JPS60126968U - 走査電子顕微鏡 - Google Patents

走査電子顕微鏡

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JPS60126968U
JPS60126968U JP1448784U JP1448784U JPS60126968U JP S60126968 U JPS60126968 U JP S60126968U JP 1448784 U JP1448784 U JP 1448784U JP 1448784 U JP1448784 U JP 1448784U JP S60126968 U JPS60126968 U JP S60126968U
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JP
Japan
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ray tube
cathode ray
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JP1448784U
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Inventor
平田　義弘
Original Assignee
日本電子株式会社
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図、第２図、第３図は従来装置を説明するための図
であり、第４図は本考案の一実施例の構成図、第５図、
第６図、及び第７図は本考案を説明するための図である
。 １：電子銃、２：電子線、３：試料、４：偏向コイル、
５：走査電源、６：増幅器、７：観察用陰極線管、８：
偏向コイル、９：増幅器、１ｏ：撮影用陰極線管、１１
：偏向コイル、１２：二次電子、１３：検出器、１４：
映像増幅器、１５：加算回路、１６：フィルムサイズ選
択回路、１７：比較回路、１８：走査速度可変回路、１
９：光学レンズ系、２０：フィルム。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 試料上を電子線等により二次的に走査し、該試料より情
    報信号を検出して観察用陰極線管及び撮影用陰極線管の
    輝度変調信号として入力して試料像を表示すると共に、
    該撮影用陰極線管に表示された試料像をフィルム上に投
    影して露光する様構成され、特に撮影用陰極線管に表示
    される視野範囲をフィルムサイズに関係して可変できる
    装置において、前記観察用陰極線管に表示される試料像
    の内、前記撮影用陰極線管に表示される試料像の視野を
    区別して表示すると共に、該観察用陰極線管に表示され
    る前記撮影用陰極線管に表示される視野以外の部分の走
    査速度を可変するよう様構成したことを特徴とする走査
    電子顕微鏡。
JP1448784U 1984-02-03 1984-02-03 走査電子顕微鏡 Granted JPS60126968U (ja)

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JP1448784U JPS60126968U (ja) 1984-02-03 1984-02-03 走査電子顕微鏡

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JPS60126968U true JPS60126968U (ja) 1985-08-26
JPH0139394Y2 JPH0139394Y2 (ja) 1989-11-27

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