JPH1195112A - 光学顕微鏡 - Google Patents
光学顕微鏡Info
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- JPH1195112A JPH1195112A JP25342697A JP25342697A JPH1195112A JP H1195112 A JPH1195112 A JP H1195112A JP 25342697 A JP25342697 A JP 25342697A JP 25342697 A JP25342697 A JP 25342697A JP H1195112 A JPH1195112 A JP H1195112A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、構成が簡単で、しかも小型にして標
本像の透過方向と反射方向の光量分割比を切替えること
ができる光学顕微鏡を提供する。 【解決手段】偏光ビームスプリッタ２８の前段に設けら
れる直線偏光素子２９を回転させて、直線偏光素子２９
からの直線偏光のＰ波とＳ波の比率を調整し、偏光ビー
ムスプリッタ２８で分割される透過方向のＰ波と反射方
向のＳ波の比率を変えることで、カメラ３４の撮像面ま
たは接眼レンズ３５の中間像位置での標本像の光量を相
反する関係で連続的に変化させる。
本像の透過方向と反射方向の光量分割比を切替えること
ができる光学顕微鏡を提供する。 【解決手段】偏光ビームスプリッタ２８の前段に設けら
れる直線偏光素子２９を回転させて、直線偏光素子２９
からの直線偏光のＰ波とＳ波の比率を調整し、偏光ビー
ムスプリッタ２８で分割される透過方向のＰ波と反射方
向のＳ波の比率を変えることで、カメラ３４の撮像面ま
たは接眼レンズ３５の中間像位置での標本像の光量を相
反する関係で連続的に変化させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、観察標本像の透過
方向と反射方向の光量分割比を調整可能にした光学顕微
鏡に関するものである。
方向と反射方向の光量分割比を調整可能にした光学顕微
鏡に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、光学顕微鏡の光学系として、図５
に示すように光源１の照明光を、レンズ２を通しビーム
スプリッタ３で反射させ、対物レンズ４を通してステー
ジ５上に載置された標本６に照射し、この標本６からの
反射光を標本６の観察像として、対物レンズ４を通し、
今度はビームスプリッタ３を透過させ、結像レンズ７を
介してビームスプリッタ８で透過方向と反射方向に分割
して、カメラ９の撮像面および接眼レンズ１０の中間像
位置に結像させることにより、カメラ９での標本像の撮
像および接眼レンズ１０での観察者による標本像の観察
を可能にしたものがある。
に示すように光源１の照明光を、レンズ２を通しビーム
スプリッタ３で反射させ、対物レンズ４を通してステー
ジ５上に載置された標本６に照射し、この標本６からの
反射光を標本６の観察像として、対物レンズ４を通し、
今度はビームスプリッタ３を透過させ、結像レンズ７を
介してビームスプリッタ８で透過方向と反射方向に分割
して、カメラ９の撮像面および接眼レンズ１０の中間像
位置に結像させることにより、カメラ９での標本像の撮
像および接眼レンズ１０での観察者による標本像の観察
を可能にしたものがある。
【０００３】ところで、このような光学顕微鏡では、ユ
ーザの要望などによって、カメラ９による標本像の撮像
のための光量と、接眼レンズ１０での観察者による標本
像の観察のための光量を適宜切替えできるようにしたも
のがある。
ーザの要望などによって、カメラ９による標本像の撮像
のための光量と、接眼レンズ１０での観察者による標本
像の観察のための光量を適宜切替えできるようにしたも
のがある。
【０００４】従来では、ビームスプリッタ８として光量
分割比が切替え可能な切替え式のビームスプリッタを使
用し、標本像の透過方向と反射方向の光量分割比を、８
０％：２０％、２０％：８０％に切替えできるようにし
たものがある。
分割比が切替え可能な切替え式のビームスプリッタを使
用し、標本像の透過方向と反射方向の光量分割比を、８
０％：２０％、２０％：８０％に切替えできるようにし
たものがある。
【０００５】この場合、かかる切替え式のビームスプリ
ッタ８は、図６に示すように透過方向と反射方向の光量
分割比の異なる２個のビームスプリッタ８１、８２を光
軸と直交する方向に並べて配置したユニット構成のもの
からなっていて、このユニット構成のビームスプリッタ
８を図７に示すように鏡筒１１の径方向に移動可能に配
置し、所望する光量分割比に応じてビームスプリッタ８
をスライド操作することにより、ビームスプリッタ８
１、８２を選択的に観察光路中に切替え挿入するように
している。なお、図７については、上述した図５と同一
部分に、同符号を付している。
ッタ８は、図６に示すように透過方向と反射方向の光量
分割比の異なる２個のビームスプリッタ８１、８２を光
軸と直交する方向に並べて配置したユニット構成のもの
