JPH11133211A - フィルタ切換え装置 - Google Patents
フィルタ切換え装置Info
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- JPH11133211A JPH11133211A JP29553297A JP29553297A JPH11133211A JP H11133211 A JPH11133211 A JP H11133211A JP 29553297 A JP29553297 A JP 29553297A JP 29553297 A JP29553297 A JP 29553297A JP H11133211 A JPH11133211 A JP H11133211A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、構成が簡単で安定した動作が得ら
れ、しかも、小形で光軸方向に薄く構成できる、価格的
にも安価なフィルタ切換え装置を提供する。 【解決手段】互いに直交する方向に直線的に進退動作さ
れる駆動腕部３０１、４０１を有するエアシリンダ３、
４のそれぞれの進退動作を組み合わせ、駆動腕部３０
１、４０１にそれぞれ直交する方向に延出して設けられ
た支持桿６、８にスライド移動可能に支持されたフィル
タ保持部９０１を、これら支持桿６、８に沿って直交す
る２方向に移動させ、このフィルタ保持部９０１のフィ
ルタ取付け部９０２、９０３、９０４、９０５を、光源
からの光束が通過される支持板２の透穴２０１と一致す
る位置に移動できるようにした。
れ、しかも、小形で光軸方向に薄く構成できる、価格的
にも安価なフィルタ切換え装置を提供する。 【解決手段】互いに直交する方向に直線的に進退動作さ
れる駆動腕部３０１、４０１を有するエアシリンダ３、
４のそれぞれの進退動作を組み合わせ、駆動腕部３０
１、４０１にそれぞれ直交する方向に延出して設けられ
た支持桿６、８にスライド移動可能に支持されたフィル
タ保持部９０１を、これら支持桿６、８に沿って直交す
る２方向に移動させ、このフィルタ保持部９０１のフィ
ルタ取付け部９０２、９０３、９０４、９０５を、光源
からの光束が通過される支持板２の透穴２０１と一致す
る位置に移動できるようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、光量調整
に用いられるフィルタ切換え装置に関するものである。
に用いられるフィルタ切換え装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ＬＣＤに用いられるガラス基板などの被
検査基板の欠陥検査装置には、被検査基板表面に照明光
を当て、その反射光の光学的変化から基板表面の傷など
の欠陥部分を観察するものが知られている。
検査基板の欠陥検査装置には、被検査基板表面に照明光
を当て、その反射光の光学的変化から基板表面の傷など
の欠陥部分を観察するものが知られている。
【０００３】そして、このような基板検査装置では、被
検査基板表面に照射される照明光の光量を切換えること
で、欠陥検査に最適な照明光の強さを得られるようにし
たものがあり、ここでの照明光の光量を調整するものと
して、透過光量の異なる複数のフィルタを有するととも
に、これらフィルタを照明光の光束中で挿脱自在に切換
えるフィルタ切換え装置が用いられている。
検査基板表面に照射される照明光の光量を切換えること
で、欠陥検査に最適な照明光の強さを得られるようにし
たものがあり、ここでの照明光の光量を調整するものと
して、透過光量の異なる複数のフィルタを有するととも
に、これらフィルタを照明光の光束中で挿脱自在に切換
えるフィルタ切換え装置が用いられている。
【０００４】しかして、従来、この種のフィルタ切換え
装置として、例えば、モータ駆動される回転円板の板面
の円周方向に沿って透過光量の異なる複数のフィルタを
配置するとともに、これら回転円板上のフィルタの一つ
が照明光の光束中に位置させるように構成し、この状態
で、モータを駆動して円板を所定角度回転させること
で、所望する透過光量のフィルタを照明光の光束中に位
置させるようにしたものが考えられている。
装置として、例えば、モータ駆動される回転円板の板面
の円周方向に沿って透過光量の異なる複数のフィルタを
配置するとともに、これら回転円板上のフィルタの一つ
が照明光の光束中に位置させるように構成し、この状態
