JP2001004548A - グロー放電分析装置 - Google Patents
グロー放電分析装置Info
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- JP2001004548A JP2001004548A JP11174626A JP17462699A JP2001004548A JP 2001004548 A JP2001004548 A JP 2001004548A JP 11174626 A JP11174626 A JP 11174626A JP 17462699 A JP17462699 A JP 17462699A JP 2001004548 A JP2001004548 A JP 2001004548A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 大気中のＣＯ2 やＨＣなどが付着し難い材料
の陽極を用いて、鉄鋼など試料中に含まれるＣの分析を
極めて短い時間で測定することができるグロー放電分析
装置を提供すること。 【解決手段】 グロー放電管１の陽極６の筒部１５と対
向して試料２９を配置し、低圧下において前記試料２９
表面に不活性ガスＩＧを供給し、試料２９と前記陽極６
との間に高周波電圧または直流電圧を印加してグロー放
電を発光させ、放電発光を分析するグロー放電分析装置
において、前記陽極６をタングステン製にしている。
の陽極を用いて、鉄鋼など試料中に含まれるＣの分析を
極めて短い時間で測定することができるグロー放電分析
装置を提供すること。 【解決手段】 グロー放電管１の陽極６の筒部１５と対
向して試料２９を配置し、低圧下において前記試料２９
表面に不活性ガスＩＧを供給し、試料２９と前記陽極６
との間に高周波電圧または直流電圧を印加してグロー放
電を発光させ、放電発光を分析するグロー放電分析装置
において、前記陽極６をタングステン製にしている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、グロー放電分析
装置に関し、特に、グロー放電管の陽極の中空筒状先端
部と対向して試料を配置し、低圧下において前記試料表
面に不活性ガスを供給し、試料と陽極との間に高周波電
圧または直流電圧を印加してグロー放電を発光させ、放
電発光を分析するグロー放電分析装置に関する。
装置に関し、特に、グロー放電管の陽極の中空筒状先端
部と対向して試料を配置し、低圧下において前記試料表
面に不活性ガスを供給し、試料と陽極との間に高周波電
圧または直流電圧を印加してグロー放電を発光させ、放
電発光を分析するグロー放電分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、鉄鋼等材料の迅速分析には、
スパーク放電発光分光分析法がよく使われている。しか
し、このスパーク放電発光分光分析法は、自己吸収が激
しく、検量線が曲線となり、スペクトル線が複雑で多
く、焦点距離が１ｍ程度の高分解能の分光器を必要とす
る。
スパーク放電発光分光分析法がよく使われている。しか
し、このスパーク放電発光分光分析法は、自己吸収が激
しく、検量線が曲線となり、スペクトル線が複雑で多
く、焦点距離が１ｍ程度の高分解能の分光器を必要とす
る。
【０００３】そこで、自己吸収がなく、検量線が直線で
あり、スペクトル線も単純で分解能もそれほど高くする
必要がないところから焦点距離も０．５ｍ程度の分解能
で済むグロー放電発光分光分析法が鉄鋼等の材料の迅速
分析に適用されることが望まれている。
あり、スペクトル線も単純で分解能もそれほど高くする
必要がないところから焦点距離も０．５ｍ程度の分解能
で済むグロー放電発光分光分析法が鉄鋼等の材料の迅速
分析に適用されることが望まれている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記グロー
放電発光分光分析法に則って動作するグロー放電発光分
光分析装置（ＧＤＳ）では、グロー放電管の陽極の円筒
部と対向して試料を配置し、低圧下において試料表面に
不活性ガスを供給し、試料と陽極との間に１３ＭＨｚ程
度の高周波電圧または４００〜１２００Ｖの直流電圧を
印加してグロー放電で発光させ、発光スペクトルで分析
するが、このグロー発光では、例えば鉄鋼試料に含まれ
る重要成分であるＣ（炭素）を分析する場合、Ｃの発光
が強く現れる。
放電発光分光分析法に則って動作するグロー放電発光分
光分析装置（ＧＤＳ）では、グロー放電管の陽極の円筒
部と対向して試料を配置し、低圧下において試料表面に
