JPH10227969A - 対物レンズの切換え装置 - Google Patents

対物レンズの切換え装置

Info

Publication number
JPH10227969A
JPH10227969A JP3202297A JP3202297A JPH10227969A JP H10227969 A JPH10227969 A JP H10227969A JP 3202297 A JP3202297 A JP 3202297A JP 3202297 A JP3202297 A JP 3202297A JP H10227969 A JPH10227969 A JP H10227969A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
holder
objective lens
guide member
optical axis
microscope
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP3202297A
Other languages
English (en)
Inventor
Makoto Nishizawa
誠 西澤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Optical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Olympus Optical Co Ltd filed Critical Olympus Optical Co Ltd
Priority to JP3202297A priority Critical patent/JPH10227969A/ja
Publication of JPH10227969A publication Critical patent/JPH10227969A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Lens Barrels (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 対物レンズを迅速に切り、操作性を向上させ
る。 【解決手段】 ホルダ2に複数の対物レンズ1を配置す
る。ホルダ2を第1のガイド部材6にX方向移動可能に
支持し、第1のガイド部材6をY方向移動可能に第2の
ガイド部材7に支持する。ホルダ2をY方向に位置決め
する第1のストッパ部材11を第1のガイド部材6に取
り付け、X方向に位置決めする第2のストッパ部材12
を第2のガイド部材7に取り付ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、顕微鏡における対
物レンズの切換え装置に関する。
【0002】
【従来の技術】顕微鏡の光軸に対して対物レンズを切り
換える方法としては、回転するレボルバーを使用するの
が一般的である。このレボルバーを用いる従来技術とし
ては、特開平5−72485号公報、実開平6−472
0号公報に記載されている。又、特公昭60−1524
5号公報には、センサーとアクチュエーターを用いる切
換え制御機構が記載されている。
【0003】図12はレボルバー110を使用した切換
え手順を示し、複数の対物レンズ120がレボルバー1
10に取り付けられており、対物レンズ120に付され
ている数字はその倍率である。対物レンズ120はレボ
ルバー110の回転方向Aに沿って、倍率が順に大きく
なるように配置されている。これはサンプルを検査する
手順として、低倍率で全体を観察し、順番に倍率を高倍
に切換えてサンプルの目的部分を絞っていき、最後に高
倍率で目的部分を検査する検査方法に沿うためである。
【0004】図13及び図14は 対物レンズの光軸に
対する位置決めを行う手段として、従来より使用されて
いるクリック機構を示す。このクリック機構は複数の対
物レンズ120を支持するレボルバー110の上面に形
成されたカム130と、顕微鏡のレンズ枠(図示省略)
に取り付けられた板バネからなるクリック板140とを
備えている。
【0005】カム130には、対物レンズ120が光軸
160と一致するように位置決めするクリック溝150
が各対物レンズ120との対応位置に形成されている。
このクリック溝150の周囲には図14で示すように、
レボルバー110の回転方向に沿った斜面170が形成
されている。一方、クリック板140の先端部分には、
クリック溝150に嵌まり込むクリックボール180が
取り付けられている。
【0006】このクリック機構は、クリックボール18
0がクリック溝150に入った状態で対物レンズ120
が固定されており、検査者がレボルバー110を回転す
