JPH027344A - グロー放電質量分析装置 - Google Patents
グロー放電質量分析装置Info
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- JPH027344A JPH027344A JP63157457A JP15745788A JPH027344A JP H027344 A JPH027344 A JP H027344A JP 63157457 A JP63157457 A JP 63157457A JP 15745788 A JP15745788 A JP 15745788A JP H027344 A JPH027344 A JP H027344A
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- volatilized
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Links
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Landscapes
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
本発明は金属等の試料の組成を分析するグロー放電質量
分析装置に関する。
分析装置に関する。
仲）従来の技術
グロー放電による試料分析は発光分光分析において一般
に用いられてお！１１．これは陽極に対して負の電圧を
供給した試料の表面から揮散した物質からの発光を分析
するものである。すなわち、放電ガスとしてアルゴン（
Ａｔ） を用いると、これがまずイオン化され、生じた
Ａｒイオンによシ試料表面がヌバツタされて試料物質が
揮散し、励起されて発光するから、この光を分光測定す
ることによって試料の定性・定量分析が可能となる。
に用いられてお！１１．これは陽極に対して負の電圧を
供給した試料の表面から揮散した物質からの発光を分析
するものである。すなわち、放電ガスとしてアルゴン（
Ａｔ） を用いると、これがまずイオン化され、生じた
Ａｒイオンによシ試料表面がヌバツタされて試料物質が
揮散し、励起されて発光するから、この光を分光測定す
ることによって試料の定性・定量分析が可能となる。
グロー放電質量分析装置は上述のような揮散した試料物
質を質量分析装置へ導くことＫより、より高精度の分析
を可能にしようとするものである。
質を質量分析装置へ導くことＫより、より高精度の分析
を可能にしようとするものである。
（ハ）解決しようとする課題
グロー放ｗＬ領域内でスパッタリングにより揮散した試
料物質は励起されているもののイオン化に至っていない
中性原子が大部分であって、このまま質量分析装置に導
入すると感度不足のため所要の分析精度が得られないと
いう問題がある。
料物質は励起されているもののイオン化に至っていない
中性原子が大部分であって、このまま質量分析装置に導
入すると感度不足のため所要の分析精度が得られないと
いう問題がある。
に）課題を解決するための手段
本発明においてはグロー放電とレーザー励起を組み合わ
せることによって上記問題を解決する。
せることによって上記問題を解決する。
すなわち、グロー放電によって揮散した試料物質にレー
ザー光を照射することによって試料物質？さらに励起す
る。
ザー光を照射することによって試料物質？さらに励起す
る。
（ホ）作用
レーザー光の照射にょシ試料物質のイオン化が促進され
、質量分析装置にはいるイオン量が増加することによっ
て感度が向上する。
、質量分析装置にはいるイオン量が増加することによっ
て感度が向上する。
（へ）実施例
第１図は本発明の一実施例を示す構成図である。
本図において１は分析対象となる金属試料、２は陽疹、
３は陰極、４は絶に物でできた試料保持体。
３は陰極、４は絶に物でできた試料保持体。
５は同じく絶縁物でできた壁、６はアへ′ゴン等の放電
ガスを供給する供給管、７は真空ポンプへ連がる排気管
、８はレーザー光の通過窓（凸レンズ）。
ガスを供給する供給管、７は真空ポンプへ連がる排気管
、８はレーザー光の通過窓（凸レンズ）。
９はレーザー光源、１０はスキマー、１１はイオンの発
散を防止する静電レンズ系、１２は四重極ロッド。
散を防止する静電レンズ系、１２は四重極ロッド。
１３＃′ｉ検出器（Ｗ子増倍管）、１４はイオンコンバ
ータ、１５は信号増幅器、１６はデータ処理部、１７，
１８゜１９は排気管である。レーザー光源はガスレーザ
ーである。
ータ、１５は信号増幅器、１６はデータ処理部、１７，
１８゜１９は排気管である。レーザー光源はガスレーザ
ーである。
試料１には陽極２に対して負の電圧が供給されておシ、
