保持され、分析対
象面１１ａが開口１２ｄを通して陽極管３ｄの中空部に
臨んでいる。したがって、Ｏリング６の径に対し格段に
小さい外形サイズの試料１１を、Ｏリング６の全周部に
接合する面積を有するマスク板１２ｂを備えた試料ホル
ダ１２を介して、支持ブロック２に気密状態に押し付け
て取り付けることができる。
【００１２】また、ホルダ本体１２ａは、冷却液導入路
１２ｅから冷却液排出路１２ｆまで冷却液Ｋを送給する
冷却構造を備えており、マスク板１２ｂを介し試料１１
を冷却するようになっている。さらに、ホルダ本体１２
ａに真空排気孔１２ｇが穿孔されており、装置の起動時
に、この真空排気孔１２ｇを通じホルダ本体１２ａ内を
真空引きしている。試料１１と凹所１２ｃの底面との間
は完全に気密ではないから、陽極ブロック３の管内Ｖの
真空引きの際に、ホルダ１２内の空気が管内Ｖに侵入し
て管内Ｖの真空度を低下させるのを防止するために、ホ
ルダ１２内を真空引きしているのであり、このホルダ１
２内の真空引きにより、管内Ｖが真空に達するまで、つ
まり測定開始までの時間の短縮を図れる。この真空排気
孔１２ｇを設けずに、試料ホルダ１２を密閉構造として
も、支持ブロック２の内方空間が真空引きされるのに伴
って試料ホルダ１２内も徐々に真空状態に近づくため、
特に支障はない。
１２ｅから冷却液排出路１２ｆまで冷却液Ｋを送給する
冷却構造を備えており、マスク板１２ｂを介し試料１１
を冷却するようになっている。さらに、ホルダ本体１２
ａに真空排気孔１２ｇが穿孔されており、装置の起動時
に、この真空排気孔１２ｇを通じホルダ本体１２ａ内を
真空引きしている。試料１１と凹所１２ｃの底面との間
は完全に気密ではないから、陽極ブロック３の管内Ｖの
真空引きの際に、ホルダ１２内の空気が管内Ｖに侵入し
て管内Ｖの真空度を低下させるのを防止するために、ホ
ルダ１２内を真空引きしているのであり、このホルダ１
２内の真空引きにより、管内Ｖが真空に達するまで、つ
まり測定開始までの時間の短縮を図れる。この真空排気
孔１２ｇを設けずに、試料ホルダ１２を密閉構造として
も、支持ブロック２の内方空間が真空引きされるのに伴
って試料ホルダ１２内も徐々に真空状態に近づくため、
特に支障はない。
【００１３】つぎに、上記構成の動作を説明する。図２
の陰極である支持ブロック２を介して試料１１と陽極ブ
ロック３との間に、電源部９により数百〜数千ボルトの
高電圧を印加すると、陽極管３ｄと試料１１との間にグ
ロー放電を生じ、アルゴンの陽イオンが生成される。生
成されたＡｒイオンは、開口１２ｄを通り陰極である試
料１１の分析対象面１１ａに衝突して、試料１１の分析
対象面１１ａから原子をたたき出す。たたき出されて剥
離した原子は、Ａｒイオンまたは電子によって励起さ
れ、再び基底状態に戻る際に元素固有の光を放出する。
この光Ｌは、窓板１３を透過し、図１の入射スリット１
４を通して、分光器１５の回析格子１６に向かう。この
回析格子１６は、所定の波長の光を回析させ、出射スリ
ット１７を通して、光電子増倍管１８に入射させる。光
電子増倍管１８は入射した光の強度を測定する。
の陰極である支持ブロック２を介して試料１１と陽極ブ
ロック３との間に、電源部９により数百〜数千ボルトの
高電圧を印加すると、陽極管３ｄと試料１１との間にグ
ロー放電を生じ、アルゴンの陽イオンが生成される。生
成されたＡｒイオンは、開口１２ｄを通り陰極である試
料１１の分析対象面１１ａに衝突して、試料１１の分析
対象面１１ａから原子をたたき出す。たたき出されて剥
離した原子は、Ａｒイオンまたは電子によって励起さ
れ、再び基底状態に戻る際に元素固有の光を放出する。
この光Ｌは、窓板１３を透過し、図１の入射スリット１
４を通して、分光器１５の回析格子１６に向かう。この
回析格子１６は、所定の波長の光を回析させ、出射スリ
ット１７を通して、光電子増倍管１８に入射させる。光
電子増倍管１８は入射した光の強度を測定する。
【００１４】一方、試料１１の分析対象面１１ａは、上
記Ａｒイオンの衝突によりスパッタリングされ、その厚
さが時間の経過とともに徐々に小さくなる。こうして、
上記測定強度をスパッタリング時間の経過とともに測定
して、分析元素の時間経過に対するスペクトルを得て、
このスペクトルから、周知の方法により分析対象面１１
ａの深さ方向の元素濃度分布を得る。
記Ａｒイオンの衝突によりスパッタリングされ、その厚
さが時間の経過とともに徐々に小さくなる。こうして、
上記測定強度をスパッタリング時間の経過とともに測定
して、分析元素の時間経過に対するスペクトルを得て、
このスペクトルから、周知の方法により分析対象面１１
ａの深さ方向の元素濃度分布を得る。
【００１５】前記参考となる構成例において、試料１１
のスパッタ効率を向上させるために、図３のマスク板１
２ｂにおける凹所１２ｃの形成部分の肉厚ｄ１は、可及
的に薄くする必要がある。これは、陽極管３ｄの端面３
ｄａと、陽極管３ｄの中空部に対面する試料１１の分析
対象面１１ａとの距離ｄを、通常の試料・アノード電極
間の間隔（１５０〜２００μｍ程度）と同程度に小さく