ることにより、クリックボール180とクリック板14
0とが押し上げられて、クリックボール180がクリッ
ク溝150から抜け出す。これによりクリックボール1
80が斜面170に接して回転力が与えられる。そして
隣接する対物レンズが接近すると、クリックボール18
0がカム130の隣接した斜面を登り、クリック溝15
0に入り込むことにより次の対物レンズ120が光軸上
に位置決めされる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図12
の切換え機構では、サンプルに応じて上記手順以外に低
倍率と高倍率を高速に、例えば、10倍から50倍に直
接に切換え、中間の20倍の対物レンズの検査を省き、
交互に切り換えて検査することもある。この場合、必ず
中間の倍率の対物レンズを経由するため、5倍から10
倍のように隣接する対物レンズ間の切り換えと比較し
て、時間を要している。
【0008】顕微鏡における対物レンズの切り換えは、
サンプルを見ながらレボルバーを切り換えることが多
い。これに対して、レボルバーは円盤状であって、外見
及び感触上の特徴がないため、光軸に一致している対物
レンズの倍率を知ることが難しい。このため検査者は使
用している対物レンズの倍率を記憶しながら検査を行う
と共に、光軸に入っている対物レンズを時々、確認する
必要があり、検査本来の注意のほかに、付加的な注意を
行う必要が生じている。
【0009】図13及び図14で示すクリック機構によ
る位置決め構造は、対物レンズ120を切り換える度
に、クリックボール180がクリック溝150を摺動し
ながら乗り越えるため、クリック溝150及びクリック
ボール180の双方が磨耗し易く、この磨耗によって対
物レンズを正確に光軸上に位置決めできなくなる問題を
有している。
【0010】又、高精度の位置決めを行うレボルバーと
するには、クリック溝150を正確に加工すると共に、
クリック板140、クリックボール180を組み立てた
後に対物レンズ120を取り付けるネジ穴を正確に加工
しなければならず、この加工に多大の労力と、時間を要
すると共に、専用の加工機が必要となる。
【0011】特公昭60−15245号公報は、かかる
クリック機構を有したレボルバーをアクチュエーターで
回転させて、対物レンズを光軸に配置するものである
が、レボルバー110の回転の慣性力によりクリックボ
ール180がクリック溝150を乗り越えて対物レンズ
120が光軸からずれることを防止する必要があり、こ
のため、アクチュエーターの動作および停止位置をセン
サーで微妙に調整する必要があり、その制御が難しい問
題を有している。
【0012】本発明はこのような従来の問題点を考慮し
てなされたものであり、正確に対物レンズを光軸に位置
決めでき、操作性が向上し、迅速性を有した対物レンズ
の切換え装置を提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1の発明は、複数の対物レンズが取り付けら
れると共に、顕微鏡の光軸と交差する二次元方向に移動
可能となっているホルダと、このホルダの移動によって
目的の対物レンズが顕微鏡の光軸と一致するようにホル
ダを位置決めする位置決め手段と、を備えていることを
特徴とする。
【0014】この切換え装置は、ホルダが二次元方向に
移動することで目的の対物レンズを瞬時に切換えがで
き、位置決め手段がホルダの移動を停止することにより
対物レンズを光軸と一致させることができる。
【0015】請求項2の発明は、複数の対物レンズが取
り付けられると共に、顕微鏡の切換え光軸と交差する二
次元方向に移動可能となっているホルダと、前記二次元
のそれぞれの方向に沿って配置され、このホルダの移動
によって目的の対物レンズが顕微鏡の光軸と一致するよ
うにホルダを位置決めする位置決め手段と、この位置決
め手段によって位置決めされた前記ホルダの位置を検出
する検出手段と、この検出手段の検出に基づき、顕微鏡
の光軸と一致した対物レンズを選出して表示する表示手
段と、を備えていることを特徴とする。
【0016】この構造では、上記の作用に加えて、検出
手段が検出することにより光軸上にある対物レンズを表
示するため、サンプルの検査中に対物レンズの倍率等を
確認する必要がなくなる。
【0017】以上の発明においては、ホルダを顕微鏡の
光軸に対して斜めに交差する二次元方向に移動可能とす
ることができる。
【0018】
【発明の実施の形態】
(実施の形態1)図1〜図3は本発明の実施の形態1で
あり、図1はサンプル側からの斜視図を示す。図1に示
すように、倍率が異なる複数の対物レンズ1がホルダ2
に配置されている。3は顕微鏡の光軸であり、ホルダ2
はこの光軸3と交差する二次元の方向に移動可能となっ
ており、対物レンズ1はこのホルダ2の移動によって光
