JP3284186B2 - グロー放電発光分光分析用試料およびその作製方法ならびにグロー放電発光分光分析装置 - Google Patents
グロー放電発光分光分析用試料およびその作製方法ならびにグロー放電発光分光分析装置Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、試料をスパッタ
リングしながら、発生した光を分光器で分析するグロー
放電発光分光分析に用いる試料およびその作製方法なら
びにグロー放電発光分光分析装置に関するものである。
リングしながら、発生した光を分光器で分析するグロー
放電発光分光分析に用いる試料およびその作製方法なら
びにグロー放電発光分光分析装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】気体圧力が４〜１０Torr程度のアルゴン
（Ａｒ）雰囲気中で、二つの電極間に直流または高周波
の高電圧を印加すると、グロー放電が起こり、Ａｒイオ
ンが生成される。生成したＡｒイオンは高電界で加速さ
れ、陰極表面に衝突し、そこに存在する物質をたたき出
す。この現象をスパッタリングと呼ぶが、スパッタされ
た粒子（原子、分子、イオン）はプラズマ中で励起さ
れ、基底状態に戻る際にその元素に固有の波長の光を放
出する。この発光を分光器で分光して元素を同定する分
析法が、グロー放電発光分光分析方法と呼ばれている。
（Ａｒ）雰囲気中で、二つの電極間に直流または高周波
の高電圧を印加すると、グロー放電が起こり、Ａｒイオ
ンが生成される。生成したＡｒイオンは高電界で加速さ
れ、陰極表面に衝突し、そこに存在する物質をたたき出
す。この現象をスパッタリングと呼ぶが、スパッタされ
た粒子（原子、分子、イオン）はプラズマ中で励起さ
れ、基底状態に戻る際にその元素に固有の波長の光を放
出する。この発光を分光器で分光して元素を同定する分
析法が、グロー放電発光分光分析方法と呼ばれている。
【０００３】上述のグロー放電発光分光分析方法を具現
化した分析装置におけるグロー放電管として、図６に示
すような中空陽極型のグリムグロー放電管１が一般的に
用いられている。このグリムグロー放電管１は、陰極と
なる支持ブロック２と陽極ブロック３とが、絶縁物であ
るテフロンワッシャ４を介して接合されている。陽極ブ
ロック３は、アルゴンガス供給孔３ａと、第１および第
２真空排気孔３ｂ，３ｃとを有しており、管内Ｖがアル
ゴンの希ガス雰囲気（４〜１０Torr）とされている。陽
極ブロック３には、中空陽極管３ｄが一体形成されてお
り、この陽極管３ｄは、テフロンワッシャ４を貫通し
て、試料５の表面５ａに近接している。この試料５は、
その表面５ａにおける分析面を囲む環状形状となったＯ
リングなどのシール部材６を介して、支持ブロック２に
気密状態で押し付けられている。
化した分析装置におけるグロー放電管として、図６に示
すような中空陽極型のグリムグロー放電管１が一般的に
用いられている。このグリムグロー放電管１は、陰極と
なる支持ブロック２と陽極ブロック３とが、絶縁物であ
るテフロンワッシャ４を介して接合されている。陽極ブ
ロック３は、アルゴンガス供給孔３ａと、第１および第
２真空排気孔３ｂ，３ｃとを有しており、管内Ｖがアル
ゴンの希ガス雰囲気（４〜１０Torr）とされている。陽
極ブロック３には、中空陽極管３ｄが一体形成されてお
り、この陽極管３ｄは、テフロンワッシャ４を貫通し
て、試料５の表面５ａに近接している。この試料５は、
その表面５ａにおける分析面を囲む環状形状となったＯ
リングなどのシール部材６を介して、支持ブロック２に
気密状態で押し付けられている。
【０００４】このグリムグロー放電管１は、陽極ブロッ
ク３と支持ブロック２との間に電源部（給電手段）９に
より高電圧を印加してグロー放電を発生させるととも
に、一般に銅からなる支持ブロック２を通じ試料５に負
電圧を印加し、グロー放電の発生により生成されるアル
ゴンの陽イオンを試料５の表面５ａに衝突させて、試料
５をスパッタリングするものである。また、冷却液Ｋ
を、支持ブロック２の冷却液導入路２ａからジャケット