するためであり、この距離ｄが大きくなると、発光条件
が変化してしまうからである。
のスパッタ効率を向上させるために、図３のマスク板１
２ｂにおける凹所１２ｃの形成部分の肉厚ｄ１は、可及
的に薄くする必要がある。これは、陽極管３ｄの端面３
ｄａと、陽極管３ｄの中空部に対面する試料１１の分析
対象面１１ａとの距離ｄを、通常の試料・アノード電極
間の間隔（１５０〜２００μｍ程度）と同程度に小さく
するためであり、この距離ｄが大きくなると、発光条件
が変化してしまうからである。
【００１６】また、マスク板１２ｂの凹所１２ｃの形成
部分における陽極管３ｄの端面３ｄａとの対向面は、両
者の間隙ｄ２が１５０〜２００μｍの範囲よりも小さく
なるため、放電は起こらない。開口１２ｄの内径が陽極
管３ｄの内径よりも大きいと、陽極管３ｄの端面３ｄａ
と分析対象面１１ａとの間で放電が発生し、その放電状
態は陽極管３ｄ内での放電状態とは異種のものであるた
め、安定したデータが得られない不都合が生じる。その
ため、前記参考となる構成例では、開口１２ｄの内径を
陽極管３ｄの内径と同一として、前述の極小の間隙ｄ２
を維持するようにして、上記放電の発生を防止してい
る。
部分における陽極管３ｄの端面３ｄａとの対向面は、両
者の間隙ｄ２が１５０〜２００μｍの範囲よりも小さく
なるため、放電は起こらない。開口１２ｄの内径が陽極
管３ｄの内径よりも大きいと、陽極管３ｄの端面３ｄａ
と分析対象面１１ａとの間で放電が発生し、その放電状
態は陽極管３ｄ内での放電状態とは異種のものであるた
め、安定したデータが得られない不都合が生じる。その
ため、前記参考となる構成例では、開口１２ｄの内径を
陽極管３ｄの内径と同一として、前述の極小の間隙ｄ２
を維持するようにして、上記放電の発生を防止してい
る。
【００１７】図４は、本発明の一実施例に係る要部の断
面図を示し、試料１１の冷却を効果的に行う場合の構成
を例示している。前記参考となる構成例においては、試
料１１とマスク板１２ｂの凹所１２ｃとの相互の接触部
分を通じてのみ熱伝導されるだけなので、試料１１が十
分に冷却されないために、スパッタリングによる熱で試
料１１の温度が高くなって、分析に支障を来す場合もあ
る。
面図を示し、試料１１の冷却を効果的に行う場合の構成
を例示している。前記参考となる構成例においては、試
料１１とマスク板１２ｂの凹所１２ｃとの相互の接触部
分を通じてのみ熱伝導されるだけなので、試料１１が十
分に冷却されないために、スパッタリングによる熱で試
料１１の温度が高くなって、分析に支障を来す場合もあ
る。
【００１８】そこで、図４の実施例では、試料ホルダ１
２Ａを次のような構成とした。すなわち、弾性体８の付
勢力により試料１１を凹所１２ｃ内に押し付ける押圧板
１２ｈに、水ジャケット１２ｉを形成し、この水ジャケ
ット１２ｉの両端開口部に、ホルダ本体１２ａの冷却液
導入路１２ｅおよび冷却液排出路１２ｆをそれぞれ連通
させて、押圧板１２ｈに冷却構造を付加し、この押圧板
１２ｈを試料１１に直接当て付けて押圧する構成として
いる。そのため、試料１１の片方の面全体に、冷却構造
を備えた押圧板１２ｈが接触して、試料１１を十分に冷
却できる。なお、この冷却構造を具備した押圧板１２ｈ
に代えて、冷却構造を持たない熱容量の極めて大きな素
材により形成された裏当板を用いても、やはり冷却を効
果的に行うことができる。
２Ａを次のような構成とした。すなわち、弾性体８の付
勢力により試料１１を凹所１２ｃ内に押し付ける押圧板
１２ｈに、水ジャケット１２ｉを形成し、この水ジャケ
ット１２ｉの両端開口部に、ホルダ本体１２ａの冷却液
導入路１２ｅおよび冷却液排出路１２ｆをそれぞれ連通
させて、押圧板１２ｈに冷却構造を付加し、この押圧板
１２ｈを試料１１に直接当て付けて押圧する構成として
いる。そのため、試料１１の片方の面全体に、冷却構造
を備えた押圧板１２ｈが接触して、試料１１を十分に冷
却できる。なお、この冷却構造を具備した押圧板１２ｈ
に代えて、冷却構造を持たない熱容量の極めて大きな素
材により形成された裏当板を用いても、やはり冷却を効
果的に行うことができる。
【００１９】
【００２０】
【００２１】
【００２２】
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のグロー放
電発光分光分析装置によると、シール部材よりも小さい
外形サイズの試料であっても、シール部材よりも大きな
試料ホルダを介して支持ブロックに気密状態で取り付け
て、凹所の開口を介し試料の分析対象面をスパッタリン
グして試料の分析を行える。また、試料の片方の面全体
に、冷却構造を備えた押圧板が接触して、試料を十分に
冷却できる。
電発光分光分析装置によると、シール部材よりも小さい
外形サイズの試料であっても、シール部材よりも大きな
試料ホルダを介して支持ブロックに気密状態で取り付け
て、凹所の開口を介し試料の分析対象面をスパッタリン
グして試料の分析を行える。また、試料の片方の面全体
に、冷却構造を備えた押圧板が接触して、試料を十分に
冷却できる。
【図１】本発明の一実施例に係る分析装置の概略構成図
