JP2601727B2 - 液晶表示パネル検査装置 - Google Patents
液晶表示パネル検査装置Info
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- JP2601727B2 JP2601727B2 JP2204346A JP20434690A JP2601727B2 JP 2601727 B2 JP2601727 B2 JP 2601727B2 JP 2204346 A JP2204346 A JP 2204346A JP 20434690 A JP20434690 A JP 20434690A JP 2601727 B2 JP2601727 B2 JP 2601727B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は液晶表示パネル検査装置に関し、たとえ
ば、XYテーブル上に載置した液晶表示パネルの欠陥を拡
大あるいは縮小して画像上で表示するような液晶表示パ
ネル検査装置に関する。
ば、XYテーブル上に載置した液晶表示パネルの欠陥を拡
大あるいは縮小して画像上で表示するような液晶表示パ
ネル検査装置に関する。
［従来の技術］ 液晶表示パネルなどの検査においては、通常、検査対
象物を任意の位置に移動させ得るXYステージに取付け、
これをXYステージ上に保持された顕微鏡およびCCDカメ
ラなどの光学系で観察している。拡大倍率を上げる場合
や、観察下でリペア加工などのある特定の加工をする場
合などには、検査対象物の特定箇所を視野の中央に持っ
て来るようにXYステージを移動させる必要がある。XYス
テージを移動させるには、手動式の送りハンドル操作や
電動式の場合にはスイッチ操作により指示している。
象物を任意の位置に移動させ得るXYステージに取付け、
これをXYステージ上に保持された顕微鏡およびCCDカメ
ラなどの光学系で観察している。拡大倍率を上げる場合
や、観察下でリペア加工などのある特定の加工をする場
合などには、検査対象物の特定箇所を視野の中央に持っ
て来るようにXYステージを移動させる必要がある。XYス
テージを移動させるには、手動式の送りハンドル操作や
電動式の場合にはスイッチ操作により指示している。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、従来の手動式の送りハンドル方式で
は、検査作業者への負担が大きく、作業能率もよくな
い。また、高倍率で観察する場合などは、特に、ハンド
ル操作による振動やぶれなども問題になる。電動式の場
合でも、ステージ移動速度が比較的速い場合には、オー
バーラン（行過ぎ）などで、特定箇所でXYステージを止
められないことが多い。特に、高倍率で観察する場合に
は、その傾向が大である。すなわち、光学系としてレン
ズの倍率を切換可能な電動レボルバを用いた場合、拡大
するためにレンズを切換えたとき、一瞬視野が見えなく
なり、検査対象物の特定箇所が視野から消えてしまい、
その特定箇所を維持するためにXYステージを移動させる
必要がある。
は、検査作業者への負担が大きく、作業能率もよくな
い。また、高倍率で観察する場合などは、特に、ハンド
ル操作による振動やぶれなども問題になる。電動式の場
合でも、ステージ移動速度が比較的速い場合には、オー
バーラン（行過ぎ）などで、特定箇所でXYステージを止
められないことが多い。特に、高倍率で観察する場合に
は、その傾向が大である。すなわち、光学系としてレン
ズの倍率を切換可能な電動レボルバを用いた場合、拡大
するためにレンズを切換えたとき、一瞬視野が見えなく
なり、検査対象物の特定箇所が視野から消えてしまい、
その特定箇所を維持するためにXYステージを移動させる
必要がある。
それゆえに、この発明の主たる目的は、被検査物の特
定箇所を視野の中央に、簡単な操作でかつ迅速に移動で
き、さらに指定した画像を拡大あるいは縮小しても被検
査物の特定箇所を視野の中央に表示できるような液晶表
示パネル検査装置を提供することである。
定箇所を視野の中央に、簡単な操作でかつ迅速に移動で
き、さらに指定した画像を拡大あるいは縮小しても被検
査物の特定箇所を視野の中央に表示できるような液晶表
示パネル検査装置を提供することである。
［課題を解決するための手段］ この発明は液晶表示パネル検査装置であって、その上
に検査対象が載置され、平面上を移動可能なXYテーブル
と、レボルバにより倍率が異なる複数のレンズを切換可
能に設けられ、XYテーブル上の検査対象を撮像する撮像