２ｂ内に導入して冷却液排出路２ｃまで送給することに
より、支持ブロック２を介し試料５と中空陽極管３ｄを
冷却している。
ク３と支持ブロック２との間に電源部（給電手段）９に
より高電圧を印加してグロー放電を発生させるととも
に、一般に銅からなる支持ブロック２を通じ試料５に負
電圧を印加し、グロー放電の発生により生成されるアル
ゴンの陽イオンを試料５の表面５ａに衝突させて、試料
５をスパッタリングするものである。また、冷却液Ｋ
を、支持ブロック２の冷却液導入路２ａからジャケット
２ｂ内に導入して冷却液排出路２ｃまで送給することに
より、支持ブロック２を介し試料５と中空陽極管３ｄを
冷却している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のグロ
ー放電発光分光分析装置は、試料５の表面５ａを、支持
ブロック２に埋設されたシール部材６で真空シールして
支持ブロック２に気密状態に押し付けて、その試料５に
より中空陽極管３ｄを収納する支持ブロック２の内方空
間（グロー放電空間）Ｖの開口部を密閉し、この内方空
間Ｖを、図示しない真空排気装置（減圧手段）により、
第１および第２真空排気孔３ｂ，３ｃから真空引きする
ようになっている。ここで、図７に示すように、試料１
５が、複数の貫通孔１５ｃを有する有孔板、例えばメッ
シュ状である場合には、図７中矢印で示すように試料の
背面１５ｂ側の空間と内方空間Ｖとが連通してしまうの
で、試料１５の表面１５ａを支持ブロック２に気密状態
に押し付けて内方空間Ｖを密閉し、真空引きすることが
できない。したがって、試料１５そのままでは分析がで
きない。
ー放電発光分光分析装置は、試料５の表面５ａを、支持
ブロック２に埋設されたシール部材６で真空シールして
支持ブロック２に気密状態に押し付けて、その試料５に
より中空陽極管３ｄを収納する支持ブロック２の内方空
間（グロー放電空間）Ｖの開口部を密閉し、この内方空
間Ｖを、図示しない真空排気装置（減圧手段）により、
第１および第２真空排気孔３ｂ，３ｃから真空引きする
ようになっている。ここで、図７に示すように、試料１
５が、複数の貫通孔１５ｃを有する有孔板、例えばメッ
シュ状である場合には、図７中矢印で示すように試料の
背面１５ｂ側の空間と内方空間Ｖとが連通してしまうの
で、試料１５の表面１５ａを支持ブロック２に気密状態
に押し付けて内方空間Ｖを密閉し、真空引きすることが
できない。したがって、試料１５そのままでは分析がで
きない。
【０００６】このような有孔板である分析対象試料１５
に対し、図８に示すように、その背面１５ｂに補強用金
属板３０を接着して全体を分析用試料３５とし、接着剤
３１により分析対象試料の孔１５ｃを充填して内方空間
Ｖ（図７）を密閉する方法が考えられるが、分析用試料
３５の分析面３５ａにおいて、孔１５ｃから接着剤３１
が露出し平滑にならず、また露出した接着剤３１が分析
対象試料の表面１５ａを覆ってしまうこともあり、さら
に、それが放電で分解するため接着剤３１までもが分析
され、接着剤３１が分析対象試料１５における分析対象
の元素を含む場合に、正確な分析ができない。また、孔
１５ｃから接着剤３１が露出しない場合でも、孔１５ｃ
が不均一に充填されること等により、試料３５の分析面
３５ａ全体が均一にスパッタされずに局所的に異常放電
となり、正確な分析ができないこともある。
に対し、図８に示すように、その背面１５ｂに補強用金
属板３０を接着して全体を分析用試料３５とし、接着剤
３１により分析対象試料の孔１５ｃを充填して内方空間
Ｖ（図７）を密閉する方法が考えられるが、分析用試料
３５の分析面３５ａにおいて、孔１５ｃから接着剤３１
が露出し平滑にならず、また露出した接着剤３１が分析
対象試料の表面１５ａを覆ってしまうこともあり、さら
に、それが放電で分解するため接着剤３１までもが分析
され、接着剤３１が分析対象試料１５における分析対象
の元素を含む場合に、正確な分析ができない。また、孔
１５ｃから接着剤３１が露出しない場合でも、孔１５ｃ
が不均一に充填されること等により、試料３５の分析面