からなっていて、このユニット構成のビームスプリッタ
８を図７に示すように鏡筒１１の径方向に移動可能に配
置し、所望する光量分割比に応じてビームスプリッタ８
をスライド操作することにより、ビームスプリッタ８
１、８２を選択的に観察光路中に切替え挿入するように
している。なお、図７については、上述した図５と同一
部分に、同符号を付している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
複数のビームスプリッタ８１、８２を光軸と直交する方
向に並べて配置したユニット構成のビームスプリッタ８
を鏡筒１１の径方向に移動可能に設けることは、鏡筒１
１の径ａがいたずらに大きなものになってしまう。この
傾向は、例えば、図８に示すように３個のビームスプリ
ッタ８１、８２、８３を並べて配置したユニット構成の
ビームスプリッタ８を鏡筒１１の径方向に移動可能に設
けるに及んでは、ビームスプリッタの数が増えるほど鏡
筒１１の径ａが大きくなって、隣接される機器の取付け
スペースにも悪影響を与えるおそれがある。
複数のビームスプリッタ８１、８２を光軸と直交する方
向に並べて配置したユニット構成のビームスプリッタ８
を鏡筒１１の径方向に移動可能に設けることは、鏡筒１
１の径ａがいたずらに大きなものになってしまう。この
傾向は、例えば、図８に示すように３個のビームスプリ
ッタ８１、８２、８３を並べて配置したユニット構成の
ビームスプリッタ８を鏡筒１１の径方向に移動可能に設
けるに及んでは、ビームスプリッタの数が増えるほど鏡
筒１１の径ａが大きくなって、隣接される機器の取付け
スペースにも悪影響を与えるおそれがある。
【０００７】また、最近になって、半導体検査などに用
いられる顕微鏡として、ステージ５を移動する代わりに
鏡筒１１側を移動させる鏡筒移動型の顕微鏡が用いられ
る傾向があるが、このような顕微鏡においては、鏡筒１
１の大型化に伴い、鏡筒１１の移動案内用要素、移動伝
達用要素およびアクチュエータのそれぞれが大きくなっ
て、顕微鏡本体全体が大型化してしまい、ユーザにとっ
て取扱いが面倒になるとともに、顕微鏡の設置空間にも
制約を受け、さらには、生産コストの上昇にもつながる
という問題があった。
いられる顕微鏡として、ステージ５を移動する代わりに
鏡筒１１側を移動させる鏡筒移動型の顕微鏡が用いられ
る傾向があるが、このような顕微鏡においては、鏡筒１
１の大型化に伴い、鏡筒１１の移動案内用要素、移動伝
達用要素およびアクチュエータのそれぞれが大きくなっ
て、顕微鏡本体全体が大型化してしまい、ユーザにとっ
て取扱いが面倒になるとともに、顕微鏡の設置空間にも
制約を受け、さらには、生産コストの上昇にもつながる
という問題があった。
【０００８】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、構成が簡単で、しかも小型にして標本像の透過方向
と反射方向の光量分割比を切替えることができる光学顕
微鏡を提供することを目的とする。
で、構成が簡単で、しかも小型にして標本像の透過方向
と反射方向の光量分割比を切替えることができる光学顕
微鏡を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
標本像を偏光ビームスプリッタで透過方向と反射方向に
分割し多方向からの観察を可能にした光学顕微鏡におい
て、前記偏光ビームスプリッタの前段に設けられ、この
偏光ビームスプリッタに入射される光を直線偏光に偏光
する偏光手段と、この偏光手段を光軸を中心に回転さ
せ、この回転に応じて前記偏光手段による入射面に平行
な振動成分のＰ波と入射面に垂直な振動成分のＳ波の比
率を調整し、前記偏光ビームスプリッタで分割される透
過方向と反射方向の光量の比率を変化させる回転手段と
により構成している。
標本像を偏光ビームスプリッタで透過方向と反射方向に
分割し多方向からの観察を可能にした光学顕微鏡におい
て、前記偏光ビームスプリッタの前段に設けられ、この
偏光ビームスプリッタに入射される光を直線偏光に偏光
する偏光手段と、この偏光手段を光軸を中心に回転さ
せ、この回転に応じて前記偏光手段による入射面に平行
な振動成分のＰ波と入射面に垂直な振動成分のＳ波の比
率を調整し、前記偏光ビームスプリッタで分割される透
過方向と反射方向の光量の比率を変化させる回転手段と
により構成している。
【００１０】請求項２記載の発明は、請求項１記載にお
いて、偏光手段は、一定角度の直線偏光を任意の角度の
直線偏光に偏光する偏光板からなっている。請求項３記
載の発明は、請求項１記載において、偏光手段は、光軸
に沿って直線偏光を円偏光に偏光する第１の位相板と円
偏光を直線偏光に偏光する第２の位相板を配置してな
り、前記回転手段は、前記第２の位相板を光軸を中心に
回転させるようにしている。
いて、偏光手段は、一定角度の直線偏光を任意の角度の
直線偏光に偏光する偏光板からなっている。請求項３記
載の発明は、請求項１記載において、偏光手段は、光軸
に沿って直線偏光を円偏光に偏光する第１の位相板と円
偏光を直線偏光に偏光する第２の位相板を配置してな
り、前記回転手段は、前記第２の位相板を光軸を中心に
