JPH0990233A

JPH0990233A - 顕微鏡

Info

Publication number: JPH0990233A
Application number: JP27356895A
Authority: JP
Inventors: Daiji Kozono; 大司小薗
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1995-09-26
Filing date: 1995-09-26
Publication date: 1997-04-04

Abstract

(57)【要約】【課題】半導体チップを良品などと容易に比較できる
ようにする。【解決手段】ステージ６、８はパルスモータ２０Ｘ、
２０Ｙ、２２Ｘ、２２ＹによってＸ、Ｙ方向に移動す
る。パルスモータの制御は制御装置により、スイッチ２
６、２８、３０、３２の操作にもとづき行われ、ステー
ジ６、８は同じ方向に同じ距離だけ移動する。鏡筒４２
はレバー４８の操作で方向が切り替わるミラーを含み、
対物レンズ６、８の中の一方からの光を選択的に接眼レ
ンズ１４に入射させる。ステージ６、８にはそれぞれ検
査対象および良品の半導体チップを配置する。まずレバ
ー４８は左に倒し、ステージ６上のチップを観察し、上
記押しボタンスイッチを操作してステージ６、８を移動
させ、異常箇所を見つける。次にレバー４８を右に倒
し、ステージ８上の良品チップを観察する。ステージ
６、８は連動して移動しているので対応する箇所を直ち
に観察することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体チップ等の
検査物を目視検査するための顕微鏡に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】半導体デバイスを製造する場合、半導体
ウェハー上に既知の各種工程を経て多数の半導体チップ
を形成した後、各半導体チップに対して電気的な試験が
行われ、必要な性能を備えているか否かが判定される。
このような試験の結果、不良品が見つかった場合には、
今後の半導体デバイスの製造における歩留りを向上させ
るため、不良と判定された半導体チップの目視検査が行
われ、どのような異常が生じているか調査される。

【０００３】この目視検査は顕微鏡を用いて行われ、ま
ず不良半導体チップを含む半導体ウェハーを顕微鏡のス
テージ上に置き、ステージを移動させて不良半導体チッ
プを顕微鏡の対物レンズ下に配置する。そして、接眼レ
ンズを通じて半導体チップを観察し、異常が疑われる箇
所を見つける。その結果、異常箇所が見つかった場合に
は、その箇所が本当に異常であることを確認するため、
上記半導体ウェハーは一旦、ステージから排除し、良品
の半導体チップを含む半導体ウェハーまたは規格限度サ
ンプルの半導体ウェハーをステージ上に配置し、上記異
常箇所に対応する箇所を見て比較する。そして、形態な
どが異なっている場合には、上記異常が疑われる箇所が
確かに異常であると判定する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】このように、従来の目
視検査では、検査対象をいちいち良品または規格限度サ
ンプルと置き換えて確認する必要があるため非常に手間
と時間がかかっていた。また、良品などと置き換えるこ
とが煩わしいため、ときに検査者は良品などとの比較を
行わずに適当に判定を行ってしまう場合もあり、結果的
に判定を間違えることもあった。

【０００５】そこで本発明の目的は、良品や規格限度サ
ンプルとの比較を容易に行えるようにした顕微鏡を提供
することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため、検査物を載置するための第１のステージと、
検査物を載置するための第２のステージと、前記第１の
ステージに対向する第１の対物レンズと、前記第２のス
テージに対向する第２の対物レンズと、接眼レンズと、
前記第１および第２の対物レンズより入射した光のいず
れか一方を前記接眼レンズに入射させる光選択手段と、
前記第１のステージを２次元的に移動させる第１の駆動
手段と、前記第２のステージを２次元的に移動させる第
２の駆動手段と、前記第１および第２の駆動手段を制御
して、前記第１および第２のステージを同一の方向に同
一の距離だけ移動させる制御手段とを備えたことを特徴
とする。

