KR100837729B1 - Ｌｃｄ 검사장비의 스테이지 정밀이동장치 - Google Patents

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이병상
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서울엔지니어링(주)
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Abstract

본 발명은 LCD(Liquid Crystal Display) 패널이나 반도체 웨이퍼 등의 불량이나 결함을 검사하는 검사장비에서 스테이지의 위치를 정밀하게 세팅할 수 있는 스테이지 정밀이동장치에 관한 것이다.
본 발명은 LCD 또는 반도체 웨이퍼 검사시 검사대상을 포함하는 스테이지의 이동단위를 세분화하여 검사대상을 정교하게 위치 이동시킬 수 있는 새로운 형태의 정밀이동수단을 구현함으로써, 검사대상을 보다 정교하게 세팅할 수 있는 것은 물론 세팅에 요구되는 시간도 줄일 수 있는 등 검사작업의 효율성을 향상시킬 수 있는 LCD 검사장비의 스테이지 정밀이동장치를 제공한다.
LCD 패널, 반도체 웨이퍼, 검사장비, 스테이지, 정밀이동장치

Description

ＬＣＤ 검사장비의 스테이지 정밀이동장치{Stage precision liner motion device for LCD inspection equipment}
본 발명은 LCD 검사장비의 스테이지 정밀이동장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 LCD(Liquid Crystal Display) 패널이나 반도체 웨이퍼 등의 불량이나 결함을 검사하는 검사장비에서 스테이지의 위치를 정밀하게 세팅할 수 있는 스테이지 정밀이동장치에 관한 것이다.
일반적으로 액정디스플레이(Liquid Crystal Display)라 함은 2개의 얇은 유리판 사이에 고체와 액체의 중간물질인 액정을 주입하여 상하 유리판위 전극의 전압차로 액정분자의 배열을 변화시킴으로써, 명암을 발생시켜 숫자나 영상을 표시하는 일종의 광스위치 현상을 이용한 소자이다.
최근에는 각종 정보전달매체의 소형화, 경량화의 경향과 함께 LCD가 경량, 저전압 구동, 풀 칼라 표현, 박형 등의 특징으로 인해 용용범위가 기하급수적으로 확대되어 전자계산기, 노트북컴퓨터, 개인휴대 단말기, 텔레비젼 등의 대형, 고화 소 표시분야 등에 널리 사용되고 있는 추세이다.
이러한 LCD는 제품에 장착하기 전에 별도의 LCD 검사장비를 이용하여 LCD의 패턴 및 화소전극의 결함, 표면의 이물검사 등을 수행하고 있고, 이를 통해 불량여부를 판단하는 공정은 LCD의 제작공정에서 필수적으로 시행되고 있다.
예를 들면, 액정 패널이 완성되면 최종적인 검사 작업이 이루어지게 된다.
최종 검사과정에서는 완성된 액정패널의 화면에 테스트(Test) 패턴을 띄우고, 불량 화소의 유무를 탐지하여 불량화소가 발견되었을 때 이에 대한 리페어 작업을 행하게 된다.
액정패널의 불량에는 화소셀 별 색상 불량, 휘점(항상 켜져 있는 셀), 암점(항상 꺼져 있는 셀)등의 점 결합과, 인접한 데이터 라인간의 단락(short)으로 인해 발생하는 선 결함 등이 있다.
TFT 어레이 공정이 끝난 후에는 기판 상에 형성되어 있는 어레이 배선들의 단락과 쇼트 및 화소 불량을 검사하기 위한 공정이 진행된다.
검사에 의하여 어레이 기판 상에 불량이 발견되면, 발견된 불량의 위치 등의 데이터가 파일로 저장되고, 이를 검사자가 현미경을 통하여 직접 검사를 하여 리페어 여부를 판단하게 된다.
LCD의 검사방법으로는 여러 방향에서 빛을 조사하여 반사광 또는 투과광의 광학적 변화를 육안으로 관찰하는 매크로(macro) 검사, 또는 현미경 등의 광학보조기구를 이용하는 마이크로(micro) 검사로 구분될 수 있는데, 검사의 정확도가 뛰어난 현미경을 포함하는 검사장비가 주로 사용되고 있다.
여기서, 매크로 검사는 작업자의 육안에 의한 검사로서, 글라스 전체에 대하여 얼룩이나 이물질의 부착상태를 검사는 과정이고, 마이크로 검사는 매크로 검사에서 발견된 국소 부위를 마이크로 검사기(현미경, 카메라, 영상분석 프로그램 등)를 이용하여 약 25∼100배 확대한 상태에서 불량상태를 세밀하게 검사하는 과정으로서, 마이크로 검사를 위한 국소 부위는 매크로 검사를 통하여 결정되는 것이다.
