JP2002311333A - 顕微鏡用光偏向ユニット、それを備えた落射投光管及び顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】鋭敏色板などの位相板を配置するためのスペー
スや機構を別途設けることなく、簡単な構成で、簡単か
つ安価に鋭敏色観察を行なうことが可能な顕微鏡用偏向
ユニット及びそれを用いた落射投光管又は顕微鏡を提供
する。 【解決手段】光路を偏向するための光偏向素子１と、光
偏向素子１を保持するための保持部材３とを有し、光偏
向素子１を経由した少なくとも一つの光路内に位相板２
を配置し、位相板２を保持部材３で保持するようにして
光偏向ユニット５を構成する。この光偏向ユニット５を
落射投光管、微分干渉顕微鏡、偏光顕微鏡の光路内外に
挿脱可能に備えることで、安価で、鋭敏色板等の位相射
板を配置するスペースやメカ構造を設けることなく鋭敏
色観察を行うことが可能な落射投光管、微分干渉顕微
鏡、偏光顕微鏡を達成することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、偏光を利用した顕
微鏡に用いる光偏向ユニット、そのユニットを備えた落
射投光管及び顕微鏡に関する。

【０００２】

【従来の技術】偏光を利用した従来の顕微鏡には、微分
干渉顕微鏡、偏光顕微鏡などがある。微分干渉顕微鏡
は、リタデーション（位相遅れ）を変えてコントラスト
が最も良くなる位置で観察するように構成されている。
リタデーションを変える方式には、プリズム移動方式と
セナルモン方式がある。

【０００３】図１２はプリズム移動方式を用いた微分干
渉顕微鏡の従来例を示す概略構成図である。本従来例の
顕微鏡は、光源１１と、照明系レンズ１２と、照明光の
光路を対物レンズ１５に向けて偏向するための光偏向素
子１と、光偏向素子１の標本１４側に位置する対物レン
ズ１５と、光偏向素子１の標本１４とは反対側に位置す
る結像レンズ１６と、観察接眼レンズ１７と電子撮像系
あるいは写真撮影系の少なくともいずれか一方１８と、
を組み合わせた落射顕微鏡の構成に加えて、光源１１と
光偏向素子１とを結ぶ光路内に偏光子１９を、結像レン
ズ１６と光偏向素子１とを結ぶ光路内に検光子２０を、
対物レンズ１５と光偏向素子１とを結ぶ光路内にノマル
スキープリズム（又はウォラストンプリズム）２１を夫
々配置した落射微分干渉顕微鏡として構成されている。
なお、ウォラストンプリズムは対物レンズ１５の後側焦
点位置に配置する必要がある。そのため、対物レンズの
後側焦点位置が対物レンズ１５の内部に形成される場合
は、ウォラストンプリズムを後側焦点位置に物理的に配
置することができない。よって、このような場合はノマ
ルスキープリズムが用いられる。また、対物レンズの後
側焦点位置が対物レンズ１５の外部に形成される場合は
ウォラストンプリズム、あるいはノマルスキープリズム
が用いられる。通常、対物レンズの後側焦点位置は、対
物レンズ１５の内部に形成されることが多い。よって、
ノマルスキープリズムが良く使われる。

【０００４】光偏向素子１は保持部材３に保持されてお
り、光偏向素子１と保持部材３とで光偏向ユニット５
ａ，５ｂを構成しており、光偏向ユニット５ａ，５ｂは
顕微鏡の光路内外に挿脱可能になっている。光偏向ユニ
ット５ａ内の光偏向素子１はハーフミラーであり、光偏
向ユニット５ｂ内の光偏向素子１はドーナツ状に形成さ
れた暗視野用ミラーであって、所望の目的に適した光偏
向ユニットを顕微鏡の光路内に挿入することができるよ
うになっている。

【０００５】このように構成された微分干渉顕微鏡で
は、光源１１からの照明光は偏光子１９で直線偏光に変
換されて光偏向素子１に入射し、光偏向素子１でその入
射光の一部が反射してノマルスキープリズム（又はウォ
ラストンプリズム）２１に入射し、ノマルスキープリズ
ム（又はウォラストンプリズム）２１を介して振動方向
が互いに直交する２つの直線偏光に分離されて射出す
る。その後対物レンズ１５を介して互いに僅かに離れた
平行な２光線に変換されて標本１４を照明する。標本１
４の僅かに離れた位置で反射した２つの光線は対物レン
ズ１５でそれぞれ集光されてノマルスキープリズム（又
はウォラストンプリズム）２１に入射する。ノマルスキ
ープリズム（又はウォラストンプリズム）２１では、振
動方向が互いに直交する２つの直線偏光が同一光路内で
１つの光束に合成される。合成された光は光偏向素子１
に入射し、その一部の光が透過して検光子２０に入射す
る。検光子２０では、振動方向が互いに直交する直線偏
光のうち同一方向の振動成分だけが取り出されて干渉す
る。そして、干渉した光は結像レンズ１６を経て像を形
成する。この像が微分干渉像であって、標本１４上の僅
かに離れた位置で反射したときに付与された２光線間の
位相差に応じたコントラストを持つ。微分干渉像は、観
察接眼レンズ１７を介して観察することができる。もし
くは、電子撮像系あるいは写真撮影系）１８を介して撮
像（撮影）することができる。

【０００６】また、本実施例の微分干渉顕微鏡では、コ
ントラストの調整は、互いに光軸方向が直交した２枚の
楔形状プリズムを貼り合わせたノマルスキープリズム
（又はウォラストンプリズム）２１を矢印Ａ−Ａ’方向
（楔がついた方向）に移動させることによりリタデーシ
ョンを変えて行なうようになっている。

【０００７】そして、このように構成された従来のプリ
ズム移動式微分干渉顕微鏡では、鋭敏色観察を行なうた
めには、以下の方法が用いられる。一つは、ノマルスキ
ープリズム（又はウォラストンプリズム）自体を鋭敏色
まで調整できる程度に大きく形成し、移動させる方法で
ある。もう一つは、鋭敏色板（波長板）２４を偏光子１
９側光路又は検光子２０側光路のいずれかの光路内に配
置する方法である。

