JPH09127426A - 拡大観察装置における駆動指令装置 - Google Patents

拡大観察装置における駆動指令装置

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JPH09127426A
JPH09127426A JP7283528A JP28352895A JPH09127426A JP H09127426 A JPH09127426 A JP H09127426A JP 7283528 A JP7283528 A JP 7283528A JP 28352895 A JP28352895 A JP 28352895A JP H09127426 A JPH09127426 A JP H09127426A
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JP
Japan
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magnification
stage
moving speed
switching
image
Prior art date
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Pending
Application number
JP7283528A
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English (en)
Inventor
Hidemitsu Nakakawara
英満 中河原
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Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 拡大観察装置の倍率を変更しても作業者の
追加操作無しで画面上の拡大像移動速度を略一定に保
ち、より操作性の良い駆動指令装置を提供すること。 【解決手段】 倍率切り換え信号に基づいてなされる倍
率切り換えに連動して「駆動指令装置の操作量−載物台
移動速度」の変換関数が切り換えられる構成とした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、拡大観察機能を有
する装置、特には投影機、顕微鏡、画像測定機などの載
物台を操作する、ジョイスティック装置などの駆動指令
装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】この種の拡大観察種装置においては、被
検物の精粗に応じ適当な拡大倍率を選択する倍率切替え
装置と、載物台を操作するジョイスティック装置の同一
操作量に対する載物台の移動速度を選択的に切り換える
速度切り換え装置とが独立して設けられ、選択された倍
率に対し適当な載物台移動速度になるよう、作業者が速
度切り換え装置を適宜切り換えて使用していた。
【0003】拡大観察装置においては、被検物の所望箇
所を視野に入れたり、拡大像の所望箇所を画面上に設け
た十字線などの特定位置に合致させる、画面上作業が行
われる。ここで(拡大像の画面上の移動速度)=(載物
台の移動速度)×(拡大倍率)の関係があるので、拡大
倍率を変更した場合、変更前と同様のジョイスティック
操作をすると作業者の意図通りに拡大像が移動せず、前
述の作業が困難である。そこで、速度切り換え装置の操
作により、ジョイスティック操作量に対する載物台の移
動速度を変更し、倍率変更前と同等程度の操作性が得ら
れるように調整していた。即ち、載物台の移動速度を拡
大倍率に応じて、例えば拡大倍率に反比例するように変
更することにより、ジョイスティック操作による画面上
作業の操作性を確保していた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来装置においては、
この速度切り換え作業は倍率切り換え作業とは独立した
手順として行われるため、作業者は倍率切り換え作業の
後、速度切り換えの要否を判断し、必要であれば切り換
えると言う作業を要していた。このため、被検物像の観
察に集中している作業者の意識が中断させられ、本来作
業の妨げとなっていた。
【0005】本発明はこの様な従来技術の問題点を解決
せんとするものであり、その目的とするところは、より
操作性の良い駆動指令装置を提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】前記問題点を解決するた
めに本発明では、被検物を載置して水平面内で移動する
載物台と、前記載物台の移動を指示する駆動指令手段
と、前記被検物を拡大観察する観察手段と、前記観察手
段による拡大倍率を切り換える切り換え手段とを備えた
拡大観察装置の駆動指令装置に、前記倍率切り換え手段
による倍率切り換えに連動して、前記駆動指令手段の操
作量と載物台移動速度との関係を切り換える手段を設け
た(請求項1)。
【0007】そして、前記装置において、前記駆動指令
手段による指令は載物台移動量とすることができる(請
求項2)。
【0008】
【発明の実施の形態】以下、本発明を画像測定機に適用
した実施形態を説明する。図1は本発明を適用した画像
測定機の機能ブロック図である。1は被検物を載置する
載物台でモータ1aによって水平面内で十字動方向に駆
動される。2は拡大観察部で、投影光学系3による被検
物の拡大像が内蔵されたCCDカメラ2a上に結像す
る。投影光学系3はズーム光学系として構成され、モー
タ3aによってズーム光学系の一部が駆動され、拡大倍
率が2倍又は4倍に切り換えられる。CCDカメラ2a
によるTV画像はモニタ5に写し出される。
【0009】6は載物台1の移動を指示するジョイステ
ィック装置(駆動指令装置)である。ジョイスティック
装置6からジョイスティック操作量に応じた指令値がコ
ントローラ7に送られ、コントローラ7の内部に記憶さ
れた変換関数(詳細は後述する)に従って載物台1の移
動速度指令に変換される。コントローラ7は、前記移動
速度指令によって載物台1のモーター1aを駆動する。
コントローラ7には変換関数が複数記憶されていて、倍
率切り換え指令器8への入力操作に基づいてホストコン
ピュータ4がそれを選択し使用する。図2(a)、図2
(b)は変換関数のグラフである。図2(a)は低倍
(2X)用で、ジョイスティック倒れ角20度、40度
に対する移動速度指令は夫々10mm/sec、20mm/secで
ある。また、図2(b)は高倍(4X)用で、ジョイス
ティック倒れ角20度、40度に対する移動速度指令は
夫々5mm/sec、10mm/secである。図3は前記変換関数
が選択使用される概念の説明図である。ジョイスティッ
ク操作量の入力先を切り換えるスイッチは、図1の倍率
切り換え指令器8に入力された倍率切り換え指令に基づ
いたホストコンピュータ4の指令によって切り換えられ
る。
【0010】図4は、上記処理を行うホストコンピュー
タの処理の流れを示した図である。測定機の電源を投入
するとプログラムが起動し処理を開始する。(ステップ
1)ついで、ステップ2では、電源投入時のズームレン
ズの倍率に対応した速度変換関数を選択し記憶するな
ど、制御に必要な各種の初期値がプログラムにセットさ
れる。これで測定が可能となり、倍率切り換え指令器8
から倍率切り換え信号が入力されるまで待機する。倍率
切り換え指令器8から倍率切り換え信号が入力されると
ステップ3に進む。ステップ3ではズームレンズを作動
させるモーター3aに倍率変更が指示され、ステップ4
に進む。ステップ4では、変更された倍率に対して予め
定められた速度変換関数が選択され、選択された速度変
換関数に切り換えられる。そして、ステップ5で処理を
終了する。
【0011】以上のような構成なので、倍率切り換え指
令器8を操作し拡大倍率を2倍から4倍に切り換える指
示をすると、ホストコンピュータ4が指令を発し、投影
光学系3のズーム光学系を作動させて倍率を切り換える
と同時に、使用する速度変換関数を図2(a)から図2
(b)に切り換える。その結果、拡大倍率が2倍になる
が載物台の移動速度が1/2になるので、画面上の像移
動速度は倍率変更の前後で変化せず、同じ作業性が維持
される。
【0012】なお、倍率切り換え前後の像移動速度は、
作業性を損なわない範囲であればある程度の変動が許容
されるので、載物台移動速度は選択可能な全ての倍率に
対応させなくとも良く、更に、必ずしも倍率比に正確に
対応させる必要も無い。また、手動操作用速度切り替え
スイッチも設け、自動的に選択された以外の速度変換関
数を意図的に選べるようにしても良い。このような意図
的な選択は、高倍率時の観察箇所サーチなど、粗送りし
たい場合に有効である。
【0013】上記実施形態では、駆動指令装置がジョイ
スティック装置である場合を説明したが駆動指令装置は
ジョイスティック装置に限定されず、トラックボール装
置など、各種操作装置とすることができる。また、本発
明の応用形として載物台移動速度の代わりに載物台移動
量を変化させることも可能であり、微動装置に適用する
と有効である。
【0014】
【発明の効果】以上説明した如く本発明によれば、倍率
変更に伴う載物台移動速度切り換えが作業者の介在無く
行なわれるので、作業者は本来行ないたい倍率変更指示
のみを行えば良く、それ以外のことを意識する必要が無
いので画面上の被検物像に集中できると言う利点があ
り、操作性、作業効率が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】測定機の機能ブロック図
【図2】ジョイスティック操作量と速度指令の関係を示
す図
【図3】速度指令関数の切り換えの概念図
【図4】ホストコンピュータの処理の流れ
【符号の説明】
1 載物台 2 拡大観察部 2a CCDカメラ 3 投影光学系(ズーム光学系) 1a、3a モータ 4 ホストコンピュータ 5 モニタ 6 ジョイスティック 7 コントローラ 8 倍率切り換え指令器

