JPH0461356A - Ｘｙステージのコントロール回路 - Google Patents
Ｘｙステージのコントロール回路Info
- Publication number
- JPH0461356A JPH0461356A JP2173361A JP17336190A JPH0461356A JP H0461356 A JPH0461356 A JP H0461356A JP 2173361 A JP2173361 A JP 2173361A JP 17336190 A JP17336190 A JP 17336190A JP H0461356 A JPH0461356 A JP H0461356A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- mouse
- motor
- designated
- cpu
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 9
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 10
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 108010038447 Chromogranin A Proteins 0.000 description 1
- 102100031186 Chromogranin-A Human genes 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- CPTIBDHUFVHUJK-NZYDNVMFSA-N mitopodozide Chemical compound C1([C@@H]2C3=CC=4OCOC=4C=C3[C@H](O)[C@@H](CO)[C@@H]2C(=O)NNCC)=CC(OC)=C(OC)C(OC)=C1 CPTIBDHUFVHUJK-NZYDNVMFSA-N 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明はＸＹステージのコントロール回路に関し、た
とえば、液晶表示パネルの欠陥を画像上で表示するよう
な検査装置におけるＸＹステージをコントロールするよ
うなコントロール回路に関する。
とえば、液晶表示パネルの欠陥を画像上で表示するよう
な検査装置におけるＸＹステージをコントロールするよ
うなコントロール回路に関する。
［従来の技術］
液晶表示パネルなどの検査においては、通常、検査対象
物を任意の位置に移動させ得るＸＹステージに取付け、
これをＸＹステージ上に保持された顕微鏡およびＣＣＤ
カメラなどの光学系で観察している。拡大倍率を上げる
場合や、観察下でりペア加工などのある特定の加工をす
る場合などには、検査対象物の特定箇所を視野の中央に
持って来るようにＸＹステージを移動させる必要がある
。
物を任意の位置に移動させ得るＸＹステージに取付け、
これをＸＹステージ上に保持された顕微鏡およびＣＣＤ
カメラなどの光学系で観察している。拡大倍率を上げる
場合や、観察下でりペア加工などのある特定の加工をす
る場合などには、検査対象物の特定箇所を視野の中央に
持って来るようにＸＹステージを移動させる必要がある
。
ＸＹステージを移動させるには、手動式の送りハンドル
操作や電動式の場合にはスイッチ操作により指示してい
る。
操作や電動式の場合にはスイッチ操作により指示してい
る。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、従来の手動式の送りハンドル方式では、
検査作業者への負担が大きく、作業能率もよくない。ま
た、高倍率で観察する場合などは、特に、ハンドル操作
による振動やぶれなども問題になる。電動式の場合でも
、ステージ移動速度が比較的速い場合には、オーバーラ
ン（行過ぎ）などで、特定箇所でＸＹステージを止めら
れないことが多い。特に、高倍率で観察する場合には、
その傾向が大である。
検査作業者への負担が大きく、作業能率もよくない。ま
た、高倍率で観察する場合などは、特に、ハンドル操作
による振動やぶれなども問題になる。電動式の場合でも
、ステージ移動速度が比較的速い場合には、オーバーラ
ン（行過ぎ）などで、特定箇所でＸＹステージを止めら
れないことが多い。特に、高倍率で観察する場合には、
その傾向が大である。
それゆえに、この発明の主たる目的は、被検査物の特定
箇所を視野の中央に、簡単な操作でかつ迅速に移動させ
得るＸＹステージのコントロール回路を提供することで
ある。
箇所を視野の中央に、簡単な操作でかつ迅速に移動させ
得るＸＹステージのコントロール回路を提供することで
ある。
［課題を解決するための手段］