で、モータを駆動して円板を所定角度回転させること
で、所望する透過光量のフィルタを照明光の光束中に位
置させるようにしたものが考えられている。
【０００５】ところが、このようなフィルタ切換え装置
によると、フィルタの照明光の光束中での位置決め精度
を確保するためには、例えば、モータ原点を検出するセ
ンサや位置決め手段を設けるなどするため、構成が複雑
になるばかりか、駆動源にモータを使用することを併せ
考えると、装置全体が極端に大型化するばかりか、価格
的にも高価になるという問題があった。
によると、フィルタの照明光の光束中での位置決め精度
を確保するためには、例えば、モータ原点を検出するセ
ンサや位置決め手段を設けるなどするため、構成が複雑
になるばかりか、駆動源にモータを使用することを併せ
考えると、装置全体が極端に大型化するばかりか、価格
的にも高価になるという問題があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】そこで、従来、図５に
示すように、光軸２１と直交する方向にエアシリンダ２
２、２３、２４を配置し、これらエアシリンダ２２、２
３、２４のそれぞれの駆動腕部２２１、２３１、２４１
の先端に設けたフィルタ枠２５、２６、２７を、エアシ
リンダ２２、２３、２４の各別の直線往復駆動により選
択的に光軸２１上に位置させることにより、フィルタ枠
２５、２６、２７のうち所望する透過光量を有するフィ
ルタを照明光の光束中に位置させるようにしたフィルタ
切換え装置も用いられている。
示すように、光軸２１と直交する方向にエアシリンダ２
２、２３、２４を配置し、これらエアシリンダ２２、２
３、２４のそれぞれの駆動腕部２２１、２３１、２４１
の先端に設けたフィルタ枠２５、２６、２７を、エアシ
リンダ２２、２３、２４の各別の直線往復駆動により選
択的に光軸２１上に位置させることにより、フィルタ枠
２５、２６、２７のうち所望する透過光量を有するフィ
ルタを照明光の光束中に位置させるようにしたフィルタ
切換え装置も用いられている。
【０００７】ところが、このようなエアシリンダ２２、
２３、２４により直接フィルタ枠２５、２６、２７を往
復駆動するようにしたものでは、エアシリンダ２２、２
３、２４の配置方向の寸法が大きさくなるとともに、複
数のフィルタ枠２５、２６、２７を光軸方向に配置する
ことで、光軸方向の厚さ寸法も大きくなり、さらに、最
近、被検査基板の大型化とともに、照明光の必要光束が
太くなる傾向にある現状では、光軸方向の厚さ寸法が大
きくなると、その分だけ大きなフィルタが必要になるこ
とから、装置全体が大型化するという問題があった。
２３、２４により直接フィルタ枠２５、２６、２７を往
復駆動するようにしたものでは、エアシリンダ２２、２
３、２４の配置方向の寸法が大きさくなるとともに、複
数のフィルタ枠２５、２６、２７を光軸方向に配置する
ことで、光軸方向の厚さ寸法も大きくなり、さらに、最
近、被検査基板の大型化とともに、照明光の必要光束が
太くなる傾向にある現状では、光軸方向の厚さ寸法が大
きくなると、その分だけ大きなフィルタが必要になるこ
とから、装置全体が大型化するという問題があった。
【０００８】本発明は、上記事情に鑑みてなされたもの
で、構成が簡単で安定した動作が得られ、しかも小形で
光軸方向に薄く構成できる、価格的にも安価なフィルタ
切換え装置を提供することを目的とする。
で、構成が簡単で安定した動作が得られ、しかも小形で
光軸方向に薄く構成できる、価格的にも安価なフィルタ
切換え装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
互いに直交する方向に直線的に進退動作される駆動腕部
を有する一対の駆動手段と、これら一対の駆動手段のそ
れぞれの駆動腕部に設けられ、相手駆動手段の駆動腕部
の直線移動方向に沿った方向に延出される支持手段と、
これら支持手段に、スライド移動可能に支持され、前記
一対の駆動手段のそれぞれの駆動腕部の進退動作に応じ
て前記支持手段に沿って直交する２方向に移動されるフ
ィルタ保持手段と、このフィルタ保持手段に設けられ、
該フィルタ保持手段の直交する２方向の移動により、そ
れぞれが所定位置に移動される特性の異なる複数のフィ
ルタとにより構成している。
互いに直交する方向に直線的に進退動作される駆動腕部
を有する一対の駆動手段と、これら一対の駆動手段のそ
