JP2002196218A - 顕微鏡 - Google Patents
顕微鏡Info
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/18—Arrangements with more than one light path, e.g. for comparing two specimens
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 遠紫外スペクトル領域または可視スペクトル
領域における選択的な作業のための簡単で確実な切換が
可能である顕微鏡を創作すること。 【解決手段】 一方における反射器サポート（１３）と
他方における鏡胴レンズ交換器（１６）が機械的に互い
に連結されていて、それにより、選択されたスペクトル
領域に依存して、照明光路内にて反射器サポート（１
３）を所定の反射器（１２）に調節する場合に、鏡胴レ
ンズ交換器（１６）が反射器（１２）及び選択されたス
ペクトル領域に対応する鏡胴レンズ（１７）を光学軸線
（１５）内にて配置するように鏡胴レンズ交換器（１
６）が自動的に位置調節されること。
領域における選択的な作業のための簡単で確実な切換が
可能である顕微鏡を創作すること。 【解決手段】 一方における反射器サポート（１３）と
他方における鏡胴レンズ交換器（１６）が機械的に互い
に連結されていて、それにより、選択されたスペクトル
領域に依存して、照明光路内にて反射器サポート（１
３）を所定の反射器（１２）に調節する場合に、鏡胴レ
ンズ交換器（１６）が反射器（１２）及び選択されたス
ペクトル領域に対応する鏡胴レンズ（１７）を光学軸線
（１５）内にて配置するように鏡胴レンズ交換器（１
６）が自動的に位置調節されること。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、遠紫外スペクトル
領域または可視スペクトル領域における選択的な作業の
ための切換が可能である顕微鏡に関し、この顕微鏡は、
遠紫外スペクトル領域用の少なくとも１つの鏡胴レンズ
並びに可視スペクトル領域用の少なくとも１つの鏡胴レ
ンズを備えた位置調節可能な鏡胴レンズ交換器を有す
る。
領域または可視スペクトル領域における選択的な作業の
ための切換が可能である顕微鏡に関し、この顕微鏡は、
遠紫外スペクトル領域用の少なくとも１つの鏡胴レンズ
並びに可視スペクトル領域用の少なくとも１つの鏡胴レ
ンズを備えた位置調節可能な鏡胴レンズ交換器を有す
る。
【０００２】
【従来の技術】顕微鏡の解像度は、実質的に、使用され
ている照明光の波長に依存する。従来の顕微鏡は可視の
波長領域（以下、英語の ”visible” に基づいてＶＩ
Ｓスペクトル領域と記す）における光を用いて稼動され
る。例えば半導体産業におけるウエーハや回路における
極端に小さいパターンを解像するためには、光スペクト
ルの深い紫外の領域（以下、英語の ”deep ultraviole
t” に基づいてＤＵＶスペクトル領域と記す）内の比較
的短い波長における結像が要求される。この際、ＤＵＶ
稼動において顕微鏡画像はＤＵＶ光に敏感なＴＶカメラ
を用いて目に見えるようにされる。
ている照明光の波長に依存する。従来の顕微鏡は可視の
波長領域（以下、英語の ”visible” に基づいてＶＩ
Ｓスペクトル領域と記す）における光を用いて稼動され
る。例えば半導体産業におけるウエーハや回路における
極端に小さいパターンを解像するためには、光スペクト
ルの深い紫外の領域（以下、英語の ”deep ultraviole
t” に基づいてＤＵＶスペクトル領域と記す）内の比較
的短い波長における結像が要求される。この際、ＤＵＶ
稼動において顕微鏡画像はＤＵＶ光に敏感なＴＶカメラ
を用いて目に見えるようにされる。
【０００３】ＶＩＳスペクトル領域に適している従来の
光学系における材料はＤＵＶスペクトル領域では透過さ
れない。それにより、顕微鏡のＤＵＶ稼動時には、ＤＵ
Ｖ波長のために修正されていて、特殊な材料で構成され
た、プリズム、光線分割器、鏡胴レンズ、並びに対物レ
ンズのような光学系が必要とされる。半導体産業の将来
的な要求に対応するために、ＤＵＶ顕微鏡は、好ましく
は、ＶＩＳ光学系およびＤＵＶ光学系とそれぞれに付属
する照明装置との間の切換が可能であり、そこではＶＩ
Ｓ対物レンズとＤＵＶ対物レンズとの間の切換も行われ
る。
光学系における材料はＤＵＶスペクトル領域では透過さ
れない。それにより、顕微鏡のＤＵＶ稼動時には、ＤＵ
Ｖ波長のために修正されていて、特殊な材料で構成され
た、プリズム、光線分割器、鏡胴レンズ、並びに対物レ
ンズのような光学系が必要とされる。半導体産業の将来
的な要求に対応するために、ＤＵＶ顕微鏡は、好ましく
は、ＶＩＳ光学系およびＤＵＶ光学系とそれぞれに付属
する照明装置との間の切換が可能であり、そこではＶＩ
Ｓ対物レンズとＤＵＶ対物レンズとの間の切換も行われ
る。
【０００４】今日では、像欠陥に関して高度に修正され
ている多くの製造業者の対物レンズは、無限大光路のた
めに計算されていて、鏡胴レンズと共に補整システムを