LCD 검사장비는, 도 1에 도시한 바와 같이, LCD가 놓여지는 스테이지(10), 현미경(11), 제어부/조작부(12), 테이블(13) 등을 기본 구성으로 갖추고 있으며, LCD가 스테이지에 올려지면 스테이지는 테이블상의 리니어 모션이나 마이크로 스텝에 의해 X축 및 Y축 방향으로 이동하여 현미경이 위치한 곳에 도착함으로써, 사용자는 현미경을 조절하여 LCD를 검사할 수 있게 된다.
이때, 현미경은 광범위한 영역의 검사가 가능하도록 X축 및 Y축 방향으로 이동할 수 있게 된다.
이와 같은 LCD 검사장비는 스테이지의 위치 이동을 통해 LCD의 각 영역을 검사하는 방식으로 이루어져 있으며, 작업자가 스테이지를 직접 수동으로 움직여가면서 스테이지를 정위치에 세팅하거나, LCD 각 검사 영역에 해당하는 위치만큼 스테이지를 움직여가면서 검사를 수행하게 된다.
그러나, 검사대상, 예를 들면 LCD의 위치를 변환하고자 할 때, 수동으로 스테이지를 직접 잡고 움직여줌에 따라 그 위치를 정교하게 세팅하는 것이 어려웠고, 수차례 반복해서 위치를 조절한 후에야 정위치를 잡을 수 있는 등 시간적으로나 작업성 측면에서 효율이 떨어지는 단점이 있다.
즉, 광학 또는 전자현미경을 이용한 검사단계의 경우 정교한 움직임이 요구되나, 종래의 수동조작으로는 원하는 위치에 검사대상을 정교하게 세팅하는 것이 어려웠다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 점을 감안하여 안출한 것으로서, LCD 또는 반도체 웨이퍼 검사시 검사대상을 포함하는 스테이지의 이동단위를 세분화하여 검사대상을 정교하게 위치 이동시킬 수 있는 새로운 형태의 정밀이동수단을 구현함으로써, 검사대상을 보다 정교하게 세팅할 수 있는 것은 물론 세팅에 요구되는 시간도 줄일 수 있는 등 검사작업의 효율성을 향상시킬 수 있는 LCD 검사장비의 스테이지 정밀이동장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 스테이지 정밀이동장치는 LCD가 놓여지는 스테이지, 현미경, 제어부/조작부, 테이블 등을 포함하는 LCD 검사장비에서 스테이지의 저면부에 설치되는 하우징의 아래쪽에는 수동조작이 가능한 포커스 노브 및 포커스 샤프트가 설치되고, 상기 하우징의 윗쪽에는 포커스 샤프트측과 전동가능한 구동 샤프트가 설치되는 동시에 이 구동 샤프트는 외부 버튼으로 조작가능한 클러치를 매개로 하여 스테이지 이동을 위한 스테이지 샤프트측 과 연결되어, 클러치 ON/OFF에 따라 선택적으로 포커스 노브 조절을 통해 스테이지 샤프트를 구동시킬 수 있도록 된 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 포커스 노브는 정교한 움직임을 위한 파인 무빙 노브(Fine moving knob)와 빠른 움직임을 위한 패스트 무빙 노브(Fast moving knob)의 이중 노브 형태로 이루어질 수 있다.
또한, 상기 포커스 샤프트와 구동 샤프트 간의 동력전달은 중간의 아이들 샤프트 및 아이들 기어를 매개로 하여 맞물려 돌아가는 포커스 샤프트측의 포커스 기어와 구동 샤프트측의 구동 기어 간의 전동에 의해 이루어질 수 있다.
이에 따라, 검사대상의 세팅을 위한 스테이지 이동시 포커스 노브의 정교한 조작을 통해 이동단위를 세분화시킬 수 있고, 결국 검사대상의 위치를 빠르고 정확하게 세팅하는 것이 가능하다.
위와 같이 이중노브 형태의 포커스 노브, 클러치 등을 포함하는 정밀이동장치를 이용하여 검사대상이 놓여져 있는 스테이지의 이동단위를 세분화시킬 수 있도록 함으로써, 검사대상을 정교하게 세팅할 수 있고, 세팅시 소요되는 시간도 줄일 수 있는 등 검사작업의 효율성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 스테이지 정밀이 동장치를 상세히 설명하면 다음과 같다.
상기 스테이지 정밀이동장치가 구비되는 LCD 검사장비는 스테이지(10), 현미경(11), 제어부/조작부(12), 테이블(13) 등을 포함하고 있으며, LCD가 놓여지는 스테이지를 리니어 모션 등을 이용하여 X축 및 Y축 방향으로 이동시킴과 동시에 현미경을 조절하면서 LCD 등을 검사하는 작동 메카니즘을 갖는다.