【０００８】図１３はセナルモン方式を用いた微分干渉
顕微鏡の従来例を示す概略構成図である。本従来例の顕
微鏡は、図１２と同様の各ユニットを組み合わせた落射
顕微鏡のの構成に加えて、光源１１と光偏向素子１とを
結ぶ光路内に回転可能な偏光子１９を、結像レンズ１６
と光偏向素子１とを結ぶ光路内に検光子２０を、対物レ
ンズ１５と光偏向素子１とを結ぶ光路内にノマルスキー
プリズム（又はウォラストンプリズム）２１を夫々配置
し、さらに、偏光子１９と光偏向素子１とを結ぶ光路内
の偏光子１９近傍に１／４波長板２５を固定配置した落
射微分干渉顕微鏡として構成されている。

【０００９】また、本実施例の微分干渉顕微鏡では、コ
ントラストの調整は、偏光子１９を回転させることによ
り行なうようになっている。なお、図１３においては、
偏光子１９が回転可能であり、１／４波長板２５が偏光
子１９の近傍に固定された構成となっているが、検光子
２０が回転可能であり、１／４波長板２５が検光子２０
と光偏向素子１とを結ぶ光路内の検光子２０近傍に固定
配置された構成でもよい。このようにセナルモン式微分
干渉顕微鏡では、回転可能な偏光子と固定配置された１
／４波長板とを組み合わせてコントラスト調整を行な
う。

【００１０】そして、このように構成された従来のセナ
ルモン式微分干渉顕微鏡では、鋭敏色観察を行なうため
には、鋭敏色板（波長板）２４を偏光子１９側光路又は
検光子２０側光路のいずれかの光路内に配置する必要が
ある。

【００１１】図１４は偏光顕微鏡の従来例を示す概略構
成図である。本従来例の顕微鏡は、図１２と同様の各ユ
ニットを組み合わせた落射顕微鏡の構成に加えて、光源
１１と光偏向素子１とを結ぶ光路内に偏光子１９を、結
像レンズ１６と光偏向素子１とを結ぶ光路内に検光子２
０を夫々配置した落射偏光顕微鏡として構成されてい
る。

【００１２】このように構成された偏光顕微鏡では、光
源１１からの照明光は偏光子１９で直線偏光に変換され
て光偏向素子１に入射し、光偏向素子１でその入射光の
一部が反射して対物レンズに入射し、対物レンズ１５を
介して標本１４を照明する。標本１４で反射した光線は
対物レンズ１５を経て光偏向素子１に入射し、その一部
の光が透過して検光子２０に入射する。検光子２０は偏
光子１９を通過した直線偏光を通過させないように配置
されている。よって、標本１４で偏光方向が変化した光
のうち、検光子２０と同一の振動方向の振動成分だけが
取り出される。そして、結像レンズ１６を経て、偏光像
が形成される。この偏光像は、観察接眼レンズ１７を介
して観察することができる。もしくは、電子撮像系（あ
るいは写真撮影系）１８を介して撮像（撮影）すること
ができる。

【００１３】そして、このように構成された従来の偏光
顕微鏡では、鋭敏色観察を行なうためには、鋭敏色板
（波長板）２４を偏光子１９側光路又は検光子２０側光
路のいずれかの光路内に配置する必要がある。

【００１４】また、微分干渉顕微鏡や偏光顕微鏡には、
例えば偏光子１９などの偏光板と鋭敏色板２４とを重ね
て配置し、これらを保持部材で保持して平板状（スライ
ダ状）に構成し、この保持部材を顕微鏡の例えば照明光
路内に反転可能に配置できるものがある。このように構
成すると、通常観察時には、偏光板と鋭敏色板のうち鋭
敏色板が光源側に位置するようにしてこの光学素子を挿
入し、鋭敏色観察時には、この光学素子を反転させて偏
光板と鋭敏色板のうち偏光板が光源側に位置するように
挿入することができ、異なる観察が行える。

【００１５】また、近年、半導体検査の工程で使用され
る顕微鏡や多種多様な励起法を切り換える蛍光顕微鏡な
どで自動化が進められてきている。特に、キューブの切
り換えなどによる観察方法の切換、対物レンズの切り換
えが自動化されている。また、オートフォーカスによる
焦点位置調整の自動化も進んでいる。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】しかし、微分干渉顕微
鏡に用いるノマルスキープリズムやウォラストンプリズ
ムの素材となる結晶材料（水晶など）は高価であるた
め、これらのプリズム自体も高価である。プリズム移動
式微分干渉顕微鏡では、標本の微小な位相変化を色の変
化としてとらえることが可能な鋭敏色観察を行うには、
５３０ｎｍ程度のリタデーション変化が必要である。し
かしながら、５３０ｎｍ程度のリタデーション変化が得
られるようにプリズムを大きくしたのでは、さらにプリ
ズムが高価なものになってしまうという問題があった。
一方、プリズムを小さく抑えて形成した場合には、プリ
ズム自体で５３０ｎｍ程度のリタデーション変化を得る
ことができない。よって、上述のように鋭敏色板（波長
板）を光路内に配置する必要があり、配置するための専
用のスペースや機構が必要になるという問題があった。

【００１７】また、セナルモン式微分干渉顕微鏡では、
１／４波長板を光路内に配置するスペースが必要となっ
ている上、鋭敏色観察を行なう場合には、さらに、上述
のように鋭敏色板（波長板）を光路内に配置する必要が
あり、これらの位相板を配置するための専用のスペース
や機構が必要になるという問題があった。

【００１８】また、偏光顕微鏡においても、鋭敏色観察
を行なう場合には、鋭敏色板（波長板）を光路内に配置
する必要があり、配置するための専用のスペースや機構
が必要になるという問題があった。

【００１９】さらに、微分干渉顕微鏡や偏光顕微鏡にお
いて、キューブの切り換えなどによる観察方法の自動化
を考えた場合、波長板や１／４波長板専用に光路内外に
挿脱する機構を設けたのでは、構成が難しく高価になっ
てしまう。

【００２０】そこで、本発明は、鋭敏色板などの位相板
を配置するためのスペースや機構を別途設けることな
く、簡単な構成で、簡単かつ安価に鋭敏色観察を行なう
ことが可能な顕微鏡用偏向ユニット及びそれを用いた落
射投光管又は顕微鏡を提供することを目的とする。