グロー放電領域２１内に試料保持体４？ｒ介して気密に
挿入されている。放電ガス（Ａｆ）は供給管６から放電
領域２１に導入され、排気管７から真空ポンプへ排気さ
れておシ、グロー放電領域２１は数’Ｊ’ｏｒｒ Ｋ保
持している。グロー放電によって生じたＡｒイオンは試
料１０表面をスパッタし、試料を揮散してガス化するが
、この揮散物質はごく一部分がイオン化されているもの
の大部分は中性原子であり、レーザー光源９からのｒ＠
起光線によってイオン化されろ。このようＫして生じた
試料イオンは一部分は試料１０表面に向かって試料１を
再びスパッタするが、他の一部は陰極３の方に向かって
加速され、陰極３の中央付近に設けたイオン出射口加か
ら四重版ロッド１２（質量分析計）へ向かう、レーザー
光源９からの光はグロー放電室の壁５の一部に設けた凸
レンズ（通過窓８）を通って試料１の表面近傍に収束し
ている。
グロー放電領域２１内に試料保持体４？ｒ介して気密に
挿入されている。放電ガス（Ａｆ）は供給管６から放電
領域２１に導入され、排気管７から真空ポンプへ排気さ
れておシ、グロー放電領域２１は数’Ｊ’ｏｒｒ Ｋ保
持している。グロー放電によって生じたＡｒイオンは試
料１０表面をスパッタし、試料を揮散してガス化するが
、この揮散物質はごく一部分がイオン化されているもの
の大部分は中性原子であり、レーザー光源９からのｒ＠
起光線によってイオン化されろ。このようＫして生じた
試料イオンは一部分は試料１０表面に向かって試料１を
再びスパッタするが、他の一部は陰極３の方に向かって
加速され、陰極３の中央付近に設けたイオン出射口加か
ら四重版ロッド１２（質量分析計）へ向かう、レーザー
光源９からの光はグロー放電室の壁５の一部に設けた凸
レンズ（通過窓８）を通って試料１の表面近傍に収束し
ている。
イオン呂射口艶から出たイオンはスキマー１０の中心穴
を通ってレンズ系】１で細いビームに収束し。
を通ってレンズ系】１で細いビームに収束し。
四重極ロッド１２によって質量うｆ別される。陰極３と
スキマー１０の間隙及び静ＫＬ／ンズ系１１．質量分析
装ｒＲ（四重匣ロッド１２と検出器１３等で構成される
）は各々排気管１７．１８．１９から真空ポンプへ排気
されておシ、これらの排気は差動排気系を構成していて
、レンズ系１１の付近は１０−” ’ｆｏＨ程度、質量
分析装置内は１０−’程度に保持されている。
スキマー１０の間隙及び静ＫＬ／ンズ系１１．質量分析
装ｒＲ（四重匣ロッド１２と検出器１３等で構成される
）は各々排気管１７．１８．１９から真空ポンプへ排気
されておシ、これらの排気は差動排気系を構成していて
、レンズ系１１の付近は１０−” ’ｆｏＨ程度、質量
分析装置内は１０−’程度に保持されている。
イオン化した試料物質は上記差動排気系を介して質量分
析装置へ導びかれ、四重極ロッド１２を通過したイオン
はコンバータ１４で電子に変換されて検出器１３で電気
バ／ｌ／ヌ信号になり、信号増幅器１５によって増幅さ
れた後データ処理部１６に取シ込まれて積算９表示され
る。四重甑ロッド１２にはデータ処理部１６によって制
御された四重ｔｉ＠電界が印加されていて分析対象のイ
オンのみが通過できるように走査される。（検出器１３
．コンバータ１４．レンズ系１１．陰ＦＭ３．陽極２．
試料１等に電圧を供給する電源部は説明を省略した。） （ト）効果 スパッタリングによって固体試料をイオン化し質量分析
装置に導いて試料成分を分析する装置としては他にＳＩ
ＭＳがあるがイオン銃が必要となって装置が大型化し、
またスパッタリングの能率から試料の深さ方向の分析を
しようとすると時間を要する等の問題がある。グロー放
ｗＷ量分析装置はこれに対し簡単で能率のよい分析装置
であるが。
析装置へ導びかれ、四重極ロッド１２を通過したイオン
はコンバータ１４で電子に変換されて検出器１３で電気
バ／ｌ／ヌ信号になり、信号増幅器１５によって増幅さ
れた後データ処理部１６に取シ込まれて積算９表示され
る。四重甑ロッド１２にはデータ処理部１６によって制
御された四重ｔｉ＠電界が印加されていて分析対象のイ
オンのみが通過できるように走査される。（検出器１３
．コンバータ１４．レンズ系１１．陰ＦＭ３．陽極２．
試料１等に電圧を供給する電源部は説明を省略した。） （ト）効果 スパッタリングによって固体試料をイオン化し質量分析
装置に導いて試料成分を分析する装置としては他にＳＩ
ＭＳがあるがイオン銃が必要となって装置が大型化し、
またスパッタリングの能率から試料の深さ方向の分析を
しようとすると時間を要する等の問題がある。グロー放
ｗＷ量分析装置はこれに対し簡単で能率のよい分析装置
であるが。
装置構成や感度等の開門で実用されるに至っていなかっ