不活性ガスを供給し、試料と陽極との間に１３ＭＨｚ程
度の高周波電圧または４００〜１２００Ｖの直流電圧を
印加してグロー放電で発光させ、発光スペクトルで分析
するが、このグロー発光では、例えば鉄鋼試料に含まれ
る重要成分であるＣ（炭素）を分析する場合、Ｃの発光
が強く現れる。
【０００５】すなわち、Ｃのスペクトル強度は、図３に
おいて実線Ａで示すように、時間の進行とともに減衰す
るが、鉄鋼試料中のＣに相当する発光強度に到達するの
に、２０分以上６０分も要し、迅速な分析は行えない。
なお、図３において、仮想線ＢはＮ（窒素）の発光強度
の時間的変化を示しており、Ｃの発光強度に比べてきわ
めて短時間で収束する。
おいて実線Ａで示すように、時間の進行とともに減衰す
るが、鉄鋼試料中のＣに相当する発光強度に到達するの
に、２０分以上６０分も要し、迅速な分析は行えない。
なお、図３において、仮想線ＢはＮ（窒素）の発光強度
の時間的変化を示しており、Ｃの発光強度に比べてきわ
めて短時間で収束する。
【０００６】上述のように、Ｎに比べてＣのスペクトル
強度が長い時間を要して減衰していく現象は、鉄鋼試料
をセットするまでの間はグロー放電管が大気に曝される
ことにより陽極、特に陽極円筒部の内面に大気中のＣＯ
2 （炭酸ガス）やＨＣ（炭化水素）などが付着し、この
付着炭素がアルゴンガス流の減圧の下で徐々に脱離して
グロー放電中に入り発光するためであると考えられる。
そして、大気中のＣＯ 2 やＨＣなどが陽極に付着するの
は、これらを吸収し易い銅あるいは黄銅を陽極として用
いていたからである。
強度が長い時間を要して減衰していく現象は、鉄鋼試料
をセットするまでの間はグロー放電管が大気に曝される
ことにより陽極、特に陽極円筒部の内面に大気中のＣＯ
2 （炭酸ガス）やＨＣ（炭化水素）などが付着し、この
付着炭素がアルゴンガス流の減圧の下で徐々に脱離して
グロー放電中に入り発光するためであると考えられる。
そして、大気中のＣＯ 2 やＨＣなどが陽極に付着するの
は、これらを吸収し易い銅あるいは黄銅を陽極として用
いていたからである。
【０００７】上述の現象は、グロー放電発光分析装置
（ＧＤＳ）のみならず、この装置と同様にグロー放電を
用いるグロー放電質量分析装置（ＧＤＭＳ）においても
生じているところである。
（ＧＤＳ）のみならず、この装置と同様にグロー放電を
用いるグロー放電質量分析装置（ＧＤＭＳ）においても
生じているところである。
【０００８】この発明は、上述の事柄に留意してなされ
たもので、その目的は、大気中のＣＯ2 やＨＣなどが付
着し難い材料の陽極を用いて、鉄鋼など試料中に含まれ
るＣの分析を極めて短い時間で測定することができるグ
ロー放電分析装置を提供することである。
たもので、その目的は、大気中のＣＯ2 やＨＣなどが付
着し難い材料の陽極を用いて、鉄鋼など試料中に含まれ
るＣの分析を極めて短い時間で測定することができるグ
ロー放電分析装置を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】多くの経験から銅（Ｃ
ｕ）は特に大気中のＣＯ2 やＨＣを吸収し易いことが分
かっている。すなわち、本発明者は、グロー放電発光分
光分析法以外の元素分析法の一つとして、試料中の元素
を燃焼して抽出する燃焼−赤外線吸収法においては、例
えば高周波誘導加熱方式を用いて行う場合にるつぼ内に
試料とともに収容される助燃剤として、通常、銅（Ｃ
ｕ）、タングステン（Ｗ）等が採用されていることに注
目した。そして、この高周波誘導加熱方式で鉄鋼試料中
の極微量炭素を分析するにあたり、助燃剤としてＣｕを
使う時は、事前に表面に付着したＣＯ 2 やＨＣを酸素中
で加熱除去する必要がある。一方、助燃剤としてＷを使
う時は、Ｃｕを用いた場合のような付着ＣＯ2 やＨＣの
除去処理は不要であることに着目した。
ｕ）は特に大気中のＣＯ2 やＨＣを吸収し易いことが分
かっている。すなわち、本発明者は、グロー放電発光分
光分析法以外の元素分析法の一つとして、試料中の元素
を燃焼して抽出する燃焼−赤外線吸収法においては、例
えば高周波誘導加熱方式を用いて行う場合にるつぼ内に
試料とともに収容される助燃剤として、通常、銅（Ｃ
ｕ）、タングステン（Ｗ）等が採用されていることに注
目した。そして、この高周波誘導加熱方式で鉄鋼試料中
の極微量炭素を分析するにあたり、助燃剤としてＣｕを
使う時は、事前に表面に付着したＣＯ 2 やＨＣを酸素中
で加熱除去する必要がある。一方、助燃剤としてＷを使
う時は、Ｃｕを用いた場合のような付着ＣＯ2 やＨＣの
