JPH0613011A - 電子顕微鏡の試料位置制御装置 - Google Patents
電子顕微鏡の試料位置制御装置Info
- Publication number
- JPH0613011A JPH0613011A JP36091591A JP36091591A JPH0613011A JP H0613011 A JPH0613011 A JP H0613011A JP 36091591 A JP36091591 A JP 36091591A JP 36091591 A JP36091591 A JP 36091591A JP H0613011 A JPH0613011 A JP H0613011A
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- JP
- Japan
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- sample
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- electron microscope
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Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は電子顕微鏡の試料に於いて、所望視野
の選択を容易にすることを目的とする。 【構成】電顕の試料ステージは座標の読み取りが可能な
ものとする。観察すべき試料をまず、光学的撮像装置に
よりＴＶ像として取り込み表示する。該表示像の座標
を、試料ステージの座標と対応させることにより、光学
的表示像上の所望の視野を容易に電顕像として観察でき
る。
の選択を容易にすることを目的とする。 【構成】電顕の試料ステージは座標の読み取りが可能な
ものとする。観察すべき試料をまず、光学的撮像装置に
よりＴＶ像として取り込み表示する。該表示像の座標
を、試料ステージの座標と対応させることにより、光学
的表示像上の所望の視野を容易に電顕像として観察でき
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子顕微鏡に於ける視
野探しを容易するための試料位置制御装置に関する。
野探しを容易するための試料位置制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】電子顕微鏡は試料像の高拡大には極めて
適しているが、全体視野を一望に観察するための低拡大
は、不得手である。特に、走査電子顕微鏡では、最低倍
率は２０〜３０ 倍にとられているのが普通である。最
低倍率２０倍とした場合、視野の大きさは一辺がほぼ５
ｍｍの四角である。一方試料ステージに載せる試料は、
次第に大きくなり、径１００〜１５０ｍｍに及ぶことも
珍しくない。従って、所望の視野を探し求めるのに多大
の時間と労力を必要とした。この問題を解決するため
に、たとえば、特開６１−９６６４４に見られるよう
に、電子顕微鏡内部に、低倍率の光学顕微鏡を並設し
て、光顕により大まかな視野選択を行ない、のち電顕で
高拡大にして観察する方法が考えられている。また、実
開昭６１−９３９６７に見られるように、光学的ではな
く、電顕による低倍像を記憶表示して、この表示像上の
座標に試料ステージを移動させて、所望視野の高拡大像
を得ようとする方法などが考えられている。
適しているが、全体視野を一望に観察するための低拡大
は、不得手である。特に、走査電子顕微鏡では、最低倍
率は２０〜３０ 倍にとられているのが普通である。最
低倍率２０倍とした場合、視野の大きさは一辺がほぼ５
ｍｍの四角である。一方試料ステージに載せる試料は、
次第に大きくなり、径１００〜１５０ｍｍに及ぶことも
珍しくない。従って、所望の視野を探し求めるのに多大
の時間と労力を必要とした。この問題を解決するため
に、たとえば、特開６１−９６６４４に見られるよう
に、電子顕微鏡内部に、低倍率の光学顕微鏡を並設し
て、光顕により大まかな視野選択を行ない、のち電顕で
高拡大にして観察する方法が考えられている。また、実
開昭６１−９３９６７に見られるように、光学的ではな
く、電顕による低倍像を記憶表示して、この表示像上の
座標に試料ステージを移動させて、所望視野の高拡大像
を得ようとする方法などが考えられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来例のうち、電
顕内に光学的像のとり込み手段を組み込む 方法は装置
