JPH1073767A - 顕微鏡 - Google Patents
顕微鏡Info
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- JPH1073767A JPH1073767A JP23022996A JP23022996A JPH1073767A JP H1073767 A JPH1073767 A JP H1073767A JP 23022996 A JP23022996 A JP 23022996A JP 23022996 A JP23022996 A JP 23022996A JP H1073767 A JPH1073767 A JP H1073767A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、構成が簡単にでき、小形で、価格的
にも安価にできるスポット照明付き観察系を備えた顕微
鏡を提供する。 【解決手段】顕微鏡本体２１の落射照明光源２７による
落射照明光を光路分割キューブ２９により反射光路２９
１と透過光路２９２に分割し、これら反射光路２９１お
よび透過光路２９２のいずれか一方をシャッタ３０によ
り遮蔽可能にし、シャッタ３０により反射光路２９１を
遮蔽している状態では、透過光路２９２を通った落射照
明光による標本２３のスポット照明像が接眼レンズユニ
ット３１に取り込まれ、接眼レンズ３４およびＴＶカメ
ラ３５により欠陥部の観察を可能にし、シャッタ３０に
より透過光路２９２を遮蔽している状態では、反射光路
２９１を通った落射照明光による標本２３の観察像が、
同様に接眼レンズユニット３１に取り込まれ、高倍率の
観察を可能にする。
にも安価にできるスポット照明付き観察系を備えた顕微
鏡を提供する。 【解決手段】顕微鏡本体２１の落射照明光源２７による
落射照明光を光路分割キューブ２９により反射光路２９
１と透過光路２９２に分割し、これら反射光路２９１お
よび透過光路２９２のいずれか一方をシャッタ３０によ
り遮蔽可能にし、シャッタ３０により反射光路２９１を
遮蔽している状態では、透過光路２９２を通った落射照
明光による標本２３のスポット照明像が接眼レンズユニ
ット３１に取り込まれ、接眼レンズ３４およびＴＶカメ
ラ３５により欠陥部の観察を可能にし、シャッタ３０に
より透過光路２９２を遮蔽している状態では、反射光路
２９１を通った落射照明光による標本２３の観察像が、
同様に接眼レンズユニット３１に取り込まれ、高倍率の
観察を可能にする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、スポット照明付き
観察系を備えた顕微鏡に関するものである。
観察系を備えた顕微鏡に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、液晶や半導体などの製造工程で、
パターンの欠陥検査を始め、ごみや傷などの解析に、ス
ポット照明付きの観察系を備えた顕微鏡が用いられてい
る。図３は、このようなスポット照明付き観察系を備え
た顕微鏡の一例を示すもので、顕微鏡本体１では、落射
照明光源２からの落射照明光をレンズ３を通してキュー
ブ４で反射させ、反射光路４０１に進め、対物レンズ５
を通して移動ステージ６上に載置された標本７を照明
し、また、落射照明光により照明された標本７の光像
を、対物レンズ５よりキューブ４を透過して、透過光路
４０２に進め、結像レンズ８を通してハーフミラー９で
反射と透過の２方向に分割し、このうち反射光を、ミラ
ー１０を介して接眼レンズ１１の中間位置に結像し、ま
た、透過光を、ＴＶカメラ１２の撮像面１２１に結像す
るようにしている。一方、このような顕微鏡本体１に設
けられるスポット照明付き観察系１３では、落射照明光
源１４からの落射照明光をレンズ１５を通してハーフミ
ラー１６で反射させ、反射光路１６１に進め、対物レン
ズ１７を通して標本７をスポット照明し、このスポット
照明された標本７の光像を、対物レンズ１７よりハーフ
ミラー１６を透過して透過光路１６２に進め、結像レン
ズ１８を介してＴＶカメラ１９の撮像面１９１に結像す
るようにしている。
パターンの欠陥検査を始め、ごみや傷などの解析に、ス
ポット照明付きの観察系を備えた顕微鏡が用いられてい
る。図３は、このようなスポット照明付き観察系を備え
た顕微鏡の一例を示すもので、顕微鏡本体１では、落射
照明光源２からの落射照明光をレンズ３を通してキュー
ブ４で反射させ、反射光路４０１に進め、対物レンズ５
を通して移動ステージ６上に載置された標本７を照明
し、また、落射照明光により照明された標本７の光像
を、対物レンズ５よりキューブ４を透過して、透過光路
４０２に進め、結像レンズ８を通してハーフミラー９で
反射と透過の２方向に分割し、このうち反射光を、ミラ