軸3と交差する方向に一体的に移動する。この実施の形
態では、矢印X及びYで示すように光軸3に対して直交
する二次元方向にホルダ2が移動するものであり、この
移動を行うため、ホルダ2の側面には操作軸4が取り付
けられている。なお、対物レンズ1に表示された数値は
各対物レンズの倍率である。図2(a)はホルダ2の平
面図であり、5は各対物レンズ1を取り付けるための取
付ねじである。
【0019】ホルダ2が移動する2次元方向の一方の側
には、第1のガイド部材6が配置され、他方の側には第
2のガイド部材7が配置されている。
【0020】第1のガイド部材6は図2(b)で示すよ
うに、ホルダ2が載置されるベース部6aと、このベー
ス部6aの上面の左右両側に取り付けられたガイド部6
bとを備えている。ホルダ2は一対のガイド部6bの間
に位置するようにベース部6a上に載置され、この載置
状態でガイド部6bに沿って、Y方向(図1参照)に移
動する。
【0021】このガイド部6b及びホルダ2のそれぞれ
の対向する側面には、ガイドスリット6c、2cが形成
され、このガイドスリット6c、2cの間にクロスロー
ラーガイドやボールガイド等のガイドロッド(図示省
略)が挿入される。これによりホルダ2は第1のガイド
部材6に案内されて、Y方向に安定して移動する。な
お、ベース部6aには、光軸3が通るための光軸穴8が
2箇所に開口されるものである。
【0022】一方、第2のガイド部材7は以上の第1の
ガイド部材6の下側に配置されており、顕微鏡本体に連
結されている。この第2のガイド部材7は図2(c)で
示すように、第1のガイド部材6が載置されるベース部
7aと、このベース部7aの上面の前後方向の両側に取
り付けられた一対のガイド部7bとを備えている。第1
のガイド部材6はガイド部7bの間に位置するようにベ
ース部7a上に載置され、この載置状態でガイド部7b
に沿って、図1のX方向に移動する。
【0023】この場合、上述と同様に、ガイド部7b及
び第1のガイド部材6のそれぞれの対向する側面には、
ガイドスリット7d、6dが形成され、このガイドスリ
ット7d、6dの間に上記と同様のガイドロッド(図示
省略)が挿入される。これにより第1のガイド部材6及
びホルダ2は第2のガイド部材7に案内されて、X方向
に安定して一体的に移動する。この第2のガイド部材7
においては、光軸3が通るための光軸穴9がベース部7
aの中央部分に開口され、不動である。
【0024】以上の構成に加えて、この実施の形態で
は、位置決め手段として第1のストッパ部材11及び第
2のストッパ部材12が配置されるものである。
【0025】第1のストッパ部材11は、第1のガイド
部材6に取り付けられている。この第1のストッパ部材
11は図1に示すように、第1のガイド部材6における
Y方向に両端部にビス13によって取り付けられてお
り、ホルダ2がY方向に移動する際に、同ホルダ2が当
接し、この当接によってホルダ2のY方向の位置決めを
行う。
【0026】これに対して、第2のストッパ部材12
は、第2のガイド部材7に取り付けられている。この第
2のストッパ部材12は第2のガイド部材7におけるX
方向の両端部にビス13によって取り付けられており、
ホルダ2が第1のガイド部材6と一体となってX方向に
移動する際に、第1のガイド部材6が当接することでホ
ルダ2のX方向の位置決めを行う。
【0027】このような第1及び第2のストッパ部材1
1、12はそれぞれの位置決め方向に対して、その位置
決め位置が調整可能となっている。図3はこの調整を行
う構造を第1のストッパ部材11に対して示すものであ
る。第1のストッパ部材11はビス13によって第1の
ガイド部材6のガイド部6b端部に取り付けられるスト
ッパ板11aと、このストッパ板11aに螺合してホル
ダ2方向に突出するストッパねじ11bとを備えてお
り、ストッパねじ11bを回転させてホルダ2側への突
出長さを調整することにより、ホルダ2の位置決め位置
を調整することができる。この構造は説明を省略する
が、第2のストッパ部材12に対しても同様に適用され
るものであり、このため第2のストッパ部材12は図1
に示すように、ストッパ板12a及びストッパねじ12
bを有している。と有している。
【0028】次に、以上の形態による対物レンズの切換
えを説明する。図1の状態では、10倍の倍率の対物レ
ンズ1が光軸3と一致している。この状態で50倍の対
物レンズに切り換える場合、操作軸4を操作して第2の
ガイド部材6を第2のガイド部材7のガイド部7bに沿
ってX方向に移動させる。この移動は第1のガイド部材
が第2のストッパ部材12に突き当たるまで行い、これ
により倍率が50倍の対物レンズが光軸3と一致する。
【0029】10倍の倍率から20倍の倍率の対物レン