【０００７】本発明はまた、前記第１および第２の駆動
手段がパルスモータにより構成されていることを特徴と
する。本発明はまた、前記光選択手段が、前記第１およ
び第２の対物レンズからの光の中のいずれか一方を反射
し、前記接眼レンズに入射させるミラーと、前記ミラー
を、前記ミラーの反射光の光路に平行な軸の回りに回転
可能に支持する支持機構と、前記ミラーを前記軸の回り
に回転させて、前記第１および第２の対物レンズからの
光の中のいずれか一方を前記ミラーに入射させる切り換
え機構とを含んで構成されていることを特徴とする。本
発明はまた、前記検査物が半導体チップであることを特
徴とする。本発明はまた、前記半導体チップが、半導体
ウェハーに形成された複数の半導体チップの中の１つで
あることを特徴とする。本発明はまた、前記第１のステ
ージと第２のステージの一方には良品が載置され、他方
には不良品が載置されることを特徴とする。

【０００８】本発明の顕微鏡により検査物を検査する場
合、例えば、半導体チップを検査する場合には、まず、
一方のステージ、例えば第１のステージ上に検査対象の
半導体チップを配置し、もう一方の第２のステージの上
には例えば規格限度サンプルの半導体チップを配置す
る。そして、光選択手段により第１の対物レンズより入
射した光を接眼レンズに入射させる状態として、接眼レ
ンズを通じて検査対象の半導体チップを観察する。その
際、制御手段によって第１および第２の駆動手段を制御
し、第１および第２のステージを移動させ、異常が疑わ
れる箇所を見つける。

【０００９】異常が疑われる箇所が見つかったなら、光
選択手段によって、今度は第２の対物レンズより入射し
た光を接眼レンズに入射させる状態とし、規格限度サン
プルの半導体チップを観察する。ここで、第１および第
２のステージ上に配置された検査対象の半導体チップお
よび規格限度サンプルの半導体チップは同じ方向に同じ
距離だけ移動しているので、規格限度サンプルの対応す
る箇所を直ちに観察して比較することができる。

【００１０】

【発明の実施の形態】次に本発明を、半導体チップ検査
用の顕微鏡に適用した実施の形態例について説明する。
図１は本発明による半導体チップ検査用の顕微鏡の一例
を示す斜視図である。図１に示すように、この半導体チ
ップ検査用の顕微鏡２は、基台４、その上に所定の間隔
をおいて配置された２つのステージ６、８、各ステージ
６、８に対向する対物レンズ１０、１２、ならびに接眼
レンズ１４などによって構成されている。

【００１１】ステージ６、８はそれぞれＸステージ６
Ｘ、８ＸとＹステージ６Ｙ、８Ｙとにより構成されてい
る。Ｘステージ６Ｘ、８Ｘはそれぞれ基台４上の支持台
１６、１８上にＸ方向に移動可能に取り付けられ、Ｙス
テージ６Ｙ、８ＹはそれぞれＸステージ６Ｘ、８Ｘの上
にＹ方向に移動可能に配置されている。

【００１２】そして、Ｘステージ６Ｘ、８Ｘにはパルス
モータ２０Ｘ、２２Ｘが近接して配置され、それらの回
転軸は各Ｘステージ６Ｘ、８Ｘに連結され、各Ｘステー
ジ６Ｘ、８Ｘはこれらのパルスモータ２０Ｘ、２２Ｘに
よって駆動され、Ｘ方向に移動する。また、Ｙステージ
６Ｙ、８Ｙにはパルスモータ２０Ｙ、２２Ｙが近接して
配置され、それらの回転軸は各Ｙステージ６Ｙ、８Ｙに
連結され、各Ｙステージ６Ｙ、８Ｙはこれらのパルスモ
ータ２０Ｙ、２２Ｙによって駆動され、Ｙ方向に移動す
る。基台４の内部には後に詳しく説明する制御装置が収
容されており、パルスモータ２０Ｘ、２２Ｘ、２０Ｙ、
２２Ｙはこの制御装置による制御のもとで回転する。

【００１３】基台４の手前側中央の箇所には操作パネル
２４が配置されている。押しボタンスイッチ２６、２８
はＸステージ６Ｘ、８Ｘを移動させるためのもので、押
しボタンスイッチ２６を押すことによってＸステージ６
Ｘ、８ＸはＸ方向で正の方向、すなわち図中、右方向に
移動し、一方、押しボタンスイッチ２８を押すことによ
ってＸステージ６Ｘ、８ＸはＸ方向で負の方向、すなわ
ち図中、左方向に移動する。