れぞれの駆動腕部に設けられ、相手駆動手段の駆動腕部
の直線移動方向に沿った方向に延出される支持手段と、
これら支持手段に、スライド移動可能に支持され、前記
一対の駆動手段のそれぞれの駆動腕部の進退動作に応じ
て前記支持手段に沿って直交する２方向に移動されるフ
ィルタ保持手段と、このフィルタ保持手段に設けられ、
該フィルタ保持手段の直交する２方向の移動により、そ
れぞれが所定位置に移動される特性の異なる複数のフィ
ルタとにより構成している。
【００１０】請求項２記載の発明は、請求項１記載にお
いて、前記フィルタ保持手段は、矩形状をなし、直交す
る側縁を前記各支持手段にスライド移動可能に支持され
ている。
いて、前記フィルタ保持手段は、矩形状をなし、直交す
る側縁を前記各支持手段にスライド移動可能に支持され
ている。
【００１１】請求項３記載の発明は、請求項１または２
記載において、前記フィルタ保持手段は、前記支持手段
にスライドガイドを介してスライド移動可能に支持され
ている。
記載において、前記フィルタ保持手段は、前記支持手段
にスライドガイドを介してスライド移動可能に支持され
ている。
【００１２】この結果、請求項１記載の発明によれば、
互いに直交する方向に直線的に進退動作される駆動腕部
を有する一対の駆動手段の進退動作を組み合わせ、フィ
ルタ保持手段を直交する２方向に移動することにより、
所望するフィルタを所定位置まで移動させることがで
き、複数の特性の異なるフィルタの任意の切換えを行う
ことができる。
互いに直交する方向に直線的に進退動作される駆動腕部
を有する一対の駆動手段の進退動作を組み合わせ、フィ
ルタ保持手段を直交する２方向に移動することにより、
所望するフィルタを所定位置まで移動させることがで
き、複数の特性の異なるフィルタの任意の切換えを行う
ことができる。
【００１３】請求項２記載の発明によれば、矩形状のフ
ィルタ保持手段の直交する側縁をスライド移動可能に支
持しているので、フィルタ保持手段の直交する２方向の
移動を安定したものにできる。請求項３記載の発明によ
れば、フィルタ保持手段は、スライドガイドを介して支
持されるので、直交する２方向へのスライド動作を円滑
にできる。
ィルタ保持手段の直交する側縁をスライド移動可能に支
持しているので、フィルタ保持手段の直交する２方向の
移動を安定したものにできる。請求項３記載の発明によ
れば、フィルタ保持手段は、スライドガイドを介して支
持されるので、直交する２方向へのスライド動作を円滑
にできる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を図
面に従い説明する。図１、図２は、本発明が適用される
フィルタ切換え装置の概略構成を示すもので、図１は、
正面図、図２は、要部の斜視図を示している。図におい
て、１は装置本体で、この装置本体１は、前面に開口部
１０１を有する蓋板１０２を設け、後面に図示しない照
明光源を取り付けている。
面に従い説明する。図１、図２は、本発明が適用される
フィルタ切換え装置の概略構成を示すもので、図１は、
正面図、図２は、要部の斜視図を示している。図におい
て、１は装置本体で、この装置本体１は、前面に開口部
１０１を有する蓋板１０２を設け、後面に図示しない照
明光源を取り付けている。
【００１５】また、装置本体１内には、支持板２を設け
ている。この支持板２は、蓋板１０２と平行に配置され
るとともに、蓋板１０２の開口部１０１の中心軸と一致
する位置に透穴２０１を形成している。
ている。この支持板２は、蓋板１０２と平行に配置され
るとともに、蓋板１０２の開口部１０１の中心軸と一致
する位置に透穴２０１を形成している。
【００１６】支持板２上にエアシリンダ３、４を９０°
方向を異ならして設け、このうちのエアシリンダ３は、
エア供給に応じて図示Ｘ方向に所定の範囲で前進または
後退するように直線移動される駆動腕部３０１を有し、
また、エアシリンダ４は、エア供給に応じて駆動腕部３
０１の移動方向に直交する図示Ｙ方向に所定の範囲で前
進または後退するように直線移動される駆動腕部４０１
を有している。
方向を異ならして設け、このうちのエアシリンダ３は、
エア供給に応じて図示Ｘ方向に所定の範囲で前進または
後退するように直線移動される駆動腕部３０１を有し、
また、エアシリンダ４は、エア供給に応じて駆動腕部３
０１の移動方向に直交する図示Ｙ方向に所定の範囲で前
進または後退するように直線移動される駆動腕部４０１