【００２１】

【課題を解決するための手段】本発明による顕微鏡用光
偏向ユニットは、光偏向素子と波長板や１／４波長板な
どの位相板とを保持してなる、顕微鏡の光路内外に挿脱
可能な１つのユニットとして構成されている。より詳し
くは、光路を偏向するための光偏向素子と、前記光偏向
素子を保持するための保持部材とを有して構成された光
偏向ユニットにおいて、前記光偏向素子を経由した少な
くとも一つの光路内に位相板を配置し、前記位相板を前
記保持部材で保持したことを特徴とする。

【００２２】このように位相板と光偏向素子とでユニッ
トを構成すれば、光偏向素子とは別個に位相板を光路中
に配置する従来の顕微鏡に比べて、位相板を配置するた
めのスペースや機構が不要となる。また、本発明のユニ
ットを含めて用途に応じて光偏向素子を有するユニット
を複数用意しておき、ユニットの切り換えのみ自動的に
できるようにしておくことで、鋭敏色観察、セナルモン
方式による微分干渉観察を比較的容易に行なうことがで
きるので、キューブの切り換えなどによる観察方法の自
動化にも対応させ易くなる。なお、光偏向素子や位相板
の保持は、これらの光学素子を直接、保持部材で保持す
れば良いが、これらの光学素子を保持部材とは別の枠部
材で一旦保持し、この枠部材を保持部材に取り付けるよ
うにしても良い。

【００２３】また、本発明による落射投光管は、光源
と、前記光源からの光束を直線偏光の照明光に変換する
偏光素子と、前記照明光の光路を偏向するための光偏向
素子とを備え、かつ、前記光偏向素子と、前記光偏向素
子を経由した少なくとも一つの光路内に配置された位相
板と、前記光偏向素子と前記位相板とを保持する保持部
材とからなる顕微鏡用光偏向ユニットを光路内外に挿脱
可能に備えたことを特徴とする。

【００２４】また、本発明による落射微分干渉顕微鏡
は、光源と、前記光源からの光束を直線偏光の照明光に
変換する第１の偏光素子と、被観察物体の像を形成する
対物レンズを含む観察光学系と、前記第１の偏光素子を
通過した照明光の光路を対物レンズに向けて偏向する光
偏向素子と、前記光偏向素子と前記対物レンズとの間に
配置され、前記第１の光偏向素子で偏向された直線偏光
を振動方向が互いに直交する２つの直線偏光に分離する
と共に、前記被観察物体で反射された振動方向が互いに
直交する２つの直線偏光を同一光路内に合成する偏光分
離合成部材と、前記偏光分離合成部材により同一光路内
に合成された２つの直線偏光を干渉させる第２の偏光素
子とを備え、かつ、前記光偏向素子と前記光偏向素子を
経由する少なくとも一つの光路内に配置された位相板と
前記光偏向素子と前記位相板とを保持する保持部材とか
らなる顕微鏡用光偏向ユニットを光路内外に挿脱可能に
備えたことを特徴とする。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面を用
いて説明する。第１実施例 図１は本発明の第１実施例にかかる顕微鏡用光偏向ユニ
ットの概略構成図である。本実施例の光偏向ユニット５
は、光路を偏向するための光偏向素子１と、光偏向素子
１を保持するための保持部材３とを有して構成された光
偏向ユニットにおいて、光偏向素子１を経由した少なく
とも一つの光路内に位相板２を配置し、位相板２を保持
部材３で保持して構成されている。光偏向素子１として
は、ハーフミラーやダイクロイックミラーなどを用い
る。位相板２は、図１(a)に示すように、光偏向素子１
の透過側光路内に配置しても、図１(b)に示すように、
光偏向素子１の反射側光路内に配置してもよい。また、
位相板２としては、波長板や１／４波長板を用いる。こ
のように構成された本実施例の光偏向ユニットは、以下
の実施例において、光路内外に挿脱可能に用いられる。

【００２６】第２実施例 図２は本発明の第２実施例にかかる顕微鏡用光偏向ユニ
ットを用いた落射投光管の概略構成図である。落射投光
管４は、対物レンズ１５と、検光子２０と、結像レンズ
１６と、観察接眼レンズ１７と電子撮像系あるいは写真
撮影系１８のいずれか一方を備えた顕微鏡において、図
２においては対物レンズ１５と検光子２０との間に配置
される。なお、検光子２０は光路に対して挿脱可能にな
っている。

【００２７】そして、本実施例の落射投光管４は、光源
１１と、光源１１からの光束を直線偏光の照明光に変換
する偏光子１９と、前記照明光を偏向するための光偏向
素子を備えて構成されている。なお、偏光子１９は光路
に対して挿脱可能になっている。本実施例では、顕微鏡
用光偏向ユニットとして３種類例示してあるが、いずれ
も光偏向素子は、光偏向素子を保持する保持部材と共に
１つのユニットを構成している。光偏向ユニット５ａ
は、光偏向素子がハーフミラー１ａで、保持部材３ａに
保持されている。光偏向ユニット５ｂは、光偏向素子が
暗視野用ミラー１ｂで、保持部材３ｂに保持されてい
る。そして、光偏向ユニット５ｃは、光偏向素子がハー
フミラー１ｃで、ハーフミラー１ｃを経由する少なくと
も一つの光路内に配置された位相板２を有し、ハーフミ
ラー１ｃと位相板２とが保持部材３ｃに保持されてい
る。そして、これらの光偏向ユニットは顕微鏡の光路内
外に挿脱可能に備えられており、使用目的に応じて所望
の光偏向ユニットに切り換えることができるようになっ
ている。なお、図２に示す光偏向ユニット５ｃでは、位
相板２は、光偏向素子１の反射側光路内に配置されてい
るが、位相板２は、破線で示すように、光偏向素子１の
透過側光路内に配置してもよい。また、位相板２には、
波長板や１／４波長板などを用いることができる。ま
た、光偏向素子には、ダイクロイックミラーを用いても
よい。

【００２８】このように構成された本実施例の落射投光
管によれば、偏光子１９と検光子２０を光路内に配置し
た状態、すなわち偏光観察を行っている状態で、光偏向
ユニット５ａを光偏向ユニット５ｃに交換することで鋭
敏色観察を行なうことができる。なお、光路中に挿脱す
る光偏向ユニットの切り換え方法としては、落射投光管
自体をスライドさせる方法や、複数種類の光偏向ユニッ
トをレボルバ状部材に配置しておき、その部材の軸を中
心に回転させる方法を用いる（図２において省略）。ま
た、その場合、光偏向ユニットの光路内外への挿脱を電
動で行なうようにするとよい。

