JP2005266083A - 観察装置及び観察方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 倍率の異なる複数の対物レンズ25を装着したレボルバ5と、レボルバ5を動作させて観察光路内に挿入する対物レンズ25を切り換える対物レンズ切換手段27と、観察光路内に挿入された対物レンズ25に対向して設けられ、基板Sを載置する載置ステージ9と、観察光路内に挿入された対物レンズ25の倍率を検出する対物レンズ検出手段31と、観察光路の光軸L1方向及び光軸L1の直交方向に対物レンズ25と載置ステージ9とを相対的に移動させる移動手段11,13,15と、対物レンズ検出手段31が高倍率の対物レンズ25を検出した際に、直交方向に関して移動手段13,15による対物レンズ25と載置ステージ9との相対移動を規制する移動制御手段33とを備える観察装置1を提供する。
【選択図】 図1
Description
この検査装置には、倍率が異なる複数の対物レンズが設けられている。半導体ウエハの表面に形成された回路パターンを拡大観察する際には、任意の対物レンズを観察光路内に挿入し、半導体ウエハの表面の観察位置に対向させて配する。ここで、対物レンズの焦点距離は、対物レンズの倍率が高くなる程小さくなるため、高倍率の対物レンズを使用する際には、対物レンズと半導体ウエハとの隙間が小さくなる。すなわち、例えば、光源に紫外線を用いて高倍率、高分解能の拡大観察を行う場合には、紫外線用の対物レンズを使用するが、この対物レンズのワーキングディスタンス(WD、作動距離)は0.2〜0.3mmである。なお、半導体ウエハ表面の拡大観察位置を変更する場合には、対物レンズを半導体ウエハの表面に沿う方向に移動させる。
そこで、従来の検査装置としては、対物レンズと半導体ウエハとの接触を回避するために、対物レンズから半導体ウエハまでの距離を測定する距離センサ等を各対物レンズ設けて、対物レンズと半導体ウエハとの隙間を一定に保持するものがある(例えば、特許文献1参照。)。
また、従来の検査装置には、半導体ウエハを載置する載置ステージとして半導体ウエハの裏面全体を真空吸着させる全面吸着プレートを使用し、この吸着力により半導体ウエハの反りや撓みを矯正するように構成したものもある。
この発明は上述した事情に鑑みてなされたものであって、対物レンズと半導体ウエハとの接触を回避できると共に、製造コストの削減を図ることができる検査装置及び検査方法を提供することを目的としている。
請求項1に係る発明は、対物レンズを用いて基板の表面を拡大して観察を行う観察装置であって、倍率の異なる複数の対物レンズを装着したレボルバと、前記レボルバを動作させて観察光路内に挿入する前記対物レンズを切り換える対物レンズ切換手段と、前記観察光路内に挿入された前記対物レンズに対向して設けられ、前記基板の表面が前記観察光路の光軸に略直交するように前記基板を載置する載置ステージと、前記観察光路内に挿入された前記対物レンズの倍率を検出する対物レンズ検出手段と、前記観察光路の光軸方向及び該光軸の直交方向に前記対物レンズと前記載置ステージとを相対的に移動させる移動手段と、前記レンズ検出手段が所定倍率よりも高い倍率の対物レンズを検出した際に、前記直交方向に関して前記移動手段による前記対物レンズと前記載置ステージとの相対移動を規制する移動制御手段とを備えることを特徴とする観察装置を提供する。
さらに、本発明の観察装置によれば、移動制御手段が移動手段による対物レンズと載置ステージとの相対的な移動を禁止する場合には、高い倍率の対物レンズを選択して基板の拡大観察を行う際に、対物レンズと基板との接触を確実に防止できる。
なお、レボルバ部5及びフィルターユニット7を順次通過した可視光線や紫外線は、半導体ウエハSの表面Saを観察する領域の画像を取得するCCDカメラや、この観察領域を視認する接眼レンズ等の観察部(図示せず)に入射される。
吸着プレート9は、その表面9aに半導体ウエハSを載置した状態において、半導体ウエハSの表面が光軸L1に略直交するように、真空吸着により保持するものである。半導体ウエハSに接触する吸着プレート9の表面9aは、半導体ウエハSの表面Saよりも小さく形成されており、半導体ウエハSの裏面Sbの一部のみを吸着保持している。
Zステージ11は、レボルバ部5に装着された対物レンズ25と半導体ウエハSとの距離を変化させて、拡大観察する半導体ウエハSの表面Saの位置を対物レンズ25の焦点位置に合わせる役割を果たしている。なお、ここでは図示していないが、検査装置1はオートフォーカス(AF)機構を備えており、このAF機構によりZステージ11の動作を制御して前述の焦点位置を検出している。
Xステージ13及びYステージ15は、観察光路内に配される半導体ウエハSの表面Saの位置を変更する、すなわち、半導体ウエハSの表面Saの拡大観察領域の位置を変更する役割を果たしている。また、これらXステージ13及びYステージ15は、速い速度の高速モード及び、高速モードよりも遅い速度の低速モードからなる2種類の移動速度で吸着プレート9を移動させるように構成されている。特に、高速モードは、半導体ウエハS上の1つの回路パターンから別の回路パターンに移動して観察する際に用いられ、低速モードは、1つの回路パターン内において移動して観察する際に用いられる。
