JP2723455B2 - グロー放電発光分光分析装置 - Google Patents
グロー放電発光分光分析装置Info
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- JP2723455B2 JP2723455B2 JP5277759A JP27775993A JP2723455B2 JP 2723455 B2 JP2723455 B2 JP 2723455B2 JP 5277759 A JP5277759 A JP 5277759A JP 27775993 A JP27775993 A JP 27775993A JP 2723455 B2 JP2723455 B2 JP 2723455B2
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- sample
- anode
- cathode
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、試料をスパッタリン
グしながら、発生した光を分析するグロー放電発光分光
分析装置に関するものである。
グしながら、発生した光を分析するグロー放電発光分光
分析装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】気体圧力が４〜１０Torr程度のアルゴン
（Ａｒ）雰囲気中で、二つの電極間に直流高電圧を印加
すると、グロー放電が起こり、Ａｒイオンが生成され
る。生成したＡｒイオンは高電界で加速され、陰極表面
に衝突し、そこに存在する物質をたたき出す。この現象
をスパッタリングと呼ぶが、スパッタされた粒子（原
子、分子、イオン）はプラズマ中で励起され、基底状態
に戻る際にその元素に固有の波長の光を放出する。この
発光を分光器で分光して元素を同定する分析法が、グロ
ー放電発光分光分析方法と呼ばれている。
（Ａｒ）雰囲気中で、二つの電極間に直流高電圧を印加
すると、グロー放電が起こり、Ａｒイオンが生成され
る。生成したＡｒイオンは高電界で加速され、陰極表面
に衝突し、そこに存在する物質をたたき出す。この現象
をスパッタリングと呼ぶが、スパッタされた粒子（原
子、分子、イオン）はプラズマ中で励起され、基底状態
に戻る際にその元素に固有の波長の光を放出する。この
発光を分光器で分光して元素を同定する分析法が、グロ
ー放電発光分光分析方法と呼ばれている。
【０００３】上述のグロー放電発光分光分析方法を具現
化した分析装置におけるグロー放電管として、図４に示
すような中空陽極型のグリムグロー放電管１が一般的に
用いられている。このグリムグロー放電管１は、陰極ブ
ロック２と陽極ブロック３とが、絶縁物であるテフロン
ワッシャ４を介して接合されている。陽極ブロック３
は、アルゴンガス供給孔３ａと、第１および第２真空排
気孔３ｂ，３ｃとを有しており、管内Ｖがアルゴンの希
ガス雰囲気（４〜１０Torr）とされている。陽極ブロッ
ク３には、中空陽極管３ｄが一体形成されており、この
陽極管３ｄは、テフロンワッシャ４を貫通して、試料５
の表面５ａに近接している。この試料５は、Ｏリング６
を介し陰極ブロック２に気密状態で押し付けられてい
る。
化した分析装置におけるグロー放電管として、図４に示
すような中空陽極型のグリムグロー放電管１が一般的に
用いられている。このグリムグロー放電管１は、陰極ブ
ロック２と陽極ブロック３とが、絶縁物であるテフロン
ワッシャ４を介して接合されている。陽極ブロック３
は、アルゴンガス供給孔３ａと、第１および第２真空排
気孔３ｂ，３ｃとを有しており、管内Ｖがアルゴンの希
ガス雰囲気（４〜１０Torr）とされている。陽極ブロッ
ク３には、中空陽極管３ｄが一体形成されており、この
陽極管３ｄは、テフロンワッシャ４を貫通して、試料５
の表面５ａに近接している。この試料５は、Ｏリング６
を介し陰極ブロック２に気密状態で押し付けられてい
る。
【０００４】上記グリムグロー放電管１は、陽極ブロッ
ク３と陰極ブロック２との間に直流高電圧を印加してグ
ロー放電を発生させるとともに、一般に銅からなる陰極
ブロック２を通じ試料５に負電圧を印加し、グロー放電
の発生により生成されるアルゴンの陽イオンを試料５の
表面に衝突させて、試料５をスパッタリングするもので
ある。また、冷却液Ｋを、陰極ブロック２の冷却液導入