形成する。即ち、像欠陥の修正において、像欠陥の第１
部分は対物レンズにて、像欠陥の残りの部分は鏡胴レン
ズにて修正される。その際、それに対応して、鏡胴レン
ズは、その名称が予測させるように、必ずしも単独レン
ズから成るというものではなく、レンズグループないし
は鏡胴レンズシステムから構成され得る。それにより、
異なるスペクトル領域のために計算されている様々な対
物レンズのためには、該当する対物レンズと該当するス
ペクトル領域のために補整を成すそれぞれ異なる鏡胴レ
ンズが光路内に取り入れられる必要がある。対物レンズ
及び鏡胴レンズから成るこのような補整システムについ
ては例えばドイツ特許出願公開第１９９３１９４９号明
細書に記載されている。
ている多くの製造業者の対物レンズは、無限大光路のた
めに計算されていて、鏡胴レンズと共に補整システムを
形成する。即ち、像欠陥の修正において、像欠陥の第１
部分は対物レンズにて、像欠陥の残りの部分は鏡胴レン
ズにて修正される。その際、それに対応して、鏡胴レン
ズは、その名称が予測させるように、必ずしも単独レン
ズから成るというものではなく、レンズグループないし
は鏡胴レンズシステムから構成され得る。それにより、
異なるスペクトル領域のために計算されている様々な対
物レンズのためには、該当する対物レンズと該当するス
ペクトル領域のために補整を成すそれぞれ異なる鏡胴レ
ンズが光路内に取り入れられる必要がある。対物レンズ
及び鏡胴レンズから成るこのような補整システムについ
ては例えばドイツ特許出願公開第１９９３１９４９号明
細書に記載されている。
【０００５】この際、遠紫外スペクトル領域または可視
スペクトル領域における選択的な作業のための切換が可
能である顕微鏡では、選択されているスペクトル領域の
ために常に補整が行われる。それにより、使用されるス
ペクトル領域を切り換える際には、鏡胴レンズ交換器
も、適合する鏡胴レンズに調節される必要がある。
スペクトル領域における選択的な作業のための切換が可
能である顕微鏡では、選択されているスペクトル領域の
ために常に補整が行われる。それにより、使用されるス
ペクトル領域を切り換える際には、鏡胴レンズ交換器
も、適合する鏡胴レンズに調節される必要がある。
【０００６】ＤＵＶスペクトル領域における作業のため
にもＶＩＳスペクトル領域における作業のためにも構成
されている周知の顕微鏡では、追加的に照明光路内にて
様々な反射器およびフィルタが調節可能であり、これら
の反射器およびフィルタは、様々な顕微鏡検査方法およ
びコントラスト方法（例えば、明視野コントラスト方
法、暗視野コントラスト方法、干渉コントラスト方法、
ＤＵＶ方法など）のために設けられていて、反射器サポ
ートに配設されている。その調節は手動で又は好ましく
はモータによって行われる。
にもＶＩＳスペクトル領域における作業のためにも構成
されている周知の顕微鏡では、追加的に照明光路内にて
様々な反射器およびフィルタが調節可能であり、これら
の反射器およびフィルタは、様々な顕微鏡検査方法およ
びコントラスト方法（例えば、明視野コントラスト方
法、暗視野コントラスト方法、干渉コントラスト方法、
ＤＵＶ方法など）のために設けられていて、反射器サポ
ートに配設されている。その調節は手動で又は好ましく
はモータによって行われる。
【０００７】顕微鏡の調節に応じて、鏡胴レンズは、所
定の対物レンズに対してだけではなく、追加的に所定の
反射器またはフィルタに対しても割り当てられなくては
ならない。周知の顕微鏡において鏡胴レンズ交換器の対
応的な位置調節は鏡胴レンズ交換器の固有のモータ駆動
装置を介して行われる。その際に、一方ではモータによ
り位置調節可能な反射器（ないしはフィルタも）の割
当、他方では対応する鏡胴レンズの割当がソフトウェア
によって行われる。
定の対物レンズに対してだけではなく、追加的に所定の
反射器またはフィルタに対しても割り当てられなくては
ならない。周知の顕微鏡において鏡胴レンズ交換器の対
応的な位置調節は鏡胴レンズ交換器の固有のモータ駆動
装置を介して行われる。その際に、一方ではモータによ
り位置調節可能な反射器（ないしはフィルタも）の割
当、他方では対応する鏡胴レンズの割当がソフトウェア
によって行われる。
【０００８】鏡胴レンズ交換器ないしは鏡胴レンズのこ
の周知の位置調節および割当における短所として、一方
では、鏡胴レンズ交換器のためのモータ駆動装置の使用
には費用がかかり且つ必要なスペースが大きく、他方で
は、プログラム障害やプログラム停止がＵＶ光領域にお
ける作業時に反射器と鏡胴レンズを間違って割り当てて
しまうという状況がある。
の周知の位置調節および割当における短所として、一方
では、鏡胴レンズ交換器のためのモータ駆動装置の使用
には費用がかかり且つ必要なスペースが大きく、他方で
は、プログラム障害やプログラム停止がＵＶ光領域にお
ける作業時に反射器と鏡胴レンズを間違って割り当てて
しまうという状況がある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】その点から、本発明の
基礎を成す課題は、遠紫外スペクトル領域または可視ス