ー１０を介して接眼レンズ１１の中間位置に結像し、ま
た、透過光を、ＴＶカメラ１２の撮像面１２１に結像す
るようにしている。一方、このような顕微鏡本体１に設
けられるスポット照明付き観察系１３では、落射照明光
源１４からの落射照明光をレンズ１５を通してハーフミ
ラー１６で反射させ、反射光路１６１に進め、対物レン
ズ１７を通して標本７をスポット照明し、このスポット
照明された標本７の光像を、対物レンズ１７よりハーフ
ミラー１６を透過して透過光路１６２に進め、結像レン
ズ１８を介してＴＶカメラ１９の撮像面１９１に結像す
るようにしている。
【０００３】この場合、スポット照明付き観察系１３の
作動距離ＷＤは、顕微鏡本体１の対物レンズ５の作動距
離ＷＤよりかなり長くなっていて、標本７上のスポット
照明は見易い構造になっている。そして、実際に標本７
上の欠陥などの観察を行うには、まず、観察したい欠陥
部をスポット照明付き観察系１３の対物レンズ１７下の
スポット照明位置に移動させ、低倍率による欠陥観察を
ＴＶカメラ１９の撮像画面により行う。そして、この観
察で、さらに高倍率の顕微鏡観察を行いたい場合は、観
察したい欠陥部を顕微鏡本体１の対物レンズ５の下に移
動させ、ＴＶカメラ１２の撮像画面または接眼レンズ１
１により観察を行うようになる。この場合、スポット照
明付き観察系１３の対物レンズ１７に対応する標本７の
低倍率の観察位置から、顕微鏡本体１の対物レンズ５に
対応する高倍率の観察位置への移動は、標本７を載置し
た移動ステージ６のＸＹ方向の移動により行われる。勿
論、この逆の顕微鏡本体１の対物レンズ５に対応する高
倍率の観察位置からスポット照明付き観察系１３の対物
レンズ１７に対応する標本７の低倍率の観察位置への移
動も可能である。
作動距離ＷＤは、顕微鏡本体１の対物レンズ５の作動距
離ＷＤよりかなり長くなっていて、標本７上のスポット
照明は見易い構造になっている。そして、実際に標本７
上の欠陥などの観察を行うには、まず、観察したい欠陥
部をスポット照明付き観察系１３の対物レンズ１７下の
スポット照明位置に移動させ、低倍率による欠陥観察を
ＴＶカメラ１９の撮像画面により行う。そして、この観
察で、さらに高倍率の顕微鏡観察を行いたい場合は、観
察したい欠陥部を顕微鏡本体１の対物レンズ５の下に移
動させ、ＴＶカメラ１２の撮像画面または接眼レンズ１
１により観察を行うようになる。この場合、スポット照
明付き観察系１３の対物レンズ１７に対応する標本７の
低倍率の観察位置から、顕微鏡本体１の対物レンズ５に
対応する高倍率の観察位置への移動は、標本７を載置し
た移動ステージ６のＸＹ方向の移動により行われる。勿
論、この逆の顕微鏡本体１の対物レンズ５に対応する高
倍率の観察位置からスポット照明付き観察系１３の対物
レンズ１７に対応する標本７の低倍率の観察位置への移
動も可能である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
構成によると、顕微鏡本体１の落射照明光源２およびＴ
Ｖカメラ１２と、スポット照明付き観察系１３の落射照
明光源１４およびＴＶカメラ１９とが重複していて、そ
れぞれに同じ機能を持たせるようにしているため、これ
ら各所を効率良く使用できないばかりか、部品点数の多
さから大型化を招き、価格的にも高価なものになってし
まう。また、上述したようにスポット照明付き観察系１
３に、専用の落射照明光源１４およびＴＶカメラ１９を
設けていて、かかる観察系自身大型であることは、作業
者の標本上の視野の確保や他ユニットとの干渉およびシ
ステムの拡張性を考慮すると、好ましいことでない。さ
らに、落射照明光源２、１４がそれぞれ用いられること
は、光源のメンテナンス工数も増え、不経済であり、さ
らにまた、スポット照明付き観察系１３には、接眼レン
ズが設けられていないが、ユーザによっては、ＴＶカメ
ラ１９で観察する像を接眼レンズで観察することを望む
こともあり、この場合、スポット照明付き観察系１３中
にプリズムなどを用いて光路を分割し接眼レンズを増設
するようにすると、顕微鏡本体１側の接眼レンズ１１と
重複することから、さらに大型で、高価なものになって
しまう。
構成によると、顕微鏡本体１の落射照明光源２およびＴ
Ｖカメラ１２と、スポット照明付き観察系１３の落射照
明光源１４およびＴＶカメラ１９とが重複していて、そ
れぞれに同じ機能を持たせるようにしているため、これ
ら各所を効率良く使用できないばかりか、部品点数の多
さから大型化を招き、価格的にも高価なものになってし
まう。また、上述したようにスポット照明付き観察系１
３に、専用の落射照明光源１４およびＴＶカメラ１９を
設けていて、かかる観察系自身大型であることは、作業
者の標本上の視野の確保や他ユニットとの干渉およびシ
ステムの拡張性を考慮すると、好ましいことでない。さ