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被検物を載置して水平面内で移動する載
    物台と、前記載物台の移動を指示する駆動指令手段と、
    前記被検物を拡大観察する観察手段と、前記観察手段に
    よる拡大倍率を切り換える切り換え手段とを備えた拡大
    観察装置の駆動指令装置において、 前記倍率切り換え手段による倍率切り換えに連動して、
    前記駆動指令手段の操作量と載物台移動速度との関係を
    切り換える手段を有することを特徴とする、拡大観察装
    置における駆動指令装置。
  2. 【請求項2】 前記駆動指令手段による指令が載物台移
    動量である、請求項1記載の駆動指令装置。
JP7283528A 1995-10-31 1995-10-31 拡大観察装置における駆動指令装置 Pending JPH09127426A (ja)

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JP7283528A JPH09127426A (ja) 1995-10-31 1995-10-31 拡大観察装置における駆動指令装置

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JPH09127426A true JPH09127426A (ja) 1997-05-16

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ID=17666709

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JP (1) JPH09127426A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005266083A (ja) * 2004-03-17 2005-09-29 Olympus Corp 観察装置及び観察方法
US7106300B2 (en) 2002-07-12 2006-09-12 Mitutoyo Corporation Method for converting joystick deflection into motion in a computer vision system

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US7106300B2 (en) 2002-07-12 2006-09-12 Mitutoyo Corporation Method for converting joystick deflection into motion in a computer vision system
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20040810

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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20050222