路２ａからジャケット２ｂ内に導入して冷却液排出路２
ｃまで送給して、陰極ブロック２および陰極ブロック２
を介し試料５と中空陽極管３ｄを冷却している。
ク３と陰極ブロック２との間に直流高電圧を印加してグ
ロー放電を発生させるとともに、一般に銅からなる陰極
ブロック２を通じ試料５に負電圧を印加し、グロー放電
の発生により生成されるアルゴンの陽イオンを試料５の
表面に衝突させて、試料５をスパッタリングするもので
ある。また、冷却液Ｋを、陰極ブロック２の冷却液導入
路２ａからジャケット２ｂ内に導入して冷却液排出路２
ｃまで送給して、陰極ブロック２および陰極ブロック２
を介し試料５と中空陽極管３ｄを冷却している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来では、陽極ブロッ
ク３と陰極ブロック２との間に直流高電圧を印加して導
電性の試料５の分析を行っていたが、近年、高周波電力
を利用して絶縁性試料を分析する方法が確立されつつあ
る。しかしながら、高周波電力を上記構造のグロー放電
管１の陽極ブロック３と陰極ブロック２との間に供給し
た場合、以下のような問題が生じる。
ク３と陰極ブロック２との間に直流高電圧を印加して導
電性の試料５の分析を行っていたが、近年、高周波電力
を利用して絶縁性試料を分析する方法が確立されつつあ
る。しかしながら、高周波電力を上記構造のグロー放電
管１の陽極ブロック３と陰極ブロック２との間に供給し
た場合、以下のような問題が生じる。
【０００６】陽極ブロック３と陰極ブロック２との間の
静電容量Ｃは、互いに向かい合う対向電極部の面積を
Ｓ、電極間の距離をｄ、電極間の誘電率をεとした場
合、Ｃ＝εＳ／ｄの式で求められる。ところが、上記グ
ロー放電管１では、陽極ブロック３と陰極ブロック２と
の対向面積、つまり対向電極の面積Ｓが大きく、また、
テフロンワッシャ４が薄いことにより電極間の距離ｄが
小さい。したがって、上記式から明らかなように、静電
容量Ｃが大きくなり、テフロンワッシャ４を挟んだ陽極
ブロック３と陰極ブロック２とが、大容量のコンデンサ
として機能してしまい、高周波電力に対するテフロンワ
ッシャ４の電気絶縁性が著しく低下して、陽極ブロック
３と陰極ブロック２間に大きな電流が流れる。そのた
め、グロー放電に寄与する電力が減少して放電効率が低
下する問題がある。
静電容量Ｃは、互いに向かい合う対向電極部の面積を
Ｓ、電極間の距離をｄ、電極間の誘電率をεとした場
合、Ｃ＝εＳ／ｄの式で求められる。ところが、上記グ
ロー放電管１では、陽極ブロック３と陰極ブロック２と
の対向面積、つまり対向電極の面積Ｓが大きく、また、
テフロンワッシャ４が薄いことにより電極間の距離ｄが
小さい。したがって、上記式から明らかなように、静電
容量Ｃが大きくなり、テフロンワッシャ４を挟んだ陽極
ブロック３と陰極ブロック２とが、大容量のコンデンサ
として機能してしまい、高周波電力に対するテフロンワ
ッシャ４の電気絶縁性が著しく低下して、陽極ブロック
３と陰極ブロック２間に大きな電流が流れる。そのた
め、グロー放電に寄与する電力が減少して放電効率が低
下する問題がある。
【０００７】そこで、この発明は、高周波電力を供給し
ても放電効率が低下しないグロー放電発光分光分析装置
を提供することを目的とするものである。
ても放電効率が低下しないグロー放電発光分光分析装置
を提供することを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明に係るグロー放電発光分光分析装置は、陽
極ブロックと、この陽極ブロックに一端面が接触すると
ともに、他端面は試料を接触させるポリイミド系樹脂か
らなる電気絶縁性の支持ブロックと、上記試料に接触す
る陰極ブロックと、上記陽極ブロックと試料との間に高
周波電圧を印加してグロー放電を発生させる給電手段と
を備えている。
に、この発明に係るグロー放電発光分光分析装置は、陽
極ブロックと、この陽極ブロックに一端面が接触すると
ともに、他端面は試料を接触させるポリイミド系樹脂か
らなる電気絶縁性の支持ブロックと、上記試料に接触す
る陰極ブロックと、上記陽極ブロックと試料との間に高
周波電圧を印加してグロー放電を発生させる給電手段と
を備えている。
【０００９】
【作用】陰極ブロックを通じて試料と陽極ブロックとの
間に高周波電圧を供給してグロー放電を行わせる場合、