を有している。
【００１７】エアシリンダ３の駆動腕部３０１先端に
は、連結部材５を介して支持桿６を設けている。この支
持桿６は、エアシリンダ３の駆動腕部３０１に直交する
方向、つまり、エアシリンダ４の駆動腕部４０１の直線
移動方向に沿った方向に延出している。
は、連結部材５を介して支持桿６を設けている。この支
持桿６は、エアシリンダ３の駆動腕部３０１に直交する
方向、つまり、エアシリンダ４の駆動腕部４０１の直線
移動方向に沿った方向に延出している。
【００１８】また、エアシリンダ４の駆動腕部４０１先
端には、連結部材７を介して支持桿８を設けている。こ
の支持桿８は、エアシリンダ４の駆動腕部４０１に直交
する方向、つまり、エアシリンダ３の駆動腕部３０１の
直線移動方向に沿った方向に延出している。
端には、連結部材７を介して支持桿８を設けている。こ
の支持桿８は、エアシリンダ４の駆動腕部４０１に直交
する方向、つまり、エアシリンダ３の駆動腕部３０１の
直線移動方向に沿った方向に延出している。
【００１９】エアシリンダ３、４の支持桿６、８にフィ
ルタ本体９を設けている。このフィルタ本体９は、矩形
状のフィルタ保持部９０１を有し、このフィルタ保持部
９０１の直交する側縁のうち一方側縁をスライドガイド
１０を介して支持桿６にスライド移動可能に支持され、
また、他方側縁を、スライドガイド１１を介して支持桿
８にスライド移動可能に支持され、エアシリンダ３によ
る駆動腕部３０１の図示Ｘ方向の直線移動によりスライ
ドガイド１１に沿って図示Ｘ方向に直線移動されるとと
もに、エアシリンダ４による駆動腕部４０１の図示Ｙ方
向の直線移動によりスライドガイド１０に沿って図示Ｙ
方向に直線移動されるようになっている。
ルタ本体９を設けている。このフィルタ本体９は、矩形
状のフィルタ保持部９０１を有し、このフィルタ保持部
９０１の直交する側縁のうち一方側縁をスライドガイド
１０を介して支持桿６にスライド移動可能に支持され、
また、他方側縁を、スライドガイド１１を介して支持桿
８にスライド移動可能に支持され、エアシリンダ３によ
る駆動腕部３０１の図示Ｘ方向の直線移動によりスライ
ドガイド１１に沿って図示Ｘ方向に直線移動されるとと
もに、エアシリンダ４による駆動腕部４０１の図示Ｙ方
向の直線移動によりスライドガイド１０に沿って図示Ｙ
方向に直線移動されるようになっている。
【００２０】フィルタ保持部９０１は、２×２の合計４
箇所にそれぞれ透穴を有するフィルタ取付け部９０２、
９０３、９０４、９０５を設け、フィルタ保持部９０１
のＸＹ方向の直線移動により、フィルタ取付け部９０２
〜９０５のうち、一つを支持板２の透穴２０１に一致さ
せるようにしている。図示例では、フィルタ取付け部９
０２が支持板２の透穴２０１に一致している。
箇所にそれぞれ透穴を有するフィルタ取付け部９０２、
９０３、９０４、９０５を設け、フィルタ保持部９０１
のＸＹ方向の直線移動により、フィルタ取付け部９０２
〜９０５のうち、一つを支持板２の透穴２０１に一致さ
せるようにしている。図示例では、フィルタ取付け部９
０２が支持板２の透穴２０１に一致している。
【００２１】そして、これらフィルタ取付け部９０２〜
９０５には、１箇所を残して光透過量の異なる３個のフ
ィルタ１２１、１２２、１２３を取付けている。この場
合、フィルタ取付け部９０３には、多数の小穴を有する
光透過量３０％のフィルタ１２１を、フィルタ取付け部
９０４には、僅かな小穴を有する光透過量１０％のフィ
ルタ１２２を、フィルタ取付け部９０５には、小穴を全
く有していない光透過量０％のフィルタ１２３をそれぞ
れ取付け、また、フィルタ取付け部９０２には、フィル
タを取付けずに、光透過量１００％にしている。
９０５には、１箇所を残して光透過量の異なる３個のフ
ィルタ１２１、１２２、１２３を取付けている。この場
合、フィルタ取付け部９０３には、多数の小穴を有する
光透過量３０％のフィルタ１２１を、フィルタ取付け部
９０４には、僅かな小穴を有する光透過量１０％のフィ
ルタ１２２を、フィルタ取付け部９０５には、小穴を全
く有していない光透過量０％のフィルタ１２３をそれぞ
れ取付け、また、フィルタ取付け部９０２には、フィル
タを取付けずに、光透過量１００％にしている。
【００２２】なお、図１において、符号１３は、図示し
ないシリンダ制御部よりエアシリンダ３、４に対するエ
ア供給用の配管を中継する配管中継部である。次に、こ