【００２９】第３実施例 図３は本発明の第３実施例にかかる顕微鏡用偏向ユニッ
トを用いた落射投光管の概略構成図である。本実施例で
は、図２の構成と比較した場合、偏光子１９が光源１１
と光偏向ユニットとの間の光路中に配置されていない点
で異なる。そして、光偏向ユニット５ｃの代わりに、光
偏向素子であるハーフミラー１ｄの透過側光路内に１／
４波長板で構成された位相板２を配置し、偏光子１９を
ハーフミラー１ｄの反射側光路内に配置して構成された
光偏向ユニット５ｄを光路内外に着脱可能に備えてい
る。このため、光源１１から光偏向ユニットまでの配置
スペースをコンパクト化することが可能となる。

【００３０】第４実施例 図４は本発明の第４実施例にかかる顕微鏡用光偏向ユニ
ットを用いた落射投光管の概略平面図である。本実施例
では、上記の各実施例で説明したような複数種類の光偏
向ユニット５ａ，５ｂ，５ｃがレボルバ状部材６に配置
されており、コントロールボックス７よりモータ８を駆
動してレボルバ状部材６の中心６ａを回転中心として回
転させることで、所望の光偏向ユニットを顕微鏡光路内
外に挿脱させることができるようになっている。その他
の構成は、第２実施例と同様である。

【００３１】第５実施例 図５は本発明の第５実施例にかかる顕微鏡用光偏向ユニ
ットを用いた落射偏光顕微鏡の概略構成図である。本実
施例の顕微鏡は、光路内外に挿脱可能な光偏向素子を備
えたユニットの一つとして、光偏向素子であるハーフミ
ラー１ｃと、ハーフミラー１ｃを経由する少なくとも一
つの光路内に位置する波長板で構成された位相板２と、
ハーフミラー１ｃと位相板２とを保持する保持部材３ｃ
とで構成された顕微鏡用光偏向ユニット５ｃを有してい
る。そして、この光偏光ユニット５ｃが光路内に挿脱可
能に備えられている点で、図１４に示した従来の顕微鏡
とは構成が異なっている。

【００３２】即ち、本実施例の落射偏光顕微鏡は、光源
１１と、照明系レンズ１２と、光偏向素子と、光偏向素
子の標本１４側に位置する対物レンズ１５と、光偏向素
子の標本１４とは反対側に位置する結像レンズ１６と、
観察接眼レンズ１７と、電子撮像系（あるいは写真撮影
系）１８とを組み合わせた落射顕微鏡の構成に加えて、
光源１１と光偏向素子とを結ぶ光路内に偏光子１９を、
結像レンズ１６と光偏向素子とを結ぶ光路内に検光子２
０を夫々配置して構成されている。なお、偏光子１９や
検光子２０は光路に対して挿脱可能になっている。

【００３３】そして、本実施例も第２実施例と同様に、
光偏向ユニット５ａは、光偏向素子がハーフミラー１ａ
で、保持部材３ａに保持されている。光偏向ユニット５
ｂは、光偏向素子が暗視野用ミラー１ｂで、保持部材３
ｂに保持されている。そして、光偏向ユニット５ｃは、
光偏向素子がハーフミラー１ｃで、ハーフミラー１ｃを
経由する少なくとも一つの光路内に配置された位相板２
を有し、ハーフミラー１ｃと位相板２とが保持部材３ｃ
に保持されている。そして、これらの光偏向ユニットは
顕微鏡の光路内外に挿脱可能に備えられており、使用目
的に応じて所望の光偏向ユニットに切り換えることがで
きるようになっている。

【００３４】このため、本実施例によれば、偏光子１９
と検光子２０を光路内に配置した状態、すなわち偏光観
察を行っている状態で、光偏向ユニット５ａを光偏向ユ
ニット５ｃに交換することで鋭敏色観察を行なうことが
できる。そして、図１４に示した従来の落射偏光顕微鏡
のように、光源１１と光偏向素子との間の光路内に波長
板２４などの位相板を配置しなくて済み、その分配置ス
ペースをコンパクト化することができる。なお、図５に
示す顕微鏡用光偏向ユニット５ｃでは、波長板２は、ハ
ーフミラー１ｃの反射側光路（照明光側光路）内に配置
されているが、この波長板２は、破線で示すように、ハ
ーフミラー１ｃの透過側光路（観察側光路）内に配置し
ても良い。但し、波長板２の２つの透過面の平行度によ
っては像の移動が起こることがあるので、波長板２はハ
ーフミラー１ｃの反射側光路（照明光側光路）内に配置
するのが望ましい。また、位相板２としては、１／４波
長板や１／２波長板を用いてもよい。さらに、本実施例
の光偏向ユニットは、光源１１から光偏向ユニットまで
を標本１４の対物レンズとは反対側に設けた透過偏光顕
微鏡にも適用可能である。

【００３５】第６実施例 図６は本発明の第６実施例にかかる顕微鏡用光偏向ユニ
ットを用いたプリズム移動式落射微分干渉顕微鏡の概略
構成図である。本実施例の顕微鏡は、光路内外に挿脱可
能な光偏向素子を備えたユニットの一つとして、光偏向
素子であるハーフミラー１ｃと、ハーフミラー１ｃを経
由する少なくとも一つの光路内に位置する波長板で構成
された位相板２と、ハーフミラー１ｃと位相板２とを保
持する保持部材３ｃとで構成された顕微鏡用光偏向ユニ
ット５ｃを有している。そして、この光偏向ユニット５
ｃが光路内外に挿脱可能に備えられている点で、図１２
に示した従来の顕微鏡とは構成が異なっている。

【００３６】即ち、本実施例のプリズム移動式落射微分
干渉顕微鏡は、光源１１と照明系レンズ１２と、光偏向
素子と、光偏向素子の標本１４側に位置する対物レンズ
１５と、光偏向素子の標本１４とは反対側に位置する結
像レンズ１６と、観察接眼レンズ１７と電子撮像系（あ
るいは写真撮影系）１８とを組み合わせた落射顕微鏡の
構成に加えて、光源１１と光偏向素子とを結ぶ光路内に
偏光子１９を、結像レンズ１６と光偏向素子とを結ぶ光
路内に検光子２０を夫々配置して構成されている。ま
た、対物レンズ１５と光偏向素子とを結ぶ光路内にノマ
ルスキープリズム（又はウォラストンプリズム）２１を
配置して構成されている。なお、偏光子１９や検光子２
０は光路に対して挿脱可能になっている。