３５ａ全体が均一にスパッタされずに局所的に異常放電
となり、正確な分析ができないこともある。
【０００７】そこで本発明は、有孔板である分析対象試
料について、それを保持して正確な分析を行えるグロー
放電発光分光分析用試料およびその作製方法ならびにグ
ロー放電発光分光分析装置を提供することを目的とする
ものである。
料について、それを保持して正確な分析を行えるグロー
放電発光分光分析用試料およびその作製方法ならびにグ
ロー放電発光分光分析装置を提供することを目的とする
ものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の請求項１に係るグロー放電発光分光分析用
試料は、有孔板である分析対象試料と、導電性を有し、
分析対象の元素を含まず、一部が前記分析対象試料の孔
に充填されることにより、分析対象試料を保持する保持
材とからなり、前記分析対象試料の一方の主面と、前記
分析対象試料の孔から露出した保持材の露出面とが面一
に設定され、その面一な面を分析面とする。
に、本発明の請求項１に係るグロー放電発光分光分析用
試料は、有孔板である分析対象試料と、導電性を有し、
分析対象の元素を含まず、一部が前記分析対象試料の孔
に充填されることにより、分析対象試料を保持する保持
材とからなり、前記分析対象試料の一方の主面と、前記
分析対象試料の孔から露出した保持材の露出面とが面一
に設定され、その面一な面を分析面とする。
【０００９】請求項１の分析用試料によれば、有孔板で
ある分析対象試料について、保持材の一部が分析対象試
料の孔に充填されることにより、分析対象試料を保持す
るので、内方空間Ｖを密閉できる。しかも、分析用試料
の分析面において、導電性を有し分析対象の元素を含ま
ない保持材により、分析対象試料の孔が面一に充填され
るので、分析面全体が均一にスパッタされ、かつ、保持
材の露出面がスパッタされても分析対象試料の分析に影
響がない。したがって、分析対象試料の正確な分析がで
きる。
ある分析対象試料について、保持材の一部が分析対象試
料の孔に充填されることにより、分析対象試料を保持す
るので、内方空間Ｖを密閉できる。しかも、分析用試料
の分析面において、導電性を有し分析対象の元素を含ま
ない保持材により、分析対象試料の孔が面一に充填され
るので、分析面全体が均一にスパッタされ、かつ、保持
材の露出面がスパッタされても分析対象試料の分析に影
響がない。したがって、分析対象試料の正確な分析がで
きる。
【００１０】請求項２に係るグロー放電発光分光分析用
試料を作製する方法では、有孔板である分析対象試料の
一方の主面を下にして、平滑な台に載置し、その上か
ら、導電性を有し分析対象の元素を含まない保持材の一
部を、前記分析対象試料の孔に充填し、前記分析対象試
料の一方の主面と、前記分析対象試料の孔から露出した
保持材の露出面とを面一に設定して、その面一な面を分
析面とする分析用試料を作製する。請求項２の方法によ
れば、前記作用効果を有する請求項１の分析用試料を、
作製することができる。
試料を作製する方法では、有孔板である分析対象試料の
一方の主面を下にして、平滑な台に載置し、その上か
ら、導電性を有し分析対象の元素を含まない保持材の一
部を、前記分析対象試料の孔に充填し、前記分析対象試
料の一方の主面と、前記分析対象試料の孔から露出した
保持材の露出面とを面一に設定して、その面一な面を分
析面とする分析用試料を作製する。請求項２の方法によ
れば、前記作用効果を有する請求項１の分析用試料を、
作製することができる。
【００１１】請求項３に係るグロー放電発光分光分析装
置は、まず、陽極管を有する陽極ブロックと、前記陽極
管を収納する内方空間を有する支持ブロックと、前記支
持ブロックの内方空間を真空引きする減圧手段と、前記
陽極ブロックと有孔板である分析対象試料との間に電圧
を印加してグロー放電を発生させる給電手段と、導電性
を有し、分析対象の元素を含まず、一部が前記分析対象
試料の孔に侵入して分析対象試料を保持する保持材とを
備えている。そして、前記分析対象試料の孔から露出し
た保持材の露出面が、前記分析対象試料の一方の主面と