前述のフィルターキューブとしては、例えば、光源が紫外線である場合に使用する紫外光観察キューブがある。また、光源として可視光線を使用する観察方法には、例えば、明視野観察、暗視野観察、微分干渉観察があり、これら各観察方法に応じたフィルターキューブとして、明視野キューブ、暗視野キューブ、微分干渉キューブがある。
このフィルターユニット7には、キューブ検出手段21が接続されており、観察光路中に配されているフィルターキューブの種類を検出するようになっている。
このレボルバ部5には、図1に示すように、対物レンズ検出手段31が接続されており、どの取付部29a〜29fが観察光路内に配されているかを検出するように構成されている。そして、この対物レンズ検出手段31は、上述の検出結果とメモリ部に記憶されたデータとに基づいて、観察光路内に挿入された対物レンズ25の倍率・種類を検出するように構成されている。
モニタ37は、半導体ウエハSに関する各種情報を表示するものである。すなわち、モニタ37の画面上には、図3に示すように、前述したCCDカメラにおいて取得した半導体ウエハSの観察領域の画像を表示するメイン画面37bと、メイン画面37bがどの回路パターンを表示しているかを表示するウエハマップ37dと、メイン画面37bが回路パターン内のどの位置を表示しているかを表示するショットマップ37eとが表示されている。また、この画面上には、回路単位やステップ単位若しくは連続的に吸着プレート9をX軸方向及びY軸方向に移動させるための8方向移動ボタン37fや、メイン画面37bの倍率、座標等の各種情報表示や、検査結果や倍率、座標を変更するための各種操作ボタンを表示する情報表示領域37gが表示されている。また、8方向移動ボタン37fの操作によって吸着プレート9を移動させる速度モードの切り換えを行うための移動速度モード切換ボタン38も表示されている。
キーボードにおいて入力する情報には、観察に使用する光源の切り換え及びフィルターキューブの切り換え、観察光路内に挿入する対物レンズ25の切り換え等の切換情報がある。したがって、例えば、フィルターキューブの切換情報を入力した際には、この切換情報及びキューブ検出手段21からの検出結果に基づいてキューブ切換手段19が観察光路に配するフィルターキューブを変更する。また、例えば、対物レンズ25の切り換え情報を入力した際には、この切換情報及び対物レンズ検出手段31からの検出結果に基づいてレボルバ駆動手段27が観察光路内に挿入する対物レンズ25を切り換える。
また、キーボードにより光源又はフィルターキューブのいずれか一方の切換情報を入力した際には、この切換情報の内容に合致するように、光源、フィルターキューブ、対物レンズ25の他の切り換えが連動して行われる。すなわち、例えば、観察に使用する光源を可視光線から紫外線に切り換える情報を入力した際には、この切り換えと同時に、紫外光観察用キューブが観察光路内に配され、紫外光対物レンズ25fが挿入される。
移動範囲の限定とは、観察光路内に挿入する対物レンズを紫外光対物レンズ25fに切り換えた際にモニタ37の画面に表示される観察領域37bの中心37cの位置を基準として、操作部39の操作による吸着プレート9の移動範囲を観察領域の約10倍に限定することを示している。また、移動速度の限定とは、ジョグハンドルノブや8方向移動ボタン37fの操作による吸着プレート9の移動を低速モードでの移動のみに限定することを示している、すなわち、キーボードのキー操作や移動速度モード切換ボタン38による2つの速度モードの切り換えができないことを示している。
そして、紫外光対物レンズ25fが観察光路内に挿入された状態においては、制御PC33が、メモリ部41の規制情報に基づいて吸着プレート9の移動を規制する移動制御手段として機能する。
また、この検査装置1においては、観察光路内に挿入する対物レンズ25の切り換えを行った後に、対物レンズ25と半導体ウエハSの表面Saとの隙間が挿入した対物レンズ25のWD(作動距離)に等しくなるように、Zステージ11により吸着プレート9を光軸L1方向に移動させるオートフォーカス(AF)動作を行うようになっている。
なお、具体的なAF動作は、可視光対物レンズ25a〜25eを用いる場合と紫外光対物レンズ25fを用いる場合とで異なる。すなわち、可視光対物レンズ25a〜25eを用いる場合のピント合わせは、周知のナイフエッジ法などで自動的に行う。
また、紫外光対物レンズ25fのWDは予め分かっている。このため、紫外光対物レンズを用いる場合のピント合わせは、予め可視光対物レンズ25a〜25eを用いて合焦させた後に、この合焦位置を基準として、紫外光対物レンズ25fと半導体ウエハSの表面Saとの隙間が紫外光対物レンズ25fのWDと等しくなるように、吸着プレート9を自動的に移動させて行う。