陽極ブロックに接合されている支持ブロックは電気絶縁
性のポリイミド樹脂で構成されて陰極として機能せず、
陽極ブロックと陰極ブロックとの間には、樹脂からなり
大きな厚みに形成できる支持ブロックが介在しているた
め、電極間距離を大きくできる。したがって、静電容量
が大きくなることはなく、高い放電効率を維持できる。
また、支持ブロックの素材であるポリイミド系樹脂は耐
熱性が高いため、グロー放電による温度上昇に伴う熱的
ダメージを受けることがない。一方、陰極ブロックは、
試料に対する電力供給と、試料の押し付け保持と、試料
の冷却との三つの機能を兼備している。
間に高周波電圧を供給してグロー放電を行わせる場合、
陽極ブロックに接合されている支持ブロックは電気絶縁
性のポリイミド樹脂で構成されて陰極として機能せず、
陽極ブロックと陰極ブロックとの間には、樹脂からなり
大きな厚みに形成できる支持ブロックが介在しているた
め、電極間距離を大きくできる。したがって、静電容量
が大きくなることはなく、高い放電効率を維持できる。
また、支持ブロックの素材であるポリイミド系樹脂は耐
熱性が高いため、グロー放電による温度上昇に伴う熱的
ダメージを受けることがない。一方、陰極ブロックは、
試料に対する電力供給と、試料の押し付け保持と、試料
の冷却との三つの機能を兼備している。
【００１０】
【実施例】以下、この発明の好適な実施例について図面
を参照しながら説明する。図１は本発明のグロー放電発
光分光分析装置の一実施例におけるグロー放電管１７を
示し、同図において図４と同一若しくは相当部分には同
一の符号を付してある。
を参照しながら説明する。図１は本発明のグロー放電発
光分光分析装置の一実施例におけるグロー放電管１７を
示し、同図において図４と同一若しくは相当部分には同
一の符号を付してある。
【００１１】既存のグロー放電管１において陰極ブロッ
ク２が設けされていたカソードの部分に、ポリイミド系
樹脂からなる電気絶縁性の支持ブロック７を設けてい
る。支持ブロック７は陽極ブロック３と試料５との間に
介在しており、つまり、支持ブロックの一端面は陽極ブ
ロック３に、他端面は試料５に接触している。そして、
銅製の陰極ブロック２は、絶縁物８を介して押さえ機構
９により試料５の背面に押し付けられている。この陰極
ブロック２には、既存のものと同様に、冷却Ｋを冷却液
導入路２ａからジャケット２ｂに導入して冷却液排出路
２ｃまで送給する冷却手段が設けられている。また、陽
極ブロック３と陰極ブロック２とに高周波電源（給電手
段）１０が接続されている。
ク２が設けされていたカソードの部分に、ポリイミド系
樹脂からなる電気絶縁性の支持ブロック７を設けてい
る。支持ブロック７は陽極ブロック３と試料５との間に
介在しており、つまり、支持ブロックの一端面は陽極ブ
ロック３に、他端面は試料５に接触している。そして、
銅製の陰極ブロック２は、絶縁物８を介して押さえ機構
９により試料５の背面に押し付けられている。この陰極
ブロック２には、既存のものと同様に、冷却Ｋを冷却液
導入路２ａからジャケット２ｂに導入して冷却液排出路
２ｃまで送給する冷却手段が設けられている。また、陽
極ブロック３と陰極ブロック２とに高周波電源（給電手
段）１０が接続されている。
【００１２】図２は本発明のグロー放電発光分光分析装
置の全体の概略構成を示し、同図および図１を参照しな
がら作用について説明する。陰極ブロック２を通じて試
料５と陽極ブロック３との間に、高周波電源１０により
数百〜数千ボルトの高周波電圧を印加すると、グロー放
電を生じ、アルゴンの陽イオンが生成される。生成され
たＡｒイオンは、陰極である試料５に衝突し、試料５の
表面５ａから原子をたたき出す。たたき出されて剥離し
た原子は、Ａｒイオンまたは電子により励起され、再び
基底状態に戻る際に元素特有の光Ｌを放出する。
置の全体の概略構成を示し、同図および図１を参照しな
がら作用について説明する。陰極ブロック２を通じて試
料５と陽極ブロック３との間に、高周波電源１０により
数百〜数千ボルトの高周波電圧を印加すると、グロー放
電を生じ、アルゴンの陽イオンが生成される。生成され
たＡｒイオンは、陰極である試料５に衝突し、試料５の
表面５ａから原子をたたき出す。たたき出されて剥離し
た原子は、Ａｒイオンまたは電子により励起され、再び
基底状態に戻る際に元素特有の光Ｌを放出する。