【００１４】押しボタンスイッチ３０、３２はＹステー
ジ６Ｙ、８Ｙを移動させるためのもので、押しボタンス
イッチ３０を押すことによってＹステージ６Ｙ、８Ｙは
Ｙ方向で正の方向、すなわち図中、奥寄りの方向に移動
し、一方、押しボタンスイッチ３２を押すことによって
Ｙステージ６Ｙ、８ＹはＹ方向で負の方向、すなわち図
中、手前寄りの方向に移動する。

【００１５】対物レンズ１０、１２からそれぞれ鏡筒３
８、４０内に入った光は、所定の光学系によって鏡筒４
２に導かれ、その後、接眼レンズ１４に至る。鏡筒４２
内には、光選択手段が収容されている。この光選択手段
は、図２の（Ａ）、（Ｂ）に示すように、回転可能に支
持された支持機構４４と、その上に傾斜角４５度で配置
されたミラー４６とを含んで構成されている。支持機構
４４は、その上面４４Ａが水平となるように配置されて
おり、鉛直軸の回りに回転可能となっている。鏡筒４２
の側面から水平方向に突出するレバー４８（本発明に係
わる切り換え機構を構成）はこの支持機構４４と連結さ
れ、レバー４８が左側に倒されたとき、支持機構４４は
上から見て時計回りに回転し、図２の（Ａ）に示すよう
に、ミラー４６は左方向を向く。その結果、ミラー４６
に水平に入射した、対物レンズ１０からの光は鉛直上方
に反射され、接眼レンズ１４に向かう。一方、レバー４
８が右側に倒されたときは、支持機構４４は上から見て
反時計回りに回転し、図２の（Ｂ）に示すように、ミラ
ー４６は右方向を向く。その結果、ミラー４６に水平に
入射した、対物レンズ１２からの光が鉛直上方に反射さ
れ、接眼レンズ１４に向かう。従って、レバー４８を左
に倒すと、ステージ６上の試料を接眼レンズ１４を通じ
て観察でき、一方、レバー４８を右に倒すと、ステージ
８上の試料を接眼レンズ１４を通じて観察できる。

【００１６】次に、基台４内に収容された制御装置につ
いて、図３のブロック図を参照して説明する。この制御
装置５０は、制御回路５２および駆動回路５４、５６、
５８、６０によって構成させている。パルスモータ２０
Ｘ、２０Ｙ、２２Ｘ、２２Ｙにはそれぞれ駆動回路５
４、５６、５８、６０から所定周期のパルス電圧が印加
され、その結果、パルスモータ２０Ｘ、２０Ｙ、２２
Ｘ、２２Ｙは印加されたパルス電圧の数に比例した角度
だけ回転する。

【００１７】駆動回路５４、５６、５８、６０はそれぞ
れ制御回路５２からハイレベルの駆動信号Ｓ１が入力さ
れているとき、上記パルス電圧を継続して出力し、一
方、駆動信号Ｓ１がローレベルのときはパルス電圧を出
力しない。また、制御回路５２から供給される方向信号
Ｓ２がハイレベルのときは、Ｘステージ６Ｘ、８Ｘおよ
びＹステージ６Ｙ、８Ｙを正の方向に移動させるよう、
所定のパルス電圧をパルスモータ２０Ｘ、２０Ｙ、２２
Ｘ、２２Ｙに供給し、一方、方向信号Ｓ２がローレベル
のときは、Ｘステージ６Ｘ、８ＸおよびＹステージ６
Ｙ、８Ｙを負の方向に移動させるよう、所定のパルス電
圧をパルスモータ２０Ｘ、２０Ｙ、２２Ｘ、２２Ｙに供
給する。

【００１８】制御回路５２は、押しボタンスイッチ２
６、２８、３０、３２およびスイッチ３４の状態に応じ
て上記駆動信号Ｓ１および方向信号Ｓ２のレベルを切り
換えて、各駆動回路５４、５６、５８、６０に供給す
る。操作パネル２４に配置されたスイッチ３４は、各ス
テージ６、８を単独モードで移動させるか、あるいは連
動モードで移動させるかを切り換えるためのスイッチで
あり、スイッチ３４のレバーを左に倒すと単独、右に倒
すと連動して移動するよう、制御回路５２によって制御
される。