回転させるようにしている。
【００１１】この結果、請求項１記載の発明によれば、
偏光手段の回転により直線偏光のＰ波とＳ波の比率を調
整し、偏光ビームスプリッタで分割される透過方向と反
射方向の光量の比率を変えることにより、異なる観察
点、例えば、カメラの撮像面または接眼レンズの中間像
位置での標本像の光量を相反する関係で連続的に変化さ
せることができる。また、このような動作を光軸方向に
配置された偏光手段と偏光ビームスプリッタの組み合わ
せにより実現できるので、鏡筒の径を小さくでき、顕微
鏡本体全体の大型化も抑制できる。
偏光手段の回転により直線偏光のＰ波とＳ波の比率を調
整し、偏光ビームスプリッタで分割される透過方向と反
射方向の光量の比率を変えることにより、異なる観察
点、例えば、カメラの撮像面または接眼レンズの中間像
位置での標本像の光量を相反する関係で連続的に変化さ
せることができる。また、このような動作を光軸方向に
配置された偏光手段と偏光ビームスプリッタの組み合わ
せにより実現できるので、鏡筒の径を小さくでき、顕微
鏡本体全体の大型化も抑制できる。
【００１２】請求項２記載の発明によれば、一定角度の
直線偏光を任意の角度の直線偏光に偏光する偏光板の回
転により直線偏光のＰ波とＳ波の比率を調整し、偏光ビ
ームスプリッタで分割される透過方向と反射方向の光量
の比率を変えることにより、異なる観察点、例えば、カ
メラの撮像面または接眼レンズの中間像位置での標本像
の光量を相反する関係で連続的に変化させることができ
る。また、このような動作を光軸方向に配置された偏光
手段と偏光ビームスプリッタの組み合わせにより実現で
きるので、鏡筒の径を小さくでき、顕微鏡本体全体の大
型化も抑制できる。
直線偏光を任意の角度の直線偏光に偏光する偏光板の回
転により直線偏光のＰ波とＳ波の比率を調整し、偏光ビ
ームスプリッタで分割される透過方向と反射方向の光量
の比率を変えることにより、異なる観察点、例えば、カ
メラの撮像面または接眼レンズの中間像位置での標本像
の光量を相反する関係で連続的に変化させることができ
る。また、このような動作を光軸方向に配置された偏光
手段と偏光ビームスプリッタの組み合わせにより実現で
きるので、鏡筒の径を小さくでき、顕微鏡本体全体の大
型化も抑制できる。
【００１３】請求項３記載の発明によれば、光軸に沿っ
て直線偏光を円偏光に偏光する第１の位相板と円偏光を
直線偏光に偏光する第２の位相板のうち第２の位相板の
回転により直線偏光のＰ波とＳ波の比率を調整し、偏光
ビームスプリッタで分割される透過方向と反射方向の光
量の比率を変えることにより、異なる観察点、例えば、
カメラの撮像面または接眼レンズの中間像位置での標本
像の光量を相反する関係で連続的に変化させることがで
きる。また、このような動作を光軸方向に配置された偏
光手段と偏光ビームスプリッタの組み合わせにより実現
できるので、鏡筒の径を小さくでき、顕微鏡本体全体の
大型化も抑制できる。
て直線偏光を円偏光に偏光する第１の位相板と円偏光を
直線偏光に偏光する第２の位相板のうち第２の位相板の
回転により直線偏光のＰ波とＳ波の比率を調整し、偏光
ビームスプリッタで分割される透過方向と反射方向の光
量の比率を変えることにより、異なる観察点、例えば、
カメラの撮像面または接眼レンズの中間像位置での標本
像の光量を相反する関係で連続的に変化させることがで
きる。また、このような動作を光軸方向に配置された偏
光手段と偏光ビームスプリッタの組み合わせにより実現
できるので、鏡筒の径を小さくでき、顕微鏡本体全体の
大型化も抑制できる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に従い説明する。 （第１の実施の形態）図１（ａ）（ｂ）は、本発明の第
１の実施の形態に適用される光学顕微鏡の光学系の概略
構成を示すものである。
に従い説明する。 （第１の実施の形態）図１（ａ）（ｂ）は、本発明の第
１の実施の形態に適用される光学顕微鏡の光学系の概略
構成を示すものである。
【００１５】図において、２１ば光源で、この光源２１
からの照明光を、レンズ２２を通しビームスプリッタ２
３で反射させ、対物レンズ２４を通してステージ２５上
に載置された標本２６に照射する。そして、この標本２
６からの反射光を標本２６の観察像として、対物レンズ
２４を通し、今度はビームスプリッタ２３を透過させ、
結像レンズ２７を介して偏光ビームスプリッタ２８に入
射させる。
からの照明光を、レンズ２２を通しビームスプリッタ２
３で反射させ、対物レンズ２４を通してステージ２５上
に載置された標本２６に照射する。そして、この標本２
６からの反射光を標本２６の観察像として、対物レンズ
２４を通し、今度はビームスプリッタ２３を透過させ、
結像レンズ２７を介して偏光ビームスプリッタ２８に入
射させる。
【００１６】この場合、結像レンズ２７と偏光ビームス
プリッタ２８との間の光路上には、偏光ビームスプリッ
タ２８に入射される光を直線偏光に偏光する直線偏光素
子２９を挿入している。この直線偏光素子２９は、モー
タ３０により光軸を中心に回転可能になっていて、この
時の直線偏光素子２９の回転角度に応じて入射面に平行