【００３７】コントラストの調整は、互いに光軸方向が
直交した２枚の楔形状プリズムを貼り合わせたノマルス
キープリズム（又はウォラストンプリズム）２１を矢印
Ａ−Ａ’方向（楔がついた方向）に移動させることによ
りリタデーションを変えて行なうようになっている。こ
れらの構成に関しては、図１２に示す従来例と同じであ
る。

【００３８】図１２に示す従来例においては、プリズム
のみの移動により鋭敏色まで観察できるようにすると、
プリズムの寸法が大きくなり高価となるという問題があ
った。そこで本実施例では、プリズムは、ある程度のコ
ントラスト調整ができる程度に寸法を抑えて製造されて
いる。ただし、本実施例のプリズムは、プリズムのみの
移動によるコントラスト調整の程度が鋭敏色観察をする
ことができるまでに至らない程度の大きさなので、鋭敏
色観察を行うために、第２実施例と同様に複数の光偏向
ユニットを備えている。光偏向ユニット５ａは、光偏向
素子がハーフミラー１ａで、保持部材３ａに保持されて
いる。光偏向ユニット５ｂは、光偏向素子が暗視野用ミ
ラー１ｂで、保持部材３ｂに保持されている。そして、
光偏向ユニット５ｃは、光偏向素子がハーフミラー１ｃ
で、ハーフミラー１ｃを経由する少なくとも一つの光路
内に配置された位相板２を有し、ハーフミラー１ｃと位
相板２とが保持部材３ｃに保持されている。そして、こ
れらの光偏向ユニットは顕微鏡の光路内外に挿脱可能に
備えられており、使用目的に応じて所望の光偏向ユニッ
トに切り換えることができるようになっている。

【００３９】このため、本実施例によれば、偏光子１
９、検光子２０、及びノマルスキープリズム（又はウォ
ラストンプリズム）２１を光路内に配置した状態、すな
わち微分干渉観察を行っている状態で、光偏向ユニット
５ａを光偏向ユニット５ｃに交換することで鋭敏色観察
を行なうことができる。そして、ノマルスキープリズム
（又はウォラストンプリズム）は小さい寸法で安価なも
ので足り、また、波長板を配置する顕微鏡のスペースや
メカ構造を必要としないで済む。

【００４０】なお、図６に示す顕微鏡用光偏向ユニット
５ｃでは、波長板２は、ハーフミラー１ｃの反射側光路
（照明光側光路）内に配置されているが、この波長板２
は破線で示すように、ハーフミラー１ｃの透過側光路
（観察側光路）内に配置してもよい。但し、波長板２の
２つの透過面の平行度によっては像の移動が起こること
があるので、波長板２はハーフミラー１ｃの反射側光路
（照明光側光路）内に配置するのが望ましい。その他、
本実施例の顕微鏡は、照明系レンズ１２を設けないで光
源１１と光偏向素子１との間の距離を短くして構成して
も同様の効果を奏する。

【００４１】第７実施例 図７は本発明の第７実施例にかかる顕微鏡用光偏向ユニ
ットを用いたセナルモン式落射微分干渉顕微鏡の概略構
成図である。本実施例の顕微鏡は、光路内外に挿脱可能
な光偏向素子を備えたユニットの一つとして、光偏向素
子であるハーフミラー１ｃと、ハーフミラー１ｃを経由
する少なくとも一つの光路内に位置する波長板で構成さ
れた位相板２と、ハーフミラー１ｃと位相板２とを保持
する保持部材３ｃとで構成された顕微鏡用光偏向ユニッ
ト５ｃを有している。そして、この光偏向ユニット５ｃ
が光路内外に挿脱可能に備えられている点で、図１３に
示した従来の顕微鏡とは構成が異なっている。

【００４２】即ち、本実施例のセナルモン式落射微分干
渉顕微鏡は、光源１１と照明系レンズ１２と、光偏向素
子と、光偏向素子の標本１４側に位置する対物レンズ１
５と、光偏向素子の標本１４とは反対側に位置する結像
レンズ１６と、観察接眼レンズ１７と、電子撮像系（あ
るいは写真撮影系）１８とを組み合わせた落射顕微鏡の
構成に加えて、光源１１と光偏向素子とを結ぶ光路内に
回転可能な偏光子１９を、結像レンズ１６と光偏向素子
とを結ぶ光路内に検光子２０を夫々配置して構成されて
いる。また、対物レンズ１５と光偏向素子とを結ぶ光路
内にノマルスキープリズム（又はウォラストンプリズ
ム）２１を配置して構成されている。さらに、偏光子１
９と光偏向素子とを結ぶ光路内の偏光子１９近傍に１／
４波長板２５を固定配置して構成されている。

【００４３】コントラストの調整は、偏光子１９を回転
させることにより行なうようになっている。なお、図７
においては、偏光子１９が回転可能であり、１／４板２
５が偏光子１９近傍に固定された構成となっているが、
検光子２０が回転可能であり、１／４板２５が検光子２
０と光偏向素子１３とを結ぶ光路内の検光子２０近傍に
固定配置された構成でもよい。これらの構成に関して
は、図１３に示す従来例と同じである。

【００４４】従来例においては、鋭敏色観察を行なう場
合には、さらに波長板を配置するスペースやメカ構造を
設ける必要があった。そこで、本実施例では、第２実施
例と同様に複数の光偏向ユニットを備えている。光偏向
ユニット５ａは、光偏向素子がハーフミラー１ａで、保
持部材３ａに保持されている。光偏向ユニット５ｂは、
光偏向素子が暗視野用ミラー１ｂで、保持部材３ｂに保
持されている。そして、光偏向ユニット５ｃは、光偏向
素子がハーフミラー１ｃで、ハーフミラー１ｃを経由す
る少なくとも一つの光路内に配置された位相板２を有
し、ハーフミラー１ｃと位相板２とが保持部材３ｃに保
持されている。そして、これらの光偏向ユニットは顕微
鏡の光路内外に挿入可能に備えられており、使用目的に
応じて所望の光偏向ユニットに切り換えることができる
ようになっている。