【００１９】制御回路５２の制御について詳しく説明す
ると、スイッチ３４のレバーが左側に倒されているとき
は単独モードとなり、制御回路５２は、ステージ８のみ
を移動させるため、駆動回路５８、６０に対してのみ必
要に応じてハイレベルの駆動信号Ｓ１を出力する。

【００２０】そして、押しボタンスイッチ２６が押され
たときは、制御回路５２は駆動回路５８に対して、ハイ
レベルの駆動信号Ｓ１およびハイレベルの方向信号Ｓ２
を出力し、一方、駆動回路６０に対してはローレベルの
駆動信号Ｓ１を出力する。また、駆動回路５４、５６に
対してはローレベルの駆動信号Ｓ１を出力する。その結
果、パルスモータ２２Ｘのみが、Ｘステージ８Ｘを右に
移動させる方向に回転する。

【００２１】また、押しボタンスイッチ２８が押された
ときは、制御回路５２は駆動回路５８に対して、ハイレ
ベルの駆動信号Ｓ１およびローレベルの方向信号Ｓ２を
出力し、一方、駆動回路６０に対してはローレベルの駆
動信号Ｓ１を出力する。そして駆動回路５４、５６に対
してはローレベルの駆動信号Ｓ１を出力する。その結
果、パルスモータ２２Ｘのみが、Ｘステージ８Ｘを左に
移動させる方向に回転する。

【００２２】押しボタンスイッチ３０が押されたとき
は、制御回路５２は駆動回路６０に対して、ハイレベル
の駆動信号Ｓ１およびハイレベルの方向信号Ｓ２を出力
し、一方、駆動回路５８に対してはローレベルの駆動信
号Ｓ１を出力する。また、駆動回路５４、５６に対して
はローレベルの駆動信号Ｓ１を出力する。その結果、パ
ルスモータ２２Ｙのみが、Ｙステージ８Ｙを奥方向に移
動させる方向に回転する。

【００２３】また、押しボタンスイッチ３２が押された
ときは、制御回路５２は駆動回路６０に対して、ハイレ
ベルの駆動信号Ｓ１およびローレベルの方向信号Ｓ２を
出力し、一方、駆動回路６０に対してはローレベルの駆
動信号Ｓ１を出力する。そして駆動回路５４、５６に対
してはローレベルの駆動信号Ｓ１を出力する。その結
果、パルスモータ２２Ｙのみが、Ｙステージ８Ｙを手前
方向に移動させる方向に回転する。

【００２４】一方、スイッチ３４のレバーが右側に倒さ
れているときは連動モードとなり、制御回路５２は、ス
テージ６、８を連動して移動させるため、すべての駆動
回路５４、５６、５８、６０に対して必要に応じてハイ
レベルの駆動信号Ｓ１を出力する。

【００２５】そして、押しボタンスイッチ２６が押され
たときは、制御回路５２は駆動回路５４、５８に対し
て、ハイレベルの駆動信号Ｓ１およびハイレベルの方向
信号Ｓ２を出力し、一方、駆動回路５６、６０に対して
はローレベルの駆動信号Ｓ１を出力する。その結果、パ
ルスモータ２０Ｘ、２２Ｘが、Ｘステージ６Ｘ、８Ｘを
右に移動させる方向に回転する。

【００２６】また、押しボタンスイッチ２８が押された
ときは、制御回路５２は駆動回路５４、５８に対して、
ハイレベルの駆動信号Ｓ１およびローレベルの方向信号
Ｓ２を出力し、一方、駆動回路５６、６０に対してはロ
ーレベルの駆動信号Ｓ１を出力する。その結果、パルス
モータ２０Ｘ、２２Ｘが、Ｘステージ８Ｘを左に移動さ
せる方向に回転する。

【００２７】押しボタンスイッチ３０が押されたとき
は、制御回路５２は駆動回路５６、６０に対して、ハイ
レベルの駆動信号Ｓ１およびハイレベルの方向信号Ｓ２
を出力し、一方、駆動回路５４、５８に対してはローレ
ベルの駆動信号Ｓ１を出力する。その結果、パルスモー
タ２０Ｙ、２２Ｙが、Ｙステージ６Ｙ、８Ｙを奥方向に
移動させる方向に回転する。