のように構成した実施の形態の動作を説明する。
ないシリンダ制御部よりエアシリンダ３、４に対するエ
ア供給用の配管を中継する配管中継部である。次に、こ
のように構成した実施の形態の動作を説明する。
【００２３】この場合、このように構成されたフィルタ
切換え装置は、図示しない照明光源前面に取付けられ、
照明光源からの光束を支持板２の透穴２０１よりフィル
タ本体９を介して蓋板１０２の開口部１０１より出射す
るようにしている。
切換え装置は、図示しない照明光源前面に取付けられ、
照明光源からの光束を支持板２の透穴２０１よりフィル
タ本体９を介して蓋板１０２の開口部１０１より出射す
るようにしている。
【００２４】まず、図３（ａ）に示すようにエアシリン
ダ３の駆動腕部３０１とエアシリンダ４の駆動腕部４０
１を、それぞれ後退方向に駆動すると、フィルタ本体９
のフィルタ保持部９０１は、スライドガイド１０による
支持桿６に沿ったスライド動作とスライドガイド１１に
よる支持桿８に沿ったスライド動作により、フィルタを
取付けない光透過量１００％の状態のフィルタ取付け部
９０２が支持板２の透穴２０１（図示ｘ印で示してい
る。）に一致される。これにより、照明光源からの光束
は、支持板２の透穴２０１よりフィルタ取付け部９０２
を通って、光量１００％のまま、蓋板１０２の開口部１
０１より出射されるようになる。
ダ３の駆動腕部３０１とエアシリンダ４の駆動腕部４０
１を、それぞれ後退方向に駆動すると、フィルタ本体９
のフィルタ保持部９０１は、スライドガイド１０による
支持桿６に沿ったスライド動作とスライドガイド１１に
よる支持桿８に沿ったスライド動作により、フィルタを
取付けない光透過量１００％の状態のフィルタ取付け部
９０２が支持板２の透穴２０１（図示ｘ印で示してい
る。）に一致される。これにより、照明光源からの光束
は、支持板２の透穴２０１よりフィルタ取付け部９０２
を通って、光量１００％のまま、蓋板１０２の開口部１
０１より出射されるようになる。
【００２５】次に、図３（ｂ）に示すようにエアシリン
ダ４の駆動腕部４０１を後退方向に駆動したまま、エア
シリンダ３の駆動腕部３０１のみを前進方向に駆動する
と、フィルタ本体９のフィルタ保持部９０１は、スライ
ドガイド１０を介した支持桿６との関係を保ったまま、
スライドガイド１１により支持桿８に沿って図示右方向
にエアシリンダ３の駆動腕部３０１の移動距離だけスラ
イド動作される。これにより、フィルタ保持部９０１の
光透過量３０％のフィルタ１２１を取付けたフィルタ取
付け部９０３が支持板２の透穴２０１（図示ｘ印で示し
ている。）に一致され、照明光源からの光束は、支持板
２の透穴２０１よりフィルタ取付け部９０３のフィルタ
１２１を通って、光量３０％まで減衰され、蓋板１０２
の開口部１０１より出射されるようになる。
ダ４の駆動腕部４０１を後退方向に駆動したまま、エア
シリンダ３の駆動腕部３０１のみを前進方向に駆動する
と、フィルタ本体９のフィルタ保持部９０１は、スライ
ドガイド１０を介した支持桿６との関係を保ったまま、
スライドガイド１１により支持桿８に沿って図示右方向
にエアシリンダ３の駆動腕部３０１の移動距離だけスラ
イド動作される。これにより、フィルタ保持部９０１の
光透過量３０％のフィルタ１２１を取付けたフィルタ取
付け部９０３が支持板２の透穴２０１（図示ｘ印で示し
ている。）に一致され、照明光源からの光束は、支持板
２の透穴２０１よりフィルタ取付け部９０３のフィルタ
１２１を通って、光量３０％まで減衰され、蓋板１０２
の開口部１０１より出射されるようになる。
【００２６】次に、図４（ａ）に示すようにエアシリン
ダ３の駆動腕部３０１を前進方向に駆動したまま、さら
にエアシリンダ４の駆動腕部４０１を前進方向に駆動す
ると、フィルタ本体９のフィルタ保持部９０１は、スラ
イドガイド１１を介した支持桿８との関係を保ったま
ま、スライドガイド１０により支持桿６に沿って図示上
方向にエアシリンダ４の駆動腕部４０１の移動距離だけ
スライド動作される。これにより、フィルタ保持部９０
１の光透過量１０％のフィルタ１２２を取付けたフィル
タ取付け部９０４が支持板２の透穴２０１（図示ｘ印で
示している。）に一致され、照明光源からの光束は、支
持板２の透穴２０１よりフィルタ取付け部９０４のフィ
ルタ１２２を通って、光量１０％まで減衰され、蓋板１
０２の開口部１０１より出射されるようになる。
ダ３の駆動腕部３０１を前進方向に駆動したまま、さら