な振動成分のＰ波（縦波）と入射面に垂直な振動成分の
Ｓ波（横波）の比率を調整できるようにしている。な
お、直線偏光素子２９としては、偏光板、偏光プリズム
または偏光ビームスプリッタなどが考えられるが、光量
損失の少ない偏光板を用いるのが好ましい。
プリッタ２８との間の光路上には、偏光ビームスプリッ
タ２８に入射される光を直線偏光に偏光する直線偏光素
子２９を挿入している。この直線偏光素子２９は、モー
タ３０により光軸を中心に回転可能になっていて、この
時の直線偏光素子２９の回転角度に応じて入射面に平行
な振動成分のＰ波（縦波）と入射面に垂直な振動成分の
Ｓ波（横波）の比率を調整できるようにしている。な
お、直線偏光素子２９としては、偏光板、偏光プリズム
または偏光ビームスプリッタなどが考えられるが、光量
損失の少ない偏光板を用いるのが好ましい。
【００１７】そして、この直線偏光素子２９からのＰ波
とＳ波の比率を調整した直線偏光を、偏光ビームスプリ
ッタ２８で透過方向と反射方向に分割し、偏光解消板３
２、３３により偏光を解消し、カメラ３４の撮像面およ
び接眼レンズ３５の中間像位置に結像させるようにして
いる。
とＳ波の比率を調整した直線偏光を、偏光ビームスプリ
ッタ２８で透過方向と反射方向に分割し、偏光解消板３
２、３３により偏光を解消し、カメラ３４の撮像面およ
び接眼レンズ３５の中間像位置に結像させるようにして
いる。
【００１８】なお、３６は、これらの光学系を収容して
いる鏡筒である。次に、このように構成した第１の実施
の形態の動作を説明する。いま、光源２１の照明光が、
レンズ２２、ビームスプリッタ２３、対物レンズ２４を
通して標本２６に照射されると、標本２６からの反射光
が対物レンズ２４、ビームスプリッタ２３、結像レンズ
２７を介して直線偏光素子２９に入射され、この直線偏
光素子２９で直線偏光に偏光され、さらに偏光ビームス
プリッタ２８で透過方向と反射方向に分割され、偏光解
消板３２、３３を介してカメラ３４の撮像面および接眼
レンズ３５の中間像位置にそれぞれ結像される。
いる鏡筒である。次に、このように構成した第１の実施
の形態の動作を説明する。いま、光源２１の照明光が、
レンズ２２、ビームスプリッタ２３、対物レンズ２４を
通して標本２６に照射されると、標本２６からの反射光
が対物レンズ２４、ビームスプリッタ２３、結像レンズ
２７を介して直線偏光素子２９に入射され、この直線偏
光素子２９で直線偏光に偏光され、さらに偏光ビームス
プリッタ２８で透過方向と反射方向に分割され、偏光解
消板３２、３３を介してカメラ３４の撮像面および接眼
レンズ３５の中間像位置にそれぞれ結像される。
【００１９】この場合、直線偏光素子２９は、モータ３
０により光軸を中心に回転されるようになっており、い
ま、図２（ａ）に示すように直線偏光素子２９を回転さ
せて入射面に平行な振動成分のＰ波が入射面に垂直な振
動成分のＳ波に比べ大きい直線偏光Ａに偏光したとする
と、偏光ビームスプリッタ２８で分割される透過方向の
Ｐ波は、反射方向のＳ波に比べ大きなものになるので、
透過方向のＰ波が偏光解消板３２を介して結像されるカ
メラ３４の撮像面には、十分な光量の標本像が得られ、
また、反射方向のＳ波が偏光解消板３３を介して結像さ
れる接眼レンズ３５の中間像位置での標本像の光量は小
さなものとなる。
０により光軸を中心に回転されるようになっており、い
ま、図２（ａ）に示すように直線偏光素子２９を回転さ
せて入射面に平行な振動成分のＰ波が入射面に垂直な振
動成分のＳ波に比べ大きい直線偏光Ａに偏光したとする
と、偏光ビームスプリッタ２８で分割される透過方向の
Ｐ波は、反射方向のＳ波に比べ大きなものになるので、
透過方向のＰ波が偏光解消板３２を介して結像されるカ
メラ３４の撮像面には、十分な光量の標本像が得られ、
また、反射方向のＳ波が偏光解消板３３を介して結像さ
れる接眼レンズ３５の中間像位置での標本像の光量は小
さなものとなる。
【００２０】また、図２（ｂ）に示すように、さらに直
線偏光素子２９を回転させて、入射面に垂直な振動成分
のＳ波が入射面に平行な振動成分のＰ波に比べ大きい直
線偏光Ｂに偏光したとすると、今度は、偏光ビームスプ
リッタ２８で分割される反射方向のＳ波は、透過方向の
Ｐ波に比べ大きなものになるので、反射方向のＳ波が偏
光解消板３３を介して結像される接眼レンズ３５の中間
像位置には十分な光量の標本像が得られ、また、透過方
向のＰ波が偏光解消板３２を介して結像されるカメラ３
４の撮像面での標本像の光量は小さなものとなる。
線偏光素子２９を回転させて、入射面に垂直な振動成分
のＳ波が入射面に平行な振動成分のＰ波に比べ大きい直
線偏光Ｂに偏光したとすると、今度は、偏光ビームスプ
リッタ２８で分割される反射方向のＳ波は、透過方向の
Ｐ波に比べ大きなものになるので、反射方向のＳ波が偏
光解消板３３を介して結像される接眼レンズ３５の中間
像位置には十分な光量の標本像が得られ、また、透過方
向のＰ波が偏光解消板３２を介して結像されるカメラ３
４の撮像面での標本像の光量は小さなものとなる。
【００２１】従って、このようにすれば、直線偏光素子
２９を回転させて、直線偏光素子２９からの直線偏光の