【００１３】こうして放出された光Ｌは、グロー放電管
１７の窓板１１を透過し、入射スリット１２を通して、
分光器１３の回折格子１４に向かう。分光器１３に入射
した光Ｌは、回折格子１４で所定の波長の光が回折され
て波長ごとに分光され、出射スリット１６を通して、光
電子増倍管１５に入射し、その強度が測定される。試料
５の表面５ａは、スパッタリングされ、その厚さが時間
とともに徐々に薄くなる。測定強度をスパッタリング時
間の経過とともに測定して、分析元素のスペクトルを
得、このスペクトルから、試料の厚さ方向に沿った元素
の分析を周知の方法で行う。
１７の窓板１１を透過し、入射スリット１２を通して、
分光器１３の回折格子１４に向かう。分光器１３に入射
した光Ｌは、回折格子１４で所定の波長の光が回折され
て波長ごとに分光され、出射スリット１６を通して、光
電子増倍管１５に入射し、その強度が測定される。試料
５の表面５ａは、スパッタリングされ、その厚さが時間
とともに徐々に薄くなる。測定強度をスパッタリング時
間の経過とともに測定して、分析元素のスペクトルを
得、このスペクトルから、試料の厚さ方向に沿った元素
の分析を周知の方法で行う。
【００１４】このように、陽極ブロック３と陰極ブロッ
ク２との間に、樹脂であって図１に示すように既存のテ
フロンワッシャ４に比し格段に大きな厚みに形成できる
支持ブロック７が介在しているので、電極間距離が大き
くなり、静電容量が大きくなることはなく、したがっ
て、高い放電効率を維持できる。
ク２との間に、樹脂であって図１に示すように既存のテ
フロンワッシャ４に比し格段に大きな厚みに形成できる
支持ブロック７が介在しているので、電極間距離が大き
くなり、静電容量が大きくなることはなく、したがっ
て、高い放電効率を維持できる。
【００１５】また、支持ブロック７の素材であるポリイ
ミド系樹脂は、使用可能温度が約３００°であって樹脂
中で最も耐熱性が高いため、グロー放電による温度上昇
に伴う熱的ダメージを受けることがない。しかも、ポリ
イミド系樹脂は、機械加工性に優れているため、機械的
精度を容易に得られる利点もある。なお、絶縁性物質と
してはセラミックスが一般的に用いられているが、この
セラミックスは、誘電率が高く、割れが生じ易い欠点を
有しているため、この発明では、支持ブロック７の素材
としてポリイミド系樹脂を用いている。なお、図１のグ
ロー放電管１７において、高周波電源１０を直流電源と
取り替えても支障なく駆動するのは言うまでもない。
ミド系樹脂は、使用可能温度が約３００°であって樹脂
中で最も耐熱性が高いため、グロー放電による温度上昇
に伴う熱的ダメージを受けることがない。しかも、ポリ
イミド系樹脂は、機械加工性に優れているため、機械的
精度を容易に得られる利点もある。なお、絶縁性物質と
してはセラミックスが一般的に用いられているが、この
セラミックスは、誘電率が高く、割れが生じ易い欠点を
有しているため、この発明では、支持ブロック７の素材
としてポリイミド系樹脂を用いている。なお、図１のグ
ロー放電管１７において、高周波電源１０を直流電源と
取り替えても支障なく駆動するのは言うまでもない。
【００１６】また、前記グロー放電管１７における陰極
ブロック２は、試料５に対する電源供給と、試料５の押
し付け保持と、試料４の冷却との三つの機能を兼備して
いるから、部品点数の増加が極力抑制される。この陰極
ブロック２は銅を素材として形成されており、したがっ
て、導電性および熱伝導性の両方に優れている。
ブロック２は、試料５に対する電源供給と、試料５の押
し付け保持と、試料４の冷却との三つの機能を兼備して
いるから、部品点数の増加が極力抑制される。この陰極
ブロック２は銅を素材として形成されており、したがっ
て、導電性および熱伝導性の両方に優れている。
【００１７】次に、支持ブロック７は、図１に示すよう
に比較的大きな径に形成されているが、その目的につい
て、図３を参照しながら説明する。中空陽極管３ｄの先
端部面３１および内周面３２には、試料５がスパッタリ
ングされて削られたスパッタ粉が付着するので、このス
パッタ付着物を、本体１８に回転切削刃１９を装着した
自動クリーニング装置２０で除去している。ところが、
自動クリーニング装置２０の平面切削部１９ａを中空陽
極管３ｄの先端面３１に直接接触させると、この先端面
３１が削られてしまう。また、自動クリーニング装置２