【００４５】このため、本実施例によれば、第６実施例
と同様に、顕微鏡用光偏向ユニット５ｃに切り換えるこ
とで、更なる波長板を配置するスペースやメカ構造を必
要とすることなく鋭敏色観察を行なうことができる。

【００４６】なお、図７では、顕微鏡用光偏向ユニット
５ｃ内の波長板２をハーフミラー１ｃの反射側光路（照
明光側光路）内に配置するとともに、偏光子１９を回転
可能に構成しているが、顕微鏡用光偏向ユニット５ｃ内
の波長板２を破線で示すようにハーフミラー１ｃの透過
側光路（観察側光路）に配置するとともに、検光子２０
を回転可能に構成してもよい。但し、波長板２の２つの
透過面の平行度によっては像の移動が起こることがある
ので、波長板２はハーフミラー１ｃの反射側光路（照明
光側光路）内に配置するとともに、偏光子１９を回転可
能に構成するのが望ましい。

【００４７】第８実施例 図８は本発明の第８実施例にかかる顕微鏡用光偏向ユニ
ットを用いたセナルモン式落射微分干渉顕微鏡を示す図
であり、(a)は概略構成図、(b)は光偏向ユニットの変形
例を示す概略構成図である。本実施例では、図７の実施
例において偏光子１９近傍に固定配置されていた１／４
波長板２５を光偏向ユニットの内部に組み込むことで、
１／４波長板を顕微鏡光路中に挿脱するスペースやメカ
構造をなくしている。即ち、本実施例では、通常観察用
の光偏向ユニットとして、ハーフミラー１ａで構成され
た光偏向素子と、光偏向素子の反射側光路内に位置する
１／４板２５と、光偏向素子と１／４波長板２５とを保
持する保持部材３ａとで構成された光偏向ユニット９ａ
と、鋭敏色観察用の光偏向ユニットとして、光偏向ユニ
ット９ａの構成にさらに波長板で構成された位相板２を
配置した光偏向ユニット９ｂが用意されている。

【００４８】また、図８(a)においては、光偏向ユニッ
ト９ａ，９ｂにおいて、１／４波長板２５をハーフミラ
ー１ａの反射側光路（照明光側光路）内に配置し、ま
た、偏光子１９を回転可能に構成しているが、１／４波
長板２５をハーフミラー１ａの透過側光路（観察側光
路）内に配置するとともに、検光子２０を回転可能に構
成してもよい（図８(b)参照）。また、図８(a)において
は、光偏向ユニット９ｂにおいて、波長板２をハーフミ
ラー１ａの反射側光路（照明光側光路）内に配置しする
とともに、検光子２０を回転可能に構成してもよい（図
８(b)参照）。但し、１／４波長板２５、波長板２、検
光子２０の２つの透過面の平行度によっては像の移動が
起こることがあるので、１／４波長板２５、波長板２は
ハーフミラー１ａの反射側光路（照明光側光路）内に配
置するのが望ましい。

【００４９】図９は本発明の第９実施例にかかる顕微鏡
用光偏向ユニットを用いたセナルモン式透過微分干渉顕
微鏡の概略構成図である。本実施例の顕微鏡は、第１の
光源１１と、照明系レンズ１２と、コンデンサレンズ３
０と、対物レンズ１５と、結像レンズ１６と、観察接眼
レンズ１７と、電子撮像系（あるいは写真撮影系）１８
とを組み合わせた透過顕微鏡の構成を有している。そし
て、さらに、第２の光源（蛍光用光源）３１と、照明系
レンズ（蛍光用照明系レンズ）３２と、光偏向素子（蛍
光用光偏向素子）とを備えており、落射顕微鏡の構成も
兼ね備えている。また、第１の光源１１と標本１４とを
結ぶ光路内に回転可能な偏光子１９を、偏光子１９と標
本１４とを結ぶ光路内にノマルスキープリズム（又はウ
ォラストンプリズム）２１を夫々配置している。さら
に、偏光子１９とノマルスキープリズム（又はウォラス
トンプリズム）２１とを結ぶ光路内の偏光子１９近傍に
１／４波長板２５を固定配置している。さらに、結像レ
ンズ１６と光偏向素子とを結ぶ光路内に検光子２０を、
対物レンズ１５と光偏向素子とを結ぶ光路内にノマルス
キープリズム（又はウォラストンプリズム）２１を夫々
配置して構成されている。このような構成により、本実
施例では落射蛍光観察が可能な透過型微分干渉顕微鏡が
構成されている。なお、偏光子１９、検光子２０、ノマ
ルスキープリズム（又はウォラストンプリズム）２１は
挿脱可能になっている。なお、図９中３３は、全反射ミ
ラーである。

【００５０】そして、本実施例では、ダイクロイックミ
ラーで構成された光偏向素子１ａと保持部材３ａとで構
成された光偏向ユニット１０ａの他に、波長板で構成さ
れた位相板２と保持部材３ａ”とで構成された顕微鏡用
光偏向ユニット１０ｂが顕微鏡の光路内外に挿脱可能に
備えられており、使用目的に応じて所望の光偏向ユニッ
トに切り換えることができるようになっている。

【００５１】このため、本実施例によれば、光偏向素子
（ダイクロイックミラー）１ａのみを備えた蛍光用偏向
ユニット１０ａの光路の外に移動し、代わりに偏光子１
９、検光子２０、ノマルスキープリズム（又はウォラス
トンプリズム）２１を光路内に挿入することにより、微
分干渉観察が可能になる。更に、光路中に、位相板（波
長板）２を備えた蛍光用偏向ユニット１０ｂを挿入する
ことにより、更なる波長板を配置するスペースやメカ構
造を必要とすることなく鋭敏色観察を行なうことができ
る。

【００５２】なお、本実施例においてコントラストの調
整は、固定配置された１／４波長板２５に対して偏光子
１９を回転させることによりリタデーションを変えて行
なうようにしているが、このような方法に限定されるも
のではない。例えば、１／４波長板を設けず、かつ、対
物レンズ１５側もしくはコンデンサレンズ３０側のノマ
ルスキープリズム（又はウォラストンプリズム）２１を
矢印Ａ−Ａ’方向（楔がついた方向）に移動させること
によりリタデーションを変えて行なうようにしてもよ
い。