ペクトル領域における選択的な作業のための簡単で確実
な切換が可能である顕微鏡を創作することである。
基礎を成す課題は、遠紫外スペクトル領域または可視ス
ペクトル領域における選択的な作業のための簡単で確実
な切換が可能である顕微鏡を創作することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前記課題の解決手段は、
本発明に従って、一方における反射器サポートと他方に
おける鏡胴レンズ交換器が機械的に互いに連結されてい
て、それにより、照明光路内にて反射器サポートを所定
の反射器に調節することにより、鏡胴レンズ交換器が所
定の反射器に対応する鏡胴レンズを光学軸線内にて配置
するように鏡胴レンズ交換器が自動的に位置調節される
ことによって特徴付けられている。
本発明に従って、一方における反射器サポートと他方に
おける鏡胴レンズ交換器が機械的に互いに連結されてい
て、それにより、照明光路内にて反射器サポートを所定
の反射器に調節することにより、鏡胴レンズ交換器が所
定の反射器に対応する鏡胴レンズを光学軸線内にて配置
するように鏡胴レンズ交換器が自動的に位置調節される
ことによって特徴付けられている。
【００１１】鏡胴レンズ交換器の運動と反射器サポート
の運動との本発明による機械的な強制連結により、鏡胴
レンズ交換器のための固有の駆動装置が排除され得る。
それに加えて、両方の構成グループの機械的な連結は、
例えば、ＤＵＶスペクトル領域における検査のための反
射器に自動的にＤＵＶ鏡胴レンズが割り当てられるよう
に構成されている。それにより、別個の及びそれと共に
エラーを起こしやすいソフトウェアに従った又はそれに
類似した互いの構成グループの割当が不必要となる。
の運動との本発明による機械的な強制連結により、鏡胴
レンズ交換器のための固有の駆動装置が排除され得る。
それに加えて、両方の構成グループの機械的な連結は、
例えば、ＤＵＶスペクトル領域における検査のための反
射器に自動的にＤＵＶ鏡胴レンズが割り当てられるよう
に構成されている。それにより、別個の及びそれと共に
エラーを起こしやすいソフトウェアに従った又はそれに
類似した互いの構成グループの割当が不必要となる。
【００１２】本発明の実際的な実施形態に従い、反射器
サポートと鏡胴レンズ交換器との間の強制連結は少なく
とも１つの伝動ピンを介して行われ、この伝動ピンは、
反射器サポートに固定されているピンとして形成されて
いて、このピンは、鏡胴レンズ交換器の対応するレシー
バ内に挿入係合し、この鏡胴レンズ交換器を反射器サポ
ートの位置調節の際に強制的に連行する。
サポートと鏡胴レンズ交換器との間の強制連結は少なく
とも１つの伝動ピンを介して行われ、この伝動ピンは、
反射器サポートに固定されているピンとして形成されて
いて、このピンは、鏡胴レンズ交換器の対応するレシー
バ内に挿入係合し、この鏡胴レンズ交換器を反射器サポ
ートの位置調節の際に強制的に連行する。
【００１３】鏡胴レンズ交換器は、有利には、回転可能
に備えられているディスクとしてスペースを節約して構
成されていて、鏡胴レンズを光学軸線内へと調節するた
めのこのディスクの回転角度は調整可能なストッパによ
り制限可能である。
に備えられているディスクとしてスペースを節約して構
成されていて、鏡胴レンズを光学軸線内へと調節するた
めのこのディスクの回転角度は調整可能なストッパによ
り制限可能である。
【００１４】鏡胴レンズ交換器およびそれと共に鏡胴レ
ンズを回転角度の終端位置にてポジションに関して正確
に保持するために、更に、鏡胴レンズ交換器が終端位置
にてストッパの方向にスプリング負荷されていることが
提案される。
ンズを回転角度の終端位置にてポジションに関して正確
に保持するために、更に、鏡胴レンズ交換器が終端位置
にてストッパの方向にスプリング負荷されていることが
提案される。
【００１５】反射器サポートの形成に関して、本発明に
より、反射器サポートをリニアスライダとして形成する
ことが提案され、その理由は、このようなスライダはリ
ニアガイドに沿って確実に且つポジションに関して正確
に移動可能であるからである。このことは、この場合に
おいて、とても重要であり、その理由は、強制連結に基
づいて反射器サポートの運動が鏡胴レンズ交換器の位置
調節に直接的に作用するからである。
より、反射器サポートをリニアスライダとして形成する
ことが提案され、その理由は、このようなスライダはリ
ニアガイドに沿って確実に且つポジションに関して正確
に移動可能であるからである。このことは、この場合に
おいて、とても重要であり、その理由は、強制連結に基
づいて反射器サポートの運動が鏡胴レンズ交換器の位置
調節に直接的に作用するからである。
【００１６】最後に、本発明により、リニアスライダが
モータで駆動可能であることが提案される。
モータで駆動可能であることが提案される。
【００１７】本発明の他の構成および長所は、添付の図
面に関する以下の記載に基づいて示されていて、図面に
は本発明による顕微鏡の２つの実施形態が例として図示
されている。
面に関する以下の記載に基づいて示されていて、図面に