手段と、撮像された検査対象に相当する画像を表示する
表示面がます目状に区切られた画像表示領域と、その画
像表示領域に表示される画像を拡大あるいは縮小を指定
するための指定表示領域とを含む表示手段と、表示手段
の表示面で検査対象の任意の位置を指定するための指定
手段と、検査対象に相当するます目内の任意の位置が指
定されたことに応じて、その位置とXYテーブルの現在の
位置との差およびレボルバの現在の倍率に基づいて、XY
テーブルの移量を計算する演算手段と、計算された移動
量に基づいて指定された位置に対応するXYテーブルの位
置が表示手段のます目の中央となるようにXYテーブルを
移動させ、表示手段の指定領域が指定されて拡大あるい
は縮小が指定されたことに応じて、レボルバによりレン
ズを切換えかつ指定されたます目内の画像を拡大あるい
は縮小して表示するための制御手段とを備えて構成され
る。
に検査対象が載置され、平面上を移動可能なXYテーブル
と、レボルバにより倍率が異なる複数のレンズを切換可
能に設けられ、XYテーブル上の検査対象を撮像する撮像
手段と、撮像された検査対象に相当する画像を表示する
表示面がます目状に区切られた画像表示領域と、その画
像表示領域に表示される画像を拡大あるいは縮小を指定
するための指定表示領域とを含む表示手段と、表示手段
の表示面で検査対象の任意の位置を指定するための指定
手段と、検査対象に相当するます目内の任意の位置が指
定されたことに応じて、その位置とXYテーブルの現在の
位置との差およびレボルバの現在の倍率に基づいて、XY
テーブルの移量を計算する演算手段と、計算された移動
量に基づいて指定された位置に対応するXYテーブルの位
置が表示手段のます目の中央となるようにXYテーブルを
移動させ、表示手段の指定領域が指定されて拡大あるい
は縮小が指定されたことに応じて、レボルバによりレン
ズを切換えかつ指定されたます目内の画像を拡大あるい
は縮小して表示するための制御手段とを備えて構成され
る。
［作用］ この発明に係る液晶表示パネル検査装置は、表示手段
に表示されている検査対象に相当するます目の任意の位
置を指定したとき、その位置とXYテーブルの現在の位置
との差およびレボルバの現在の倍率に基づいて、XYテー
ブルの移動量を計算し、計算された移動量に基づいて指
定された位置に対応するXYテーブルの位置が表示手段の
ます目の中央となるようにXYテーブルを移動させ、表示
手段の指定領域が指定されて拡大あるいは縮小が指定さ
れたことに応じて、レボルバによりレンズを切換えかつ
指定されたます目内の画像を拡大あるいは縮小して表示
するようにしたので、拡大または縮小しても液晶表示パ
ネルの特定の箇所を視野の中央に迅速に表示でき、デー
タ量も少なくでき、処理速度も早くできる。
に表示されている検査対象に相当するます目の任意の位
置を指定したとき、その位置とXYテーブルの現在の位置
との差およびレボルバの現在の倍率に基づいて、XYテー
ブルの移動量を計算し、計算された移動量に基づいて指
定された位置に対応するXYテーブルの位置が表示手段の
ます目の中央となるようにXYテーブルを移動させ、表示
手段の指定領域が指定されて拡大あるいは縮小が指定さ
れたことに応じて、レボルバによりレンズを切換えかつ
指定されたます目内の画像を拡大あるいは縮小して表示
するようにしたので、拡大または縮小しても液晶表示パ
ネルの特定の箇所を視野の中央に迅速に表示でき、デー
タ量も少なくでき、処理速度も早くできる。
［発明の実施例］ 第１図はこの発明の一実施例の外観斜視図であり、第
２図は同じく正面図である。
２図は同じく正面図である。
第１図および第２図を参照して、筐体１のベース２上
には、X,Y方向に移動可能なXYステージ３が配置され
る。このXYステージ３上には、被加工物としての液晶パ
ネルが載置される。XYステージ３上に載置された被加工
物を検査するために、Ｚ方向（上下方向）にのみ移動可
能なＺ軸テーブル４が設けられる。このＺ軸テーブル４
には電動リボルバ５と顕微鏡照明用光源６とCCDカメラ
７とが設けられる。電動リボルバ５は倍率の異なるレン
ズを切換えるものであり、顕微鏡照明用光源６は被加工
物を照明する。CCDカメラ７は電動リボルバ５のレンズ
を介して被加工物の表面を撮像する。なお、XYステージ
３の下部には第２図に示すように、被加工物を透過照明
するための光源10が設けられている。
には、X,Y方向に移動可能なXYステージ３が配置され
る。このXYステージ３上には、被加工物としての液晶パ