が大きく、かつ複雑となり、特に高真空雰囲気中に装置
を組む技術的困難さを有する。又、電顕の低倍像を記憶
する方法はすでに述べた如く、倍率に限りがあり、大き
な試料の全面を取り込むには技術的困難さがある。ま
た、試料は形状のみならず、色により所望視野を選択す
ることも重要で、この点では単色の像からは、視野選択
の容易さが半減する。本発明は、電顕鏡体に何等手を加
えることなく、外部の光学装置により、試料全面、若し
くは一部の光学像を取り込み、記憶させた像に、電顕の
試料ステージの座標を与えるもので、既成の電顕を使す
るユーザに多大の利便を与えるものである。
顕内に光学的像のとり込み手段を組み込む 方法は装置
が大きく、かつ複雑となり、特に高真空雰囲気中に装置
を組む技術的困難さを有する。又、電顕の低倍像を記憶
する方法はすでに述べた如く、倍率に限りがあり、大き
な試料の全面を取り込むには技術的困難さがある。ま
た、試料は形状のみならず、色により所望視野を選択す
ることも重要で、この点では単色の像からは、視野選択
の容易さが半減する。本発明は、電顕鏡体に何等手を加
えることなく、外部の光学装置により、試料全面、若し
くは一部の光学像を取り込み、記憶させた像に、電顕の
試料ステージの座標を与えるもので、既成の電顕を使す
るユーザに多大の利便を与えるものである。
【０００４】
【問題を解決するための手段】光学像に、電顕の試料ス
テージの座標を対応づけするには、該光学像上に少くも
２点の特異点をきめる。一方電顕の試料ステージは、常
に現位置座標を読み取ることが可能な手段を備え、上記
特異点を電顕像上に求めて、それぞれの座標で読み出す
ことができる。このようにすることにより、上記特異点
間の距離、方位が作図され、光学像の座標と、該試料ス
テージでの対応が完了する。特異点としては任意の２〜
３点を決めればよいが、実用的には、試料ホルダの周辺
部の１点を決めればよい。
テージの座標を対応づけするには、該光学像上に少くも
２点の特異点をきめる。一方電顕の試料ステージは、常
に現位置座標を読み取ることが可能な手段を備え、上記
特異点を電顕像上に求めて、それぞれの座標で読み出す
ことができる。このようにすることにより、上記特異点
間の距離、方位が作図され、光学像の座標と、該試料ス
テージでの対応が完了する。特異点としては任意の２〜
３点を決めればよいが、実用的には、試料ホルダの周辺
部の１点を決めればよい。
【０００５】
【作用】光学像に、電顕の試料ステージでの座標が与え
られたことにより、光学像上の所望の一点を決めれば、
ステージをその所望点に移動させることが出来る。光学
像は全視野を表示することが可能であり、かつ色表示が
なされるので、目視観察により所望点を選択できる利点
を有する。
られたことにより、光学像上の所望の一点を決めれば、
ステージをその所望点に移動させることが出来る。光学
像は全視野を表示することが可能であり、かつ色表示が
なされるので、目視観察により所望点を選択できる利点
を有する。
【０００６】
【実施例】以下図面を参照して、この発明の一実施例に
ついて説明する。図１は、原理的説明図である。すなわ
ち走査電顕鏡筒１の下部に、試料ステージ４がある。こ
のステージではＸ及びＹ方向に移動可能であり、かつ移
動量を読み出すことが出来る。試料ステージ４の上部に
試料３を載せた試料ホルダ２が置かれている。まずステ
ージのＸ軸、及びＹ軸の交点を求める。これが座標の原
点となる。Ｘ軸上の特異点としてＡ及びＢをきめ、その
座標を求める。次に、Ｙ軸上の特異点Ｃをきめ、座標を
求める。この試料を光学的撮像装置５と、像とり込み記
憶部７により記憶された像は表示装置６に表示される。
このとき、表示装置に十字の座標軸をかき、前記の特異
点Ａ、ＢをＸ軸上に、Ｃ点をＹ軸上に載せる。同時に、
Ａ、Ｂ、Ｃの各点の座標を与えれば、画面全体の座標が
決まり、電顕の試料ステージと画面との対応がつく。従
って、像表示装置上の任意点の座標を読み、そこに、試
料ステージ４を移動させることが出来、電顕像として観
察することが出来る。図２は更に具体的な実施例を示
す。電顕の試料室１２内に、試料室外部よりＸ軸モータ
９、Ｙ軸モータ１０、及び１５を中心として回転するＲ
軸モータ１１を介して試料ステージが駆動される。モー
タは、制御用コンピュータ１３から、駆動部１４を介し
て駆動される。この場合、各モータに取付けられたエン
コーダにより、ステージの原点及び移動量等は制御用コ
ンピュータ１３に読み込まれる。原点は回転中心１５に
一致するものとする。試料ホルダには図に示す如くＸ方