は本発明による顕微鏡の２つの実施形態が例として図示
されている。
【００１８】
【発明の実施の形態】図１には、顕微鏡の構成、この場
合には反射光顕微鏡の構成が示されている。図示されて
いる顕微鏡は、主に、２つの光学システム、鏡胴（ボデ
ィチューブ）３により互いに接続されている対物レンズ
１と接眼レンズ２、照明装置４、検査すべきサンプル６
を受容するためのステージ５、及び、光学部分を把持す
るためのスタンド７から構成されている。
合には反射光顕微鏡の構成が示されている。図示されて
いる顕微鏡は、主に、２つの光学システム、鏡胴（ボデ
ィチューブ）３により互いに接続されている対物レンズ
１と接眼レンズ２、照明装置４、検査すべきサンプル６
を受容するためのステージ５、及び、光学部分を把持す
るためのスタンド７から構成されている。
【００１９】観察、表示、並びに記憶と処理のために、
図示されているこの顕微鏡には、更に、カメラ８、並び
にモニタ１０を有する計算機９が備えられている。
図示されているこの顕微鏡には、更に、カメラ８、並び
にモニタ１０を有する計算機９が備えられている。
【００２０】この反射光顕微鏡の照明装置４は、ランプ
ケース４ａ内に配設されている光源４ｂを有し、光源４
ｂの光は、照明光路の光学軸線１１に沿って、照明光学
系４ｄ並びに絞り４ｃを介して反射器１２へと向けら
れ、この反射器１２により、ステージ５上に配置された
サンプル６へと偏向される。照明光路の光線を偏向する
反射器１２は、リニアスライダとして形成されている反
射器サポート１３に配設されていて、反射器サポート１
３は複数の反射器１２ないしはフィルタ１２を支持し、
これらは選択されたスペクトル領域およびコントラスト
方法に応じて光学軸線内に取り入れ可能である。図示さ
れている場合では反射器サポート１３は駆動装置１４を
介してモータで駆動可能である。
ケース４ａ内に配設されている光源４ｂを有し、光源４
ｂの光は、照明光路の光学軸線１１に沿って、照明光学
系４ｄ並びに絞り４ｃを介して反射器１２へと向けら
れ、この反射器１２により、ステージ５上に配置された
サンプル６へと偏向される。照明光路の光線を偏向する
反射器１２は、リニアスライダとして形成されている反
射器サポート１３に配設されていて、反射器サポート１
３は複数の反射器１２ないしはフィルタ１２を支持し、
これらは選択されたスペクトル領域およびコントラスト
方法に応じて光学軸線内に取り入れ可能である。図示さ
れている場合では反射器サポート１３は駆動装置１４を
介してモータで駆動可能である。
【００２１】観察光路の光学軸線１５内には反射器サポ
ート１３の上側にて鏡胴レンズ交換器１６が配設されて
いて、この鏡胴レンズ交換器１６を介して、選択された
コントラスト方法およびそれによる選択された反射器１
２に依存して、対応する鏡胴レンズ１７が光学軸線１５
内へと旋回可能である。図２〜図５から見て取れるよう
に、鏡胴レンズ交換器１６は回転点１８を中心に旋回可
能なディスクとして形成されている。
ート１３の上側にて鏡胴レンズ交換器１６が配設されて
いて、この鏡胴レンズ交換器１６を介して、選択された
コントラスト方法およびそれによる選択された反射器１
２に依存して、対応する鏡胴レンズ１７が光学軸線１５
内へと旋回可能である。図２〜図５から見て取れるよう
に、鏡胴レンズ交換器１６は回転点１８を中心に旋回可
能なディスクとして形成されている。
【００２２】ステージ５上に配置されたサンプル６を接
眼レンズ２により観察するため又はカメラ８を用いて撮
影するために、観察光路の光学軸線１５内には更に光線
分割器１９が配設されている。所定のコントラスト方法
およびそれによる所定の反射器１２に対する所定の鏡胴
レンズ１７の割当は、選択されたスペクトル領域（ＶＩ
ＳまたはＤＵＶ）に対応してそれに適合する対物レンズ
が選択され、この対物レンズに、補整システムに付属す
る鏡胴レンズが割り当てられるという方式で行われる。
この目的のために、図示されている顕微鏡は次のように
構成されている。即ち、照明光路内にて反射器サポート
１３を用いてＤＵＶ反射器１２を配置する際に、鏡胴レ
ンズ交換器１６は、ＤＵＶ鏡胴レンズ１７が観察光路の
光学軸線１５内にて配置され且つそれにより適合する対
物レンズに割り当てられるように自動的に操作される。
眼レンズ２により観察するため又はカメラ８を用いて撮
影するために、観察光路の光学軸線１５内には更に光線
分割器１９が配設されている。所定のコントラスト方法
およびそれによる所定の反射器１２に対する所定の鏡胴
レンズ１７の割当は、選択されたスペクトル領域（ＶＩ
ＳまたはＤＵＶ）に対応してそれに適合する対物レンズ
が選択され、この対物レンズに、補整システムに付属す
る鏡胴レンズが割り当てられるという方式で行われる。
この目的のために、図示されている顕微鏡は次のように
構成されている。即ち、照明光路内にて反射器サポート
１３を用いてＤＵＶ反射器１２を配置する際に、鏡胴レ
ンズ交換器１６は、ＤＵＶ鏡胴レンズ１７が観察光路の
光学軸線１５内にて配置され且つそれにより適合する対
物レンズに割り当てられるように自動的に操作される。
