JP6584832B2 - グロー放電発光分析装置、試料ホルダ及びグロー放電発生方法 - Google Patents
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Description
(実施の形態1)
図1は、実施の形態1に係るグロー放電発光分析装置の構成を示すブロック図である。グロー放電発光分析装置は、グロー放電を発生させるグロー放電管1、試料を保持する試料ホルダ2、グロー放電により発生する光を分光して強度を測定する分光器3、グロー放電を発生させるための高周波電圧を発生させる電源部4、及びグロー放電発光分析装置の全体的な制御を行う制御部6を備えている。試料ホルダ2は、試料に電圧を印加するための電極を含んでおり、電極は電源部4に接続されている。また、試料ホルダ2は、流体の冷媒を供給されて試料を冷却する機能を有している。グロー放電発光分析装置は、試料ホルダ2へ冷媒を供給する冷媒供給部5を備えている。冷媒供給部5と試料ホルダ2との間には、冷媒が通過する配管が配置されており、冷媒供給部5は配管を介して試料ホルダ2に連結されている。冷媒は、例えば、冷水、液体窒素、又は液体窒素を気化させた窒素ガス等である。冷媒供給部5は、冷媒を回収する構成であってもよく、回収しない構成であってもよい。例えば、冷媒供給部5は、液体窒素タンクと、液体窒素を気化させるヒータとを含んでいる。
図6は、実施の形態2に係る試料ホルダ2の内部構成を示す断面図である。グロー放電発光分析装置の試料ホルダ2以外の構成は、実施の形態1と同様である。試料ホルダ2は、内筒部26と、両端が開口した外筒部27と、電極23とを備えている。電極23は、金属製であり、板状の部分から柱状部232が突出した形状になっている。内筒部26は、電極23の柱状部232に嵌合している。内筒部26の底は電極23で塞がれており、内側には柱状部232が位置している。電極23の先端は試料固定面231になっている。外筒部27の外面の大きさは、グロー放電管1の開口部13bよりも大きく、外筒部27の内面の大きさは、内筒部26の外面よりも若干大きい。外筒部27は、内筒部26に外嵌している。内筒部26及び外筒部27は、本発明における当接部に相当する。内筒部26及び外筒部27は熱伝導率の低い絶縁材製である。内筒部26の外面には、Oリング261が設けられている。Oリング261は、内筒部26の外面と外筒部27の内面との間の隙間を埋める。外筒部27は、内筒部26に外嵌した状態で、軸方向に内筒部26に対して摺動することができる。これにより、内筒部26及び外筒部27からなる当接部は、伸縮することが可能である。外筒部27の先端は、当接部の開口端272である。開口端272には、Oリング271が設けられている。
図9は、実施の形態3に係るグロー放電発光分析装置の構成を示すブロック図である。グロー放電発光分析装置は、冷媒供給部5を備えていない。試料ホルダ2には、電極23の外に冷媒を配置した冷媒配置部51と、電極23及び冷媒配置部51の間を繋ぐ熱伝導部52とが付属している。
11 ランプボディ
12 陽極(第1電極)
12b 円筒部(端部)
13 セラミック部材
13b 開口部
15 押圧ブロック
2 試料ホルダ
20 試料
21、27 外筒部(当接部)
22、26 内筒部(当接部)
23 電極(第2電極)
231 試料固定面
24 流路(冷却部)
3 分光器
4 電源部
5 冷媒供給部
6 制御部
7 減圧部
8 ガス供給部
Claims (10)
- 開口部が形成されたハウジング、及び前記開口部に筒状の端部が臨むように前記ハウジング内に配置された第1電極を有するグロー放電管と、該グロー放電管の内部を減圧する減圧部と、前記開口部を通して前記端部に対向する位置に試料を保持する試料ホルダとを備え、前記第1電極と前記試料との間でグロー放電を発生させ、前記試料のグロー放電発光分析を行うグロー放電発光分析装置において、
前記試料ホルダは、
試料が固定される試料固定面を有しており、グロー放電を発生させるための電圧が前記第1電極との間で印加される第2電極と、
冷媒を用いて該第2電極を冷却する冷却部と、
開口端が前記開口部よりも大きい有底筒状をなし、内側に前記試料固定面が配置されており、前記試料固定面に固定された試料が前記端部に対向するように前記開口端が前記開口部の周縁に当接される当接部とを有し、
該当接部は、
前記開口端が塞がれた状態で内部が気密状態になるように構成され、
前記開口端が前記開口部の周縁に当接された状態で前記試料を前記端部へ接近させるように伸縮することが可能であり、
前記減圧部は、
前記当接部が前記開口部の周縁に当接され、前記試料が前記開口部から離れた状態で、前記グロー放電管及び前記当接部の内部を減圧するように構成してあること
を特徴とするグロー放電発光分析装置。 - 前記減圧部が前記グロー放電管及び前記当接部の内部を減圧した後に、前記グロー放電管及び前記当接部の内部へ所定のガスを供給するガス供給部を更に備えること
を特徴とする請求項1に記載のグロー放電発光分析装置。 - 前記冷却部は、
前記第2電極の外に冷媒を配置する冷媒配置部と、
前記第2電極から前記冷媒配置部へ熱を伝導させる熱伝導部とを有すること
を特徴とする請求項1又は2に記載のグロー放電発光分析装置。 - グロー放電管を用いてグロー放電を発生させるための試料を保持する試料ホルダにおいて、
試料が固定される試料固定面を有しており、グロー放電を発生させるための電圧が印加される電極と、
冷媒を用いて該電極を冷却する冷却部と、
開口端を有する有底筒状をなし、内側に前記試料固定面が配置されており、前記開口端がグロー放電管に当接される当接部とを備え、
該当接部は、