向に毛書き線１６が書き込まれている。この毛書き線を
試料ステージにセッ卜するときに、図の矢印Ｘと一致さ
せる。肉眼でのセットが精度的に不充分の場合は毛書き
線を電顕像で確かめ、Ｒ軸モータ１１で像上のＸ軸に一
致させる。試料ホルダ２は光学的撮像装置５に載せて像
を取り込む場合も、図に示すごとく光学軸と、ホルダ２
の中心が一致するようセッ卜され、像は取り込まれ、記
憶され、表示６される。座標の原点Ｏは固定されている
から試料ホルダ２の毛書き線１６を表示装置６のＸ軸に
一致させ、ＯＡの距離を制御用コンピュータ１３に与え
れば、像表示装置６の座標と、試料ステージ４の座標
は、１：１の対応が付けられる。ホルダに長さの目盛を
付したものを用いれば座標の設定は更に容易となる。表
示装置６上の像の所望点をカーソルで指定すれば、該点
の座標が読み取られ、制御用コンピュータによりＸ軸及
びＹ軸モータを駆動させ、所望点の座標にステージを止
めることが出来る。その他の実施例として、撮像装置
に、写真カメラを用い、撮影した陽画をデジタイザによ
りＸ、Ｙの座標を与えるようにしても良い。又、試料ス
テージの移動は必ずしも電動である必要はなく、ステー
ジの移動座標がカーソルとして、表示像６上に刻々表示
されれば手動で動かしても目的を達することが出来る。
ついて説明する。図１は、原理的説明図である。すなわ
ち走査電顕鏡筒１の下部に、試料ステージ４がある。こ
のステージではＸ及びＹ方向に移動可能であり、かつ移
動量を読み出すことが出来る。試料ステージ４の上部に
試料３を載せた試料ホルダ２が置かれている。まずステ
ージのＸ軸、及びＹ軸の交点を求める。これが座標の原
点となる。Ｘ軸上の特異点としてＡ及びＢをきめ、その
座標を求める。次に、Ｙ軸上の特異点Ｃをきめ、座標を
求める。この試料を光学的撮像装置５と、像とり込み記
憶部７により記憶された像は表示装置６に表示される。
このとき、表示装置に十字の座標軸をかき、前記の特異
点Ａ、ＢをＸ軸上に、Ｃ点をＹ軸上に載せる。同時に、
Ａ、Ｂ、Ｃの各点の座標を与えれば、画面全体の座標が
決まり、電顕の試料ステージと画面との対応がつく。従
って、像表示装置上の任意点の座標を読み、そこに、試
料ステージ４を移動させることが出来、電顕像として観
察することが出来る。図２は更に具体的な実施例を示
す。電顕の試料室１２内に、試料室外部よりＸ軸モータ
９、Ｙ軸モータ１０、及び１５を中心として回転するＲ
軸モータ１１を介して試料ステージが駆動される。モー
タは、制御用コンピュータ１３から、駆動部１４を介し
て駆動される。この場合、各モータに取付けられたエン
コーダにより、ステージの原点及び移動量等は制御用コ
ンピュータ１３に読み込まれる。原点は回転中心１５に
一致するものとする。試料ホルダには図に示す如くＸ方
向に毛書き線１６が書き込まれている。この毛書き線を
試料ステージにセッ卜するときに、図の矢印Ｘと一致さ
せる。肉眼でのセットが精度的に不充分の場合は毛書き
線を電顕像で確かめ、Ｒ軸モータ１１で像上のＸ軸に一
致させる。試料ホルダ２は光学的撮像装置５に載せて像
を取り込む場合も、図に示すごとく光学軸と、ホルダ２
の中心が一致するようセッ卜され、像は取り込まれ、記
憶され、表示６される。座標の原点Ｏは固定されている
から試料ホルダ２の毛書き線１６を表示装置６のＸ軸に
一致させ、ＯＡの距離を制御用コンピュータ１３に与え
れば、像表示装置６の座標と、試料ステージ４の座標
は、１：１の対応が付けられる。ホルダに長さの目盛を
付したものを用いれば座標の設定は更に容易となる。表
示装置６上の像の所望点をカーソルで指定すれば、該点
の座標が読み取られ、制御用コンピュータによりＸ軸及
びＹ軸モータを駆動させ、所望点の座標にステージを止
めることが出来る。その他の実施例として、撮像装置
に、写真カメラを用い、撮影した陽画をデジタイザによ
りＸ、Ｙの座標を与えるようにしても良い。又、試料ス
テージの移動は必ずしも電動である必要はなく、ステー
ジの移動座標がカーソルとして、表示像６上に刻々表示
されれば手動で動かしても目的を達することが出来る。
【０００７】
【発明の効果】本発明によれば電顕の利用者が常に、試
料の全体像をつかんで、形状、色彩、場所、等の条件か
ら視野の選択が出来るため、非常に効率的な観察を可能
とするものである。
料の全体像をつかんで、形状、色彩、場所、等の条件か
ら視野の選択が出来るため、非常に効率的な観察を可能
とするものである。
図１は、本発明の原理的説明図であり、図２に、実施の