半導体ウエハSの表面Saに存在する欠陥の拡大観察を行う際には、はじめに、観察する半導体ウエハSを吸着プレート9に載置し、半導体ウエハSの裏面Sbを吸着プレート9に吸着させる。次いで、図4に示すように、操作部39において所定の対物レンズ25に切り換える指示を入力する(ステップS1)。この際には、レボルバ駆動手段27がレボルバ本体23を回転させて、所定の対物レンズ25を観察光路内に挿入する。そして、制御PC33は、対物レンズ検出手段31の検出結果に基づいて所定の対物レンズ25の種類を認識し、所定の対物レンズ25が紫外光対物レンズ25fであるか否かを判別する(ステップS2)。
このステップS8における吸着プレート9の移動は、前述の規制情報に基づいて規制される。すなわち、ジョイスティックや8方向移動ボタン37fの操作による吸着プレート9の移動が、低速モードでの移動のみに限定される。また、ジョグハンドルノブ及びマウスの操作による吸着プレート9の移動範囲が、観察領域の約10倍に限定され、スキャン動作も禁止される。
なお、ステップS5及びステップS8における吸着プレート9の移動は、ステップS1の情報入力を再度行うまで、若しくは、半導体ウエハSの欠陥の観察を終了する(ステップS9)まで行うことができる。
また、紫外光対物レンズ25fと半導体ウエハSとの接触を防止するために、紫外光対物レンズ25fと半導体ウエハSとの距離を測定する距離センサや、半導体ウエハSの反り・撓みを矯正する全面吸着プレート等を新たに設ける必要が無いため、検査装置1の製造コストの削減を図ることができる。
また、吸着プレート9の移動規制は、紫外光対物レンズ25fが観察光路内に配された場合に限ることはなく、少なくとも半導体ウエハSの反りや撓みの大きさよりも小さなWD(作動距離)の対物レンズを選択した場合に行われればよい。すなわち、例えば、半導体ウエハSの反りや撓みが最高倍率の可視光対物レンズ25eのWD(作動距離)よりも大きい場合には、紫外光対物レンズ25fに加えてWDが短く、干渉の虞のあるの可視光対物レンズ25eを選択した際にも、吸着プレート9の移動規制が行われることが好ましい。
また、試料ステージ部3が吸着プレート9をZ軸方向に移動させるZステージ11を備えるとしたが、これに限ることはなく、少なくともZ軸方向に関して対物レンズ25と吸着プレート9との相対的な移動が可能であればよい。すなわち、試料ステージ部3にZステージ11を設けずに、例えば、図5に示すように、レボルバ部5を光軸L1方向に移動させるZステージ12を設けるとしても構わない。この構成においては、レボルバ部5の光軸L1方向の位置情報やレボルバ部5を移動させる情報等、Zステージ12と制御PC33との間でやりとりされる各種情報の伝達がCPU制御手段を介して行われる。
9 吸着プレート(載置ステージ)
11,12 Zステージ(移動手段)
13 Xステージ(移動手段)
15 Yステージ(移動手段)
23 レボルバ本体
25 対物レンズ
27 レボルバ駆動手段(対物レンズ切換手段)
31 対物レンズ検出手段
33 制御PC(移動制御手段)
S 半導体ウエハ(基板)
Sa 表面
Claims (5)
- 対物レンズを用いて基板の表面を拡大して観察を行う観察装置であって、
倍率の異なる複数の対物レンズを装着したレボルバと、
前記レボルバを動作させて観察光路内に挿入する前記対物レンズを切り換える対物レンズ切換手段と、
前記観察光路内に挿入された前記対物レンズに対向して設けられ、前記基板の表面が前記観察光路の光軸に略直交するように前記基板を載置する載置ステージと、
前記観察光路内に挿入された前記対物レンズの倍率を検出する対物レンズ検出手段と、
前記観察光路の光軸方向及び該光軸の直交方向に前記対物レンズと前記載置ステージとを相対的に移動させる移動手段と、
前記レンズ検出手段が所定倍率よりも高い倍率の対物レンズを検出した際に、前記直交方向に関して前記移動手段による前記対物レンズと前記載置ステージとの相対移動を規制する移動制御手段とを備えることを特徴とする観察装置。 - 前記移動制御手段が、前記対物レンズと前記載置ステージとの相対的な移動範囲を限定することを特徴とする請求項1に記載の観察装置。
- 前記移動制御手段が、前記対物レンズと前記載置ステージとの相対的な移動速度を所定の速度よりも遅い速度に限定することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の観察装置。
- 前記移動制御手段が、前記対物レンズと前記載置ステージとの相対的な移動を禁止することを特徴とする請求項1に記載の観察装置。
- 倍率の異なる複数の対物レンズを適宜選択して基板の表面の拡大観察を行う基板の観察方法であって、
前記基板の表面を前記対物レンズの焦点位置に配するように、前記基板の表面に略直交する前記対物レンズの光軸方向に前記対物レンズと前記基板とを相対的に移動させるピント合わせ工程と、
前記光軸の直交方向に前記対物レンズと前記基板とを相対的に移動させて、前記基板表面の拡大観察位置を変更する観察位置移動工程とを備え、
所定倍率よりも高い倍率の前記対物レンズを用いて前記基板の拡大観察を行う際に、前記観察位置移動工程における前記対物レンズと前記基板との相対的な移動を規制することを特徴とする基板の観察方法。
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