らに、落射照明光源２、１４がそれぞれ用いられること
は、光源のメンテナンス工数も増え、不経済であり、さ
らにまた、スポット照明付き観察系１３には、接眼レン
ズが設けられていないが、ユーザによっては、ＴＶカメ
ラ１９で観察する像を接眼レンズで観察することを望む
こともあり、この場合、スポット照明付き観察系１３中
にプリズムなどを用いて光路を分割し接眼レンズを増設
するようにすると、顕微鏡本体１側の接眼レンズ１１と
重複することから、さらに大型で、高価なものになって
しまう。
【０００５】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、構成を簡単にでき、小形で、価格的にも安価にでき
るスポット照明付き観察系を備えた顕微鏡を提供するこ
とを目的とする。
で、構成を簡単にでき、小形で、価格的にも安価にでき
るスポット照明付き観察系を備えた顕微鏡を提供するこ
とを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
照明用光源と、この光源による照明光の光路を多方向に
分割する光路分割手段と、この光路分割手段で分割され
た光路の照明光により標本をスポット照明するスポット
照明用光学手段と、前記光路分割手段で分割された他の
光路の照明光により標本の観察領域を照明する観察照明
用光学手段と、これらスポット照明用光学手段または観
察照明用光学手段により照明された前記標本の像を観察
する観察用光学手段とにより構成している。
照明用光源と、この光源による照明光の光路を多方向に
分割する光路分割手段と、この光路分割手段で分割され
た光路の照明光により標本をスポット照明するスポット
照明用光学手段と、前記光路分割手段で分割された他の
光路の照明光により標本の観察領域を照明する観察照明
用光学手段と、これらスポット照明用光学手段または観
察照明用光学手段により照明された前記標本の像を観察
する観察用光学手段とにより構成している。
【０００７】また、請求項２記載の発明は、請求項１記
載において、前記スポット照明用光学手段および観察照
明用光学手段のそれぞれに、光路を各別に遮蔽する遮蔽
手段を設けるようにしている。
載において、前記スポット照明用光学手段および観察照
明用光学手段のそれぞれに、光路を各別に遮蔽する遮蔽
手段を設けるようにしている。
【０００８】また、請求項３記載の発明は、請求項１記
載において、前記スポット照明用光学手段および観察照
明用光学手段のそれぞれの光路を選択的に遮蔽する遮蔽
手段を設けるようにしている。
載において、前記スポット照明用光学手段および観察照
明用光学手段のそれぞれの光路を選択的に遮蔽する遮蔽
手段を設けるようにしている。
【０００９】この結果、本発明によれば、スポット照明
用光学手段に対する照明用光源および観察用光学手段と
観察照明用光学手段に対する照明用光源および観察用光
学手段を共用できるので、スポット照明付き観察系での
部品点数を軽減できる分、小型で価格的にも安価にで
き、また、照明用光源を共通にできることから光源のメ
ンテナンス工数を低減でき、さらに、スポット照明付き
観察系での接眼観察も可能にできる。
用光学手段に対する照明用光源および観察用光学手段と
観察照明用光学手段に対する照明用光源および観察用光
学手段を共用できるので、スポット照明付き観察系での
部品点数を軽減できる分、小型で価格的にも安価にで
き、また、照明用光源を共通にできることから光源のメ
ンテナンス工数を低減でき、さらに、スポット照明付き
観察系での接眼観察も可能にできる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を図
面に従い説明する。図１は、本発明が適用されるスポッ
ト照明付き観察系を備えた顕微鏡の概略構成を示してい
る。
面に従い説明する。図１は、本発明が適用されるスポッ
ト照明付き観察系を備えた顕微鏡の概略構成を示してい
る。
【００１１】図において、２１は顕微鏡本体で、この顕
微鏡本体２１には、移動ステージ２２を有し、この移動
ステージ２２上に液晶基板またはウェハなどの標本２３
を載置している。また、顕微鏡本体２１には、移動ステ
ージ２２上方まで延びる中空の落射照明ユニット２４を
突設し、この落射照明ユニット２４の先端部下方に倍率
の異なる複数の対物レンズ２５を有するレボルバ２６を
配置している。
微鏡本体２１には、移動ステージ２２を有し、この移動
ステージ２２上に液晶基板またはウェハなどの標本２３
を載置している。また、顕微鏡本体２１には、移動ステ
ージ２２上方まで延びる中空の落射照明ユニット２４を
突設し、この落射照明ユニット２４の先端部下方に倍率
の異なる複数の対物レンズ２５を有するレボルバ２６を
配置している。