ズ1に切り換える場合は、操作軸4を操作してホルダ2
を第1のガイド部材6のガイド部6bに沿ってY方向に
移動させ、ホルダ2を第1のストッパ部材11に当接さ
せて停止することで行うことができる。
【0030】10倍の倍率から100の倍率の対物レン
ズ1に切り換える場合は、第1のガイド部材6に対して
ホルダ2をY方向に移動させて、第1のストッパ部材1
1に突き当てて停止させ、第2のガイド部材7に対して
第1のガイド部材6をX方向に移動させて、第2のスト
ッパ部材12に突き当てて停止させることで行うことが
できる。又、これに限らず、操作軸4を操作して、ホル
ダ2をX、Yの斜め方向に移動させ、10倍の対物レン
ズ1から100倍の対物レンズ1に直接に切り換えるこ
とができる。
【0031】このような実施の形態では、中間の倍率を
省いて、高倍率或いは低倍率の対物レンズに直接に切り
換えることができ、倍率の切換えを迅速に、しかも簡単
に行うことができる。又、光軸3に対して対物レンズ1
を位置決めするストッパ部材11、12は摺動構造でな
いため、磨耗がなく、長期間、その位置決めを行うこと
ができる。
【0032】(実施の形態2)図4〜図7は実施の形態
2を示し、実施の形態1と同一の要素は同一の符号を付
して対応させてある。この実施の形態では、図4に示す
ようにホルダ2に第1のエアシリンダ15のピストンロ
ッド15aが連結されると共に、第1のガイド部材6に
第2のエアシリンダ16のピストンロッド16aが連結
されている。これらのエアシリンダ15、16は顕微鏡
の光軸と直交する平面に対し、直交するXY方向に位置
するように配置されている。ホルダ2及び第1のガイド
部材6はこれらのエアシリンダ15、16の作動によっ
てXY方向に移動し、それぞれの移動方向に配置されて
いるストッパ部材11、12と当接することで停止し、
これによりホルダ2の位置決めが行われる
【0033】又、この実施の形態では、XYのそれぞれ
の方向へのホルダ2の移動を検出する検出手段が設けら
れている。この検出手段はX方向に延びるようにホルダ
2に取り付けられたセンサプレート17と、このセンサ
プレート17を検出するため、適宜の固定手段によって
第1のガイド部材6に固定されたセンサ18a、18b
とからなるX方向センサ部材、及びY方向に延びるよう
に第1のガイド部材6に取り付けられたセンサプレート
19と、このセンサプレート19を検出するため、適宜
の固定手段によって第2のガイド部材7に固定されたセ
ンサ20a、20bとからなるY方向センサ部材によっ
て構成されている。
【0034】図5はこの検出手段における検出方法を示
しており、センサ18a(センサ18b、20a、20
bも同様である。)は、センサプレート17(センサプ
レート19も同様である。)が挿入される検出スリット
21を有しており、センサプレート17が検出スリット
21内にあるか、否かを電気的或いは光学的に検出す
る。この検出結果の信号は後述するように、制御手段3
0(図7参照)に出力される。
【0035】図6はこの実施の形態に組み込まれている
位置保持部材29を示す。この位置保持部材29は第1
のガイド部材6のベース部6aに取り付けられた電磁石
25と、この電磁石25と間隔を有した状態でホルダ2
の側面に固定された磁性体板26とを備えている。電磁
石25は永久磁石25aと、永久磁石25aに巻回され
たコイル25bとを有している。この位置保持部材29
はコイル25bに通電しない状態では磁性体板26が永
久磁石25aに磁力によって吸引され、これによりホル
ダ2が定位置に保持される。一方、コイル25bに通電
することにより永久磁石25aの磁力が消失し、これに
よりホルダ2が移動可能状態となる。
【0036】このような位置保持部材29はホルダ2の
各対物レンズ1が顕微鏡の光軸3と一致した状態を保持
するものであり、このため位置保持部材29は対物レン
ズ1の数と対応した数が配置される。この場合、位置保
持材29は第1のガイド部材6に対してホルダ2の位置
保持を行うため、ホルダ2と第1のガイド部材6との間
に設けられると共に、第2のガイド部材7に対して第1
のガイド部材6の位置保持を行うため、第1及び第2の
ガイド部材6、7の間に設けられている。
【0037】図7はこの実施の形態の制御を行うブロッ
ク図を示す。同図において、31は光軸に一致した対物
レンズの倍率を表示する表示手段であり、その表示は制
御手段30によって制御される。この表示手段として
は、液晶表示装置等を使用できる。32は検出手段であ
り、上述したセンサプレート17、19及びセンサ18
a、18b、29a、20bからなっている。33はエ
アシリンダ15、16の駆動を制御するエアシリンダ駆
動部である。
【0038】次に、この実施の形態によって、対物レン