この発明はＸＹステージのコントロール回路であって、
その上に検査対象が載置され、平面上を移動可能なテー
ブルと、倍率が可変にされ、検査対象の画像を取込むた
めの光学系と、光学系によって取込まれた画像を撮像す
るための撮像手段と、撮像された画像を表示するだめの
表示手段と、表示手段の表示面で検査対象の任意の位置
を指定するとともに拡大倍率を指定するための指定手段
と、検査対象の任意の位置が指定されたことに応じて、
その位置が表示手段の中央となるようにテーブルを移動
させ、指定手段によって拡大倍率が指定されたことに応
じて、光学系を指定された倍率に切換えるための制御手
段とを備えて構成される。
その上に検査対象が載置され、平面上を移動可能なテー
ブルと、倍率が可変にされ、検査対象の画像を取込むた
めの光学系と、光学系によって取込まれた画像を撮像す
るための撮像手段と、撮像された画像を表示するだめの
表示手段と、表示手段の表示面で検査対象の任意の位置
を指定するとともに拡大倍率を指定するための指定手段
と、検査対象の任意の位置が指定されたことに応じて、
その位置が表示手段の中央となるようにテーブルを移動
させ、指定手段によって拡大倍率が指定されたことに応
じて、光学系を指定された倍率に切換えるための制御手
段とを備えて構成される。
［作用］
この発明に係るＸＹステージのコントロール回路は、検
査対象の任意の位置が指定手段によって指定されたこと
に応じて、その位置が表示手段の中央となるように、検
査対象から配置されたテーブルを移動させ、拡大倍率が
指定手段によって指定されたことに応じて光学系を指定
された倍率に切換える。
査対象の任意の位置が指定手段によって指定されたこと
に応じて、その位置が表示手段の中央となるように、検
査対象から配置されたテーブルを移動させ、拡大倍率が
指定手段によって指定されたことに応じて光学系を指定
された倍率に切換える。
［発明の実施例〕
第１図はこの発明の一実施例の外観斜視図であり、第２
図は同じく正面図である。
図は同じく正面図である。
第１図および第２図を参照して、筐体１のベース２上に
は、Ｘ、Ｙ方向に移動可能なＸＹステージ３が配置され
る。このｘＹステージ３上には、被加工物としての液晶
パネルが載置される。ＸＹステージ３上に載置された被
加工物を検査するために、Ｘ方向（上下方向）にのみに
移動可能なＺ軸テーブル４が設けられる。このＺ軸テー
ブル４には電動リボルバ５と顕微鏡照明用光源６とＣＣ
Ｄカメラ７とが設けられる。電動リボルバ５は倍率の異
なるレンズを切換えるものであり、顕微鏡照明用光源６
は被加工物を照明する。ＣＣＤカメラ７は電動リボルバ
５のレンズを介して被加工物の表面を撮像する。なお、
ＸＹステージ３の下部には第２図に示すように、被加工
物を透過照明するだめの光源１０が設けられている。
は、Ｘ、Ｙ方向に移動可能なＸＹステージ３が配置され
る。このｘＹステージ３上には、被加工物としての液晶
パネルが載置される。ＸＹステージ３上に載置された被
加工物を検査するために、Ｘ方向（上下方向）にのみに
移動可能なＺ軸テーブル４が設けられる。このＺ軸テー
ブル４には電動リボルバ５と顕微鏡照明用光源６とＣＣ
Ｄカメラ７とが設けられる。電動リボルバ５は倍率の異
なるレンズを切換えるものであり、顕微鏡照明用光源６
は被加工物を照明する。ＣＣＤカメラ７は電動リボルバ
５のレンズを介して被加工物の表面を撮像する。なお、
ＸＹステージ３の下部には第２図に示すように、被加工
物を透過照明するだめの光源１０が設けられている。
第３図はこの発明の一実施例の概略ブロック図である。
次に、第３図を参照して、この発明の一実施例の電気的
構成について説明する。ＣＰＵ２１は内蔵のメモリに記
憶されているプログラムに従って全体の制御を行なう。
構成について説明する。ＣＰＵ２１は内蔵のメモリに記
憶されているプログラムに従って全体の制御を行なう。
すなわち、ＣＰＵ２１はＸＹステージ３をＹ方向に移動
させるための指令信号を、ｌ１０２２を介してＹパルス
コントローラ２３に与える。Ｙパルスコントローラ２３
は指令信号に応じてＹパルスを発生させる。このＹパル
スはＹモータドライバ２４に与えられる。
させるための指令信号を、ｌ１０２２を介してＹパルス
コントローラ２３に与える。Ｙパルスコントローラ２３
は指令信号に応じてＹパルスを発生させる。このＹパル
スはＹモータドライバ２４に与えられる。
Ｙモータドライバ２４は与えられたパルスの数だけＹモ
ータ２５を回転させる。Ｙモータ２５はＸＹ子テーブル
をＹ方向に移動させる。Ｙモータ２５の回転数はＹエン
コーダ２６によって検出される。Ｙエンコーダ２６はＹ
モータ２５の回転に応じたパルス信号を発生してＹカウ
ンタ２７に与える。Ｙカウンタ２７はそのパルス信号を