【００１２】落射照明ユニット２４は、その中空部に落
射照明光源２７、レンズ２８および光路分割キューブ２
９を設けている。この場合、光路分割キューブ２９は、
レンズ２８を通して与えられる落射照明光源２７からの
落射照明光を反射と透過の２方向に分割するもので、光
路分割キューブ２９で反射した落射照明光源２７からの
落射照明光を反射光路２９１に進めるとともに、透過し
た落射照明光を透過光路２９２に進めるようにしてい
る。
射照明光源２７、レンズ２８および光路分割キューブ２
９を設けている。この場合、光路分割キューブ２９は、
レンズ２８を通して与えられる落射照明光源２７からの
落射照明光を反射と透過の２方向に分割するもので、光
路分割キューブ２９で反射した落射照明光源２７からの
落射照明光を反射光路２９１に進めるとともに、透過し
た落射照明光を透過光路２９２に進めるようにしてい
る。
【００１３】この場合、反射光路２９１に進んだ落射照
明光は、対物レンズ２５を通して移動ステージ２２上に
載置された標本２３を照明し、標本２３からの反射光、
つまり反射光路２９１の逆方向から入射される観察光
は、光路分割キューブ２９を透過し透過光路２９３に進
み、後述する接眼レンズユニット３１に入射され、ま
た、光路分割キューブ２９を透過した落射照明光は、透
過光路２９２に進んで、後述するスポット照明付き観察
系３６に入射するようになっている。
明光は、対物レンズ２５を通して移動ステージ２２上に
載置された標本２３を照明し、標本２３からの反射光、
つまり反射光路２９１の逆方向から入射される観察光
は、光路分割キューブ２９を透過し透過光路２９３に進
み、後述する接眼レンズユニット３１に入射され、ま
た、光路分割キューブ２９を透過した落射照明光は、透
過光路２９２に進んで、後述するスポット照明付き観察
系３６に入射するようになっている。
【００１４】光路分割キューブ２９には、シャッタ３０
を設けている。このシャッタ３０は、図２に示すように
一対の長方形遮蔽板３０１、３０２をＬ字状に形成する
とともに、遮蔽板３０１に透穴３０１ａを、また遮蔽板
３０２に透穴３０２ａをそれぞれ形成したもので、これ
ら遮蔽板３０１、３０２をアクチュエータ３０４の駆動
力により、その長手方向に配置されたガイド３０３に沿
って直線移動（図１では、紙面と垂直方向に直線移動）
することにより、透穴３０１ａを反射光路２９１中に、
または透穴３０２ａを透過光路２９２中にそれぞれ選択
的に配置できるようにしている。ここで、シャッタ３０
をアクチュエータの代わりに手動で切り換えられるよう
な機械的な切換機構を用いることもできる。また、アク
チュエータ３０４は、モータまたはソレノイドのように
電気的に制御可能なものや、エアや油圧で制御可能なも
のであってもよい。
を設けている。このシャッタ３０は、図２に示すように
一対の長方形遮蔽板３０１、３０２をＬ字状に形成する
とともに、遮蔽板３０１に透穴３０１ａを、また遮蔽板
３０２に透穴３０２ａをそれぞれ形成したもので、これ
ら遮蔽板３０１、３０２をアクチュエータ３０４の駆動
力により、その長手方向に配置されたガイド３０３に沿
って直線移動（図１では、紙面と垂直方向に直線移動）
することにより、透穴３０１ａを反射光路２９１中に、
または透穴３０２ａを透過光路２９２中にそれぞれ選択
的に配置できるようにしている。ここで、シャッタ３０
をアクチュエータの代わりに手動で切り換えられるよう
な機械的な切換機構を用いることもできる。また、アク
チュエータ３０４は、モータまたはソレノイドのように
電気的に制御可能なものや、エアや油圧で制御可能なも
のであってもよい。
【００１５】レボルバ２６は、倍率の異なる複数の対物
レンズ２５のうちの１つを選択的に反射光路２９１中に
挿入するためのものである。落射照明ユニット２４の先
端部上方に接眼レンズユニット３１を配置している。こ
の接眼レンズユニット３１は、結像レンズ３２、２方向
分割プリズム３３および接眼レンズ３４を有し、光路分
割キューブ２９の透過光路２９３に進んだ観察像を２方
向分割プリズム３３で２方向に分割し、このうち一方を
接眼レンズ３４の中間位置に結像し、また、他方を、Ｔ
Ｖカメラ３５の撮像面３５１に結像するようにしてい
る。
レンズ２５のうちの１つを選択的に反射光路２９１中に
挿入するためのものである。落射照明ユニット２４の先
端部上方に接眼レンズユニット３１を配置している。こ
の接眼レンズユニット３１は、結像レンズ３２、２方向
分割プリズム３３および接眼レンズ３４を有し、光路分
割キューブ２９の透過光路２９３に進んだ観察像を２方
向分割プリズム３３で２方向に分割し、このうち一方を
接眼レンズ３４の中間位置に結像し、また、他方を、Ｔ
Ｖカメラ３５の撮像面３５１に結像するようにしてい
る。
【００１６】また、落射照明ユニット２４の先端にスポ