ズ1を10倍の倍率から100倍の倍率に切り換える作
動を説明する。まず、制御手段30はホルダ2及び第1
のガイド部材を保持している位置保持部材29のコイル
25bに通電して、位置保持部材29の吸引力を解除す
る。その後、制御手段30はエアシリンダ駆動部33を
制御し、これによりエアシリンダ15、16が駆動す
る。この駆動によってホルダ2がB方向に移動し、移動
端のストッパ部材11と当接して停止すると共に、第1
のガイド部材6がC方向に移動し、移動端のストッパ部
材12と当接して停止する。このとき、エアシリンダ1
5,16を同時に駆動することにより、10倍の対物レ
ンズ1から100倍の対物レンズ1に直接切り換えるこ
とができる。
【0039】これらの停止と共に、制御手段30はコイ
ル25bへの通電を遮断し、これによりホルダ2及び第
1のガイド部材6は位置保持部材29の永久磁石によっ
て安定的に定位置に保持される。この状態では図4の鎖
線で示すように、センサプレート17がセンサ18aに
よって検出されると共に、センサプレート19がセンサ
20aによって検出される。これらの検出信号は制御手
段30に出力され、これにより制御手段30は表示手段
31に対して、対物レンズ1が100倍の倍率であるこ
とを表示させる。このため、観察者は現在使用中の対物
レンズの倍率を視認できる。
【0040】(実施の形態3)図8は実施の形態3を示
す。この実施の形態では、ホルダ2に対して9個の対物
レンズ1が整列状に配置される。同図において、ホルダ
2におけるFはフロント側を、Rはリヤ側を示す。この
ように位置させることにより、対物レンズ1はホルダ2
に対して菱形々状となるように配置される。又、配置さ
れている対物レンズの内、4隅部分に位置する対物レン
ズ1aは実施の形態1と同様に、ストッパ部材11、1
2(図示省略)によって位置決めされるが、その他の対
物レンズ1はクリック機構(図示省略)によって位置決
めされるものである。これにより数多くの対物レンズ1
を有する顕微鏡であっても、その位置決めが容易となる
メリットがある。
【0041】(実施の形態4)図9は実施の形態4を示
し、第1のガイド部材6及び第2のガイド部材7が斜め
に傾斜しており、第1のガイド部材6のホルダ2が取り
付けられ、このホルダ2に対物レンズ1が複数配置され
ている。このような構造の実施の形態では顕微鏡の光軸
3に対して、ホルダ2は斜めに交差する二次元方向に移
動して対物レンズ1の切換えを行うものであり、この場
合にも上述した実施の形態と同様に作動することができ
る。
【0042】この実施の形態では、倍率が小さい対物レ
ンズ1(10倍)が下方側に位置し、倍率が大きな対物
レンズ1(100倍)が斜め上方に位置するようにホル
ダ2に取り付けられている。このように作動距離の短い
高倍率の対物レンズ1を高い位置に配置することによ
り、対物レンズ1の切換えの際に、高倍率の対物レンズ
がステージ37状のサンプルと接触することがなく、接
触に起因したサンプルの損傷を防止することができる。
【0043】(実施の形態5)図10及び図11は実施
の形態5を示し、40は固定プレートである。この固定
プレート40上には、第2のガイド部材7が取り付けら
れ、ホルダ2を支持する第1のガイド部材6がこの第2
のガイド部材7上に取り付けられている。ホルダ2には
8個の対物レンズ1が放射状に配置されており、この配
置を行うためホルダ2は平面8角形に成形されている。
【0044】さらに第2のガイド部材2の周囲には、位
置決め手段として8個のストッパ部材41が放射状に配
置されている。各ストッパ部材41は第2のガイド部材
7の周囲に位置するように固定プレート40から立ち上
がる取付プレート42と、この取付プレート42に螺合
するストッパねじ43とを備えている。ストッパねじ4
3は8角形のホルダ2の各片に対応しており、ホルダ2
が当接することにより、ホルダ2を位置決め位置に停止
させる。この場合、それぞれのストッパねじ43は回転
させることによって、取付プレート42に対して進退
し、これによりホルダ2の位置決め位置の調整が可能と
なっている。
【0045】このような実施の形態では、ホルダ2を第
1のガイド部材6に対して移動させると共に、第1のガ
イド部材6を第2のガイド部材7に対して移動させ、こ
れによりホルダ2を実線或いは破線で示すように、対応
したストッパ部材41に当接して停止することにより、
目的の対物レンズ1を光軸3と一致させることができ
る。
【0046】以上の説明から本発明は、以下の発明を包
含するものである。 (1) 複数の対物レンズが取り付けられると共に、顕
微鏡の光軸と交差する二次元方向に移動可能となってい
るホルダと、前記二次元方向のそれぞれの方向へのホル
ダの移動を案内する複数のガイド部材と、前記ホルダの