Ｐ波とＳ波の比率を調整し、偏光ビームスプリッタ２８
で分割される透過方向のＰ波と反射方向のＳ波の比率を
変えることにより、カメラ３４の撮像面または接眼レン
ズ３５の中間像位置での標本像の光量を相反する関係で
連続的に変化させることができるので、所望する明るさ
によるカメラ３４での標本像の撮像または接眼レンズ３
５での観察者による標本像の観察を実現することができ
る。
２９を回転させて、直線偏光素子２９からの直線偏光の
Ｐ波とＳ波の比率を調整し、偏光ビームスプリッタ２８
で分割される透過方向のＰ波と反射方向のＳ波の比率を
変えることにより、カメラ３４の撮像面または接眼レン
ズ３５の中間像位置での標本像の光量を相反する関係で
連続的に変化させることができるので、所望する明るさ
によるカメラ３４での標本像の撮像または接眼レンズ３
５での観察者による標本像の観察を実現することができ
る。
【００２２】また、構成的にも光軸方向に配置された直
線偏光素子２９と偏光ビームスプリッタ２８の組み合わ
せにより実現できるので、従来の複数のビームスプリッ
タを光軸と直交する方向に並べたものを切替えて使用す
るものと比べ、鏡筒３６の径ａを大幅に小さくすること
ができる。そして、鏡筒３６の径ａを小さくできること
は、鏡筒側が移動される鏡筒移動型顕微鏡に適用された
場合にも、顕微鏡本体全体の大型化を抑制でき、ユーザ
にとって取扱い易いものとなり、さらに、顕微鏡自身の
設置空間の制約問題も解決できるとともに、生産コスト
の低減も実現できる。
線偏光素子２９と偏光ビームスプリッタ２８の組み合わ
せにより実現できるので、従来の複数のビームスプリッ
タを光軸と直交する方向に並べたものを切替えて使用す
るものと比べ、鏡筒３６の径ａを大幅に小さくすること
ができる。そして、鏡筒３６の径ａを小さくできること
は、鏡筒側が移動される鏡筒移動型顕微鏡に適用された
場合にも、顕微鏡本体全体の大型化を抑制でき、ユーザ
にとって取扱い易いものとなり、さらに、顕微鏡自身の
設置空間の制約問題も解決できるとともに、生産コスト
の低減も実現できる。
【００２３】なお、上述した第１の実施の形態では、直
線偏光素子２９をモータ３０により回転させるようにし
ているが、モータに代えてロータリソレノイドや空気圧
を利用したロータリシリンダを使用してもよく、さらに
手動操作によってもよい。また、直線偏光のＰ波とＳ波
の所定の比率に対応させて直線偏光素子２９の回転角度
を予め設定しておき、この設定に基づいて直線偏光素子
２９を自動的に回転させるようにしてもよい。さらに、
直線偏光素子２９として、光軸に沿って２枚のλ／４波
長板を挿入し、偏光ビームスプリッタ２８側のλ／４波
長板を光軸を中心に回転可能とし、結像レンズ２７側の
λ／４波長板を光軸に対し挿脱可能にするように構成す
ることもできる。このようにすると、結像レンズ２７側
のλ／４波長板を挿入したときは、２枚のλ／４波長板
によりλ／２波長板として作用し、直線偏光を、Ｐ波と
Ｓ波の比率を調整可能にした直線偏光に偏光するものに
適用でき、また、結像レンズ２７側のλ／４波長板を取
り除いたときは、１枚のλ／４波長板により直線偏光以
外の円偏光を含む偏光を、Ｐ波とＳ波の比率を調整可能
にした直線偏光に偏光するものに適用できるようにな
る。さらにまた、上述では、偏光ビームスプリッタ２８
に対して偏光解消板３２、３３を固定としているが、こ
れら偏光解消板３２、３３を必要に応じて挿脱できるよ
うにしてもよい。 （第２の実施の形態）図３（ａ）（ｂ）は、本発明の第
２の実施の形態の概略構成を示すもので、図１と同一部
分には同符号を付している。
線偏光素子２９をモータ３０により回転させるようにし
ているが、モータに代えてロータリソレノイドや空気圧
を利用したロータリシリンダを使用してもよく、さらに
手動操作によってもよい。また、直線偏光のＰ波とＳ波
の所定の比率に対応させて直線偏光素子２９の回転角度
を予め設定しておき、この設定に基づいて直線偏光素子
２９を自動的に回転させるようにしてもよい。さらに、
直線偏光素子２９として、光軸に沿って２枚のλ／４波
長板を挿入し、偏光ビームスプリッタ２８側のλ／４波
長板を光軸を中心に回転可能とし、結像レンズ２７側の
λ／４波長板を光軸に対し挿脱可能にするように構成す
ることもできる。このようにすると、結像レンズ２７側
のλ／４波長板を挿入したときは、２枚のλ／４波長板
によりλ／２波長板として作用し、直線偏光を、Ｐ波と
Ｓ波の比率を調整可能にした直線偏光に偏光するものに
適用でき、また、結像レンズ２７側のλ／４波長板を取
り除いたときは、１枚のλ／４波長板により直線偏光以
外の円偏光を含む偏光を、Ｐ波とＳ波の比率を調整可能
にした直線偏光に偏光するものに適用できるようにな
る。さらにまた、上述では、偏光ビームスプリッタ２８
に対して偏光解消板３２、３３を固定としているが、こ
れら偏光解消板３２、３３を必要に応じて挿脱できるよ
うにしてもよい。 （第２の実施の形態）図３（ａ）（ｂ）は、本発明の第
２の実施の形態の概略構成を示すもので、図１と同一部
分には同符号を付している。
【００２４】この場合、照明系のレンズ２２とビームス