計数し、その計数出力を、ｌ１０２２を介してＣＰＵ２
１に与える。
ータ２５を回転させる。Ｙモータ２５はＸＹ子テーブル
をＹ方向に移動させる。Ｙモータ２５の回転数はＹエン
コーダ２６によって検出される。Ｙエンコーダ２６はＹ
モータ２５の回転に応じたパルス信号を発生してＹカウ
ンタ２７に与える。Ｙカウンタ２７はそのパルス信号を
計数し、その計数出力を、ｌ１０２２を介してＣＰＵ２
１に与える。
同様にして、ＣＰＵ２１はＸＹステージ３をＸ方向に移
動させるための指令信号を、ｌ１０２９を介してＸモー
タドライバ３１に与える。Ｘモータドライバ３１は、指
令信号に応じてＸモータ３２を回転させる。Ｘモータ３
２はＸＹステージ３をＸ方向に移動させるために設けら
れている。Ｘモータ３２の回転数はＸエンコーダ３３に
よって検出され、その回転数に応じたパルス信号がＸカ
ウンタ３４に与えられる。Ｘカウンタ３４はパルス信号
を計数し、その計数出力を、ｌ１０２９を介してＣＰＵ
２１に与える。ＣＰＵ２１はＹカウンタ２７およびＸカ
ウンタ３４の計数出力によって、ＸＹステージ３のＸ方
向およびＹ方向の位置を判別する。
動させるための指令信号を、ｌ１０２９を介してＸモー
タドライバ３１に与える。Ｘモータドライバ３１は、指
令信号に応じてＸモータ３２を回転させる。Ｘモータ３
２はＸＹステージ３をＸ方向に移動させるために設けら
れている。Ｘモータ３２の回転数はＸエンコーダ３３に
よって検出され、その回転数に応じたパルス信号がＸカ
ウンタ３４に与えられる。Ｘカウンタ３４はパルス信号
を計数し、その計数出力を、ｌ１０２９を介してＣＰＵ
２１に与える。ＣＰＵ２１はＹカウンタ２７およびＸカ
ウンタ３４の計数出力によって、ＸＹステージ３のＸ方
向およびＹ方向の位置を判別する。
ＣＣＤカメラ７はＸＹステージ３上に配置されている被
加工物を撮像するものであり、そのビデオ用力はスーパ
ーインポーズ回路４１に与えられる。スーパーインポー
ズ回路４１はＣＣＤカメラ７の出力であるビデオ信号を
、ＣＰＵ２１から与えられるコンピュータの画像信号に
スーパーインポーズし、合成画像をモニターテレビ４０
に表示させる。なお、ＣＰＵ２１にはマウスコントロー
ル回路４３を介してマウス４２から指令信号が与えられ
る。
加工物を撮像するものであり、そのビデオ用力はスーパ
ーインポーズ回路４１に与えられる。スーパーインポー
ズ回路４１はＣＣＤカメラ７の出力であるビデオ信号を
、ＣＰＵ２１から与えられるコンピュータの画像信号に
スーパーインポーズし、合成画像をモニターテレビ４０
に表示させる。なお、ＣＰＵ２１にはマウスコントロー
ル回路４３を介してマウス４２から指令信号が与えられ
る。
第４図はこの発明の一実施例の具体的な動作を説明する
ためのフロー図であり、第５図はこの発明の一実施例に
よってモニタ画面に表示させるＣＣＤカメラ出力および
コンピュータ出力の画像をスーパーインポーズした画像
を示す図である。
ためのフロー図であり、第５図はこの発明の一実施例に
よってモニタ画面に表示させるＣＣＤカメラ出力および
コンピュータ出力の画像をスーパーインポーズした画像
を示す図である。
次に、第１図ないし第５図を参照して、この発明の一実
施例の具体的な動作について説明する。
施例の具体的な動作について説明する。
ＣＰＵ２１はステップ（図示ではＳＰと略称する）ＳＰ
Ｉにおいて、マウス４２からマウスコントロール回路４
３を介して位置指定信号が入力されるまで待機する。モ
ニターテレビ４０の画面上には、ＣＣＤカメラ７によっ
て撮影された検査対象が表示され、さらに第５図に示す
ようにマウス移動５１、拡大５２および終了５３のコマ
ンドが表示されるとともに、マウス４２の指示ポイント
を示す矢印５４の画像が表示される。マウス４２をマウ
ス移動５１のコマンドの位置まで移動させ、マウス４２
に設けられているキーを押すと、マウス移動コマンド５
１が指示される。そして、検査対象のうち、モニターテ
レビ４０の画面中央部に表示したい部分をマウスの矢印
５４で指示する。
Ｉにおいて、マウス４２からマウスコントロール回路４
３を介して位置指定信号が入力されるまで待機する。モ
ニターテレビ４０の画面上には、ＣＣＤカメラ７によっ
て撮影された検査対象が表示され、さらに第５図に示す
ようにマウス移動５１、拡大５２および終了５３のコマ
ンドが表示されるとともに、マウス４２の指示ポイント
を示す矢印５４の画像が表示される。マウス４２をマウ
ス移動５１のコマンドの位置まで移動させ、マウス４２
に設けられているキーを押すと、マウス移動コマンド５
１が指示される。そして、検査対象のうち、モニターテ
レビ４０の画面中央部に表示したい部分をマウスの矢印
５４で指示する。
もし、矢印■′に示すように、画面外方向ヘマウス５４
の矢印を引っ張った場合には、その方向へＸＹステージ