面一に設定され、その面一な面が分析面とされ、シール
部材を介して前記支持ブロックに押し付けられる。請求
項３の装置によっても、前記請求項１の分析用試料と同
様の作用効果が得られる。
置は、まず、陽極管を有する陽極ブロックと、前記陽極
管を収納する内方空間を有する支持ブロックと、前記支
持ブロックの内方空間を真空引きする減圧手段と、前記
陽極ブロックと有孔板である分析対象試料との間に電圧
を印加してグロー放電を発生させる給電手段と、導電性
を有し、分析対象の元素を含まず、一部が前記分析対象
試料の孔に侵入して分析対象試料を保持する保持材とを
備えている。そして、前記分析対象試料の孔から露出し
た保持材の露出面が、前記分析対象試料の一方の主面と
面一に設定され、その面一な面が分析面とされ、シール
部材を介して前記支持ブロックに押し付けられる。請求
項３の装置によっても、前記請求項１の分析用試料と同
様の作用効果が得られる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態のグロ
ー放電発光分光分析装置を図面にしたがって説明する。
まず、この装置に適用する分析用試料の作製方法につい
て説明する。図３に示すように、有孔板である分析対象
試料１５の一方の主面１５ａを下にして、平滑な台１１
に載置し、分析対象試料１５を囲うように円筒状の成型
治具１２を台１１に載置する。そして、分析対象試料１
５の上から、導電性を有し分析対象の元素を含まない保
持材２０、例えば、インジウム、錫、鉛等の軟性の金属
を選択して載置して、さらにその上から、円板状の押圧
部１３ａと円柱状の加圧部１３ｂを有する加圧治具１３
で加圧する。
ー放電発光分光分析装置を図面にしたがって説明する。
まず、この装置に適用する分析用試料の作製方法につい
て説明する。図３に示すように、有孔板である分析対象
試料１５の一方の主面１５ａを下にして、平滑な台１１
に載置し、分析対象試料１５を囲うように円筒状の成型
治具１２を台１１に載置する。そして、分析対象試料１
５の上から、導電性を有し分析対象の元素を含まない保
持材２０、例えば、インジウム、錫、鉛等の軟性の金属
を選択して載置して、さらにその上から、円板状の押圧
部１３ａと円柱状の加圧部１３ｂを有する加圧治具１３
で加圧する。
【００１３】これにより、図１に示すように、分析対象
試料の孔１５ｃに保持材２０の一部を充填し、分析対象
試料の一方の主面１５ａ（図３においては下側の面）
と、分析対象試料の孔１５ｃから露出した保持材の露出
面２０ａとを面一に設定して、その面一な面を分析面２
５ａとする分析用試料２５を作製する。この実施形態で
は、分析用試料２５は、図２の斜視図に示すように、上
面（分析面）２５ａ中央に、分析対象試料１５が埋め込
まれた円板状になる。分析後、保持材２０は、分析対象
試料１５からはがして、再利用が可能である。
試料の孔１５ｃに保持材２０の一部を充填し、分析対象
試料の一方の主面１５ａ（図３においては下側の面）
と、分析対象試料の孔１５ｃから露出した保持材の露出
面２０ａとを面一に設定して、その面一な面を分析面２
５ａとする分析用試料２５を作製する。この実施形態で
は、分析用試料２５は、図２の斜視図に示すように、上
面（分析面）２５ａ中央に、分析対象試料１５が埋め込
まれた円板状になる。分析後、保持材２０は、分析対象
試料１５からはがして、再利用が可能である。
【００１４】なお、前記軟性の金属（塊）のほかに、銅
や銀の粉末等、例えば１００ｋＮ／ｃｍ2 程度の圧力で
固化する金属粉も、保持材２０として用いることができ
る。この場合、再利用のためには、固化したものを分析
対象試料１５と分離して再度粉末にする必要がある。ま
た、保持材２０として、導電性を有し固化する流動体、
例えば炭素や金属粉等を含む接着剤（導電ペースト）等
を用いることもできる。この場合には、図３の台１１や
成型治具１２は、その接着剤で接着されない例えばテフ
ロン等の材質とし、また、分析対象試料１５の上から接
着剤を流し込めばよいので、加圧治具１３は必要ではな
くなるが、分析後の接着剤の再利用はできない。