【００２３】図示されている実施形態では、一方におけ
る反射器サポート１３と他方における鏡胴レンズ交換器
１６が伝動ピン２０を介して機械的に互いに強制連結さ
れている。リニアスライダとして形成されている反射器
サポート１３の正確な構成ならびに鏡胴レンズ交換器１
６の正確な構成は図２〜図５に示されている。
る反射器サポート１３と他方における鏡胴レンズ交換器
１６が伝動ピン２０を介して機械的に互いに強制連結さ
れている。リニアスライダとして形成されている反射器
サポート１３の正確な構成ならびに鏡胴レンズ交換器１
６の正確な構成は図２〜図５に示されている。
【００２４】図２、図３、図４では、３つの反射器１２
が配設されている反射器サポート１３が示されていて、
ここで図示されている場合では、いちばん右側に配設さ
れている反射器１２がＤＵＶ反射器１２である。反射器
サポート１３の上側の観察光路内には鏡胴レンズ交換器
１６が配設されていて、この鏡胴レンズ交換器１６に
は、図２〜図４に従い、ＤＵＶスペクトル領域用のＤＵ
Ｖ鏡胴レンズ１７ａと可視ＶＩＳスペクトル領域用のＶ
ＩＳ鏡胴レンズ１７ｂである２つの鏡胴レンズ１７が備
え付けられている。この際、これは特に有利な実施形態
を扱っていて、その理由は、それぞれのＤＵＶ鏡胴レン
ズ１７ａが様々なＤＵＶ対物レンズと共に補整システム
を形成し且つＤＵＶ稼動における全ての作業にて使用さ
れ得るように、このそれぞれのＤＵＶ鏡胴レンズ１７ａ
が算定されて考案されているからである。同様に、ＶＩ
Ｓ鏡胴レンズ１７ｂは、このＶＩＳ鏡胴レンズ１７ｂが
様々なＶＩＳ対物レンズと共に補整システムを形成し且
つＶＩＳ稼動における全ての作業にて使用され得るよう
に算定されて考案されている。
が配設されている反射器サポート１３が示されていて、
ここで図示されている場合では、いちばん右側に配設さ
れている反射器１２がＤＵＶ反射器１２である。反射器
サポート１３の上側の観察光路内には鏡胴レンズ交換器
１６が配設されていて、この鏡胴レンズ交換器１６に
は、図２〜図４に従い、ＤＵＶスペクトル領域用のＤＵ
Ｖ鏡胴レンズ１７ａと可視ＶＩＳスペクトル領域用のＶ
ＩＳ鏡胴レンズ１７ｂである２つの鏡胴レンズ１７が備
え付けられている。この際、これは特に有利な実施形態
を扱っていて、その理由は、それぞれのＤＵＶ鏡胴レン
ズ１７ａが様々なＤＵＶ対物レンズと共に補整システム
を形成し且つＤＵＶ稼動における全ての作業にて使用さ
れ得るように、このそれぞれのＤＵＶ鏡胴レンズ１７ａ
が算定されて考案されているからである。同様に、ＶＩ
Ｓ鏡胴レンズ１７ｂは、このＶＩＳ鏡胴レンズ１７ｂが
様々なＶＩＳ対物レンズと共に補整システムを形成し且
つＶＩＳ稼動における全ての作業にて使用され得るよう
に算定されて考案されている。
【００２５】しかし、それぞれの補整システムがいかに
算定されているかに依存して、様々なＶＩＳ対物レンズ
に対して、異なるＶＩＳ鏡胴レンズも、並びに、様々な
ＤＵＶ対物レンズに対して、異なるＤＵＶ鏡胴レンズも
設けられ得る（ここでは非図示）。
算定されているかに依存して、様々なＶＩＳ対物レンズ
に対して、異なるＶＩＳ鏡胴レンズも、並びに、様々な
ＤＵＶ対物レンズに対して、異なるＤＵＶ鏡胴レンズも
設けられ得る（ここでは非図示）。
【００２６】鏡胴レンズ交換器１６は、図２及び図３に
て示されている終端位置の間にて、回転点１８を中心に
旋回可能であり、終端位置における回転角度はストッパ
２１により制限される。それぞれの鏡胴レンズ１７が鏡
胴レンズ交換器１６の終端位置において光学軸線１５内
でも正確に配置されていることを保証するために、スト
ッパ２１は調整可能に形成されている。それに加えて鏡
胴レンズ交換器１６はスプリング２２を有し、このスプ
リング２２は、それぞれの鏡胴レンズ１７を光学軸線１
５内の正確な位置に確実に保持するために、鏡胴レンズ
交換器１６を終端位置にてそれぞれのストッパ２１に対
して引き付けている。
て示されている終端位置の間にて、回転点１８を中心に
旋回可能であり、終端位置における回転角度はストッパ
２１により制限される。それぞれの鏡胴レンズ１７が鏡
胴レンズ交換器１６の終端位置において光学軸線１５内
でも正確に配置されていることを保証するために、スト
ッパ２１は調整可能に形成されている。それに加えて鏡
胴レンズ交換器１６はスプリング２２を有し、このスプ
リング２２は、それぞれの鏡胴レンズ１７を光学軸線１
５内の正確な位置に確実に保持するために、鏡胴レンズ
交換器１６を終端位置にてそれぞれのストッパ２１に対
して引き付けている。
【００２７】図１に図示されていて、一方における反射
器サポート１３と他方における鏡胴レンズ交換器１６と
の間の機械的な強制連結をもたらす伝動ピン２０は、Ｄ
ＵＶ反射器１２の高さで反射器サポート１３に固定され
ている。図２及び図３から見て取れるように、伝動ピン
２０は、反射器サポート１３が図２に示されているポジ
ションから図３に示されているポジションに移動する際
に、鏡胴レンズ交換器１６に形成されているレシーバ２
３内に挿入係合する。レシーバ２３内への伝動ピン２０
の入り込み及び反射器サポート１３の更なる移動によ