ット照明付き観察系３６を配置している。このスポット
照明付き観察系３６は、ミラー３７と対物レンズ３８を
有し、光路分割キューブ２９の透過光路２９２に進んだ
落射照明光源２７からの落射照明光をミラー３７より対
物レンズ３８を通して移動ステージ２２上の標本２３を
スポット照明し、標本２３からの反射光を光路分割キュ
ーブ２９で反射させ、透過光路２９４に進み、接眼レン
ズユニット３１に入射するようにしている。
ット照明付き観察系３６を配置している。このスポット
照明付き観察系３６は、ミラー３７と対物レンズ３８を
有し、光路分割キューブ２９の透過光路２９２に進んだ
落射照明光源２７からの落射照明光をミラー３７より対
物レンズ３８を通して移動ステージ２２上の標本２３を
スポット照明し、標本２３からの反射光を光路分割キュ
ーブ２９で反射させ、透過光路２９４に進み、接眼レン
ズユニット３１に入射するようにしている。
【００１７】次に、このように構成した実施の形態の動
作を説明する。まず、標本２３に対しスポット照明付き
観察を行う場合、シャッタ３０をアクチュエータ３０４
により駆動して、遮蔽板３０２の透穴３０２ａを透過光
路２９２中に配置する。この場合、反射光路２９１は、
遮蔽板３０１により遮蔽される。
作を説明する。まず、標本２３に対しスポット照明付き
観察を行う場合、シャッタ３０をアクチュエータ３０４
により駆動して、遮蔽板３０２の透穴３０２ａを透過光
路２９２中に配置する。この場合、反射光路２９１は、
遮蔽板３０１により遮蔽される。
【００１８】この状態から、落射照明光源２７を点灯す
ると、この落射照明光源２７からの落射照明光は、レン
ズ２８を通して光路分割キューブ２９に入射され、ここ
で透過されて透過光路２９２に進み、スポット照明付き
観察系３６に入射される。
ると、この落射照明光源２７からの落射照明光は、レン
ズ２８を通して光路分割キューブ２９に入射され、ここ
で透過されて透過光路２９２に進み、スポット照明付き
観察系３６に入射される。
【００１９】これにより、落射照明光は、ミラー３７に
より反射され対物レンズ３８を通して移動ステージ２２
上の標本２３をスポット照明するようになり、この標本
２３からの反射光が光路分割キューブ２９で反射され、
反射光路２９４に進み、接眼レンズユニット３１の結像
レンズ３２、２方向分割プリズム３３を介して接眼レン
ズ３４の中間位置およびＴＶカメラ３５の撮像面３５１
に結像され、これら接眼レンズ３４またはＴＶカメラ３
５により欠陥部位の観察が行われる。
より反射され対物レンズ３８を通して移動ステージ２２
上の標本２３をスポット照明するようになり、この標本
２３からの反射光が光路分割キューブ２９で反射され、
反射光路２９４に進み、接眼レンズユニット３１の結像
レンズ３２、２方向分割プリズム３３を介して接眼レン
ズ３４の中間位置およびＴＶカメラ３５の撮像面３５１
に結像され、これら接眼レンズ３４またはＴＶカメラ３
５により欠陥部位の観察が行われる。
【００２０】次に、このようにして観察された欠陥部位
を、高倍率の顕微鏡観察する場合は、シャッタ３０をア
クチュエータ３０４により駆動して、今度は、遮蔽板３
０１の透穴３０１ａを反射光路２９１中に配置する。こ
の場合、透過光路２９２は、遮蔽板３０２により遮蔽さ
れる。
を、高倍率の顕微鏡観察する場合は、シャッタ３０をア
クチュエータ３０４により駆動して、今度は、遮蔽板３
０１の透穴３０１ａを反射光路２９１中に配置する。こ
の場合、透過光路２９２は、遮蔽板３０２により遮蔽さ
れる。
【００２１】また、移動ステージ２２を移動して、対物
レンズ２５に高倍率で観察したい欠陥部位を対応させ
る。この状態から、落射照明光源２７を点灯すると、こ
の落射照明光源２７からの落射照明光は、レンズ２８を
通して光路分割キューブ２９に入射され、ここで反射さ
れて反射光路２９１に進み、対物レンズ２５を通して移
動ステージ２２上の標本２３を照明するようになり、こ
の標本２３からの反射光が光路分割キューブ２９を透過
され、透過光路２９３を進み、接眼レンズユニット３１
の結像レンズ３２、２方向分割プリズム３３を介して接
眼レンズ３４の中間位置およびＴＶカメラ３５の撮像面
３５１に結像され、これら接眼レンズ３４またはＴＶカ
メラ３５により欠陥部位に対する高倍率の顕微鏡観察が
行われる。
レンズ２５に高倍率で観察したい欠陥部位を対応させ
る。この状態から、落射照明光源２７を点灯すると、こ
の落射照明光源２７からの落射照明光は、レンズ２８を
通して光路分割キューブ２９に入射され、ここで反射さ
れて反射光路２９１に進み、対物レンズ２５を通して移
動ステージ２２上の標本２３を照明するようになり、こ
の標本２３からの反射光が光路分割キューブ２９を透過
され、透過光路２９３を進み、接眼レンズユニット３１