ネルが載置される。XYステージ３上に載置された被加工
物を検査するために、Ｚ方向（上下方向）にのみ移動可
能なＺ軸テーブル４が設けられる。このＺ軸テーブル４
には電動リボルバ５と顕微鏡照明用光源６とCCDカメラ
７とが設けられる。電動リボルバ５は倍率の異なるレン
ズを切換えるものであり、顕微鏡照明用光源６は被加工
物を照明する。CCDカメラ７は電動リボルバ５のレンズ
を介して被加工物の表面を撮像する。なお、XYステージ
３の下部には第２図に示すように、被加工物を透過照明
するための光源10が設けられている。
第３図はこの発明の一実施例の概略ブロック図であ
る。次に、第３図を参照して、この発明の一実施例の電
気的構成について説明する。CPU21は内蔵のメモリに記
憶されているプログラムに従って全体の制御を行なう。
すなわち、CPU21はXYステージ３をＹ方向に移動させる
ための指令信号を、I/O22を介してＹパルスコントロー
ラ23に与える。Ｙパルスコントローラ23は指令信号に応
じてＹパルスを発生させる。このＹパルスはＹモータド
ライバ24に与えられる。Ｙモータドライバ24は与えられ
たパルスの数だけＹモータ25を回転させる。Ｙモータ25
はXYテーブル３をＹ方向に移動させる。Ｙモータ25の回
転数はＹエンコーダ26によって検出される。Ｙエンコー
ダ26はＹモータ25の回転に応じたパルス信号を発生して
Ｙカウンタ27に与える。Ｙカウンタ27はそのパルス信号
を計数し、その計数出力を、I/O22を介してCPU21に与え
る。
る。次に、第３図を参照して、この発明の一実施例の電
気的構成について説明する。CPU21は内蔵のメモリに記
憶されているプログラムに従って全体の制御を行なう。
すなわち、CPU21はXYステージ３をＹ方向に移動させる
ための指令信号を、I/O22を介してＹパルスコントロー
ラ23に与える。Ｙパルスコントローラ23は指令信号に応
じてＹパルスを発生させる。このＹパルスはＹモータド
ライバ24に与えられる。Ｙモータドライバ24は与えられ
たパルスの数だけＹモータ25を回転させる。Ｙモータ25
はXYテーブル３をＹ方向に移動させる。Ｙモータ25の回
転数はＹエンコーダ26によって検出される。Ｙエンコー
ダ26はＹモータ25の回転に応じたパルス信号を発生して
Ｙカウンタ27に与える。Ｙカウンタ27はそのパルス信号
を計数し、その計数出力を、I/O22を介してCPU21に与え
る。
同様にして、CPU21はXYステージ３をＸ方向に移動さ
せるための指令信号を、I/O29を介してＸモータドライ
バ31に与える。Ｘモータドライバ31は、指令信号に応じ
てＸモータ32を回転させる。Ｘモータ32はXYステージ３
をＸ方向に移動させるために設けられている。Ｘモータ
32の回転数はＸエンコーダ33によって検出され、その回
転数に応じたパルス信号がＸカウンタ34に与えられる。
Ｘカウンタ34はパルス信号を計数し、その計数出力を、
I/O29を介してCPU21に与える。CPU21はＹカウンタ27お
よびＸカウンタ34の計数出力によって、XYステージ３の
Ｘ方向およびＹ方向の位置を判別する。
せるための指令信号を、I/O29を介してＸモータドライ
バ31に与える。Ｘモータドライバ31は、指令信号に応じ
てＸモータ32を回転させる。Ｘモータ32はXYステージ３
をＸ方向に移動させるために設けられている。Ｘモータ
32の回転数はＸエンコーダ33によって検出され、その回
転数に応じたパルス信号がＸカウンタ34に与えられる。
Ｘカウンタ34はパルス信号を計数し、その計数出力を、
I/O29を介してCPU21に与える。CPU21はＹカウンタ27お
よびＸカウンタ34の計数出力によって、XYステージ３の
Ｘ方向およびＹ方向の位置を判別する。
CCDカメラ７はXYステージ３上に配置されている被加
工物を撮像するものであり、そのビデオ出力は画面切換
回路41に与えられる。画面切換回路41はCCDカメラ７の
出力であるビデオ信号と、CPU21から与えられるコンピ
ュータの画像信号とを切換えてモニターテレビ40に表示
させる。なお、CPU21にはマウスコントロール回路43を
介してマウス42から指令信号が与えられる。
工物を撮像するものであり、そのビデオ出力は画面切換
回路41に与えられる。画面切換回路41はCCDカメラ７の
出力であるビデオ信号と、CPU21から与えられるコンピ
ュータの画像信号とを切換えてモニターテレビ40に表示
させる。なお、CPU21にはマウスコントロール回路43を