り、図３及び図４にて示されているようにＤＵＶ反射器
１２を光学軸線１５内にて配置する際にＤＵＶ鏡胴レン
ズ１７ａも光学軸線１５内にて配置されるまで、鏡胴レ
ンズ交換器１６が伝動ピン２０を介して強制的に回転点
１８を中止に旋回される。レシーバ２３内への伝動ピン
２０の進入は、レシーバ２３がその開口部の領域にて両
側にアプローチ傾斜部２４を有することによって容易に
されている。各鏡胴レンズ１７は、複数のレンズから構
成されるレンズシステムとして形成され得る。
器サポート１３と他方における鏡胴レンズ交換器１６と
の間の機械的な強制連結をもたらす伝動ピン２０は、Ｄ
ＵＶ反射器１２の高さで反射器サポート１３に固定され
ている。図２及び図３から見て取れるように、伝動ピン
２０は、反射器サポート１３が図２に示されているポジ
ションから図３に示されているポジションに移動する際
に、鏡胴レンズ交換器１６に形成されているレシーバ２
３内に挿入係合する。レシーバ２３内への伝動ピン２０
の入り込み及び反射器サポート１３の更なる移動によ
り、図３及び図４にて示されているようにＤＵＶ反射器
１２を光学軸線１５内にて配置する際にＤＵＶ鏡胴レン
ズ１７ａも光学軸線１５内にて配置されるまで、鏡胴レ
ンズ交換器１６が伝動ピン２０を介して強制的に回転点
１８を中止に旋回される。レシーバ２３内への伝動ピン
２０の進入は、レシーバ２３がその開口部の領域にて両
側にアプローチ傾斜部２４を有することによって容易に
されている。各鏡胴レンズ１７は、複数のレンズから構
成されるレンズシステムとして形成され得る。
【００２８】最後に図５には、反射器サポート１３と鏡
胴レンズ交換器１６の選択的な実施形態が示されてい
る。この実施形態では、鏡胴レンズ交換器１６に３つの
鏡胴レンズ１７が備えられている。それに対応して反射
器サポート１３は２つの伝動ピン２０を有し、これらの
ピン２０は、それぞれ、鏡胴レンズ交換器１６の対応す
るレシーバ２３に進入し得て、それぞれの反射器１２に
対応する鏡胴レンズ１７に鏡胴レンズ交換器１６を調節
する。
胴レンズ交換器１６の選択的な実施形態が示されてい
る。この実施形態では、鏡胴レンズ交換器１６に３つの
鏡胴レンズ１７が備えられている。それに対応して反射
器サポート１３は２つの伝動ピン２０を有し、これらの
ピン２０は、それぞれ、鏡胴レンズ交換器１６の対応す
るレシーバ２３に進入し得て、それぞれの反射器１２に
対応する鏡胴レンズ１７に鏡胴レンズ交換器１６を調節
する。
【００２９】反射器サポート１３と鏡胴レンズ交換器１
６との間の機械的な強制連結に基づいて、各反射器１２
に対して、それぞれ、観察光路内にて正しい鏡胴レンズ
１７が自動的に配置されていることが保証される。それ
に加えて、この機械的な強制連結により、鏡胴レンズ交
換器１６のための別個の駆動装置が排除され得て、その
理由は、鏡胴レンズ交換器１６が伝動ピン２０を介して
強制的に案内されて旋回されるためである。
６との間の機械的な強制連結に基づいて、各反射器１２
に対して、それぞれ、観察光路内にて正しい鏡胴レンズ
１７が自動的に配置されていることが保証される。それ
に加えて、この機械的な強制連結により、鏡胴レンズ交
換器１６のための別個の駆動装置が排除され得て、その
理由は、鏡胴レンズ交換器１６が伝動ピン２０を介して
強制的に案内されて旋回されるためである。
【図１】顕微鏡の構成を示す部分切断図である。
【図２】本発明による鏡胴レンズ交換器および反射器サ
ポートを示す俯瞰図であり、鏡胴レンズ交換器は第１終
端位置にて示されている。
ポートを示す俯瞰図であり、鏡胴レンズ交換器は第１終
端位置にて示されている。
【図３】図２に対応する図であるが、ここでは鏡胴レン
ズ交換器が第２終端位置にて示されている。
ズ交換器が第２終端位置にて示されている。
【図４】図３に対応する図であるが、ここでは鏡胴レン
ズ交換器と反射器サポートが並んで示されている。
ズ交換器と反射器サポートが並んで示されている。
【図５】鏡胴レンズ交換器と反射器サポートの本発明に
よる第２実施形態を示す図である。
よる第２実施形態を示す図である。
１ 対物レンズ ２ 接眼レンズ ３ 鏡胴（ボディチューブ） ４ 照明装置 ４ａ ランプケース ４ｂ 光源 ４ｃ 絞り ４ｄ 照明光学系 ５ ステージ ６ サンプル ７ スタンド ８ カメラ ９ 計算機 １０ モニタ １１ 光学軸線 １２ 反射器 １３ 反射器サポート １４ 駆動装置 １５ 光学軸線 １６ 鏡胴レンズ交換器 １７ 鏡胴レンズ １７ａ ＤＵＶ鏡胴レンズ １７ｂ ＶＩＳ鏡胴レンズ １８ 回転点 １９ 光線分割器 ２０ 伝動ピン ２１ ストッパ ２２ スプリング ２３ レシーバ ２４ アプローチ傾斜部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H044 HC01 HC05 2H052 AA04 AB06 AB25 AC04 AC06 AC07 AC12 AC14 AD29 AD32 AD33 AD34 AF14
Claims (5)
- 【請求項１】遠紫外のＤＵＶスペクトル領域と可視のＶ