除去処理は不要であることに着目した。
【００１０】而して、この発明は、グロー放電管の陽極
の筒部と対向して試料を配置し、低圧下において前記試
料表面に不活性ガスを供給し、試料と前記陽極との間に
高周波電圧または直流電圧を印加してグロー放電を発光
させ、放電発光を分析するグロー放電分析装置におい
て、前記陽極をタングステン製にしている。
の筒部と対向して試料を配置し、低圧下において前記試
料表面に不活性ガスを供給し、試料と前記陽極との間に
高周波電圧または直流電圧を印加してグロー放電を発光
させ、放電発光を分析するグロー放電分析装置におい
て、前記陽極をタングステン製にしている。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、この発明の好ましい実施例
を、図を参照しながら説明する。
を、図を参照しながら説明する。
【００１２】図１、図２は、この発明の一つの実施形態
を示す。この実施形態におけるグロー放電発光分析装置
（ＧＤＳ）が従来のものと大きく異なる点は、陽極の材
料を、大気中のＣＯ2 やＨＣなどが付着し難いタングス
テン（Ｗ）製とした点である。
を示す。この実施形態におけるグロー放電発光分析装置
（ＧＤＳ）が従来のものと大きく異なる点は、陽極の材
料を、大気中のＣＯ2 やＨＣなどが付着し難いタングス
テン（Ｗ）製とした点である。
【００１３】図１は、グロー放電発光分光分析法に則っ
て動作するグロー放電発光分光分析装置の要部の構成を
示し、図２は、グロー放電管に連接される分光器を示
す。
て動作するグロー放電発光分光分析装置の要部の構成を
示し、図２は、グロー放電管に連接される分光器を示
す。
【００１４】図１、図２において、まず、１はグロー放
電管で、次のように構成されている。すなわち、２は適
宜の金属材料よりなるランプボディで、その内部には、
例えば断面視円形の貫通孔３が形成されている。この貫
通孔３は後述する放電発光部３１と連なるもので、その
一方の開放口は、例えばフッ化マグネシウムなどの光学
レンズを兼ねた窓４によって封止され、前記放電発光部
３１において生ずる光Ｌをグロー放電管１に連接される
分光器３９の方向に導出する。
電管で、次のように構成されている。すなわち、２は適
宜の金属材料よりなるランプボディで、その内部には、
例えば断面視円形の貫通孔３が形成されている。この貫
通孔３は後述する放電発光部３１と連なるもので、その
一方の開放口は、例えばフッ化マグネシウムなどの光学
レンズを兼ねた窓４によって封止され、前記放電発光部
３１において生ずる光Ｌをグロー放電管１に連接される
分光器３９の方向に導出する。
【００１５】すなわち、放電発光部３１において発光し
た光Ｌは、前記光学レンズ４によって入射スリット４１
で焦点を結ぶ。入射スリット４１を通った光は回折格子
４２によって、波長に応じた回折を行い、元素特有のス
ペクトルに分けられたスペクトル光は出射スリット４
３、光電子増倍管（フォトマル）４４を経て電気的に計
測される。
た光Ｌは、前記光学レンズ４によって入射スリット４１
で焦点を結ぶ。入射スリット４１を通った光は回折格子
４２によって、波長に応じた回折を行い、元素特有のス
ペクトルに分けられたスペクトル光は出射スリット４
３、光電子増倍管（フォトマル）４４を経て電気的に計
測される。
【００１６】そして、前記ランプボディ２の窓４を設け
た側とは反対側の端面５には、大気中のＣＯ2 やＨＣな
どを吸収し難いタングステン（Ｗ）製の陽極６と真鍮製
の陰極７とが絶縁体８を介して押圧ブロック９によって
押圧された状態で設けられている。すなわち、前記端面
５には貫通孔３と同心円状にザグリ部１０が形成してあ
る。そして、前記陽極６は、中央に孔１１を有するとと
もにこの孔１１から互いに等距離の位置に形成された孔
１２，１３を備えた円盤部１４と、孔１１と同心円状に
なるように円盤部１４の一方に連接された円筒部１５と
からなり、円盤部１４の一部をザグリ部１０に嵌入し、
かつ、陽極円筒部１５の開放端部１６が陰極７の端面１
７より凹んだ状態で設けられている。なお、陽極６はラ
ンプボディ２を介してアース電位となるよように構成さ
れている。
た側とは反対側の端面５には、大気中のＣＯ2 やＨＣな
どを吸収し難いタングステン（Ｗ）製の陽極６と真鍮製
の陰極７とが絶縁体８を介して押圧ブロック９によって
押圧された状態で設けられている。すなわち、前記端面
５には貫通孔３と同心円状にザグリ部１０が形成してあ
る。そして、前記陽極６は、中央に孔１１を有するとと
もにこの孔１１から互いに等距離の位置に形成された孔