０の本体１８を支持ブロック７における試料５が押し付
けられる試料保持面７ａに接触させると、この試料保持
面７ａが損傷するおそれがある。
に比較的大きな径に形成されているが、その目的につい
て、図３を参照しながら説明する。中空陽極管３ｄの先
端部面３１および内周面３２には、試料５がスパッタリ
ングされて削られたスパッタ粉が付着するので、このス
パッタ付着物を、本体１８に回転切削刃１９を装着した
自動クリーニング装置２０で除去している。ところが、
自動クリーニング装置２０の平面切削部１９ａを中空陽
極管３ｄの先端面３１に直接接触させると、この先端面
３１が削られてしまう。また、自動クリーニング装置２
０の本体１８を支持ブロック７における試料５が押し付
けられる試料保持面７ａに接触させると、この試料保持
面７ａが損傷するおそれがある。
【００１８】そこで、支持ブロック７を大径に形成し
て、試料保持面７ａの径方向外方に接触面７ｂを設け、
他方、自動クリーニング装置２０の平面切削部１９ａと
本体前面１８ａとの距離Ｄ１が、支持ブロック７の試料
保持面７ａと中空陽極管３ｄとの距離Ｄに等しくなるよ
うに設定している。この状態で、自動クリーニング装置
２０でスパッタ付着物を除去する場合、同図に仮想線で
示すように、本体前面１８ａが支持ブロック７の外側の
接触面７ｂに接触して平面切削部１９ａが中空陽極管３
ｄの先端面３１よりも内方に入らないよう位置決めさ
れ、かつ、円柱状切削部１８ｂが中空陽極管３ｄの中空
部に挿入されて、回転切削刃１９の回転により、中空陽
極管３ｄの先端面３１および内周面３２のスパッタ付着
物が除去される。
て、試料保持面７ａの径方向外方に接触面７ｂを設け、
他方、自動クリーニング装置２０の平面切削部１９ａと
本体前面１８ａとの距離Ｄ１が、支持ブロック７の試料
保持面７ａと中空陽極管３ｄとの距離Ｄに等しくなるよ
うに設定している。この状態で、自動クリーニング装置
２０でスパッタ付着物を除去する場合、同図に仮想線で
示すように、本体前面１８ａが支持ブロック７の外側の
接触面７ｂに接触して平面切削部１９ａが中空陽極管３
ｄの先端面３１よりも内方に入らないよう位置決めさ
れ、かつ、円柱状切削部１８ｂが中空陽極管３ｄの中空
部に挿入されて、回転切削刃１９の回転により、中空陽
極管３ｄの先端面３１および内周面３２のスパッタ付着
物が除去される。
【００１９】
【発明の効果】以上のように、この発明に係るグロー放
電発光分光分析装置によれば、陽極ブロックと陰極ブロ
ックとの間に、樹脂であって大きな厚みに形成できる支
持ブロックが介在しているため、電極間距離が大きくな
る。したがって、陽極ブロックと陰極ブロック間の静電
容量が大きくなることはなくなり、高い放電効率を維持
できる。また、支持ブロックの素材であるポリイミド系
樹脂は耐熱性が高いため、グロー放電による温度上昇に
伴う熱的ダメージを受けることがない。さらに、陰極ブ
ロックは、試料に対する電力供給と、試料の押し付け保
持と、試料の冷却との三つの機能を兼備できる。
電発光分光分析装置によれば、陽極ブロックと陰極ブロ
ックとの間に、樹脂であって大きな厚みに形成できる支
持ブロックが介在しているため、電極間距離が大きくな
る。したがって、陽極ブロックと陰極ブロック間の静電
容量が大きくなることはなくなり、高い放電効率を維持
できる。また、支持ブロックの素材であるポリイミド系
樹脂は耐熱性が高いため、グロー放電による温度上昇に
伴う熱的ダメージを受けることがない。さらに、陰極ブ
ロックは、試料に対する電力供給と、試料の押し付け保
持と、試料の冷却との三つの機能を兼備できる。
【図１】この発明の一実施例に係るグロー放電発光分光
分析装置のグリムグロー放電管を示す縦断面図である。
分析装置のグリムグロー放電管を示す縦断面図である。
【図２】同グロー放電発光分光分析装置の概略構成図で
ある。
ある。
【図３】同実施例におけるスパッタ付着物を除去する状
態を示す縦断面図である。
態を示す縦断面図である。
【図４】従来装置におけるグリムグロー放電管を示す断
面図である。
面図である。
２…陰極ブロック、２ａ…冷却液導入路（冷却手段）、
２ｂ…ジャケット（冷却手段）、３…陽極ブロック、５
…試料、７…支持ブロック、１０…高周波電源（給電手
段）。
２ｂ…ジャケット（冷却手段）、３…陽極ブロック、５
…試料、７…支持ブロック、１０…高周波電源（給電手