【００５３】図１０は本発明の第１０実施例にかかるセ
ナルモン式透過型微分干渉顕微鏡の概略構成図、図１１
は第１０実施例における光偏向ユニットの変形例を示す
概略構成図である。本実施例では、１／４波長板２５と
保持部材３とで構成された光偏向ユニット１０ｃを備え
るとともに、検光子２０を回転可能に構成することで、
１／４波長板を配置するスペースやメカ構造をつくるこ
となくセナルモン方式の透過微分干渉顕微鏡を実現して
いる。

【００５４】また、本実施例の顕微鏡において、図１１
(a)に示すように、１／４波長板２５と位相板（波長
板）２とを配置して構成された光偏向ユニット１０ｄを
用いれば、鋭敏色観察を行なうことができる。また、図
１１(b)に示すように、１／４波長板２５と、ダイクロ
イックミラーで構成された光偏向素子１とで構成された
光偏向ユニット１０ｅを用いれば、蛍光観察を行ないな
がら微分干渉観察を行なうことができる。

【００５５】なお、本発明の各実施例において光束を直
線偏光に変換する偏光素子としては、フィルム状の偏光
膜をガラスでサンドイッチしたものや、例えば、グラン
トムソンプリズムのように結晶材料を貼り合わせたも
の、あるいは例えば、ＰＢＳのようにプリズムの接合面
に誘電体の多層膜を配置したものが用いられる。位相板
には、フィルム状の位相膜をガラスでサンドイッチした
ものや結晶材料を貼り合わせたものなどが用いられる。

【００５６】以上説明したように、本発明の顕微鏡用光
偏向ユニット及びそれを用いた落射型投光管又は顕微鏡
は、特許請求の範囲に記載した特徴の他に下記のような
特徴を有している。

【００５７】（１）前記位相板が波長板であることを特
徴とする請求項１に記載の顕微鏡用光偏向ユニット。

【００５８】（２）前記位相板が１／４波長板であるこ
とを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡用光偏向ユニッ
ト。

【００５９】（３）前記位相板が波長板であることを特
徴とする請求項２に記載の落射投光管。

【００６０】（４）前記位相板が１／４波長板であるこ
とを特徴とする請求項２に記載の落射投光管。

【００６１】〈５）複数の光偏向素子が配置されてい
て、電動で光路中に挿脱可能であること特徴とする請求
項２、上記（３）、（４）のいずれかに記載の落射投光
管。

【００６２】（６）前記位相板が波長板であることを特
徴とする請求項３に記載の落射微分干渉顕微鏡。

【００６３】（７）前記第１の偏光素子が光軸を中心と
して回転可能であり、前記位相板が１／４波長板であっ
て前記第１の偏光素子と前記光偏向部材との間に配置さ
れていることを特徴とする請求項３に記載のセナルモン
式落射微分干渉顕微鏡。

【００６４】（８）前記第２の偏光素子が光軸を中心と
して回転可能であり、前記位相板が１／４波長板であっ
て前記第２の偏光素子と前記光偏向部材との間に配置さ
れていることを特徴とする請求項３に記載のセナルモン
式落射微分干渉顕微鏡。

【００６５】（９）前記偏光分離合成部材がノマルスキ
ープリズム又はウォラストンプリズムであることを特徴
とする請求項３、上記（６）〜（８）のいずれかに記載
の落射微分干渉顕微鏡。

【００６６】（１０）照明光源と、前記照明光源からの
光束を直線偏光の照明光に変換する第１の偏光素子と、
前記第１の偏光素子を透過した照明光を対物レンズに向
けて偏向する光偏向素子と、前記照明光によって前記対
物レンズを通して照明された被観察物体の像を形成する
対物レンズを含む観察光学系と、前記光偏向素子を透過
した後に配置された第２の偏光素子とを備え、かつ、前
記光偏向素子と前記光偏向素子を経由する少なくとも一
つの光路内に位置する位相板と前記光偏向素子と前記位
相板とを保持する保持部材とからなる顕微鏡用光偏向ユ
ニットを光路内外に挿脱可能に備えたことを特徴とする
落射偏光顕微鏡。

【００６７】（１１）前記位相板が波長板であることを
特徴とする上記（１０）に記載の落射偏光顕微鏡。

【００６８】（１２）前記位相板が１／４波長板である
ことを特徴とする上記（１０）に記載の落射偏光顕微
鏡。

【００６９】（１３）前記位相板が１／２波長板である
ことを特徴とする上記（１０）に記載の落射偏光顕微
鏡。

【００７０】（１４）第１の照明光源と、前記第１の照
明光源からの光束を直線偏光の照明光に変換する第１の
偏光素子と、直線偏光を振動方向が互いに直交する２つ
の直線偏光に分離する偏光分離部材と、前記分離した２
つの直線偏光を被観察物体に照明するコンデンサレンズ
と、前記被観察物体を透過した光束を拡大結像させるた
めの対物レンズと、前記対物レンズの像側に配置された
振動方向が互いに直交する２つの直線偏光を同一光路中
に合成する偏光合成手段と、前記偏光合成手段により同
一光路中に合成された二つの直線偏光を干渉させる第２
の偏光素子と、第２の照明光源と、前記第２の照明光源
からの光束を対物レンズに向けて偏向する光偏向素子と
を備え、かつ、前記光偏向素子と前記光偏向素子を経由
する少なくとも一つの光路内に位置する位相板と前記光
偏向素子と前記位相板とを保持する保持部材とからなる
顕微鏡用光偏向ユニットを光路内外に挿脱可能に備えた
ことを特徴とする透過微分干渉顕微鏡。

【００７１】（１５）前記位相板が波長板であることを
特徴とする上記（１４）に記載の透過微分干渉顕微鏡。

【００７２】（１６）前記第２の偏光素子が光軸を中心
として回転可能であり、前記位相板が１／４波長板であ
ることを特徴とする上記（１４）に記載のセナルモン式
透過微分干渉顕微鏡。

【００７３】（１７）前記偏光分離部材、前記偏光合成
部材がいずれもノマルスキープリズム又はウォラストン
プリズムであることを特徴とする上記（１４）〜（１
６）のいずれかに記載の透過微分干渉顕微鏡。