１２，１３を備えた円盤部１４と、孔１１と同心円状に
なるように円盤部１４の一方に連接された円筒部１５と
からなり、円盤部１４の一部をザグリ部１０に嵌入し、
かつ、陽極円筒部１５の開放端部１６が陰極７の端面１
７より凹んだ状態で設けられている。なお、陽極６はラ
ンプボディ２を介してアース電位となるよように構成さ
れている。
【００１７】そして、前記陰極７は、前記陽極円盤部１
４よりやや小径の大径部１９とこれより小径の小径部２
０とからなり、中央に陽極円筒部１５よりやや大径の貫
通孔２１が形成されており、貫通孔２１内に陽極円筒部
１５を同心円状に位置させ、陽極円筒部１５との間にわ
ずかな隙間２２を形成し、陽極６とは電気的に絶縁され
るようにして設けられている。また、前記陽極円盤部１
４と陰極大径部１９との間に介装される絶縁体８は、陽
極円盤部１４と同径であり、その中央に前記貫通孔２１
と同径の孔２３が形成されており、例えば耐熱性のフッ
素樹脂よりなる。
４よりやや小径の大径部１９とこれより小径の小径部２
０とからなり、中央に陽極円筒部１５よりやや大径の貫
通孔２１が形成されており、貫通孔２１内に陽極円筒部
１５を同心円状に位置させ、陽極円筒部１５との間にわ
ずかな隙間２２を形成し、陽極６とは電気的に絶縁され
るようにして設けられている。また、前記陽極円盤部１
４と陰極大径部１９との間に介装される絶縁体８は、陽
極円盤部１４と同径であり、その中央に前記貫通孔２１
と同径の孔２３が形成されており、例えば耐熱性のフッ
素樹脂よりなる。
【００１８】前記押圧ブロック９は、前記陽極円盤部１
４と同径の孔２５と陰極小径部２０よりやや大径の孔２
６とを互いに連通し、同心円状となるように形成してな
るもので、絶縁体８と同様の素材よりなる環状の絶縁体
２７を介して陰極大径部１９をその外方から押圧するよ
うに、ボルト２８によってランプボディ２の端面５に固
定されている。
４と同径の孔２５と陰極小径部２０よりやや大径の孔２
６とを互いに連通し、同心円状となるように形成してな
るもので、絶縁体８と同様の素材よりなる環状の絶縁体
２７を介して陰極大径部１９をその外方から押圧するよ
うに、ボルト２８によってランプボディ２の端面５に固
定されている。
【００１９】上述の説明から理解されるように、陰極７
の貫通孔２１の陽極円筒部１５側が開放されているた
め、グロー放電管１の内部空間は大気開放状態である。
の貫通孔２１の陽極円筒部１５側が開放されているた
め、グロー放電管１の内部空間は大気開放状態である。
【００２０】２９は前記大気開放された陽極円筒部１５
側を封止するように設けられる分析対象の例えば鉄鋼試
料で、電圧印加電極を兼ねた試料押圧部材３０によっ
て、貫通孔２１の開放端を封止するように陰極７に押圧
される。このようにして試料２９がセットされることに
より、陽極円筒部１５と鉄鋼試料２９との間に放電発光
部として隙間３１が形成される。なお、押圧部材３０
は、図示していない高周波電源に接続されている。
側を封止するように設けられる分析対象の例えば鉄鋼試
料で、電圧印加電極を兼ねた試料押圧部材３０によっ
て、貫通孔２１の開放端を封止するように陰極７に押圧
される。このようにして試料２９がセットされることに
より、陽極円筒部１５と鉄鋼試料２９との間に放電発光
部として隙間３１が形成される。なお、押圧部材３０
は、図示していない高周波電源に接続されている。
【００２１】３２はランプボディ２に形成される不活性
ガスＩＧの導入路で、貫通孔３と連通している。不活性
ガスＩＧとしては例えばアルゴンガスやネオンガスが用
いられ、貫通孔３，１１および陽極円筒部１５内を介し
て前記放電発光部３１を満たすように構成されている。
ガスＩＧの導入路で、貫通孔３と連通している。不活性
ガスＩＧとしては例えばアルゴンガスやネオンガスが用
いられ、貫通孔３，１１および陽極円筒部１５内を介し
て前記放電発光部３１を満たすように構成されている。
【００２２】３３，３４はランプボディ２に形成される
真空排気流路で、一つの真空排気流路３３は、貫通孔３
に連なり、他の真空排気流路３４は、環状の流路３５、
陽極円盤部１４に形成された孔１２，１３、隙間２４、
２２を介して放電発光部３１と連なっている。これらの
真空排気流路３４，３３は、図示していない排気系統に
接続され、放電発光部３１およびこれに連なる陽極円筒
部１５内部、貫通孔３などランプボディ２内の空間を所
望の真空状態にするように構成されている。
真空排気流路で、一つの真空排気流路３３は、貫通孔３
に連なり、他の真空排気流路３４は、環状の流路３５、