介してマウス42から指令信号が与えられる。
第４図はこの発明の一実施例の具体的な動作を説明す
るためのフロー図であり、第５図はこの発明の一実施例
によってモニター画面に表示されるコンピュータ画像の
一例を示す図である。
るためのフロー図であり、第５図はこの発明の一実施例
によってモニター画面に表示されるコンピュータ画像の
一例を示す図である。
次に、第１図ないし第５図を参照して、この発明の一
実施例の具体的な動作について説明する。第５図に示す
ように、モニターテレビ40にはXYステージ３の現在位置
を表示するための表示領域401と、現在の装置の状態の
情報を表示する表示領域402と、各種実行コマンドのメ
ニューが表示される表示領域403とが設けられている。
情報表示領域402は、XYステージにおけるＸ方向および
Ｙ方向の位置座標や拡大倍率や現行のモードなどが表示
される。コマンド表示領域403には、拡大，縮小，ステ
ージ移動，位置記憶などが表示され、それぞれのコマン
ドはマウス42によって指定できる。
実施例の具体的な動作について説明する。第５図に示す
ように、モニターテレビ40にはXYステージ３の現在位置
を表示するための表示領域401と、現在の装置の状態の
情報を表示する表示領域402と、各種実行コマンドのメ
ニューが表示される表示領域403とが設けられている。
情報表示領域402は、XYステージにおけるＸ方向および
Ｙ方向の位置座標や拡大倍率や現行のモードなどが表示
される。コマンド表示領域403には、拡大，縮小，ステ
ージ移動，位置記憶などが表示され、それぞれのコマン
ドはマウス42によって指定できる。
表示領域401は升目状に区切られていて、XYステージ
３上に載置された検査対象のそれぞれの位置における欠
陥数が表示される。この表示領域401のうちいずれかの
升目をマウス42によって指定し、さらにコマンド表示領
域403に表示されている拡大コマンドをマウス42によっ
て指定することによって、その升目の領域が拡大され、
その拡大された表示領域404もまた升目状区切られてい
て、いずれの位置に欠陥があるかを示すための欠陥数が
表示される。さらに、表示領域404のいずれかの升目を
マウス42によって指定し、拡大コマンドを指定すること
によって、さらにその領域が拡大され、拡大された領域
405が表示される。
３上に載置された検査対象のそれぞれの位置における欠
陥数が表示される。この表示領域401のうちいずれかの
升目をマウス42によって指定し、さらにコマンド表示領
域403に表示されている拡大コマンドをマウス42によっ
て指定することによって、その升目の領域が拡大され、
その拡大された表示領域404もまた升目状区切られてい
て、いずれの位置に欠陥があるかを示すための欠陥数が
表示される。さらに、表示領域404のいずれかの升目を
マウス42によって指定し、拡大コマンドを指定すること
によって、さらにその領域が拡大され、拡大された領域
405が表示される。
次に、第４図を参照して動作について説明する。CPU1
1はマウスコントロール回路43を介してマウス42から指
定信号が入力されるまで待機している。マウス42によっ
てモニター40の表示領域401のいずれかの位置が指定さ
れたか否かを判別し、表示領域401のいずれかが指定さ
れたことを判別すると、指定された領域のデータ（X1、
Y1）を読む。XYステージ３が移動したときには、Ｙモー
タ25およびＸモータ32の回転数をそれぞれＹエンコーダ
26およびＸエンコーダ33の出力をＹカウンタ27、Ｘカウ
ンタ34が計数し、その計数出力が現在のステージ位置と
してI/O22、29を介してCPU21に与えられる。CPU21はス
テージの現在位置（X0,Y0）を読み、指定位置データ（X
1,Y1）と現在位置データ（X0,Y0）の差および電動リボ
ルバ５の現在の拡大倍率により、XYステージ３のＸ方向
およびＹ方向の移動量を計算する。そして、CPU21は計
算した量に該当するパルスを発生するための指令信号
を、I/O22,29を介してＹパルスコントローラ23およびＸ
パルスコントローラ30に与える。応じてＹパルスコント
ローラ23はＹモータドライバ24を介してＹモータ25に駆
動パルスを与え、Ｘパルスコントローラ30はＸモータド
ライバ31を介してＸモータ32に駆動パルスを与える。そ
れによって、XYステージ３は指定された位置に移動す
る。さらに、CPU21は画面切換回路41を介してモニター4
3画面上XYステージ３の現在位置の表示を更新する。CPU