にエアシリンダ４の駆動腕部４０１を前進方向に駆動す
ると、フィルタ本体９のフィルタ保持部９０１は、スラ
イドガイド１１を介した支持桿８との関係を保ったま
ま、スライドガイド１０により支持桿６に沿って図示上
方向にエアシリンダ４の駆動腕部４０１の移動距離だけ
スライド動作される。これにより、フィルタ保持部９０
１の光透過量１０％のフィルタ１２２を取付けたフィル
タ取付け部９０４が支持板２の透穴２０１（図示ｘ印で
示している。）に一致され、照明光源からの光束は、支
持板２の透穴２０１よりフィルタ取付け部９０４のフィ
ルタ１２２を通って、光量１０％まで減衰され、蓋板１
０２の開口部１０１より出射されるようになる。
【００２７】次に、図４（ｂ）に示すようにエアシリン
ダ４の駆動腕部４０１を前進方向に駆動したまま、エア
シリンダ３の駆動腕部３０１を後退方向に駆動すると、
フィルタ本体９のフィルタ保持部９０１は、スライドガ
イド１０を介した支持桿６との関係を保ったまま、スラ
イドガイド１１により支持桿８に沿って図示左方向にエ
アシリンダ３の駆動腕部３０１の移動距離だけスライド
動作される。これにより、フィルタ保持部９０１の光透
過量０％のフィルタ１２３を取付けたフィルタ取付け部
９０５が支持板２の透穴２０１（図示ｘ印で示してい
る。）に一致され、照明光源からの光束は、フィルタ取
付け部９０５のフィルタ１２２により遮断され、蓋板１
０２の開口部１０１より出射されることがなくなる。
ダ４の駆動腕部４０１を前進方向に駆動したまま、エア
シリンダ３の駆動腕部３０１を後退方向に駆動すると、
フィルタ本体９のフィルタ保持部９０１は、スライドガ
イド１０を介した支持桿６との関係を保ったまま、スラ
イドガイド１１により支持桿８に沿って図示左方向にエ
アシリンダ３の駆動腕部３０１の移動距離だけスライド
動作される。これにより、フィルタ保持部９０１の光透
過量０％のフィルタ１２３を取付けたフィルタ取付け部
９０５が支持板２の透穴２０１（図示ｘ印で示してい
る。）に一致され、照明光源からの光束は、フィルタ取
付け部９０５のフィルタ１２２により遮断され、蓋板１
０２の開口部１０１より出射されることがなくなる。
【００２８】従って、このようにすれば、互いに直交す
る方向に直線的に進退動作される駆動腕部３０１、４０
１を有するエアシリンダ３、４のそれぞれの進退動作を
組み合わせ、駆動腕部３０１、４０１にそれぞれ直交す
る方向に延出して設けられた支持桿６、８にスライド移
動可能に支持されたフィルタ保持部９０１を、これら支
持桿６、８に沿って直交する２方向に移動させ、このフ
ィルタ保持部９０１のフィルタ取付け部９０２、９０
３、９０４、９０５を、光源からの光束が通過される支
持板２の透穴２０１と一致する位置に移動できるように
したので、これらフィルタ取付け部９０２〜９０５に取
付けた複数の特性の異なるフィルタ１２１〜１２３を透
穴２０１に対して任意に切換えることができる。そし
て、これらフィルタ１２１〜１２３の切換えは、一対の
エアシリンダ３、４の進退動作の組み合わせにより実現
できるので、構成を簡単にできる、装置全体の小形化を
実現でき、価格的にも安価にできる。また、フィルタ保
持部９０１は、矩形状をなしていて、この矩形状フィル
タ保持部９０１の直交する側縁を支持桿６、８によりス
ライド移動可能に支持しているので、フィルタ保持部９
０１の直交する２方向の移動を安定したものにできる。
また、フィルタ保持部９０１は、スライドガイド１０、
１１を介して支持桿６、８に支持されるので、直交する
２方向へのスライド動作を円滑にできる。また、エアシ
リンダ３、４は、同一平面上に配置されるので、光軸方
向の厚さ寸法を小さくでき、使用されるフィルタも小さ
なものにでき、この点からも装置全体を小型化できる。
また、各エアシリンダ３、４は、固定できるので、配
線、配管を行い易いく、これにより、安定したフィルタ
切り換えを実現することができる。
る方向に直線的に進退動作される駆動腕部３０１、４０
１を有するエアシリンダ３、４のそれぞれの進退動作を
組み合わせ、駆動腕部３０１、４０１にそれぞれ直交す
る方向に延出して設けられた支持桿６、８にスライド移
動可能に支持されたフィルタ保持部９０１を、これら支
持桿６、８に沿って直交する２方向に移動させ、このフ
ィルタ保持部９０１のフィルタ取付け部９０２、９０
３、９０４、９０５を、光源からの光束が通過される支