３が移動追尾する。その後、ＣＰＵ２１は、ＳＰ２にお
いてマウス４２からマウスコントロール回路４３を介し
て位置指定信号が入力されると、モニターテレビ４０画
面上のマウスの矢印５４で指定された座標（ｘ、 ｙ）
を読込む。
の矢印を引っ張った場合には、その方向へＸＹステージ
３が移動追尾する。その後、ＣＰＵ２１は、ＳＰ２にお
いてマウス４２からマウスコントロール回路４３を介し
て位置指定信号が入力されると、モニターテレビ４０画
面上のマウスの矢印５４で指定された座標（ｘ、 ｙ）
を読込む。
ＣＰＵ２１はＸカウンタ３４およびＹカウンタ２７の計
数値により、ＸＹステージ３の現在位置を判別し、ステ
ップＳＰ３で現在の電動リボルバ５の拡大倍率に基づい
て、画面の中央位置座標（Ｘｏ、Ｙｏ）を演算する。な
お、拡大コマンド５２をマウス４２で指定することによ
って任意の拡大倍率を指定することができる。
数値により、ＸＹステージ３の現在位置を判別し、ステ
ップＳＰ３で現在の電動リボルバ５の拡大倍率に基づい
て、画面の中央位置座標（Ｘｏ、Ｙｏ）を演算する。な
お、拡大コマンド５２をマウス４２で指定することによ
って任意の拡大倍率を指定することができる。
ＣＰＵ２１はステップＳＰ４において、座標（Ｘ、、Ｙ
、）と（Ｘｏ 、 Ｙｏ ）との差により、ＸＹステ
ージ３のＸ方向、Ｙ方向の移動量を計算する。ＣＰＵ２
１はステップＳＰ５において計算したＸ方向、Ｙ方向の
移動量に相当する数のパルス信号をｌ１０２２．２９を
介してＹパルスコントローラ２３およびＸパルスコント
ローラ３０に出力する。Ｙモータドライバ２４はＹパル
スコントローラ２３から与えられるパルスの数だけＹモ
ータ２５を駆動し、Ｘモータドライバ３１はＸパルスコ
ントローラ３０から与えられるパルスの数だけＸモータ
３２を駆動する。
、）と（Ｘｏ 、 Ｙｏ ）との差により、ＸＹステ
ージ３のＸ方向、Ｙ方向の移動量を計算する。ＣＰＵ２
１はステップＳＰ５において計算したＸ方向、Ｙ方向の
移動量に相当する数のパルス信号をｌ１０２２．２９を
介してＹパルスコントローラ２３およびＸパルスコント
ローラ３０に出力する。Ｙモータドライバ２４はＹパル
スコントローラ２３から与えられるパルスの数だけＹモ
ータ２５を駆動し、Ｘモータドライバ３１はＸパルスコ
ントローラ３０から与えられるパルスの数だけＸモータ
３２を駆動する。
ＣＰＵ２１はステップＳＰ６において、マウス４２の指
示位置をモニターテレビ４０の中央に表示させる。ステ
ップＳＰ７において、ＣＰＵ２１はマウス４２で第５図
に示す終了コマンド５３が指示されたか否かを判別し、
終了コマンド５３が指示されていなければステップＳＰ
Ｉに戻り、終了コマンド５３が指示されていれば一連の
処理を終了する。
示位置をモニターテレビ４０の中央に表示させる。ステ
ップＳＰ７において、ＣＰＵ２１はマウス４２で第５図
に示す終了コマンド５３が指示されたか否かを判別し、
終了コマンド５３が指示されていなければステップＳＰ
Ｉに戻り、終了コマンド５３が指示されていれば一連の
処理を終了する。
上述のごとく、この実施例によれば、マウス４２によっ
てモニターテレビ４０の表示画面に表示されている検査
対象の任意の位置を指定することによって、その位置が
モニターテレビ４０の表示画面中央に表示されるように
したので、検査対象の欠陥を容易に検査できる。
てモニターテレビ４０の表示画面に表示されている検査
対象の任意の位置を指定することによって、その位置が
モニターテレビ４０の表示画面中央に表示されるように
したので、検査対象の欠陥を容易に検査できる。
［発明の効果］
以上のように、この発明によれば、検査対象の任意の位
置を指定したことに応じて、その位置が表示手段の中央
となるようにテーブルを移動させ、拡大倍率が指定され
たことに応じて、光学系を指定された倍率に切換えるよ
うにしたので、正確かつ迅速なコントロールができる。
置を指定したことに応じて、その位置が表示手段の中央
となるようにテーブルを移動させ、拡大倍率が指定され
たことに応じて、光学系を指定された倍率に切換えるよ
うにしたので、正確かつ迅速なコントロールができる。
第１図はこの発明の一実施例の外観斜視図である。第２
図は同じく正面図である。第３図はこの発明の一実施例
の概略ブロック図である。第４図はこの発明の一実施例
の具体的な動作を説明するためのフロー図である。、第
５図はこの発明の一実施例によってモニタ画面に表示さ
れる画像の一例を示す図である。 図において、３はＸＹステージ、４はＺ軸テーブル、５
は電動リボルバ、７はＣＣＤカメラ、２１はＣＰＵ、２
２．２９はＩｌｏ、２３はＹパルスコントローラ、２４
はＹモータドライバ、２５はＹモータ、２６はＹエンコ
ーダ、２７はＹカウンタ、３０はＸパルスコントローラ