の結像レンズ３２、２方向分割プリズム３３を介して接
眼レンズ３４の中間位置およびＴＶカメラ３５の撮像面
３５１に結像され、これら接眼レンズ３４またはＴＶカ
メラ３５により欠陥部位に対する高倍率の顕微鏡観察が
行われる。
【００２２】従って、このようにすれば、顕微鏡本体２
１の落射照明光源２７による落射照明光を光路分割キュ
ーブ２９により反射光路２９１と透過光路２９２に分割
するとともに、これら反射光路２９１および透過光路２
９２のいずれか一方をシャッタ３０により遮蔽可能にす
る。そして、シャッタ３０により反射光路２９１を遮蔽
している状態では、透過光路２９２を通った落射照明光
による標本２３のスポット照明像が接眼レンズユニット
３１に取り込まれ、接眼レンズ３４およびＴＶカメラ３
５により欠陥部の観察を可能にし、シャッタ３０により
透過光路２９２を遮蔽している状態では、反射光路２９
１を通った落射照明光による標本２３の観察像が、同様
に接眼レンズユニット３１に取り込まれ、接眼レンズ３
４およびＴＶカメラ３５により高倍率の観察を可能にす
る。このようにして、スポット照明付き観察系に対する
落射照明光源２７および接眼レンズユニット３１と、顕
微鏡本体２１による標本２３の観察に対する落射照明光
源２７および接眼レンズユニット３１を共用できるよう
にしているので、スポット照明付き観察系での部品点数
を大幅に軽減でき、顕微鏡全体として小型で価格的にも
安価にできる。また、落射照明光源２７を共通にできる
ことは、従来の２個の落射照明光源を用いたものに比
べ、光源のメンテナンス工数を低減でき、取扱いを簡単
なものにできる。さらに、スポット照明付き観察系につ
いても、接眼レンズ３４による接眼観察も可能にしたの
で、スポット照明付き観察系での観察をさらに確実なも
のにできる。
１の落射照明光源２７による落射照明光を光路分割キュ
ーブ２９により反射光路２９１と透過光路２９２に分割
するとともに、これら反射光路２９１および透過光路２
９２のいずれか一方をシャッタ３０により遮蔽可能にす
る。そして、シャッタ３０により反射光路２９１を遮蔽
している状態では、透過光路２９２を通った落射照明光
による標本２３のスポット照明像が接眼レンズユニット
３１に取り込まれ、接眼レンズ３４およびＴＶカメラ３
５により欠陥部の観察を可能にし、シャッタ３０により
透過光路２９２を遮蔽している状態では、反射光路２９
１を通った落射照明光による標本２３の観察像が、同様
に接眼レンズユニット３１に取り込まれ、接眼レンズ３
４およびＴＶカメラ３５により高倍率の観察を可能にす
る。このようにして、スポット照明付き観察系に対する
落射照明光源２７および接眼レンズユニット３１と、顕
微鏡本体２１による標本２３の観察に対する落射照明光
源２７および接眼レンズユニット３１を共用できるよう
にしているので、スポット照明付き観察系での部品点数
を大幅に軽減でき、顕微鏡全体として小型で価格的にも
安価にできる。また、落射照明光源２７を共通にできる
ことは、従来の２個の落射照明光源を用いたものに比
べ、光源のメンテナンス工数を低減でき、取扱いを簡単
なものにできる。さらに、スポット照明付き観察系につ
いても、接眼レンズ３４による接眼観察も可能にしたの
で、スポット照明付き観察系での観察をさらに確実なも
のにできる。
【００２３】なお、上述した実施の形態では、シャッタ
３０により光路分割キューブ２９の反射光路２９１また
は透過光路２９２を選択的に遮蔽するようにしたが、こ
れら反射光路２９１、透過光路２９２に各別にシャッタ
を設け、自動または手動によりそれぞれ独立して反射光
路２９１または透過光路２９２を遮蔽するようにしても
よいし、さらに機械的なシャッタに代えて液晶シャッタ
を用いてもよい。また、上述した実施の形態では、対物
レンズ２５、３８に無限遠対物レンズを用い、これら対
物レンズ２５または３８と結像レンズ３２により標本２
３の観察像を結像させる無限遠設計の顕微鏡について述
べたが、対物レンズ２５、３８に有限遠対物レンズを用
い、それぞれの結像位置を結像レンズ３２およびＴＶカ
メラ３５の撮像面３５１に直接合致させる有限遠設計の
顕微鏡にも適用できる。また、このような有限遠設計の
対物レンズの光路のどこかに、結像位置を変えるための
レンズを配置する光学系にも有効である。
３０により光路分割キューブ２９の反射光路２９１また
は透過光路２９２を選択的に遮蔽するようにしたが、こ
れら反射光路２９１、透過光路２９２に各別にシャッタ
を設け、自動または手動によりそれぞれ独立して反射光
路２９１または透過光路２９２を遮蔽するようにしても
よいし、さらに機械的なシャッタに代えて液晶シャッタ
を用いてもよい。また、上述した実施の形態では、対物
レンズ２５、３８に無限遠対物レンズを用い、これら対
物レンズ２５または３８と結像レンズ３２により標本２