一例を示す。 符号の説明 １．電子顕微鏡々筒 ２．試料ホルダ ３．試料 ４．試料ステージ ５．光学的撮像装置 ６．像表示装置 ７．像取り込み記憶部 ８．回転台 ９．Ｘ軸モータ １０．Ｙ軸モータ １１．Ｒ軸モータ １２．試料室 １３制御用コン
ピュータ １４．モータ駆動部 １５．回転中心 １６．毛書
き線
一例を示す。 符号の説明 １．電子顕微鏡々筒 ２．試料ホルダ ３．試料 ４．試料ステージ ５．光学的撮像装置 ６．像表示装置 ７．像取り込み記憶部 ８．回転台 ９．Ｘ軸モータ １０．Ｙ軸モータ １１．Ｒ軸モータ １２．試料室 １３制御用コン
ピュータ １４．モータ駆動部 １５．回転中心 １６．毛書
き線
Claims (1)
- 【請求項１】座標位置を読み取る手段を有する試料ステ
ージを備えた電子顕微鏡に於いて、電子顕微鏡とは別に
設けられた光学的像取り込み装置により、該試料の全
部、もしくは一部の像を記憶し、かつ表示し、該表示像
の座標を、前記試料ステージの座標と対応させる手段を
有し、該表示像上の所望点に試料ステージを移動してな
る電子顕微鏡の試料位置制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36091591A JPH0613011A (ja) | 1991-12-12 | 1991-12-12 | 電子顕微鏡の試料位置制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36091591A JPH0613011A (ja) | 1991-12-12 | 1991-12-12 | 電子顕微鏡の試料位置制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0613011A true JPH0613011A (ja) | 1994-01-21 |
Family
ID=18471441
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP36091591A Pending JPH0613011A (ja) | 1991-12-12 | 1991-12-12 | 電子顕微鏡の試料位置制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0613011A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007250220A (ja) * | 2006-03-14 | 2007-09-27 | Hitachi High-Technologies Corp | 試料観察方法，画像処理装置、及び荷電粒子線装置 |
| JP2008146990A (ja) * | 2006-12-08 | 2008-06-26 | Hitachi High-Technologies Corp | 試料固定台、及びそれを備えた荷電粒子線装置、並びに観察／解析対象箇所特定方法 |
| JP2009540511A (ja) * | 2006-06-07 | 2009-11-19 | エフ・イ−・アイ・カンパニー | 電子顕微鏡用ユーザ・インタフェース |
| JP2010198998A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-09 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査型電子顕微鏡 |
| JP2012138219A (ja) * | 2010-12-24 | 2012-07-19 | Topcon Corp | 試料ステージ装置、及び電子線装置 |
| JP2013065511A (ja) * | 2011-09-20 | 2013-04-11 | Hitachi High-Tech Science Corp | 複合荷電粒子ビーム装置 |
| CN105225909A (zh) * | 2015-09-17 | 2016-01-06 | 北京大学 | 一种扫描电镜样品台定位装置及其定位方法 |
| WO2020080508A1 (ja) * | 2018-10-19 | 2020-04-23 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | アライメントシステム及び位置合わせ用シール |
| CN112630242A (zh) * | 2020-12-03 | 2021-04-09 | 成都先进金属材料产业技术研究院有限公司 | 一种扫描电镜样品导航方法 |