プリッタ２３の間にポラライザ３７を挿入し、観察系の
ビームスプリッタ２３と結像レンズ２７の間にアナライ
ザ３８を挿入して、標本２６の偏光観察を行う偏光顕微
鏡を構成している。また、結像レンズ２７と偏光ビーム
スプリッタ２８の間の光路上に直線偏光素子２９に代え
てλ／２波長板３９を挿入している。このλ／２波長板
３９は、標本２６の偏光観察によりアナライザ３８を透
過した直線偏光をさらに所望の回転角度の直線偏光にす
るもので、モータ３０による回転角度に応じて入射面に
平行な振動成分のＰ波（縦波）と入射面に垂直な振動成
分のＳ波（横波）の比率を調整できるようにしている。
プリッタ２３の間にポラライザ３７を挿入し、観察系の
ビームスプリッタ２３と結像レンズ２７の間にアナライ
ザ３８を挿入して、標本２６の偏光観察を行う偏光顕微
鏡を構成している。また、結像レンズ２７と偏光ビーム
スプリッタ２８の間の光路上に直線偏光素子２９に代え
てλ／２波長板３９を挿入している。このλ／２波長板
３９は、標本２６の偏光観察によりアナライザ３８を透
過した直線偏光をさらに所望の回転角度の直線偏光にす
るもので、モータ３０による回転角度に応じて入射面に
平行な振動成分のＰ波（縦波）と入射面に垂直な振動成
分のＳ波（横波）の比率を調整できるようにしている。
【００２５】従って、このようにしても、λ／２波長板
３９をモータ３０により回転させてλ／２波長板３９か
らの直線偏光のＰ波とＳ波の比率を調整し、偏光ビーム
スプリッタ２８で分割される透過方向のＰ波と反射方向
のＳ波の比率を変えることにより、カメラ３４の撮像面
または接眼レンズ３５の中間の位置での標本像の光量を
相反する関係で連続的に変化させることができるので、
所望する明るさによるカメラ３４での標本像の撮像また
は接眼レンズ３５での観察者による標本像の観察を実現
することができる。また、構成的にも光軸方向に配置さ
れたλ／２波長板３９と偏光ビームスプリッタ２８の組
み合わせにより実現できるので、従来の複数のビームス
プリッタを光軸と直交する方向に並べたものを切替えて
使用するものと比べ、鏡筒３６の径ａを大幅に小さくす
ることができる。そして、鏡筒３６の径ａを小さくでき
ることは、鏡筒側が移動される鏡筒移動型顕微鏡に適用
された場合にも、顕微鏡本体全体の大型化を抑制でき、
ユーザにとって取扱い易いものとなり、さらに、顕微鏡
自身の設置空間の制約問題も解決できるとともに、生産
コストの低減も実現できる。 （第３の実施の形態）図４（ａ）（ｂ）は、本発明の第
３の実施の形態の概略構成を示すもので、図１と同一部
分には同符号を付している。
３９をモータ３０により回転させてλ／２波長板３９か
らの直線偏光のＰ波とＳ波の比率を調整し、偏光ビーム
スプリッタ２８で分割される透過方向のＰ波と反射方向
のＳ波の比率を変えることにより、カメラ３４の撮像面
または接眼レンズ３５の中間の位置での標本像の光量を
相反する関係で連続的に変化させることができるので、
所望する明るさによるカメラ３４での標本像の撮像また
は接眼レンズ３５での観察者による標本像の観察を実現
することができる。また、構成的にも光軸方向に配置さ
れたλ／２波長板３９と偏光ビームスプリッタ２８の組
み合わせにより実現できるので、従来の複数のビームス
プリッタを光軸と直交する方向に並べたものを切替えて
使用するものと比べ、鏡筒３６の径ａを大幅に小さくす
ることができる。そして、鏡筒３６の径ａを小さくでき
ることは、鏡筒側が移動される鏡筒移動型顕微鏡に適用
された場合にも、顕微鏡本体全体の大型化を抑制でき、
ユーザにとって取扱い易いものとなり、さらに、顕微鏡
自身の設置空間の制約問題も解決できるとともに、生産
コストの低減も実現できる。 （第３の実施の形態）図４（ａ）（ｂ）は、本発明の第
３の実施の形態の概略構成を示すもので、図１と同一部
分には同符号を付している。
【００２６】この場合も照明系のレンズ２２とビームス
プリッタ２３の間にポラライザ３７を挿入し、観察系の
ビームスプリッタ２３と結像レンズ２７の間にアナライ
ザ３８を挿入して、標本２６の偏光観察を行う偏光顕微
鏡を構成している。
プリッタ２３の間にポラライザ３７を挿入し、観察系の
ビームスプリッタ２３と結像レンズ２７の間にアナライ
ザ３８を挿入して、標本２６の偏光観察を行う偏光顕微
鏡を構成している。
【００２７】また、結像レンズ２７と偏光ビームスプリ
ッタ２８の間の光路上に直線偏光素子２９に代えてλ／
４波長板４０、４１を挿入している。λ／４波長板４０
は、標本２６の偏光観察によりアナライザ３８を透過し
た直線偏光を円偏光に偏光するもので、λ／４波長板４
１は、λ／４波長板４０による円偏光を直線偏光に偏光
するようにしている。また、λ／４波長板４１は、モー
タ３０による回転角度に応じて入射面に平行な振動成分
のＰ波（縦波）と入射面に垂直な振動成分のＳ波（横
波）の比率を調整できるようにしている。
ッタ２８の間の光路上に直線偏光素子２９に代えてλ／
４波長板４０、４１を挿入している。λ／４波長板４０
は、標本２６の偏光観察によりアナライザ３８を透過し
た直線偏光を円偏光に偏光するもので、λ／４波長板４
１は、λ／４波長板４０による円偏光を直線偏光に偏光