３の観察像を結像させる無限遠設計の顕微鏡について述
べたが、対物レンズ２５、３８に有限遠対物レンズを用
い、それぞれの結像位置を結像レンズ３２およびＴＶカ
メラ３５の撮像面３５１に直接合致させる有限遠設計の
顕微鏡にも適用できる。また、このような有限遠設計の
対物レンズの光路のどこかに、結像位置を変えるための
レンズを配置する光学系にも有効である。
【００２４】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、ス
ポット照明用光学手段に対する照明用光源および観察用
光学手段と観察照明用光学手段に対する照明用光源およ
び観察用光学手段を共用できるので、スポット照明付き
観察系での部品点数を軽減できる分、小型で価格的にも
安価にできる。また、照明用光源を共通にできることか
ら光源のメンテナンス工数を低減でき、取扱いを簡単な
ものにできる。さらに、スポット照明付き観察系での接
眼観察も可能にできるので、スポット照明付き観察系で
の観察をさらに確実なものにできる。
ポット照明用光学手段に対する照明用光源および観察用
光学手段と観察照明用光学手段に対する照明用光源およ
び観察用光学手段を共用できるので、スポット照明付き
観察系での部品点数を軽減できる分、小型で価格的にも
安価にできる。また、照明用光源を共通にできることか
ら光源のメンテナンス工数を低減でき、取扱いを簡単な
ものにできる。さらに、スポット照明付き観察系での接
眼観察も可能にできるので、スポット照明付き観察系で
の観察をさらに確実なものにできる。
【図１】本発明の一実施の形態にかかるスポット照明付
き観察系を備えた顕微鏡の概略構成を示す図。
き観察系を備えた顕微鏡の概略構成を示す図。
【図２】一実施の形態に適用されるシャッタ装置の概略
構成を示す図。
構成を示す図。
【図３】従来のスポット照明付き観察系を備えた顕微鏡
の概略構成を示す図。
の概略構成を示す図。
２１…顕微鏡本体、 ２２…移動ステージ、 ２３…標本、 ２４…落射照明ユニット、 ２５…対物レンズ、 ２６…レボルバ、 ２７…落射照明光源、 ２８…レンズ、 ２９…光路分割キューブ、 ２９１、２９４…反射光路、 ２９２、２９３…透過光路、 ３０…シャッタ、 ３０１、３０２…遮蔽板、 ３０１ａ、３０２ａ…透穴、 ３０３…ガイド、 ３０４…アクチュエータ、 ３１…接眼レンズユニット、 ３２…結像レンズ、 ３３…２方向分割プリズム、 ３４…接眼レンズ、 ３５…ＴＶカメラ、 ３５１…撮像面、 ３６…スポット照明付き観察系、 ３７…ミラー、 ３８…対物レンズ。
Claims (3)
- 【請求項１】 照明用光源と、 この光源による照明光の光路を多方向に分割する光路分
割手段と、 この光路分割手段で分割された光路の照明光により標本
をスポット照明するスポット照明用光学手段と、 前記光路分割手段で分割された他の光路の照明光により
標本の観察領域を照明する観察照明用光学手段と、 これらスポット照明用光学手段または観察照明用光学手
段により照明された前記標本の像を観察する観察用光学
手段とを具備したことを特徴とする顕微鏡。 - 【請求項２】 前記スポット照明用光学手段および観察
照明用光学手段のそれぞれに光路を各別に遮蔽する遮蔽
手段を設けたことを特徴とする請求項１記載の顕微鏡。 - 【請求項３】 前記スポット照明用光学手段および観察
照明用光学手段のそれぞれの光路を選択的に遮蔽する遮
蔽手段を設けたことを特徴とする請求項１記載の顕微
鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23022996A JP3854665B2 (ja) | 1996-08-30 | 1996-08-30 | 顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23022996A JP3854665B2 (ja) | 1996-08-30 | 1996-08-30 | 顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1073767A true JPH1073767A (ja) | 1998-03-17 |
| JP3854665B2 JP3854665B2 (ja) | 2006-12-06 |
Family
ID=16904572
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23022996A Expired - Fee Related JP3854665B2 (ja) | 1996-08-30 | 1996-08-30 | 顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3854665B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001071406A1 (fr) * | 2000-03-24 | 2001-09-27 | Olympus Optical Co., Ltd. | Microscope |
