JPS60114976U - 光半導体素子検査装置 - Google Patents
光半導体素子検査装置Info
- Publication number
- JPS60114976U JPS60114976U JP315584U JP315584U JPS60114976U JP S60114976 U JPS60114976 U JP S60114976U JP 315584 U JP315584 U JP 315584U JP 315584 U JP315584 U JP 315584U JP S60114976 U JPS60114976 U JP S60114976U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- optical semiconductor
- semiconductor device
- inspection equipment
- device inspection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の検査治具を示す断面図、第２図は本考案
の一実施例を示す検査治具の断面図である。 １・・・・・・受光部、２・・・・・・受光素子、３・
・・・・・ＡＰＤソケット、４・・・・・・遮光スポン
ジ・パツキン、５・・・・・・Ｗ−Ｚ軸微動ステージ、
６・・・・・・遮光円筒部、７・・・・・・固定レバー
、訃・・・・・コイルバネ、９・・・・・・体物レンズ
、１０・・・・・・コリメーターレンズ、１１・・・・
・・レーザ・ダイオード、１２・・・・・・光源部、１
３・・・・・・Ｘ−Ｙ軸微動ステージ、１４，１４’・
・・・・・Ｘ−Ｙ−２軸微動ステージ、１５・・・・・
・レンズ・ホルダ、１６・嬰・・光源部。
の一実施例を示す検査治具の断面図である。 １・・・・・・受光部、２・・・・・・受光素子、３・
・・・・・ＡＰＤソケット、４・・・・・・遮光スポン
ジ・パツキン、５・・・・・・Ｗ−Ｚ軸微動ステージ、
６・・・・・・遮光円筒部、７・・・・・・固定レバー
、訃・・・・・コイルバネ、９・・・・・・体物レンズ
、１０・・・・・・コリメーターレンズ、１１・・・・
・・レーザ・ダイオード、１２・・・・・・光源部、１
３・・・・・・Ｘ−Ｙ軸微動ステージ、１４，１４’・
・・・・・Ｘ−Ｙ−２軸微動ステージ、１５・・・・・
・レンズ・ホルダ、１６・嬰・・光源部。
Claims (1)
- 発光素子からの光を受光素子で受光し、もって該受光素
子の感度を測定する検査装置において、前記発光素子と
レンズ部を一方の支持台に固定し、他方の支持台に受光
素子を固定し、前記一方の支持台と前記他方の支持台と
の間を遮光装置で連結したことを特徴とする光半導体素
子検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP315584U JPS60114976U (ja) | 1984-01-13 | 1984-01-13 | 光半導体素子検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP315584U JPS60114976U (ja) | 1984-01-13 | 1984-01-13 | 光半導体素子検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60114976U true JPS60114976U (ja) | 1985-08-03 |
Family
ID=30477514
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP315584U Pending JPS60114976U (ja) | 1984-01-13 | 1984-01-13 | 光半導体素子検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60114976U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6429780A (en) * | 1987-07-24 | 1989-01-31 | Nec Corp | Optical semiconductor measuring instrument |
| JP2016200498A (ja) * | 2015-04-10 | 2016-12-01 | 株式会社システムロード | 光学特性測定用の遮光装置およびこれを備えた光学特性測定システム |
-
1984
- 1984-01-13 JP JP315584U patent/JPS60114976U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6429780A (en) * | 1987-07-24 | 1989-01-31 | Nec Corp | Optical semiconductor measuring instrument |
| JP2016200498A (ja) * | 2015-04-10 | 2016-12-01 | 株式会社システムロード | 光学特性測定用の遮光装置およびこれを備えた光学特性測定システム |
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