【００２８】また、押しボタンスイッチ３２が押された
ときは、制御回路５２は駆動回路５６、６０に対して、
ハイレベルの駆動信号Ｓ１およびローレベルの方向信号
Ｓ２を出力し、一方、駆動回路５４、５６に対してはロ
ーレベルの駆動信号Ｓ１を出力する。その結果、パルス
モータ２０Ｙ、２２Ｙが、Ｙステージ６Ｙ、８Ｙを手前
方向に移動させる方向に回転する。

【００２９】なお、操作パネル２４上の左寄りの箇所に
設けられたスイッチ３６は、制御装置５０の電源をオン
／オフするためのものである。

【００３０】このように構成された半導体チップ検査用
の顕微鏡２により例えば半導体ウェハーに形成された半
導体チップを検査する場合、検査者はまず、規格限度サ
ンプルの半導体ウェハーをステージ８の上に配置し、一
方、電気的試験によって不良半導体チップが見つかった
半導体ウェハーをステージ６の上に配置する。

【００３１】そして、まずレバー４８を左に倒し、図２
に示したミラー４６を左方向に向ける。これにより、対
物レンズ１０からの光は接眼レンズ１４に入射し、従っ
て、接眼レンズ１４を通じて不良半導体チップを観察す
ることができる。ここで検査者は、スイッチ３４のレバ
ーを右に倒して連動モードを選択する。そして、押しボ
タンスイッチ２６、２８、３０、３２を操作してステー
ジ６を適切に移動させ、上記不良半導体チップが顕微鏡
の視野に入る状態とし、さらに半導体チップの目印とな
る特定の箇所が視野のほぼ中央に配置されるようにす
る。

【００３２】次に検査者はレバー４８を右に倒して上記
ミラー４６を右方向に向け、ステージ８上に配置された
サンプルの半導体ウェハーを観察できるようにし、さら
にスイッチ３４のレバーを右に倒して単独モードを選択
する。検査者はこの状態で、押しボタンスイッチ２６、
２８、３０、３２を操作してステージ８を適切に移動さ
せ、上記不良半導体チップに対応する、サンプルの半導
体ウェハー内の半導体チップが視野に入るようにし、さ
らに上記目印となる特定の箇所に対応する箇所が視野の
ほぼ中央に配置されるようにする。

【００３３】このような位置合わせの後、検査者はレバ
ー４８を再度、左に倒してステージ６上の半導体チップ
を観察できる状態とし、そしてスイッチ３４を再度、左
に倒して連動モードを選択する。検査者はこのモードで
押しボタンスイッチ２６、２８、３０、３２を操作して
ステージ８を適切に移動させ、不良半導体チップの全体
を詳しく観察し、異常が疑われる箇所を見つける。

【００３４】そして、異常が疑われる箇所が見つかった
場合には、規格限度サンプルと比較するため、レバー４
８を右に倒し、ステージ８上の半導体ウェハーを観察で
きる状態にする。ここで、ステージ６、８は連動モード
でＸ方向およびＹ方向に同じ距離だけ移動しているの
で、検査者はレバー４８を右側に倒したとき、不良半導
体チップの上記異常が疑われる箇所に対応する箇所を、
押しボタンスイッチ２６、２８、３０、３２を一切操作
することなく直ちに観察することができる。そして、上
記異常が疑われる箇所の形態と、規格限度サンプルの対
応する箇所の形態とが異なっている場合には、検査者は
上記異常が疑われる箇所はまさに異常であると判定す
る。

【００３５】このように、この実施の形態例では、単に
レバー４８を切り換えるのみで、規格限度サンプルの必
要な箇所を観察できるので、不良半導体チップの異常が
疑われる箇所が本当に異常であるか否かを極めて容易に
確認することができる。またその結果、規格限度サンプ
ルとの比較が煩わしいため、比較を行わずに適当に判定
を行い、結果的に判定を間違えるといったこともなくな
る。

【００３６】なお、上述した実施の形態例では、半導体
ウェハーに形成された半導体チップを検査対象とした
が、半導体ウェハーに限らず、単体の半導体チップを検
査することも無論可能である。また、接眼レンズ１４部
にテレビカメラを装着し、顕微鏡で得られる半導体チッ
プの像をテレビモニタに映し出して観察できる構成とす
ることも容易である。