이러한 LCD 검사장비에서 스테이지 정밀이동장치는 스테이지(10)의 저면부에 설치되며, 스테이지 이동을 위한 동력을 제공하는 스테이지 샤프트(19)를 선택적으로 수동 조작할 수 있도록 해준다.
이를 위하여, 도 2 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 스테이지(10)의 저면부 일측에는 대략 사각박스 형태로 이루어진 하우징(14)이 설치되고, 상기 하우징(14)의 아래쪽으로는 외부로 노출되는 형태의 포커스 노브(Focus knob;15)가 양편에서 서로 마주보는 상태로 설치되며, 이때의 포커스 노브(15)는 하우징(14)의 내부를 수평으로 가로질러 설치되는 중공의 샤프트 하우징(24)의 양단측상에 회전가능한 구조로 지지된다.
이렇게 설치되는 양쪽의 포커스 노브(15)는 샤프트 하우징(24) 내에 동심원상으로 배치되는 포커스 샤프트(16)로 연결되어 있으며, 어느 한쪽의 포커스 노브(15)를 조작하는 것으로 포커스 샤프트(16)를 회전시킬 수 있다.
상기 포커스 노브(15)는 이중 노브 형태, 즉 정교한 움직임을 위한 파인 무빙 노브(15a)와 빠른 움직임을 위한 패스트 무빙 노브(15b)의 조합 형태로 이루어져 있으며, 이에 따라 스테이지 이동 조작시 패스트 무빙 노브(15b)을 먼저 조작하 여 스테이지를 빠르게 움직여 세팅위치를 대략적으로 맞춘 다음, 파인 무빙 노브(15a)를 조작하여 스테이지를 미세하게 움직이면서 세팅위치를 정교하게 맞출 수 있다.
여기서, 파인 무빙 노브 및 패스트 무빙 노브와 같은 이중 노브 형태는 전기 전자 기기 등에서 한 곳에 두 개의 노브(볼륨)을 설치하여 장축과 단축에 각각의 노브를 결합시키는 통상의 이중 노브 형태를 적용할 수 있으며, 패스트 무빙 노브로는 포커스 샤프트를 직접 돌려주고 파인 무빙 노브로는 노브 내부에서의 기어조합(미도시)을 통해 포커스 샤프트를 간접적으로 돌려주는 방식 등으로 두 개의 노브의 조작 형태를 달리할 수 있다.
즉, 패스트 무빙 노브로 포커스 샤프트를 직접 돌려주면서 스테이지를 빠르게 이동시킬 수 있고, 파인 무빙 노브로 포커스 샤프트를 간접적으로 돌려주면서(한단계 감속구간을 거쳐) 스테이지를 느리게 이동시킬 수 있다.
또한, 어느 한쪽의 포커스 노브(15)에는 텐션 노브(25)가 일체식으로 조립되며, 이때의 텐션 노브(25)를 조작함에 따라 포커스 노브(15)의 텐션이 조절될 수 있다.
한편, 스테이지(10)를 구동시키기 위한 동력전달축 역할을 하는 스테이지 샤프트(19)는 스테이지(10)의 저부를 따라 나란하게 위치되면서 하우징(14)의 한쪽 벽면을 관통하는 형태로 설치되고, 이렇게 설치되는 스테이지 샤프트(19)의 한쪽 끝, 즉 하우징(14)의 내측으로 위치되는 끝에는 후술하는 구동 샤프트(17)와 클러치(18)를 매개로 하여 설치된다.
이에 따라, 상기 스테이지 샤프트(19)는 구동 샤프트(17)로부터 동력을 전달받아 구동(회전)이 가능하고, 따라서 이때의 스테이지 샤프트 구동에 따라 스테이지(10)가 이동할 수 있다.
여기서, 상기 스테이지 샤프트의 구동에 따라 스테이지 전체가 움직이게 되는 메카니즘은 당해 기술분야에서 통상적으로 알려져 있는 메카니즘이라면 특별히 제한되지 않고 채택될 수 있다.
포커스 노브(15)의 조작력을 스테이지 샤프트(19)측에 전해주는 역할을 하는 수단으로 구동 기어(23)를 가지는 구동 샤프트(17)와 아이들 기어(17)를 가지는 아이들 샤프트(21)가 구비된다.
상기 구동 샤프트(17)와 아이들 샤프트(21)는 서로 위아래 나란하게 배치되면서 하우징(14)의 양쪽 벽면상에 양단이 회전가능한 구조로 지지되고(구동 샤프트의 경우 한쪽은 클러치측에 지지되고), 각자 가지고 있는 구동 기어(23)와 아이들 기어(17)는 서로 맞물려 회전될 수 있는 형태가 된다.
또한, 상기 아이들 샤프트(21)의 아이들 기어(17)는 그 아래쪽에 있는 포커스 샤프트(16)의 포커스 기어(22)와 샤프트 하우징(24)의 절개된 부위를 통해 맞물리게 되고, 이에 따라 포커스 기어(22)→아이들 기어(17)→구동 기어(23)로 이어지는 전동경로가 확보될 수 있다.