、３１はＸモータドライバ、３２はＸモータ、３３はＸ
エンコーダ、３４はＸカウンタ、４０はモニターテレビ
、４１はスーパーインポーズ回路、４２はマウス、４３
はマウスコントロール回路を示す。 （ばか２名） 第３ 図 第４ 図
図は同じく正面図である。第３図はこの発明の一実施例
の概略ブロック図である。第４図はこの発明の一実施例
の具体的な動作を説明するためのフロー図である。、第
５図はこの発明の一実施例によってモニタ画面に表示さ
れる画像の一例を示す図である。 図において、３はＸＹステージ、４はＺ軸テーブル、５
は電動リボルバ、７はＣＣＤカメラ、２１はＣＰＵ、２
２．２９はＩｌｏ、２３はＹパルスコントローラ、２４
はＹモータドライバ、２５はＹモータ、２６はＹエンコ
ーダ、２７はＹカウンタ、３０はＸパルスコントローラ
、３１はＸモータドライバ、３２はＸモータ、３３はＸ
エンコーダ、３４はＸカウンタ、４０はモニターテレビ
、４１はスーパーインポーズ回路、４２はマウス、４３
はマウスコントロール回路を示す。 （ばか２名） 第３ 図 第４ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 その上に検査対象が載置され、平面上を移動可能なテ
ーブルと、 倍率が可変にされ、前記検査対象の画像を取込むための
光学系と、 前記光学系によって取込まれた画像を撮像するための撮
像手段と、 前記撮像手段によって撮像された画像を表示するための
表示手段と、 前記表示手段の表示面で前記検査対象の任意の位置を指
定するとともに拡大倍率を指定するための指定手段と、 前記指定手段によって前記検査対象の任意の位置が指定
されたことに応じて、その位置が前記表示手段の中央と
なるように前記テーブルを移動させ、前記指定手段によ
って拡大倍率が指定されたことに応じて、前記光学系を
指定された倍率に切換えるための制御手段を備えた、Ｘ
Ｙステージのコントロール回路。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2173361A JPH0461356A (ja) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | Ｘｙステージのコントロール回路 |
| DE69112272T DE69112272T2 (de) | 1990-05-21 | 1991-05-16 | Verfahren und Gerät zur Laserbearbeitung. |
| US07/700,819 US5171963A (en) | 1990-05-21 | 1991-05-16 | Laser processing device and laser processing method |
| EP91107982A EP0458199B1 (en) | 1990-05-21 | 1991-05-16 | Laser processing device and laser processing method |
| KR1019910008105A KR930008664B1 (ko) | 1990-05-21 | 1991-05-18 | 레이저 가공 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2173361A JPH0461356A (ja) | 1990-06-29 | 1990-06-29 | Ｘｙステージのコントロール回路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0461356A true JPH0461356A (ja) | 1992-02-27 |
Family
ID=15958980
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2173361A Pending JPH0461356A (ja) | 1990-05-21 | 1990-06-29 | Ｘｙステージのコントロール回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0461356A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001281170A (ja) * | 2000-03-29 | 2001-10-10 | Nagoya Electric Works Co Ltd | 視野移動方法 |
| JP2002231621A (ja) * | 2001-11-19 | 2002-08-16 | Canon Inc | 露光装置およびそのユニットの駆動方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58187909A (ja) * | 1982-04-15 | 1983-11-02 | ク−ルタ−・エレクトロニクス・インコ−ポレ−テツド | 顕微鏡検査方法及び装置 |