前記開口端が塞がれた状態で内部が気密状態になるように構成され、
伸縮することが可能になっていること
を特徴とする試料ホルダ。 - 前記当接部は、
内側に前記試料固定面が配置された有底の外筒部と、
両端が開口した筒状をなし、前記外筒部に対して軸方向に摺動可能に少なくとも一部が前記外筒部に同軸に内嵌した内筒部と
を有することを特徴とする請求項4に記載の試料ホルダ。 - 前記当接部は、
内側に前記試料固定面が配置され、底が塞がれた内筒部と、
両端が開口した筒状をなし、前記内筒部に対して軸方向に摺動可能に少なくとも一部が前記内筒部に同軸に外嵌した外筒部と
を有することを特徴とする請求項4に記載の試料ホルダ。 - 前記冷却部は、
前記電極の外に冷媒を配置する冷媒配置部と、
前記電極から前記冷媒配置部へ熱を伝導させる熱伝導部とを有すること
を特徴とする請求項4乃至6のいずれか一つに記載の試料ホルダ。 - 開口部が形成されたハウジング、及び前記開口部に筒状の端部が臨むように前記ハウジング内に配置された電極を有するグロー放電管と、請求項4乃至7のいずれか一つに記載の試料ホルダとを用いてグロー放電を発生させる方法であって、
前記試料ホルダの試料固定面に試料を固定し、
固定された試料が前記端部に対向するように、前記試料ホルダの当接部の開口端を前記開口部の周縁に当接させ、
前記試料固定面に固定された試料が前記開口部から離れた状態で、前記グロー放電管及び前記当接部の内部を減圧し、
前記当接部を短縮させて、前記試料を前記端部へ接近させ、
前記試料ホルダの冷却部へ冷媒を供給して、前記試料ホルダの電極の冷却を開始し、
前記グロー放電管の電極と前記試料ホルダの電極との間に、グロー放電を発生させるための電圧を印加すること
を特徴とするグロー放電発生方法。 - 前記グロー放電管及び前記当接部の内部を減圧した後、前記試料ホルダの電極の冷却を開始する前に、前記グロー放電管及び前記当接部の内部へ所定のガスを供給すること
を特徴とする請求項8に記載のグロー放電発生方法。 - 前記試料が前記開口部を塞ぐ位置まで前記試料を前記端部へ接近させること
を特徴とする請求項8又は9に記載のグロー放電発生方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015122263A JP6584832B2 (ja) | 2014-06-27 | 2015-06-17 | グロー放電発光分析装置、試料ホルダ及びグロー放電発生方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014132995 | 2014-06-27 | ||
JP2014132995 | 2014-06-27 | ||
JP2015122263A JP6584832B2 (ja) | 2014-06-27 | 2015-06-17 | グロー放電発光分析装置、試料ホルダ及びグロー放電発生方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016027327A JP2016027327A (ja) | 2016-02-18 |
JP6584832B2 true JP6584832B2 (ja) | 2019-10-02 |
Family
ID=55352757
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015122263A Active JP6584832B2 (ja) | 2014-06-27 | 2015-06-17 | グロー放電発光分析装置、試料ホルダ及びグロー放電発生方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6584832B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20220028719A1 (en) * | 2018-11-30 | 2022-01-27 | Kyocera Corporation | Sample holder |
JP6783496B1 (ja) | 2019-03-25 | 2020-11-11 | アトナープ株式会社 | ガス分析装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5766642A (en) * | 1980-10-09 | 1982-04-22 | Mitsubishi Electric Corp | Plasma etching device |
JPH086288Y2 (ja) * | 1991-04-26 | 1996-02-21 | 新日本製鐵株式会社 | グロー放電発光分光分析用試料ホールダー |
JP2723455B2 (ja) * | 1993-10-08 | 1998-03-09 | 理学電機工業株式会社 | グロー放電発光分光分析装置 |
EP1715504A3 (en) * | 2005-04-19 | 2011-05-04 | Horiba, Ltd. | Glow discharge drilling apparatus and glow discharge drilling method |
-
2015
- 2015-06-17 JP JP2015122263A patent/JP6584832B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016027327A (ja) | 2016-02-18 |
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