たが本発明によると従来装置のこのような問題が解決さ
れ、金属中の微量成分の分析等に用いて非常に性能のよ
い分析装置が実現される。
たが本発明によると従来装置のこのような問題が解決さ
れ、金属中の微量成分の分析等に用いて非常に性能のよ
い分析装置が実現される。
なお本突施例では質量分析装置に四重岡質景分析装置を
用いたが、セクタ型の質量分析装置等の利用も可能であ
る。
用いたが、セクタ型の質量分析装置等の利用も可能であ
る。
第１図は本発明のグロー放電質楚分析装置の一火施例を
示す要部構成図である。 １・・・試料 ２−・陽極 ３・・・陰極４・
・・試料保持体 １２・・・四重嘩ロッド２１・
・・グロー放電領域 １１−・静電レンズ系１０−・
スキマー １第一！°Ｉ３″
示す要部構成図である。 １・・・試料 ２−・陽極 ３・・・陰極４・
・・試料保持体 １２・・・四重嘩ロッド２１・
・・グロー放電領域 １１−・静電レンズ系１０−・
スキマー １第一！°Ｉ３″
Claims (1)
- グロー放電領域内に試料を保持する手段と、この試料に
陽極に対して負の電圧を供給する手段と、試料から揮散
した物質にレーザー光を照射して前記物質をイオン化す
る手段と、イオン化した試料物質を質料分析装置へ導び
く手段とを有するグロー放電質量分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63157457A JPH027344A (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 | グロー放電質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63157457A JPH027344A (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 | グロー放電質量分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH027344A true JPH027344A (ja) | 1990-01-11 |
Family
ID=15650080
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63157457A Pending JPH027344A (ja) | 1988-06-24 | 1988-06-24 | グロー放電質量分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH027344A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100356064B1 (ko) * | 1999-12-28 | 2002-10-12 | 학교법인 한마학원 | 원자방출분광계용 고효율의 관통형 속 빈 음극관 글로우방전 셀 |
| KR100437728B1 (ko) * | 2002-01-26 | 2004-06-30 | 에이치아이티 주식회사 | 가스분출 글로우방전을 이용한 시료의 이온화장치를구비하는 질량분석시스템 |
| JP2007309878A (ja) * | 2006-05-22 | 2007-11-29 | Horiba Ltd | 質量分析計 |
| JP2007309879A (ja) * | 2006-05-22 | 2007-11-29 | Horiba Ltd | 質量分析計 |
-
1988
- 1988-06-24 JP JP63157457A patent/JPH027344A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100356064B1 (ko) * | 1999-12-28 | 2002-10-12 | 학교법인 한마학원 | 원자방출분광계용 고효율의 관통형 속 빈 음극관 글로우방전 셀 |
| KR100437728B1 (ko) * | 2002-01-26 | 2004-06-30 | 에이치아이티 주식회사 | 가스분출 글로우방전을 이용한 시료의 이온화장치를구비하는 질량분석시스템 |
| JP2007309878A (ja) * | 2006-05-22 | 2007-11-29 | Horiba Ltd | 質量分析計 |
| JP2007309879A (ja) * | 2006-05-22 | 2007-11-29 | Horiba Ltd | 質量分析計 |
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