| JPS643560A (en) * | 1987-05-29 | 1989-01-09 | Zeiss Carl Fa | Microinjection into cell or suction from individual cell or method and working station sucking all cells from cell incubation |
| JPH01180508A (ja) * | 1988-01-12 | 1989-07-18 | Canon Inc | 変倍顕微鏡 |
-
1990
- 1990-06-29 JP JP2173361A patent/JPH0461356A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58187909A (ja) * | 1982-04-15 | 1983-11-02 | ク−ルタ−・エレクトロニクス・インコ−ポレ−テツド | 顕微鏡検査方法及び装置 |
| JPS643560A (en) * | 1987-05-29 | 1989-01-09 | Zeiss Carl Fa | Microinjection into cell or suction from individual cell or method and working station sucking all cells from cell incubation |
| JPH01180508A (ja) * | 1988-01-12 | 1989-07-18 | Canon Inc | 変倍顕微鏡 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001281170A (ja) * | 2000-03-29 | 2001-10-10 | Nagoya Electric Works Co Ltd | 視野移動方法 |
| JP2002231621A (ja) * | 2001-11-19 | 2002-08-16 | Canon Inc | 露光装置およびそのユニットの駆動方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7477723B2 (en) | X-ray fluoroscope | |
| KR930008664B1 (ko) | 레이저 가공 장치 | |
| JP2925647B2 (ja) | 顕微鏡変倍装置 | |
| US20080079932A1 (en) | Visual inspection apparatus and visual inspection method | |
| JP6844871B2 (ja) | 焦点調節方法およびその装置 | |
| JP2016157400A (ja) | タッチパネルで工作機械の軸制御を行う数値制御装置 | |
| KR20050028847A (ko) | 결함검출기 및 결함검출방법 | |
| JP3672970B2 (ja) | 非接触画像計測システム | |
| JPH0461356A (ja) | Ｘｙステージのコントロール回路 | |
| JP2004257914A (ja) | Ｘ線透視装置 | |
| JP2000275594A (ja) | 基板検査装置 | |
| JP2003114201A (ja) | Ｘ線透視撮影装置 | |
| JP2601727B2 (ja) | 液晶表示パネル検査装置 | |
| JP2000039564A (ja) | 拡大観察装置 | |
| JP2000155268A (ja) | 拡大観察装置 | |
| JP4687853B2 (ja) | Ｘ線透視撮影装置 | |
| JPH08201025A (ja) | 非接触座標寸法測定機 | |
| JP6150504B2 (ja) | イメージングシステム | |
| JP4433182B2 (ja) | Ｘ線透視装置 | |
| JP4158027B2 (ja) | Ｘ線透視検査装置 | |
| JPH11201738A (ja) | ワーク画像の表示倍率変更方法及び画像測定装置 | |
| JPH09127426A (ja) | 拡大観察装置における駆動指令装置 | |
| JPH05127087A (ja) | 顕微鏡システム | |
| JPH063600A (ja) | 巨視的映像機能を備えた顕微鏡システム | |
| JPH11295610A (ja) | 操作装置及び検査装置 |