二次元の移動方向に配置され、前記ガイド部材に沿った
ホルダの移動によって目的の対物レンズが顕微鏡の光軸
と一致するようにホルダを位置決めする複数のストッパ
部材と、を備えていることを特徴とする対物レンズの切
換え装置。
【0047】この構造においては、ホルダの二次元方向
の移動によって対物レンズの切換えを行うが、このホル
ダの移動をガイド部材が案内するため、正確な移動を容
易に行うことができる。
【0048】(2) 前記ガイド部材は、前記二次元の
内の一方の方向へのホルダの移動を案内する第1のガイ
ド部材と、この第1のガイド部材と一体的に前記ホルダ
を他方の方向へ案内する第2のガイド部材と、を備えて
いることを特徴とする上記(1)項記載の対物レンズの
切換え装置。
【0049】この構造では、ガイド部材が、第1のガイ
ド部材及び第2のガイド部材を備えるため、ホルダの案
内を迅速行うことができる。
【0050】(3) 前記ホルダは顕微鏡の光軸と直交
する二次元の直交方向に移動可能となっており、前記ス
トッパ部材はこの直交方向にそれぞれ配置されているこ
とを特徴とする上記(1)項に記載の対物レンズの切換
え装置。
【0051】この構造では、顕微鏡の光軸と直交する二
次元の直交方向にホルダが移動し、ストッパ部材がホル
ダを位置決めするため、対物レンズの切換えを行うこと
ができる。
【0052】(4) 前記ホルダは顕微鏡の光軸と直交
する二次元の放射方向に移動可能となっており、前記ス
トッパ部材はこの放射方向に複数配置されていることを
特徴とする上記(1)項に記載の対物レンズの切換え装
置。
【0053】従って、ホルダが顕微鏡の光軸に対して放
射方向に移動することによって対物レンズの切換えを行
うことができる。
【0054】(5) 前記ストッパ部材は前記ホルダに
対する位置決め位置の調整が可能となっていることを特
徴とする上記(1),(3)および(4)項のいずれか
に記載の対物レンズの切換装置。
【0055】これにより、ストッパ部材の位置調整によ
って、ホルダの位置決め位置を変更できる。
【0056】
【発明の効果】請求項1の発明は、ホルダが二次元方向
に移動することで対物レンズの切換えを行い、位置決め
手段により対物レンズを光軸と一致させることで、切換
え操作を迅速に、しかも簡単に行うことができ、操作性
が向上する。
【0057】請求項2の発明は、検出手段が停止位置を
検出することにより、光軸に一致している対物レンズを
表示するため、サンプルの検査中に対物レンズの倍率等
を確認する必要がなくなる。
【0058】請求項3の発明は、顕微鏡の光軸と斜めに
交差する二次元方向のホルダの移動によって対物レンズ
の切換えを行うことができ、特に作動距離の短い対物レ
ンズを傾斜の高い位置に配置することにより、サンプル
に対する対物レンズの干渉を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施の形態1の全体斜視図である。
【図2】(a)は実施の形態1のホルダの平面図、
(b)は第1のガイド部材の平面図、(c)は第2のガ
イド部材の平面図である。
【図3】実施の形態1のストッパ部材の部分破断平面図
である。
【図4】実施の形態2の平面図である。
【図5】実施の形態2の検出手段の側面図である。
【図6】実施の形態2の位置保持部材の側面図である。
【図7】実施の形態2の制御を示すブロック図である。
【図8】実施の形態3の斜視図である。
【図9】実施の形態4の部分破断側面図である。
【図10】実施の形態5の平面図である。
【図11】実施の形態の側面図である。
【図12】レボルバー切換えの対物レンズの配置を示す
平面図である。
【図13】クリック機構の斜視図である。
【図14】クリック機構の部分拡大断面図である。
【符号の説明】
1 対物レンズ 2 ホルダ 3 顕微鏡の光軸 6 第1のガイド部材 7 第2のガイド部材 11 第1のストッパ部材 12 第2のストッパ部材

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の対物レンズが取り付けられると共
    に、顕微鏡の光軸と交差する二次元方向に移動可能とな
    っているホルダと、 このホルダの移動によって目的の対物レンズが顕微鏡の
    光軸と一致するようにホルダを位置決めする位置決め手
    段と、を備えていることを特徴とする対物レンズの切換
    え装置。
  2. 【請求項2】 複数の対物レンズが取り付けられると共
    に、顕微鏡の切換え光軸と交差する二次元方向に移動可
    能となっているホルダと、 このホルダの移動によって目的の対物レンズが顕微鏡の
    光軸と一致するようにホルダを位置決めする位置決め手