【００３７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の顕微鏡に
より検査物として半導体チップを検査する場合には、ま
ず、一方のステージ、例えば第１のステージ上に検査対
象の半導体チップを配置し、もう一方の第２のステージ
の上には例えば規格限度サンプルの半導体チップを配置
する。そして光選択手段により、第１の対物レンズより
入射した光を接眼レンズに入射させる状態として、接眼
レンズを通じて検査対象の半導体チップを観察する。そ
の際、制御手段によって第１および第２の駆動手段を制
御し、第１および第２のステージを移動させ、異常が疑
われる箇所を見つける。

【００３８】異常が疑われる箇所が見つかったなら、光
選択手段によって、今度は第２の対物レンズより入射し
た光を接眼レンズに入射させる状態とし、規格限度サン
プルの半導体チップを観察する。ここで、第１および第
２のステージ上に配置された検査対象の半導体チップお
よび規格限度サンプルの半導体チップは同じ方向に同じ
距離だけ移動しているので、規格限度サンプルの対応す
る箇所を直ちに観察して比較することができる。

【００３９】このように、本発明の半導体チップ検査用
の顕微鏡を用いた場合には、単に光選択手段により観察
する半導体チップを切り換えるのみで、規格限度サンプ
ルの必要な箇所を直ちに観察できるので、不良半導体チ
ップの異常が疑われる箇所が本当に異常であるか否かを
極めて容易に確認することができる。またその結果、規
格限度サンプルとの比較が煩わしいため、比較を行わず
に適当に判定を行い、結果的に判定を間違えるといった
こともなくなる。なお、本発明に係る顕微鏡の用途は、
半導体チップに限定されることなく、種々の製品検査に
適用される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による半導体チップ検査用の顕微鏡の一
例を示す斜視図である。

【図２】図１の半導体チップ検査用の顕微鏡の一部を詳
しく示す斜視図である。

【図３】図１の半導体チップ検査用の顕微鏡を構成する
制御装置を示すブロック図である。

【符号の説明】

２顕微鏡４基台６、８ステージ６Ｘ、８ＸＸステージ６Ｙ、８ＹＹステージ１０、１２対物レンズ１４接眼レンズ１６、１８支持台２０Ｘ、２０Ｙ、２２Ｘ、２２Ｙパルスモータ２４操作パネル２６、２８、３０、３２押しボタンスイッチ３４スイッチ３８、４０、４２鏡筒４４支持機構４６ミラー４８レバー５０制御装置５２制御回路５４、５６、５８、６０駆動回路

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】検査物を載置するための第１のステージ
と、検査物を載置するための第２のステージと、前記第１のステージに対向する第１の対物レンズと、前記第２のステージに対向する第２の対物レンズと、接眼レンズと、前記第１および第２の対物レンズより入射した光のいず
れか一方を前記接眼レンズに入射させる光選択手段と、前記第１のステージを２次元的に移動させる第１の駆動
手段と、前記第２のステージを２次元的に移動させる第２の駆動
手段と、前記第１および第２の駆動手段を制御して、前記第１お
よび第２のステージを同一の方向に同一の距離だけ移動
させる制御手段と、を備えたことを特徴とする顕微鏡。
【請求項２】前記第１および第２の駆動手段はパルス
モータにより構成されている請求項１記載の顕微鏡。
【請求項３】前記光選択手段は、前記第１および第２の対物レンズからの光の中のいずれ
か一方を反射し、前記接眼レンズに入射させるミラー
と、前記ミラーを、前記ミラーの反射光の光路に平行な軸の
回りに回転可能に支持する支持機構と、前記ミラーを前記軸の回りに回転させて、前記第１およ
び第２の対物レンズからの光の中のいずれか一方を前記
ミラーに入射させる切り換え機構と、を含んで構成されている請求項１記載の顕微鏡。
【請求項４】前記検査物は半導体チップである請求項
１記載の顕微鏡。
【請求項５】前記半導体チップは、半導体ウェハーに
形成された複数の半導体チップの中の１つである請求項
４記載の半導体チップ検査用の顕微鏡。
【請求項６】前記第１のステージと第２のステージの
一方には良品が載置され、他方には不良品が載置される
請求項１記載の顕微鏡。