である。
である。
【図２】同上分析装置におけるグリムグロー放電管の参
考となる構成例を示す断面図である。
考となる構成例を示す断面図である。
【図３】同上グリムグロー放電管の要部を示す断面図で
ある。
ある。
【図４】本発明の一実施例の要部を示す断面図である。
【図５】従来装置におけるグリムグロー放電管の断面図
である。
である。
２…支持ブロック、３…陽極ブロック、３ｂ，３ｃ…真
空排気孔、３ｄ…陽極管、６…Ｏリング（シール部
材）、９…電源部（給電手段）、１１…試料、１１ａ…
分析対象面、１２，１２Ａ…試料ホルダ、１２ｃ…凹
所、１２ｄ…開口。
空排気孔、３ｄ…陽極管、６…Ｏリング（シール部
材）、９…電源部（給電手段）、１１…試料、１１ａ…
分析対象面、１２，１２Ａ…試料ホルダ、１２ｃ…凹
所、１２ｄ…開口。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭52−96087（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−77640（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−10154（ＪＰ，Ａ) 実開 平３−91959（ＪＰ，Ｕ) 実開 平４−127562（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭63−188550（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭62−160354（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭60−8865（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 21/62 - 21/74 ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)
Claims (1)
- 【請求項１】 陽極管を有する陽極ブロックと、 上記陽極管を収納する内方空間を有する支持ブロック
と、 この支持ブロックの内容空間を真空引きする減圧手段
と、 上記支持ブロックにシール部材を介して押し付けられる
試料ホルダと、 上記陽極ブロックと試料ホルダとの間に電圧を印加して
グロー放電を発生させる給電手段とを備え、 上記試料ホルダは、その内面における上記陽極管と対向
する部分に陽極管に向かって凹入する凹所が形成され、 この凹所に上記陽極管の中空部に臨む開口が形成されて
おり、 試料が上記凹所内に配置されて、試料の分析対象面が上
記開口を通して陽極管の中空部に臨んでおり、上記試料ホルダが、試料を上記凹所に押し付ける押圧板
を有し、 その押圧板に水ジャケットが形成され、その水ジャケッ
トの両端開口部に、試料ホルダに設けられた冷却液導入
路および冷却液排出路が連通している グロー放電発光分
光分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32112193A JP3345490B2 (ja) | 1993-11-25 | 1993-11-25 | グロー放電発光分光分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32112193A JP3345490B2 (ja) | 1993-11-25 | 1993-11-25 | グロー放電発光分光分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07146239A JPH07146239A (ja) | 1995-06-06 |
| JP3345490B2 true JP3345490B2 (ja) | 2002-11-18 |
Family
ID=18129052
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32112193A Expired - Fee Related JP3345490B2 (ja) | 1993-11-25 | 1993-11-25 | グロー放電発光分光分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3345490B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009236735A (ja) | 2008-03-27 | 2009-10-15 | Horiba Ltd | 試料掘削装置及び試料ホルダ |
-
1993
- 1993-11-25 JP JP32112193A patent/JP3345490B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07146239A (ja) | 1995-06-06 |
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