【００７４】（１８）第１の照明光源と、前記第１の照
明光源からの光束を直線偏光の照明光に変換する第１の
偏光素子と、被観察物体と、前記被観察物体を透過した
光束を拡大結像させるための対物レンズと、第２の偏光
素子と、第２の照明光源と、前記第２の照明光源からの
光束を対物レンズに向けて偏向する光偏向素子とを備
え、かつ、前記光偏向素子と前記光偏向素子を経由する
少なくとも一つの光路内に位置する位相板と前記光偏向
素子と前記位相板とを保持する保持部材とからなる顕微
鏡用光偏向ユニットを光路内外に挿脱可能に備えたこと
を特徴とする透過偏光顕微鏡。

【００７５】（１９）前記位相板が波長板であることを
特徴とする上記（１８）に記載の透過偏光顕微鏡。

【００７６】（２０）前記位相板が１／４波長板である
ことを特徴とする上記（１８）に記載の透過偏光顕微
鏡。

【００７７】（２１）前記位相板が１／２波長板である
ことを特徴とする上記（１８）に記載の透過偏光顕微
鏡。

【００７８】

【発明の効果】本発明によれば、従来のプリズム移動式
微分干渉顕微鏡に比べて安価に鋭敏色観察を行なうこと
ができる。また、新たに鋭敏色板等の位相板を配置する
スペース・機構を設けることなく、セナルモン式微分干
渉顕微鏡を構築でき、その際の鋭敏色観察も簡単にでき
る。また、偏光顕微鏡での鋭敏色観察も新たに位相板を
配置するスペースやメカ構造を設けることなく可能とな
る。また、自動化の際にも光偏向素子を電動で移動させ
る機構を取付けることで位相板の挿脱が可能になるの
で、光偏向素子とは別個に位相板のみのユニットを構成
して光路内外に挿脱する場合に比べて機構が簡単で安価
に構成できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例にかかる顕微鏡用光偏向ユ
ニットの概略構成図である。

【図２】本発明の第２実施例にかかる顕微鏡用偏向ユニ
ットを用いた落射投光管の概略構成図である。

【図３】本発明の第３実施例にかかる顕微鏡用偏向ユニ
ットを用いた落射投光管の概略構成図である。

【図４】本発明の第４実施例にかかる顕微鏡用偏向ユニ
ットを用いた落射投光管の概略平面図である。

【図５】本発明の第５実施例にかかる顕微鏡用光偏向ユ
ニットを用いた落射偏光顕微鏡の概略構成図である。

【図６】本発明の第６実施例にかかる顕微鏡用光偏向ユ
ニットを用いたプリズム移動式落射微分干渉顕微鏡の概
略構成図である。

【図７】本発明の第７実施例にかかる顕微鏡用光偏向ユ
ニットを用いたプリズム移動式落射微分干渉顕微鏡の概
略構成図である。

【図８】本発明の第８実施例にかかる顕微鏡用光偏向ユ
ニットを用いたセナルモン式落射微分干渉顕微鏡を示す
図であり、(a)は概略構成図、(b)は光偏向ユニットの変
形例を示す概略構成図である。

【図９】本発明の第９実施例にかかる顕微鏡用光偏向ユ
ニットを用いたセナルモン式透過微分干渉顕微鏡の概略
構成図である。

【図１０】本発明の第１０実施例にかかるセナルモン式
透過型微分干渉顕微鏡の概略構成図である。

【図１１】第１０実施例における光偏向ユニットの変形
例を示す概略構成図である。

【図１２】プリズム移動方式を用いた微分干渉顕微鏡の
従来例を示す概略構成図である。

【図１３】セナルモン方式を用いた微分干渉顕微鏡の従
来例を示す概略構成図である。

【図１４】偏光顕微鏡の従来例を示す概略構成図であ
る。

【符号の説明】

１ 光偏向素子 １ａ、１ｃ ハーフミラー（ダイクロイックミラ
ー） １ｂ 暗視野用ミラー ２ 位相板 ３ 保持部材 ４ 落射投光管 ５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，９ａ，９ｂ，１０ａ，１０
ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅ 光偏向ユニット ６ レボルバ状部材 ７ コントロールボックス ８ モータ １１ 光源 １２ 照明系レンズ １４ 標本 １５ 対物レンズ １６ 結像レンズ １７ 観察接眼レンズ １８ 電子撮像系又は写真撮影系等 １９ 偏光子 ２０ 検光子 ２１ ノマルスキープリズム（又はウォラストン
プリズム） ２４ 波長板 ２５ １／４波長板 ３０ コンデンサレンズ ３１ 蛍光用光源 ３２ 蛍光用照明系レンズ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光路を偏向するための光偏向素子と、 前記光偏向素子を保持するための保持部材とを有して構
   成された光偏向ユニットにおいて、 前記光偏向素子を経由した少なくとも一つの光路内に位
   相板を配置し、前記位相板を前記保持部材で保持したこ
   とを特徴とする顕微鏡用光偏向ユニット。
2. 【請求項２】 光源と、 前記光源からの光束を直線偏光の照明光に変換する偏光
   素子と、前記照明光の光路を偏向するための光偏向素子
   とを備え、かつ、 前記光偏向素子と、前記光偏向素子を経由した少なくと
   も一つの光路内に配置された位相板と、前記光偏向素子
   と前記位相板とを保持する保持部材とからなる顕微鏡用
   光偏向ユニットを光路内外に挿脱可能に備えたことを特
   徴とする落射投光管。
3. 【請求項３】 光源と、 前記光源からの光束を直線偏光の照明光に変換する第１
   の偏光素子と、 被観察物体の像を形成する対物レンズを含む観察光学系
   と、 前記第１の偏光素子を通過した照明光の光路を対物レン
   ズに向けて偏向する光偏向素子と、 前記光偏向素子と前記対物レンズとの間に配置され、前
   記第１の光偏向素子で偏向された直線偏光を振動方向が
   互いに直交する２つの直線偏光に分離すると共に、前記
   被観察物体で反射された振動方向が互いに直交する２つ
   の直線偏光を同一光路内に合成する偏光分離合成部材
   と、 前記偏光分離合成部材により同一光路内に合成された２
   つの直線偏光を干渉させる第２の偏光素子とを備え、か
   つ、 前記光偏向素子と前記光偏向素子を経由する少なくとも
   一つの光路内に配置された位相板と前記光偏向素子と前
   記位相板とを保持する保持部材とからなる顕微鏡用光偏
   向ユニットを光路内外に挿脱可能に備えたことを特徴と
   する落射微分干渉顕微鏡。