や銀の粉末等、例えば１００ｋＮ／ｃｍ2 程度の圧力で
固化する金属粉も、保持材２０として用いることができ
る。この場合、再利用のためには、固化したものを分析
対象試料１５と分離して再度粉末にする必要がある。ま
た、保持材２０として、導電性を有し固化する流動体、
例えば炭素や金属粉等を含む接着剤（導電ペースト）等
を用いることもできる。この場合には、図３の台１１や
成型治具１２は、その接着剤で接着されない例えばテフ
ロン等の材質とし、また、分析対象試料１５の上から接
着剤を流し込めばよいので、加圧治具１３は必要ではな
くなるが、分析後の接着剤の再利用はできない。
【００１５】さて、本実施形態のグロー放電発光分光分
析装置では、図５に示すように、グロー放電を利用した
スパッタリングにより元素に固有の波長の光を発生する
グリムグロー放電管１０から放出されて、その窓板１３
を透過した光Ｌが、分光器２１に入射する。分光器２１
は、入射スリット１４、この入射スリット１４から入射
した光Ｌを波長に応じて異った回折角度で回折する回折
格子１６、回折光を通過させる出射スリット１７および
回折光の強度を測定する光電子増倍管１８を備えてい
る。
析装置では、図５に示すように、グロー放電を利用した
スパッタリングにより元素に固有の波長の光を発生する
グリムグロー放電管１０から放出されて、その窓板１３
を透過した光Ｌが、分光器２１に入射する。分光器２１
は、入射スリット１４、この入射スリット１４から入射
した光Ｌを波長に応じて異った回折角度で回折する回折
格子１６、回折光を通過させる出射スリット１７および
回折光の強度を測定する光電子増倍管１８を備えてい
る。
【００１６】図４は、図５の分析装置におけるグリムグ
ロー放電管１０の一例を示す。図４において、図６と同
等のものには同一の符号を付して、説明を省略する。本
実施形態の装置は、導電性を有し、分析対象の元素を含
まず、一部が分析対象試料の孔１５ｃに侵入して分析対
象試料１５を保持する前記保持材２０を備えている。そ
して、図１に示したように、分析対象試料の孔１５ｃか
ら露出した保持材の露出面２５ａが、分析対象試料の一
方の主面１５ａと面一に設定され、その面一な面が分析
面２５ａとされ、図４に示すように、シール部材６を介
して支持ブロック２に押し付けられる。
ロー放電管１０の一例を示す。図４において、図６と同
等のものには同一の符号を付して、説明を省略する。本
実施形態の装置は、導電性を有し、分析対象の元素を含
まず、一部が分析対象試料の孔１５ｃに侵入して分析対
象試料１５を保持する前記保持材２０を備えている。そ
して、図１に示したように、分析対象試料の孔１５ｃか
ら露出した保持材の露出面２５ａが、分析対象試料の一
方の主面１５ａと面一に設定され、その面一な面が分析
面２５ａとされ、図４に示すように、シール部材６を介
して支持ブロック２に押し付けられる。
【００１７】次に、この装置の動作について説明する。
図示しない減圧手段により、支持ブロック２の内方空間
Ｖを真空引きすると、分析用試料の分析面２５ａが、背
面２５ｂにかかる大気圧により、シール部材６を介して
支持ブロック２に押し付けられ、密着する。そして、陽
極ブロック３と、保持材２０を通して分析対象試料１５
との間に、または図４に２点鎖線で示すように、陽極ブ
ロック３と、支持ブロック２を通して分析対象試料１５
との間に、電源部（給電手段）９により数百〜数千ボル
トの高電圧を印加すると、グロー放電を生じ、アルゴン
の陽イオンが生成される。
図示しない減圧手段により、支持ブロック２の内方空間
Ｖを真空引きすると、分析用試料の分析面２５ａが、背
面２５ｂにかかる大気圧により、シール部材６を介して
支持ブロック２に押し付けられ、密着する。そして、陽
極ブロック３と、保持材２０を通して分析対象試料１５
との間に、または図４に２点鎖線で示すように、陽極ブ
ロック３と、支持ブロック２を通して分析対象試料１５
との間に、電源部（給電手段）９により数百〜数千ボル
トの高電圧を印加すると、グロー放電を生じ、アルゴン
の陽イオンが生成される。