21は処理が終了したか否かを判別し、終了していなけれ
ば再びマウス42によって位置が指定されるまで待機す
る。なお、マウス42によってXYステージ３の位置セクシ
ョン以外の指定が行なわれた場合には、その指定された
処理を行なう。
1はマウスコントロール回路43を介してマウス42から指
定信号が入力されるまで待機している。マウス42によっ
てモニター40の表示領域401のいずれかの位置が指定さ
れたか否かを判別し、表示領域401のいずれかが指定さ
れたことを判別すると、指定された領域のデータ（X1、
Y1）を読む。XYステージ３が移動したときには、Ｙモー
タ25およびＸモータ32の回転数をそれぞれＹエンコーダ
26およびＸエンコーダ33の出力をＹカウンタ27、Ｘカウ
ンタ34が計数し、その計数出力が現在のステージ位置と
してI/O22、29を介してCPU21に与えられる。CPU21はス
テージの現在位置（X0,Y0）を読み、指定位置データ（X
1,Y1）と現在位置データ（X0,Y0）の差および電動リボ
ルバ５の現在の拡大倍率により、XYステージ３のＸ方向
およびＹ方向の移動量を計算する。そして、CPU21は計
算した量に該当するパルスを発生するための指令信号
を、I/O22,29を介してＹパルスコントローラ23およびＸ
パルスコントローラ30に与える。応じてＹパルスコント
ローラ23はＹモータドライバ24を介してＹモータ25に駆
動パルスを与え、Ｘパルスコントローラ30はＸモータド
ライバ31を介してＸモータ32に駆動パルスを与える。そ
れによって、XYステージ３は指定された位置に移動す
る。さらに、CPU21は画面切換回路41を介してモニター4
3画面上XYステージ３の現在位置の表示を更新する。CPU
21は処理が終了したか否かを判別し、終了していなけれ
ば再びマウス42によって位置が指定されるまで待機す
る。なお、マウス42によってXYステージ３の位置セクシ
ョン以外の指定が行なわれた場合には、その指定された
処理を行なう。
［発明の効果］ 以上のように、この発明によれば、表示手段のます目
状の表示面で検査対象を表示し、検査対象の任意の位置
が指定されたことに応じて、その位置とXYテーブルの現
在の位置との差およびレボルバの現在の倍率に基づい
て、XYテーブルの移動量を計算し、指定された位置に対
応するXYテーブルの位置が表示面の中央となるようにXY
テーブルを移動させ、拡大あるいは縮小が指定されたこ
とに応じて、レボルバによりレンズを切換えかつ指定さ
れたます目内の画像を拡大あるいは縮小して表示するよ
うにしたので、処理すべきデータ量を少なくでき、正確
かつ迅速なコントロールを行なうことができる。
状の表示面で検査対象を表示し、検査対象の任意の位置
が指定されたことに応じて、その位置とXYテーブルの現
在の位置との差およびレボルバの現在の倍率に基づい
て、XYテーブルの移動量を計算し、指定された位置に対
応するXYテーブルの位置が表示面の中央となるようにXY
テーブルを移動させ、拡大あるいは縮小が指定されたこ
とに応じて、レボルバによりレンズを切換えかつ指定さ
れたます目内の画像を拡大あるいは縮小して表示するよ
うにしたので、処理すべきデータ量を少なくでき、正確
かつ迅速なコントロールを行なうことができる。
第１図はこの発明の一実施例の外観斜視図である。第２
図は同じく正面図である。第３図はこの発明の一実施例
の概略ブロック図である。第４図はこの発明の一実施例
の具体的な動作を説明するためのフロー図である。第５
図はこの発明の一実施例によってモニター画面に表示さ
れる画像の一例を示す図である。 図において、３はXYステージ、４はＺ軸テーブル、５は
電動リボルバ、７はCCDカメラ、21はCPU、22、29はI/
O、23はＹパルスコントローラ、24はＹモータドライ
バ、25はＹモータ、26はＹエンコーダ、27はＹカウン
タ、30はＸパルスコントローラ、31はｘモータドライ
バ、32はＸモータ、33はＸエンコーダ、34はＸカウン
タ、40はモニターテレビ、41は画面切換回路、42はマウ
ス、43はマウスコントロール回路を示す。
図は同じく正面図である。第３図はこの発明の一実施例
の概略ブロック図である。第４図はこの発明の一実施例
の具体的な動作を説明するためのフロー図である。第５
図はこの発明の一実施例によってモニター画面に表示さ
れる画像の一例を示す図である。 図において、３はXYステージ、４はＺ軸テーブル、５は
電動リボルバ、７はCCDカメラ、21はCPU、22、29はI/
