JPH0139394Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、試料像を表示する観察用陰極線管及
び撮影用陰極線管を有する走査電子顕微鏡の改良
に関する。

観察用陰極線管及び撮影用陰極線管を有する走
査電子顕微鏡において、試料像をフイルム上に露
光する場合は、撮影用陰極線管に表示される試料
像をフイルム上に投影して露光する方法が採られ
ている。

この様な装置において、第１図に示すように撮
影用陰極線管に表示された試料像の視野Ａは、試
料像と同じ大きさのフイルムサイズＦが使用され
る場合は撮影用陰極線管に表示された試料像の視
野Ａと同じ大きさ、所謂直接倍率で投影されて露
光され、又、観察用陰極線管にも同じ視野Ａが表
示される構成となつているため問題はない。とこ
ろが、第２図に示すようにフイルムサイズＦが小
さくなつた場合には、撮影用陰極線管に表示され
た試料像の視野Ａの全視野が撮影可能なような光
学レンズ系Ｌを使用して、フイルム上に視野Ａが
投影されるようにしているためフイルム上での倍
率は実際にはＦ／Ａだけ縮小されている。そのた
め、試料像の像質をチエツクするような場合は、
縮小倍率では細部を確認できない等の不都合が生
じるため直接倍率が必要となる。このような理由
から従来装置においては、第３図に示すように、
フイルムサイズＦが撮影用陰極線管に表示される
試料像の視野Ａより小さい場合には、撮影用陰極
線管の電子ビームの走査幅を大きくし、表示され
る視野ＡをＡ／Ｆの倍率で大きくして視野Ａのフ
イルムサイズＦに対応した視野ａを撮影用陰極線
管に表示してフイルム上に投影するため、結果的
には試料像の視野ａが直接倍率で露光される様に
している。

しかし乍ら、この様に構成された従来装置にお
いては、観察用陰極線管に表示される視野Ａと撮
影用陰極線管に表示されている視野ａは異なつて
おり、観察用陰極線管に表示されている視野Ａの
どの範囲が撮影用陰極線管に表示された視野ａか
確認できず、像観察の操作がしにくい欠点があつ
た。

本考案は以上の点に鑑みなされたもので、観察
用陰極線管に表示された像の内、撮影用陰極線管
に表示されている視野を区別して表示すると共
に、視野外は走査速度を可変するとを目的とし、
その構成は試料上を電子線等により二次元的に走
査し、該試料よりの情報信号を検出して観察用陰
極線管及び撮影用陰極線管の輝度変調信号として
入力して試料像を表示すると共に、該撮影用陰極
線管に表示された試料像をフイルム上に投影して
露光する様構成され、特に撮影用陰極線管に表示
される視野範囲をフイルムサイズに関係して可変
できる装置において、前記観察用陰極線管に表示
される試料像の内、前記撮影用陰極線管に表示さ
れる試料像の視野を区別して表示すると共に、該
観察用陰極線管に表示される前記撮影用陰極線管
に表示される視野以外の部分の走査速度を可変す
るよう様構成したことを特徴としている。