다른 실시예로서, 아이들 샤프트 및 아이들 기어를 배제하고, 포커스 샤프트측의 풀리수단과 구동 샤프트측의 풀리수단 사이를 벨트로 걸어 직접 동력을 전달하는 전동 메카니즘을 적용할 수도 있다.
또한, 상기 구동 샤프트(17)와 스테이지 샤프트(19)는 전자식의 클러치(18)로 연결되어 있으며, 외부 버튼의 조작에 따라 클러치(18)가 끊어지거나(OFF) 이어지는(ON) 작동에 의해 구동 샤프트(17)측 동력이 스테이지 샤프트(19)측에 선택적으로 전달될 수 있다.
즉, 클러치 OFF 상태에서는 스테이지 전체를 직접 작업자가 움직일 수 있고, 클러치 ON 상태에서는 포커스 노브를 조작하여 스테이지를 정교하게 움직일 수 있다.
이와 같은 스테이지 정밀이동장치는 스테이지상에 한 세트가 구비되며, 각각의 세트는 서로 90°직교하는 방향으로 설치되어, 스테이지의 X축 방향 이동 및 Y축 방향 이동을 각각 조작할 수 있다.
따라서, 이와 같이 구성된 본 발명의 일 실시예에 따른 스테이지 정밀이동장치의 작동상태를 살펴보면 다음과 같다.
마이크로 검사시 LCD 패널이나 반도체 웨이퍼가 스테이지(10)에 올려진 상태에서 스테이지(10)를 X축 및 Y축 방향으로 이동시켜 현미경이 위치한 곳에 도착시킴으로써, 사용자는 현미경을 조절하여 LCD 패널이나 반도체 웨이퍼를 검사할 수 있다.
먼저, 작업자가 스테이지(10)를 직접 움직이는 형태로 스테이지 위치를 개략적으로 세팅한다.
이때, 클러치(18)는 OFF 상태이다.
다음, 외부 버튼 조작으로 클러치(18)를 ON 상태로 유지하면, 스테이지 정밀 이동장치를 이용하여 스테이지(10)를 정교하게 이동시킬 수 있다.
먼저, 포커스 노브(15)의 패스트 무빙 노브(15b)를 돌리면 포커스 샤프트(16)가 회전하고, 계속해서 포커스 기어(22)→아이들 기어(17)→구동 기어(23)로 동력이 전달되며, 구동 샤프트(17)의 회전력이 스테이지 샤프트(19)로 전해지면서 스테이지(10)가 이동된다.
이때에는 노브의 조작에 비례하여 이송단위가 세분화되므로(스테이지를 직접 움직이는 것이 비해 미세하게 움직이게 되므로), 보다 정교하게 스테이지를 이동시킬 수 있다.
다음, 좀더 스테이지의 위치(검사대상의 위치)를 정교하게 세팅하기 위하여 파인 무빙 노브(15a)를 조작한다.
이때에는 패스트 무빙 노브의 조작시보다 스테이지가 좀더 미세하게 움직이게 되므로, 최종적으로 검사대상의 위치를 정위치에 정확하게 세팅할 수 있다.
즉, 패스트 무빙 노브의 조작을 통해 스테이지를 빠르게 움직여 어느 정도 세팅위치에 도달시킨 다음, 파인 무빙 노브의 조작을 통해 스테이지를 미세하게 움직여 정확한 세팅위치에 도달시킬 수 있다.
이와 같이, 광학 또는 전자현미경을 이용한 검사 단계에 있어서, 정교한 움직임이 요구되는 경우 정교한 움직임을 위한 파인 무빙 노브, 빠른 움직임을 위한 패스트 무빙 노브, 노브의 사용여부를 정하여주는 클러치 및 동력전달을 위한 샤프트 등을 이용하여 세팅작업을 수행함으로써, 검사대상의 이동단위를 세분화할 수 있고, 결국 검사대상을 미세하게 유동시킬 수 있으므로 검사대상을 보다 정교하게 세팅할 수 있다.
도 1은 일반적인 LCD 검사장비를 나타내는 측면도
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 스테이지 정밀이동장치를 나타내는 사시도
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 스테이지 정밀이동장치를 나타내는 정면도
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 스테이지 정밀이동장치를 나타내는 측면도
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10 : 스테이지 11 : 현미경
12 : 제어부/조작부 13 : 테이블
14 : 하우징 15 : 포커스 노브
15a : 파인 무빙 노브 15b : 패스트 무빙 노브
16 : 포커스 샤프트 17 : 구동 샤프트
18 : 클러치 19 : 스테이지 샤프트
20 : 아이들 샤프트 21 : 아이들 기어
22 : 포커스 기어 23 : 구동 기어
24 : 샤프트 하우징 25 : 텐션 노브