O、23はＹパルスコントローラ、24はＹモータドライ
バ、25はＹモータ、26はＹエンコーダ、27はＹカウン
タ、30はＸパルスコントローラ、31はｘモータドライ
バ、32はＸモータ、33はＸエンコーダ、34はＸカウン
タ、40はモニターテレビ、41は画面切換回路、42はマウ
ス、43はマウスコントロール回路を示す。
Claims (1)
- 【請求項１】その上に検査対象が載置され、平面上を移
動可能なXYテーブルと、 レボルバにより倍率が異なる複数のレンズを切換可能に
設けられ、前記XYテーブル上の検査対象を撮像する撮像
手段と、 前記撮像手段によって撮像された検査対象に相当する画
像を表示する表示面がます目状に区切られた画像表示領
域と、前記画像表示領域に表示される画像を拡大あるい
は縮小を指定するための指定表示領域とを含む表示手段
と、 前記表示手段の表示面で前記検査対象の任意の位置を指
定するための指定手段と、 前記指定手段によって前記検査対象に相当する前記ます
目内の任意の位置が指定されたことに応じて、その位置
と前記XYテーブルの現在の位置との差および前記レボル
バの現在の倍率に基づいて、前記XYテーブルの移動量を
計算する演算手段と、 前記演算手段によって計算された移動量に基づいて、前
記指定手段によって指定された位置に対応する前記XYテ
ーブルの位置が前記表示手段のます目の中央となるよう
に該XYテーブルを移動させ、前記表示手段の指定領域が
指定されて拡大あるいは縮小が指定されたことに応じ
て、前記レボルバにより前記レンズを切換えかつ前記指
定されたます目内の画像を拡大あるいは縮小して表示す
るための制御手段を備えた、液晶表示パネル検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2204346A JP2601727B2 (ja) | 1990-07-31 | 1990-07-31 | 液晶表示パネル検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2204346A JP2601727B2 (ja) | 1990-07-31 | 1990-07-31 | 液晶表示パネル検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0489595A JPH0489595A (ja) | 1992-03-23 |
| JP2601727B2 true JP2601727B2 (ja) | 1997-04-16 |
Family
ID=16488985
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2204346A Expired - Fee Related JP2601727B2 (ja) | 1990-07-31 | 1990-07-31 | 液晶表示パネル検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2601727B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002231621A (ja) * | 2001-11-19 | 2002-08-16 | Canon Inc | 露光装置およびそのユニットの駆動方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61219200A (ja) * | 1985-03-25 | 1986-09-29 | ミノルタ株式会社 | 電子部品搭載装置 |
| JPH0782008B2 (ja) * | 1987-07-27 | 1995-09-06 | 株式会社日立製作所 | 細胞の数並びに活性の診断装置 |
| JPH01159479U (ja) * | 1988-04-22 | 1989-11-06 | ||
| JPH0213996A (ja) * | 1988-07-01 | 1990-01-18 | Fuji Electric Co Ltd | 部分拡大画像表示装置 |
-
1990
- 1990-07-31 JP JP2204346A patent/JP2601727B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0489595A (ja) | 1992-03-23 |
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