【００１８】生成されたＡｒイオンは、陰極である分析
対象試料１５の一方の主面１５ａに衝突して、この面１
５ａをスパッタリングする。それにより、分析対象試料
１５の一方の主面１５ａからたたき出されて剥離した原
子は、Ａｒイオンまたは電子によって励起され、再び基
底状態に戻る際に元素固有の光を放出する。この光Ｌ
は、窓板１３を透過し、図５の入射スリット１４を通し
て、分光器２１の回析格子１６に向かう。この回析格子
１６は、所定の波長の光を回析させ、出射スリット１７
を通して、光電子増倍管１８に入射させる。光電子増倍
管１８は入射した光の強度を測定する。
対象試料１５の一方の主面１５ａに衝突して、この面１
５ａをスパッタリングする。それにより、分析対象試料
１５の一方の主面１５ａからたたき出されて剥離した原
子は、Ａｒイオンまたは電子によって励起され、再び基
底状態に戻る際に元素固有の光を放出する。この光Ｌ
は、窓板１３を透過し、図５の入射スリット１４を通し
て、分光器２１の回析格子１６に向かう。この回析格子
１６は、所定の波長の光を回析させ、出射スリット１７
を通して、光電子増倍管１８に入射させる。光電子増倍
管１８は入射した光の強度を測定する。
【００１９】本実施形態の装置によれば、有孔板である
分析対象試料１５について、保持材２０の一部が分析対
象試料の孔１５ｃに充填されることにより、分析対象試
料１５を保持するので、内方空間Ｖを密閉できる。しか
も、分析用試料の分析面２５ａにおいて、導電性を有し
分析対象の元素を含まない保持材２０により、分析対象
試料の孔１５ｃが面一に充填されるので、分析面２５ａ
全体が均一にスパッタされ、かつ、保持材の露出面２０
ａがスパッタされても分析対象試料１５の分析に影響が
ない。したがって、分析対象試料１５の正確な分析がで
きる。
分析対象試料１５について、保持材２０の一部が分析対
象試料の孔１５ｃに充填されることにより、分析対象試
料１５を保持するので、内方空間Ｖを密閉できる。しか
も、分析用試料の分析面２５ａにおいて、導電性を有し
分析対象の元素を含まない保持材２０により、分析対象
試料の孔１５ｃが面一に充填されるので、分析面２５ａ
全体が均一にスパッタされ、かつ、保持材の露出面２０
ａがスパッタされても分析対象試料１５の分析に影響が
ない。したがって、分析対象試料１５の正確な分析がで
きる。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
有孔板である分析対象試料について、それを保持して正
確な分析を行うことができる。
有孔板である分析対象試料について、それを保持して正
確な分析を行うことができる。
【図１】本発明の一実施形態のグロー放電発光分光分析
装置に適用される分析用試料を示す断面図である。
装置に適用される分析用試料を示す断面図である。
【図２】同上の分析用試料を示す斜視図である。
【図３】同上の分析用試料の作製中の状態を示す断面図
である。
である。
【図４】本発明の一実施形態のグロー放電発光分光分析
装置におけるグリムグロー放電管を示す断面図である。
装置におけるグリムグロー放電管を示す断面図である。
【図５】同装置の概略構成図である。
【図６】従来の分析装置におけるグリムグロー放電管を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図７】同上の放電管に、有孔板である分析対象試料を
そのまま適用しようとした状態を示す断面図である。
そのまま適用しようとした状態を示す断面図である。
【図８】同上の分析対象試料の背面から補強用金属を接
着した従来の分析用試料を示す断面図である。
着した従来の分析用試料を示す断面図である。
２…支持ブロック、３…陽極ブロック、３ｄ…陽極管、
６…シール部材、９…電源部（給電手段）、１１…平滑
な台、１５…有孔板である分析対象試料、１５ａ…分析
対象試料の一方の主面、１５ｃ…分析対象試料の孔、２
０…保持材、２０ａ…保持材の露出面、２５…グロー放
電発光分光分析用試料、２５ａ…分析用試料の分析面、
Ｖ…内方空間。
６…シール部材、９…電源部（給電手段）、１１…平滑