段）。
Claims (1)
- 【請求項１】 陽極ブロックと、 この陽極ブロックに一端面が接触するとともに、他端面
は試料を接触させるポリイミド系樹脂からなる電気絶縁
性の支持ブロックと、 上記 試料に接触する陰極ブロックと、 上 記陽極ブロックと試料との間に高周波電圧を印加して
グロー放電を発生させる給電手段とを備えてなるグロー
放電発光分光分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5277759A JP2723455B2 (ja) | 1993-10-08 | 1993-10-08 | グロー放電発光分光分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5277759A JP2723455B2 (ja) | 1993-10-08 | 1993-10-08 | グロー放電発光分光分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07110299A JPH07110299A (ja) | 1995-04-25 |
| JP2723455B2 true JP2723455B2 (ja) | 1998-03-09 |
Family
ID=17587943
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5277759A Expired - Fee Related JP2723455B2 (ja) | 1993-10-08 | 1993-10-08 | グロー放電発光分光分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2723455B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103080732A (zh) * | 2010-09-03 | 2013-05-01 | 赛默飞世尔科技(埃居布朗)有限公司 | 用于光学发射分析的改善的火花室 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100453293B1 (ko) * | 2001-12-28 | 2004-10-15 | 에이치아이티 주식회사 | 속빈 음극관을 가지는 분광분석시스템의 글로우 방전셀 |
| JP6584832B2 (ja) * | 2014-06-27 | 2019-10-02 | 株式会社堀場製作所 | グロー放電発光分析装置、試料ホルダ及びグロー放電発生方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4921680A (ja) * | 1972-06-23 | 1974-02-26 | ||
| JPS50128584A (ja) * | 1974-03-29 | 1975-10-09 | ||
| JPS6237871A (ja) * | 1985-08-10 | 1987-02-18 | Sanyo Electric Co Ltd | 非水電解液電池 |
| JP2520502B2 (ja) * | 1990-05-30 | 1996-07-31 | 三田工業株式会社 | 画像形成装置 |
-
1993
- 1993-10-08 JP JP5277759A patent/JP2723455B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103080732A (zh) * | 2010-09-03 | 2013-05-01 | 赛默飞世尔科技(埃居布朗)有限公司 | 用于光学发射分析的改善的火花室 |
| US9127982B2 (en) | 2010-09-03 | 2015-09-08 | Thermo Fisher Scientific (Ecublens) Sarl | Spark chamber for optical emission analysis |
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| JPH07110299A (ja) | 1995-04-25 |
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