-
1991
- 1991-12-12 JP JP36091591A patent/JPH0613011A/ja active Pending
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4734148B2 (ja) * | 2006-03-14 | 2011-07-27 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 試料観察方法，画像処理装置、及び荷電粒子線装置 |
| JP2007250220A (ja) * | 2006-03-14 | 2007-09-27 | Hitachi High-Technologies Corp | 試料観察方法，画像処理装置、及び荷電粒子線装置 |
| US7573030B2 (en) | 2006-03-14 | 2009-08-11 | Hitachi High-Technologies Corporation | Specimen observation method |
| US8410440B2 (en) | 2006-03-14 | 2013-04-02 | Hitachi High-Technologies Corporation | Specimen observation method |
| US8164058B2 (en) | 2006-03-14 | 2012-04-24 | Hitachi High-Technologies Corporation | Specimen observation method |
| US9865427B2 (en) | 2006-06-07 | 2018-01-09 | Fei Company | User interface for an electron microscope |
| JP2009540511A (ja) * | 2006-06-07 | 2009-11-19 | エフ・イ−・アイ・カンパニー | 電子顕微鏡用ユーザ・インタフェース |
| US9025018B2 (en) | 2006-06-07 | 2015-05-05 | Fei Company | User interface for an electron microscope |
| JP2008146990A (ja) * | 2006-12-08 | 2008-06-26 | Hitachi High-Technologies Corp | 試料固定台、及びそれを備えた荷電粒子線装置、並びに観察／解析対象箇所特定方法 |
| JP2010198998A (ja) * | 2009-02-27 | 2010-09-09 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査型電子顕微鏡 |
| JP2012138219A (ja) * | 2010-12-24 | 2012-07-19 | Topcon Corp | 試料ステージ装置、及び電子線装置 |
| JP2013065511A (ja) * | 2011-09-20 | 2013-04-11 | Hitachi High-Tech Science Corp | 複合荷電粒子ビーム装置 |
| CN105225909A (zh) * | 2015-09-17 | 2016-01-06 | 北京大学 | 一种扫描电镜样品台定位装置及其定位方法 |
| WO2020080508A1 (ja) * | 2018-10-19 | 2020-04-23 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | アライメントシステム及び位置合わせ用シール |
| JPWO2020080508A1 (ja) * | 2018-10-19 | 2021-09-09 | 株式会社日立ハイテク | アライメントシステム及び位置合わせ用シール |
| US11538657B2 (en) | 2018-10-19 | 2022-12-27 | Hitachi High-Tech Corporation | Alignment system and seal for positional alignment |
| CN112630242A (zh) * | 2020-12-03 | 2021-04-09 | 成都先进金属材料产业技术研究院有限公司 | 一种扫描电镜样品导航方法 |
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