持板２の透穴２０１と一致する位置に移動できるように
したので、これらフィルタ取付け部９０２〜９０５に取
付けた複数の特性の異なるフィルタ１２１〜１２３を透
穴２０１に対して任意に切換えることができる。そし
て、これらフィルタ１２１〜１２３の切換えは、一対の
エアシリンダ３、４の進退動作の組み合わせにより実現
できるので、構成を簡単にできる、装置全体の小形化を
実現でき、価格的にも安価にできる。また、フィルタ保
持部９０１は、矩形状をなしていて、この矩形状フィル
タ保持部９０１の直交する側縁を支持桿６、８によりス
ライド移動可能に支持しているので、フィルタ保持部９
０１の直交する２方向の移動を安定したものにできる。
また、フィルタ保持部９０１は、スライドガイド１０、
１１を介して支持桿６、８に支持されるので、直交する
２方向へのスライド動作を円滑にできる。また、エアシ
リンダ３、４は、同一平面上に配置されるので、光軸方
向の厚さ寸法を小さくでき、使用されるフィルタも小さ
なものにでき、この点からも装置全体を小型化できる。
また、各エアシリンダ３、４は、固定できるので、配
線、配管を行い易いく、これにより、安定したフィルタ
切り換えを実現することができる。
【００２９】なお、上述した実施の形態では、照明光か
らの光量を調整するフィルタについて述べたが、例えば
顕微鏡の観察光路中で複数のカラーフィルタを切換える
フィルタ切換え装置にも適用することができる。また、
上述した実施の形態では、駆動源としてエアシリンダを
使用した例を述べたが、電磁石を応用した、いわゆるソ
レノイドや油圧を使用することもできる。
らの光量を調整するフィルタについて述べたが、例えば
顕微鏡の観察光路中で複数のカラーフィルタを切換える
フィルタ切換え装置にも適用することができる。また、
上述した実施の形態では、駆動源としてエアシリンダを
使用した例を述べたが、電磁石を応用した、いわゆるソ
レノイドや油圧を使用することもできる。
【００３０】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、特
性の異なる複数のフィルタの切換えは、一対の駆動手段
の進退動作の組み合わせにより実現できるので、構成が
簡単で、装置全体の小形化および薄型化を実現でき、価
格的にも安価にできる。
性の異なる複数のフィルタの切換えは、一対の駆動手段
の進退動作の組み合わせにより実現できるので、構成が
簡単で、装置全体の小形化および薄型化を実現でき、価
格的にも安価にできる。
【００３１】フィルタ保持手段は、矩形状をなしてい
て、この矩形状フィルタ保持手段の直交する側縁をスラ
イド移動可能に支持しているので、フィルタ保持手段の
直交する２方向の移動を安定したものにできる。
て、この矩形状フィルタ保持手段の直交する側縁をスラ
イド移動可能に支持しているので、フィルタ保持手段の
直交する２方向の移動を安定したものにできる。
【００３２】フィルタ保持手段は、スライドガイドを介
してスライド移動可能に支持されるので、直交する２方
向へのスライド動作を円滑にできる。一対の駆動手段
は、同一平面上に配置されるので、光軸方向の厚さ寸法
を小さくでき、使用されるフィルタも小さなものにでき
ることから、装置全体を小型化できる。
してスライド移動可能に支持されるので、直交する２方
向へのスライド動作を円滑にできる。一対の駆動手段
は、同一平面上に配置されるので、光軸方向の厚さ寸法
を小さくでき、使用されるフィルタも小さなものにでき
ることから、装置全体を小型化できる。
【図１】本発明の一実施の形態の概略構成を示す正面
図。
図。
【図２】一実施の形態の要部の概略構成を示す斜視図。
【図３】一実施の形態の動作を説明するための図。
【図４】一実施の形態の動作を説明するための図。
【図５】従来のフィルタ切換え装置の一例の概略構成を
示す図。
示す図。
１…装置本体、 １０１…開口部、 １０２…蓋板、 ２…支持板、 ２０１…透穴、 ３、４…エアシリンダ、 ３０１、４０１…駆動腕部、 ５、７…連結部材、 ６、８…支持桿、 ９…フィルタ本体、 ９０１…フィルタ保持部、 ９０２、９０３、９０４、９０５…フィルタ取付け部、 １０、１１…スライドガイド、 １２１、１２２、１２３…フィルタ、 １３…配管中継部。
Claims (3)
- 【請求項１】互いに直交する方向に直線的に進退動作さ
れる駆動腕部を有する一対の駆動手段と、 これら一対の駆動手段のそれぞれの駆動腕部に設けら