するようにしている。また、λ／４波長板４１は、モー
タ３０による回転角度に応じて入射面に平行な振動成分
のＰ波（縦波）と入射面に垂直な振動成分のＳ波（横
波）の比率を調整できるようにしている。
【００２８】従って、このようにしても、λ／４波長板
４１をモータ３０により回転させてλ／４波長板４１か
らの直線偏光のＰ波とＳ波の比率を調整し、偏光ビーム
スプリッタ２８で分割される透過方向のＰ波と反射方向
のＳ波の比率を変えることにより、カメラ３４の撮像面
または接眼レンズ３５の中間像位置での標本像の光量を
相反する関係で連続的に変化させることができるので、
所望する明るさによるカメラ３４での標本像の撮像また
は接眼レンズ３５での観察者による標本像の観察を実現
することができる。また、構成的にも光軸方向に配置さ
れたλ／４波長板４０、４１と偏光ビームスプリッタ２
８の組み合わせにより実現できるので、従来の複数のビ
ームスプリッタを光軸と直交する方向に並べたものを切
替えて使用するものと比べ、鏡筒３６の径ａを大幅に小
さくすることができる。そして、鏡筒３６の径ａを小さ
くできることは、鏡筒側が移動される鏡筒移動型顕微鏡
に適用された場合にも、顕微鏡本体全体の大型化を抑制
でき、ユーザにとって取扱い易いものとなり、さらに、
顕微鏡自身の設置空間の制約問題も解決できるととも
に、生産コストの低減も実現できる。
４１をモータ３０により回転させてλ／４波長板４１か
らの直線偏光のＰ波とＳ波の比率を調整し、偏光ビーム
スプリッタ２８で分割される透過方向のＰ波と反射方向
のＳ波の比率を変えることにより、カメラ３４の撮像面
または接眼レンズ３５の中間像位置での標本像の光量を
相反する関係で連続的に変化させることができるので、
所望する明るさによるカメラ３４での標本像の撮像また
は接眼レンズ３５での観察者による標本像の観察を実現
することができる。また、構成的にも光軸方向に配置さ
れたλ／４波長板４０、４１と偏光ビームスプリッタ２
８の組み合わせにより実現できるので、従来の複数のビ
ームスプリッタを光軸と直交する方向に並べたものを切
替えて使用するものと比べ、鏡筒３６の径ａを大幅に小
さくすることができる。そして、鏡筒３６の径ａを小さ
くできることは、鏡筒側が移動される鏡筒移動型顕微鏡
に適用された場合にも、顕微鏡本体全体の大型化を抑制
でき、ユーザにとって取扱い易いものとなり、さらに、
顕微鏡自身の設置空間の制約問題も解決できるととも
に、生産コストの低減も実現できる。
【００２９】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、偏
光ビームスプリッタで分割される透過方向と反射方向の
光量の比率を変えることにより、異なる観察点、例え
ば、カメラの撮像面または接眼レンズの中間像位置での
標本像の光量を相反する関係で連続的に変化させること
ができ、所望する明るさによるカメラでの標本像の撮像
または接眼レンズでの観察者による標本像の観察を実現
することができる。
光ビームスプリッタで分割される透過方向と反射方向の
光量の比率を変えることにより、異なる観察点、例え
ば、カメラの撮像面または接眼レンズの中間像位置での
標本像の光量を相反する関係で連続的に変化させること
ができ、所望する明るさによるカメラでの標本像の撮像
または接眼レンズでの観察者による標本像の観察を実現
することができる。
【００３０】また、鏡筒の径を小さくでき、特に、鏡筒
移動型顕微鏡については、顕微鏡本体全体の大型化も抑
制できるので、ユーザにとって取扱い易いものとなり、
さらに、顕微鏡自身の設置空間の制約問題も解決できる
とともに、生産コストの低減も実現できる。
移動型顕微鏡については、顕微鏡本体全体の大型化も抑
制できるので、ユーザにとって取扱い易いものとなり、
さらに、顕微鏡自身の設置空間の制約問題も解決できる
とともに、生産コストの低減も実現できる。
【図１】本発明の第１の実施の形態の概略構成を示す
図。
図。
【図２】第１の実施の形態を説明するための図。
【図３】本発明の第２の実施の形態の概略構成を示す
図。
図。
【図４】本発明の第３の実施の形態の概略構成を示す
図。
図。
【図５】従来の光学顕微鏡の概略構成を示す図。
【図６】従来の光学顕微鏡に用いられるユニット構成の
ビームスプリッタの概略構成を示す図。
ビームスプリッタの概略構成を示す図。
【図７】従来の光学顕微鏡の概略構成を示す図。
【図８】従来の光学顕微鏡の概略構成を示す図。
２１…光源、 ２２…レンズ、 ２３…ビームスプリッタ、 ２４…対物レンズ、 ２５…ステージ、 ２６…標本、 ２７…結像レンズ、 ２８…偏光ビームスプリッタ、 ２９…直線偏光素子、 ３０…モータ、 ３２、３３…偏光解消板、 ３４…カメラ、 ３５…接眼レンズ、 ３６…鏡筒、 ３７…ポラライザ、 ３８…アナライザ、 ３９…λ／２波長板、 ４０、４１…λ／４波長板。
Claims (3)
- 【請求項１】 標本像を偏光ビームスプリッタで透過方
向と反射方向に分割し多方向からの観察を可能にした光
学顕微鏡において、 前記偏光ビームスプリッタの前段に設けられ、この偏光