な台、１５…有孔板である分析対象試料、１５ａ…分析
対象試料の一方の主面、１５ｃ…分析対象試料の孔、２
０…保持材、２０ａ…保持材の露出面、２５…グロー放
電発光分光分析用試料、２５ａ…分析用試料の分析面、
Ｖ…内方空間。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 21/62 - 21/74 G01N 1/28 ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)
Claims (3)
- 【請求項１】 有孔板である分析対象試料と、 導電性を有し、分析対象の元素を含まず、一部が前記分
析対象試料の孔に充填されることにより、分析対象試料
を保持する保持材とからなるグロー放電発光分光分析用
試料であって、 前記分析対象試料の一方の主面と、前記分析対象試料の
孔から露出した保持材の露出面とが面一に設定され、 その面一な面を分析面とするグロー放電発光分光分析用
試料。 - 【請求項２】 有孔板である分析対象試料の一方の主面
を下にして、平滑な台に載置し、 その上から、導電性を有し分析対象の元素を含まない保
持材の一部を、前記分析対象試料の孔に充填し、 前記分析対象試料の一方の主面と、前記分析対象試料の
孔から露出した保持材の露出面とを面一に設定して、そ
の面一な面を分析面とするグロー放電発光分光分析用試
料を作製する方法。 - 【請求項３】 陽極管を有する陽極ブロックと、 前記陽極管を収納する内方空間を有する支持ブロック
と、 前記支持ブロックの内方空間を真空引きする減圧手段
と、 前記陽極ブロックと有孔板である分析対象試料との間に
電圧を印加してグロー放電を発生させる給電手段と、 導電性を有し、分析対象の元素を含まず、一部が前記分
析対象試料の孔に侵入して分析対象試料を保持する保持
材とを備え、 前記分析対象試料の孔から露出した保持材の露出面が、
前記分析対象試料の一方の主面と面一に設定され、 その面一な面が分析面とされ、シール部材を介して前記
支持ブロックに押し付けられるグロー放電発光分光分析
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27156397A JP3284186B2 (ja) | 1997-10-03 | 1997-10-03 | グロー放電発光分光分析用試料およびその作製方法ならびにグロー放電発光分光分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27156397A JP3284186B2 (ja) | 1997-10-03 | 1997-10-03 | グロー放電発光分光分析用試料およびその作製方法ならびにグロー放電発光分光分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11108842A JPH11108842A (ja) | 1999-04-23 |
| JP3284186B2 true JP3284186B2 (ja) | 2002-05-20 |
Family
ID=17501833
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27156397A Expired - Fee Related JP3284186B2 (ja) | 1997-10-03 | 1997-10-03 | グロー放電発光分光分析用試料およびその作製方法ならびにグロー放電発光分光分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3284186B2 (ja) |
-
1997
- 1997-10-03 JP JP27156397A patent/JP3284186B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11108842A (ja) | 1999-04-23 |
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