ＩＳスペクトル領域の間の切換が可能である顕微鏡にお
いて、 − ＤＵＶスペクトル領域またはＶＩＳスペクトル領域
に割り当てられていて照明光路内に選択的に取り入れ可
能である複数の反射器（１２）を有する反射器サポート
（１３）が設けられていること、 − 遠紫外のＤＵＶスペクトル領域用の少なくとも１つ
のＤＵＶ鏡胴レンズ（１７ａ）並びに可視のＶＩＳスペ
クトル領域用の少なくとも１つのＶＩＳ鏡胴レンズ（１
７ｂ）を備えた位置調節可能な鏡胴レンズ交換器（１
６）が設けられていること、及び、 − 選択されたスペクトル領域に切り換える場合に、こ
のスペクトル領域に割り当てられている反射器（１２）
が照明光路内に取り入れられ、この際に、鏡胴レンズ交
換器（１６）が反射器（１２）及び選択されたスペクト
ル領域に対応する鏡胴レンズ（１７）を光学軸線（１
５）内にて配置するように鏡胴レンズ交換器（１６）が
自動的に位置調節されることを特徴とする顕微鏡。 - 【請求項２】一方における反射器サポート（１３）と他
方における鏡胴レンズ交換器（１６）が機械的に互いに
連結されていて、それにより、選択されたスペクトル領
域に依存して、照明光路内にて反射器サポート（１３）
を所定の反射器（１２）に調節する場合に、鏡胴レンズ
交換器（１６）が反射器（１２）及び選択されたスペク
トル領域に対応する鏡胴レンズ（１７）を光学軸線（１
５）内にて配置するように鏡胴レンズ交換器（１６）が
自動的に位置調節されることを特徴とする、請求項１に
記載の顕微鏡。 - 【請求項３】反射器サポート（１３）と鏡胴レンズ交換
器（１６）が、少なくとも１つの伝動ピン（２０）を介
して互いに強制連結されていることを特徴とする、請求
項１または２のいずれか一項に記載の顕微鏡。 - 【請求項４】鏡胴レンズ交換器（１６）が、回転可能に
備えられているディスクとして形成されていることを特
徴とする、請求項１〜３の少なくとも１つに記載の顕微
鏡。 - 【請求項５】反射器サポート（１３）が、リニアスライ
ダとして形成されていることを特徴とする、請求項１〜
４の少なくとも１つに記載の顕微鏡。
Applications Claiming Priority (4)
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|---|---|---|---|
| DE10061627 | 2000-12-11 | ||
| DE10154240A DE10154240A1 (de) | 2000-12-11 | 2001-11-07 | Mikroskop |
| DE10154240:2 | 2001-11-07 | ||
| DE10061627:5 | 2001-11-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002196218A true JP2002196218A (ja) | 2002-07-12 |
Family
ID=26007930
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001362663A Pending JP2002196218A (ja) | 2000-12-11 | 2001-11-28 | 顕微鏡 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6473230B2 (ja) |
| EP (1) | EP1220005B1 (ja) |
| JP (1) | JP2002196218A (ja) |
| DE (1) | DE50107742D1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006337643A (ja) * | 2005-06-01 | 2006-12-14 | Keyence Corp | 蛍光顕微鏡 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10235388A1 (de) | 2002-08-02 | 2004-02-19 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Optische Anordnung mit telezentrischem Strahlenbereich |
| DE102004016433A1 (de) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Anordnung zur Veränderung der Auskopplung des Objektlichtes und/oder der Einkopplung von Licht für ein Laser-Scanning-Mikroskop |
| EP2204686B9 (en) | 2008-12-30 | 2012-11-14 | Cellavision AB | Analyser for optical analysis of a biological specimen |