ビームスプリッタに入射される光を直線偏光に偏光する
偏光手段と、 この偏光手段を光軸を中心に回転させ、この回転に応じ
て前記偏光手段による入射面に平行な振動成分のＰ波と
入射面に垂直な振動成分のＳ波の比率を調整し、前記偏
光ビームスプリッタで分割される透過方向と反射方向の
光量の比率を変化させる回転手段とを具備したことを特
徴とする光学顕微鏡。 - 【請求項２】 偏光手段は、一定の角度の直線偏光を任
意の角度の直線偏光に偏光する偏光板からなることを特
徴とする請求項１記載の光学顕微鏡。 - 【請求項３】 偏光手段は、光軸に沿って直線偏光を円
偏光に偏光する第１の位相板と円偏光を直線偏光に偏光
する第２の位相板を配置してなり、 前記回転手段は、前記第２の位相板を光軸を中心に回転
させることを特徴とする請求項１記載の光学顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25342697A JPH1195112A (ja) | 1997-09-18 | 1997-09-18 | 光学顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25342697A JPH1195112A (ja) | 1997-09-18 | 1997-09-18 | 光学顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1195112A true JPH1195112A (ja) | 1999-04-09 |
Family
ID=17251239
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25342697A Withdrawn JPH1195112A (ja) | 1997-09-18 | 1997-09-18 | 光学顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1195112A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007286310A (ja) * | 2006-04-17 | 2007-11-01 | Tohoku Univ | 光学装置及び結像方法 |
| JP2009139479A (ja) * | 2007-12-04 | 2009-06-25 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 画像処理装置 |
| JP2009291358A (ja) * | 2008-06-04 | 2009-12-17 | Olympus Medical Systems Corp | 手術用顕微鏡 |
| JP2010213995A (ja) * | 2009-03-18 | 2010-09-30 | Olympus Medical Systems Corp | 手術用顕微鏡 |
| JP2010266767A (ja) * | 2009-05-15 | 2010-11-25 | Olympus Corp | 顕微鏡 |
| KR20140141306A (ko) * | 2013-05-31 | 2014-12-10 | 엘지디스플레이 주식회사 | 광의 편광상태를 변경할 수 있는 도광판 및 이를 구비한 액정표시소자 |
-
1997
- 1997-09-18 JP JP25342697A patent/JPH1195112A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007286310A (ja) * | 2006-04-17 | 2007-11-01 | Tohoku Univ | 光学装置及び結像方法 |
| JP4555796B2 (ja) * | 2006-04-17 | 2010-10-06 | 株式会社ジーオングストローム | 光学装置及び結像方法 |
| JP2009139479A (ja) * | 2007-12-04 | 2009-06-25 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 画像処理装置 |
| JP2009291358A (ja) * | 2008-06-04 | 2009-12-17 | Olympus Medical Systems Corp | 手術用顕微鏡 |
| JP2010213995A (ja) * | 2009-03-18 | 2010-09-30 | Olympus Medical Systems Corp | 手術用顕微鏡 |
| JP2010266767A (ja) * | 2009-05-15 | 2010-11-25 | Olympus Corp | 顕微鏡 |
| KR20140141306A (ko) * | 2013-05-31 | 2014-12-10 | 엘지디스플레이 주식회사 | 광의 편광상태를 변경할 수 있는 도광판 및 이를 구비한 액정표시소자 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20041207 |