Claims (3)

  1. LCD가 놓여지는 스테이지(10), 현미경(11), 제어부/조작부(12), 테이블(13) 등을 포함하는 LCD 검사장비에 있어서,
    상기 스테이지(10)의 저면부에 설치되는 하우징(14)의 아래쪽에는 수동조작이 가능한 포커스 노브(15) 및 포커스 샤프트(16)가 설치되고, 상기 하우징(14)의 윗쪽에는 포커스 샤프트(16)측과 전동가능한 구동 샤프트(17)가 설치되는 동시에 이 구동 샤프트(17)는 외부 버튼으로 조작가능한 클러치(18)를 매개로 하여 스테이지 이동을 위한 스테이지 샤프트(19)측과 연결되어, 클러치 ON/OFF에 따라 선택적으로 포커스 노브 조절을 통해 스테이지 샤프트를 구동시킬 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 LCD 검사장비의 스테이지 정밀이동장치.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 포커스 노브(15)는 정교한 움직임을 위한 파인 무빙 노브(15a)와 빠른 움직임을 위한 패스트 무빙 노브(15b)의 이중 노브 형태로 이루어진 것을 특징으로 하는 LCD 검사장비의 스테이지 정밀이동장치.
  3. 청구항 1에 있어서, 상기 포커스 샤프트(16)와 구동 샤프트(17)는 중간의 아이들 샤프트(20) 및 아이들 기어(21)를 매개로 하여 맞물려 돌아가는 포커스 샤프 트측의 포커스 기어(22)와 구동 샤프트측의 구동 기어(23) 간의 전동에 의해 서로 간의 동력이 전달되도록 된 것을 특징으로 하는 LCD 검사장비의 스테이지 정밀이동장치.
KR1020070101522A 2007-10-09 2007-10-09 Ｌｃｄ 검사장비의 스테이지 정밀이동장치 KR100837729B1 (ko)

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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20030013861A (ko) * 2001-08-09 2003-02-15 한영태 탄소섬유를 이용한 발열장치
JP2003048129A (ja) * 2001-08-08 2003-02-18 Olympus Optical Co Ltd ステージ固定装置および方法
KR20060044352A (ko) * 2004-03-17 2006-05-16 올림푸스 가부시키가이샤 관찰 장치 및 관찰 방법

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003048129A (ja) * 2001-08-08 2003-02-18 Olympus Optical Co Ltd ステージ固定装置および方法
KR20030013861A (ko) * 2001-08-09 2003-02-15 한영태 탄소섬유를 이용한 발열장치
KR20060044352A (ko) * 2004-03-17 2006-05-16 올림푸스 가부시키가이샤 관찰 장치 및 관찰 방법

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102156245B1 (ko) 2019-08-21 2020-09-15 삼승테크(주) 검사용 회전스테이지

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