陽極円盤部１４に形成された孔１２，１３、隙間２４、
２２を介して放電発光部３１と連なっている。これらの
真空排気流路３４，３３は、図示していない排気系統に
接続され、放電発光部３１およびこれに連なる陽極円筒
部１５内部、貫通孔３などランプボディ２内の空間を所
望の真空状態にするように構成されている。
【００２３】なお、３６〜３８は例えばＯリングなどの
シール部材である。
シール部材である。
【００２４】上記構成のグロー放電管１を用いて例えば
鉄鋼中に含まれる元素（例えば炭素など）を分析するに
は、大気開放された陽極円筒部１５側を封止するよう
に、試料として鉄鋼試料２９をセットする。そして、排
気系統を動作させてランプボディ２内の空間を真空引き
する。その後、不活性ガス導入路３２からアルゴンガス
をランプボディ２内の空間に満たし、アルゴンガス流の
減圧下で高周波電源からの１３ＭＨｚ程度の高周波電圧
を押圧部材３０を介して鉄鋼試料２９に印加する。これ
により、陽極６と鉄鋼試料２９との間に予備放電が生
じ、これに基づいてアルゴンイオンが生成し、このアル
ゴンイオンが高電界で加速され、鉄鋼試料２９の表面に
衝突して、所定のスパッタリングが行われ、スパッタさ
れた粒子（原子、分子、イオン）はプラズマ中で励起さ
れ、基底状態に戻る際に元素固有の発光が行われ、この
発光は図５において符号Ｌで示す光として、グロー放電
管１に連接された分光器３９方向に導出され、所望の分
析が行われる。
鉄鋼中に含まれる元素（例えば炭素など）を分析するに
は、大気開放された陽極円筒部１５側を封止するよう
に、試料として鉄鋼試料２９をセットする。そして、排
気系統を動作させてランプボディ２内の空間を真空引き
する。その後、不活性ガス導入路３２からアルゴンガス
をランプボディ２内の空間に満たし、アルゴンガス流の
減圧下で高周波電源からの１３ＭＨｚ程度の高周波電圧
を押圧部材３０を介して鉄鋼試料２９に印加する。これ
により、陽極６と鉄鋼試料２９との間に予備放電が生
じ、これに基づいてアルゴンイオンが生成し、このアル
ゴンイオンが高電界で加速され、鉄鋼試料２９の表面に
衝突して、所定のスパッタリングが行われ、スパッタさ
れた粒子（原子、分子、イオン）はプラズマ中で励起さ
れ、基底状態に戻る際に元素固有の発光が行われ、この
発光は図５において符号Ｌで示す光として、グロー放電
管１に連接された分光器３９方向に導出され、所望の分
析が行われる。
【００２５】而して、このようなグロー放電発光分光分
析法では、鉄鋼試料２９を交換する毎に、グロー放電管
１が大気に曝されることになるが、この発明では、陽極
６をタングステン製にしたので、陽極６、特に陽極円筒
部１５の内面にも大気中のＣＯ2 やＨＣなどが付着する
ことはない。
析法では、鉄鋼試料２９を交換する毎に、グロー放電管
１が大気に曝されることになるが、この発明では、陽極
６をタングステン製にしたので、陽極６、特に陽極円筒
部１５の内面にも大気中のＣＯ2 やＨＣなどが付着する
ことはない。
【００２６】このように、大気中のＣＯ2 やＨＣなどの
陽極６への吸着がなくなったことにより、グロー放電開
始後、直ぐに分析のための測定（測光）に入ることがで
き、全所要時間が例えば６０秒以内という迅速分析が可
能になった。
陽極６への吸着がなくなったことにより、グロー放電開
始後、直ぐに分析のための測定（測光）に入ることがで
き、全所要時間が例えば６０秒以内という迅速分析が可
能になった。
【００２７】上述の実施の形態は、グロー放電発光分析
装置であったが、この発明は、このグロー放電発光分析
装置と同様にグロー放電を用いるグロー放電質量分析装
置に適用してもよいことはいうまでもない。また、試料
２９と陽極６との間に例えば４００〜１２００Ｖの直流
電圧を印加するようにしてもよい。
装置であったが、この発明は、このグロー放電発光分析
装置と同様にグロー放電を用いるグロー放電質量分析装
置に適用してもよいことはいうまでもない。また、試料
２９と陽極６との間に例えば４００〜１２００Ｖの直流
電圧を印加するようにしてもよい。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように、この発明のグロー
放電分析装置では、陽極をタングステン製にしたので、
陽極に吸着されるＣＯ2 やＨＣなどの量を少なくでき、
鉄鋼など試料中に含まれるＣの分析も極めて短い時間で
測定することができる。そのため、この発明のグロー放
電分析装置をＣを含めた迅速分析装置として使用できる
利点がある。
放電分析装置では、陽極をタングステン製にしたので、