以下本考案の実施例を図面に基づき詳述する。

第４図は本考案の一実施例の構成図である。図
において、１は電子銃であり、該電子銃１よりの
電子線２は本図では図示しない電子レンズ系によ
り細く集束されて試料３に照射される。４は電子
線２を偏向するための偏向コイルであり、該偏向
コイル４には走査電源５より鋸歯状の走査信号が
供給される。この走査電源５よりの走査信号は電
流増幅器６を介して観察用陰極線管７の偏向コイ
ル８と増幅器９を介して撮影用陰極線管１０の偏
向コイル１１にも供給されており、該観察用陰極
線管７及び撮影用陰極線管１０は電子線２と同期
走査される。ところで、電子線２が試料４に照射
されて試料４より放射される例えば二次電子１２
は、検出器１３により検出され増幅器１４により
増幅された後、その一方は加算回路１５を経て観
察用陰極線管７の制御グリツトに輝度変調信号と
して入力され、視野Ａの二次電子像が表示され、
もう一方は、撮影用陰極線管１０の制御グリツト
に同じく輝度変調信号として入力される。１６は
フイルムサイズ選択回路であり、該フイルムサイ
ズ選択回路１０からはフイルムサイズを選択する
ことにより倍率信号Ｘと基準電圧Ｓが同時に出力
される。該フイルムサイズ選択回路１６よりの倍
率信号Ｘは増幅器９に、基準電圧Ｓは比較回路１
７に入力されており、該増幅器９よりの偏向信号
はフイルムサイズ選択回路１６よりの倍率信号Ｘ
によつて電流増幅されて撮影用陰極線管１０の偏
向コイル１１に入力し、撮影用陰極線管の電子ビ
ームの走査幅を大きくする。そのため、撮影用陰
極線管１０に表示される視野ＡをＡ／Ｆの倍率で
大きくし、フイルムサイズＦに対応した視野ａが
第５図で示すように撮影用陰極線管１０に表示さ
れる。又、比較回路１７には走査電源５よりの偏
向信号と、前記フイルムサイズ選択回路１６より
の基準電圧Ｓが入力されており、この基準電圧Ｓ
によつて比較回路１７の比較電圧が設定される。
この比較電圧は、撮影用陰極線管１０の有効視野
範囲Ｃ及びＤに対応するためのものであり、この
信号により比較電圧が出力されていない状態、即
ち撮影用陰極線管１０の有効視野外（有効視野範
囲Ｃ及びＤ以外）の範囲では、加算回路１５によ
つて映像増幅器１４からの輝度変調信号に負の信
号が加算されて、観察用陰極線管７には有効視野
範囲Ｃ及びＤの範囲の輝度よりも、輝度の低い一
定レベルの明るさで第６図の斜線で示す如く表示
されるため、該斜線部分は消像される。又、比較
電圧が出力された状態、即ち撮影用陰極線管１０
の有効視野範囲においては、映像増幅器１４から
の輝度変調信号はそのまま観察用陰極線管７に入
力されるため撮影用陰極線管１０と同じ視野範囲
の像ａが第６図に示す如く表示される。一方、比
較回路１７の比較電圧は走査速度可変回路１８に
も入力されており、該走査速度可変回路１８で
は、比較回路１７よりの信号に基づいて、走査電
源５より増幅器６及び９に供給する走査信号を、
第７図Ａのイ及びハの範囲について、第７図Ｂに
示す走査信号の如く可変（本実施例の場合は速
く）する。そのため、観察用陰極線管７の有効視
野範囲Ｃ及びＤ以外（消像部分）については、走
査速度が速くなり、又、有効視野範囲では第７図
Ｂの口の信号が供給されるため、撮影時の走査速
度で表示される。従つて、観察用陰極線管７に視
野ａのみを表示しても、有効視野外は走査速度が
速いため操作者に不快感を与えない。更に、撮影
用陰極線管１０に表示された視野ａは、光学レン
ズ１９を介してフイルム２０に直接倍率で露光さ
れるため、フイルムによる試料像の像質をチエツ
クする場合も細部まで確認することができる。

以上の様に本考案は、試料像を表示する観察用
陰極線管及び撮影用陰極線管を有する走査電子顕
微鏡において、撮影用陰極線管に表示される視野
を観察用陰極線管の視野内に区別して表示すると
共に該視野外については走査速度を速くすること
により、操作性の向上した走査電子顕微鏡を提供
する。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図、第３図は従来装置を説明する
ための図であり、第４図は本考案の一実施例の構
成図、第５図、第６図、及び第７図は本考案を説
明するための図である。 １……電子銃、２……電子線、３……試料、４
……偏向コイル、５……走査電源、６……増幅
器、７……観察用陰極線管、８……偏向コイル、
９……増幅器、１０……撮影用陰極線管、１１…
…偏向コイル、１２……二次電子、１３……検出
器、１４……映像増幅器、１５……加算回路、１
６……フイルムサイズ選択回路、１７……比較回
路、１８……走査速度可変回路、１９……光学レ
ンズ系、２０……フイルム。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 試料上を電子線等により二次元的に走査し、該
   試料よりの情報信号を検出して観察用陰極線管及
   び撮影用陰極線管の輝度変調信号として入力して
   試料像を表示すると共に、該撮影用陰極線管に表
   示された試料像をフイルム上に投影して露光する
   様構成され、特に撮影用陰極線管に表示される視
   野範囲をフイルムサイズに関係して可変できる装
   置において、前記観察用陰極線管に表示される試
   料像の内、前記撮影用陰極線管に表示される試料
   像の視野を区別して表示すると共に、該観察用陰
   極線管に表示される前記撮影用陰極線管に表示さ
   れる視野以外の部分の走査速度を可変するよう様
   構成したことを特徴とする走査電子顕微鏡。