| DE102010039950B4 (de) * | 2010-08-30 | 2021-07-22 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Mikroskop mit Mikro- und Makro-Objektiven |
| CN104570315B (zh) * | 2014-12-30 | 2017-06-27 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种基于结构照明的彩色三维层析显微成像系统及方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6347009B1 (en) * | 1997-08-06 | 2002-02-12 | Nikon Corporation | Illuminating light selection device for a microscope |
| JP3843548B2 (ja) * | 1997-08-06 | 2006-11-08 | 株式会社ニコン | 顕微鏡装置 |
| US5469299A (en) * | 1990-05-15 | 1995-11-21 | Olympus Optical Co., Ltd. | Objective lens system |
| DE4107070A1 (de) * | 1991-03-06 | 1992-09-10 | Jenoptik Jena Gmbh | Zweiteiliger, farbfehlerfreier planachromat |
| JP3647062B2 (ja) * | 1993-05-17 | 2005-05-11 | オリンパス株式会社 | 正立型顕微鏡 |
| JP3537205B2 (ja) * | 1995-02-02 | 2004-06-14 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡装置 |
| US6366398B1 (en) * | 1995-08-17 | 2002-04-02 | Nikon Corporation | Observation apparatus |
| DE19622357B4 (de) * | 1996-06-04 | 2005-09-15 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Vorrichtung zur Umschaltung der Betriebsarten eines Mikroskoptubus |
| US5808807A (en) * | 1996-12-04 | 1998-09-15 | Nikon Corporation | Microscope objective lens with cemented biconvex triplet |
| US6226118B1 (en) * | 1997-06-18 | 2001-05-01 | Olympus Optical Co., Ltd. | Optical microscope |
| DE19931949A1 (de) | 1999-07-09 | 2001-01-11 | Leica Microsystems | DUV-taugliches Mikroskop-Objektiv mit parfokalem IR-Fokus |
-
2001
- 2001-11-23 EP EP01127889A patent/EP1220005B1/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-11-23 DE DE50107742T patent/DE50107742D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-11-28 JP JP2001362663A patent/JP2002196218A/ja active Pending
- 2001-12-04 US US10/004,710 patent/US6473230B2/en not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006337643A (ja) * | 2005-06-01 | 2006-12-14 | Keyence Corp | 蛍光顕微鏡 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6473230B2 (en) | 2002-10-29 |
| DE50107742D1 (de) | 2006-03-02 |
| EP1220005B1 (de) | 2005-10-19 |
| EP1220005A2 (de) | 2002-07-03 |
| US20020135870A1 (en) | 2002-09-26 |
| EP1220005A3 (de) | 2003-10-22 |
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