れ、相手駆動手段の駆動腕部の直線移動方向に沿った方
向に延出される支持手段と、 これら支持手段に、スライド移動可能に支持され、前記
一対の駆動手段のそれぞれの駆動腕部の進退動作に応じ
て前記支持手段に沿って直交する２方向に移動されるフ
ィルタ保持手段と、 このフィルタ保持手段に設けられ、該フィルタ保持手段
の直交する２方向の移動により、それぞれが所定位置に
移動される特性の異なる複数のフィルタとを具備したこ
とを特徴とするフィルタ切換え装置。 - 【請求項２】 前記フィルタ保持手段は、矩形状をな
し、直交する側縁を前記各支持手段にスライド移動可能
に支持されることを特徴とする請求項１記載のフィルタ
切換え装置。 - 【請求項３】 前記フィルタ保持手段は、前記支持手段
にスライドガイドを介してスライド移動可能に支持され
たことを特徴とする請求項１または２記載のフィルタ切
換え装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29553297A JPH11133211A (ja) | 1997-10-28 | 1997-10-28 | フィルタ切換え装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29553297A JPH11133211A (ja) | 1997-10-28 | 1997-10-28 | フィルタ切換え装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11133211A true JPH11133211A (ja) | 1999-05-21 |
Family
ID=17821860
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29553297A Withdrawn JPH11133211A (ja) | 1997-10-28 | 1997-10-28 | フィルタ切換え装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11133211A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009133735A (ja) * | 2007-11-30 | 2009-06-18 | Otsuka Denshi Co Ltd | 光学特性測定装置 |
| WO2013024808A1 (ja) * | 2011-08-12 | 2013-02-21 | 株式会社堀場製作所 | ガス分析装置 |
| KR20140036799A (ko) * | 2012-09-18 | 2014-03-26 | 엘지이노텍 주식회사 | 광색 밸런스 조정이 가능한 식물조명장치 |
| JP2017129594A (ja) * | 2011-08-12 | 2017-07-27 | 株式会社堀場製作所 | ガス分析装置 |
-
1997
- 1997-10-28 JP JP29553297A patent/JPH11133211A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009133735A (ja) * | 2007-11-30 | 2009-06-18 | Otsuka Denshi Co Ltd | 光学特性測定装置 |
| WO2013024808A1 (ja) * | 2011-08-12 | 2013-02-21 | 株式会社堀場製作所 | ガス分析装置 |
| JP2013057651A (ja) * | 2011-08-12 | 2013-03-28 | Horiba Ltd | ガス分析装置 |
| US8934101B2 (en) | 2011-08-12 | 2015-01-13 | Horiba, Ltd. | Gas analysis apparatus |
| JP2017129594A (ja) * | 2011-08-12 | 2017-07-27 | 株式会社堀場製作所 | ガス分析装置 |
| KR20140036799A (ko) * | 2012-09-18 | 2014-03-26 | 엘지이노텍 주식회사 | 광색 밸런스 조정이 가능한 식물조명장치 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050104 |