| JP2002182123A (ja) * | 2000-12-11 | 2002-06-26 | Nikon Corp | 顕微鏡装置 |
| CN100335937C (zh) * | 2004-04-22 | 2007-09-05 | 郑权庸 | 用于检查激光焊接机实时焊接的可移动显微镜 |
| JP2007233506A (ja) * | 2006-02-28 | 2007-09-13 | Hitachi Omron Terminal Solutions Corp | イメージセンサ及び識別装置及びその補正方法 |
| JP2010061133A (ja) * | 2008-09-04 | 2010-03-18 | Leica Microsystems Cms Gmbh | 試料から一つの合成画像ビームまで各々進行する第１及び第２部分画像ビームを合成するための光学システム |
| CN103955050A (zh) * | 2014-05-13 | 2014-07-30 | 杨征 | 一种多光路显微系统 |
| JP2020507106A (ja) * | 2016-12-30 | 2020-03-05 | ライカ バイオシステムズ イメージング インコーポレイテッドＬｅｉｃａ Ｂｉｏｓｙｓｔｅｍｓ Ｉｍａｇｉｎｇ， Ｉｎｃ． | 二重光学経路および単一撮像センサを使用した低解像度スライド撮像、スライドラベル撮像および高解像度スライド撮像 |
| JP2020535478A (ja) * | 2017-09-29 | 2020-12-03 | ライカ バイオシステムズ イメージング インコーポレイテッドＬｅｉｃａ Ｂｉｏｓｙｓｔｅｍｓ Ｉｍａｇｉｎｇ， Ｉｎｃ． | ２回通過式マクロ画像 |
-
1996
- 1996-08-30 JP JP23022996A patent/JP3854665B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100806023B1 (ko) * | 2000-03-24 | 2008-02-26 | 올림푸스 가부시키가이샤 | 현미경 장치 |
| US6657781B2 (en) | 2000-03-24 | 2003-12-02 | Olympus Optical Co., Ltd. | Microscope unit |
| CN1304866C (zh) * | 2000-03-24 | 2007-03-14 | 奥林巴斯光学工业株式会社 | 显微镜装置 |
| WO2001071406A1 (fr) * | 2000-03-24 | 2001-09-27 | Olympus Optical Co., Ltd. | Microscope |
| JP4834272B2 (ja) * | 2000-03-24 | 2011-12-14 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡ユニット |
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| JP2020507106A (ja) * | 2016-12-30 | 2020-03-05 | ライカ バイオシステムズ イメージング インコーポレイテッドＬｅｉｃａ Ｂｉｏｓｙｓｔｅｍｓ Ｉｍａｇｉｎｇ， Ｉｎｃ． | 二重光学経路および単一撮像センサを使用した低解像度スライド撮像、スライドラベル撮像および高解像度スライド撮像 |
| JP2021193459A (ja) * | 2016-12-30 | 2021-12-23 | ライカ バイオシステムズ イメージング インコーポレイテッドLeica Biosystems Imaging, Inc. | 二重光学経路および単一撮像センサを使用した低解像度スライド撮像、スライドラベル撮像および高解像度スライド撮像 |
| JP2020535478A (ja) * | 2017-09-29 | 2020-12-03 | ライカ バイオシステムズ イメージング インコーポレイテッドＬｅｉｃａ Ｂｉｏｓｙｓｔｅｍｓ Ｉｍａｇｉｎｇ， Ｉｎｃ． | ２回通過式マクロ画像 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3854665B2 (ja) | 2006-12-06 |
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