陽極に吸着されるＣＯ2 やＨＣなどの量を少なくでき、
鉄鋼など試料中に含まれるＣの分析も極めて短い時間で
測定することができる。そのため、この発明のグロー放
電分析装置をＣを含めた迅速分析装置として使用できる
利点がある。
【図１】この発明の一つの実施の形態を示す構成説明図
である。
である。
【図２】同じく上記実施形態を示す構成説明図である。
【図３】従来技術の欠点を説明する図である。
１…グロー放電管、６…タングステン製陽極、１５…陽
極円筒部、２９…鉄鋼試料、ＩＧ…不活性ガス。
極円筒部、２９…鉄鋼試料、ＩＧ…不活性ガス。
Claims (1)
- 【請求項１】 グロー放電管の陽極の筒部と対向して試
料を配置し、低圧下において前記試料表面に不活性ガス
を供給し、試料と前記陽極との間に高周波電圧または直
流電圧を印加してグロー放電を発光させ、放電発光を分
析するグロー放電分析装置において、前記陽極をタング
ステン製にしたことを特徴とするグロー放電分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11174626A JP2001004548A (ja) | 1999-06-21 | 1999-06-21 | グロー放電分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11174626A JP2001004548A (ja) | 1999-06-21 | 1999-06-21 | グロー放電分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001004548A true JP2001004548A (ja) | 2001-01-12 |
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ID=15981892
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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| Country | Link |
|---|---|
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1715504A2 (en) * | 2005-04-19 | 2006-10-25 | Horiba, Ltd. | Glow discharge drilling apparatus and glow discharge drilling method |
| US7242471B2 (en) | 2004-09-13 | 2007-07-10 | Horiba, Ltd. | Glow discharge optical emission spectrometer and glow discharge optical emission spectrometry |
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-
1999
- 1999-06-21 JP JP11174626A patent/JP2001004548A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7242471B2 (en) | 2004-09-13 | 2007-07-10 | Horiba, Ltd. | Glow discharge optical emission spectrometer and glow discharge optical emission spectrometry |
| EP1715504A2 (en) * | 2005-04-19 | 2006-10-25 | Horiba, Ltd. | Glow discharge drilling apparatus and glow discharge drilling method |
| EP1715504A3 (en) * | 2005-04-19 | 2011-05-04 | Horiba, Ltd. | Glow discharge drilling apparatus and glow discharge drilling method |
| JP2009111173A (ja) * | 2007-10-30 | 2009-05-21 | Horiba Ltd | 分光分析装置 |
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