    段と、 この位置決め手段によって位置決めされた前記ホルダの
    位置を検出する検出手段と、 この検出手段の検出に基づき、顕微鏡の光軸と一致した
    対物レンズを選出して表示する表示手段と、を備えてい
    ることを特徴とする対物レンズの切換え装置。
  3. 【請求項3】 前記ホルダは顕微鏡の光軸に対して斜め
    に交差する二次元方向に移動可能となっていることを特
    徴とする請求項1又は2のいずれかに記載の対物レンズ
    の切換え装置。
JP3202297A 1997-02-17 1997-02-17 対物レンズの切換え装置 Withdrawn JPH10227969A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3202297A JPH10227969A (ja) 1997-02-17 1997-02-17 対物レンズの切換え装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3202297A JPH10227969A (ja) 1997-02-17 1997-02-17 対物レンズの切換え装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH10227969A true JPH10227969A (ja) 1998-08-25

Family

ID=12347248

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3202297A Withdrawn JPH10227969A (ja) 1997-02-17 1997-02-17 対物レンズの切換え装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH10227969A (ja)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001296479A (ja) * 2000-04-11 2001-10-26 Olympus Optical Co Ltd 顕微鏡用レボルバの加工方法
WO2004040365A1 (ja) * 2002-10-31 2004-05-13 Agilent Technologies Japan, Ltd. 携帯機器用ズーム付撮像モジュール
JP2005257775A (ja) * 2004-03-09 2005-09-22 V Technology Co Ltd 顕微鏡における対物レンズ交換装置
JP2006106029A (ja) * 2004-09-30 2006-04-20 Olympus Corp 複合顕微鏡
WO2007026389A1 (ja) * 2005-08-29 2007-03-08 V Technology Co., Ltd. 顕微鏡における対物レンズ交換装置
JP2007178415A (ja) * 2005-11-30 2007-07-12 Yokogawa Electric Corp シールドボックス
JP2008070732A (ja) * 2006-09-15 2008-03-27 Olympus Corp 検査顕微鏡

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001296479A (ja) * 2000-04-11 2001-10-26 Olympus Optical Co Ltd 顕微鏡用レボルバの加工方法
WO2004040365A1 (ja) * 2002-10-31 2004-05-13 Agilent Technologies Japan, Ltd. 携帯機器用ズーム付撮像モジュール
JPWO2004040365A1 (ja) * 2002-10-31 2006-03-02 アジレント・テクノロジーズ・インクAgilent Technologies, Inc. 携帯機器用ズーム付撮像モジュール
JP2005257775A (ja) * 2004-03-09 2005-09-22 V Technology Co Ltd 顕微鏡における対物レンズ交換装置
JP2006106029A (ja) * 2004-09-30 2006-04-20 Olympus Corp 複合顕微鏡
WO2007026389A1 (ja) * 2005-08-29 2007-03-08 V Technology Co., Ltd. 顕微鏡における対物レンズ交換装置
JP2007178415A (ja) * 2005-11-30 2007-07-12 Yokogawa Electric Corp シールドボックス
JP2008070732A (ja) * 2006-09-15 2008-03-27 Olympus Corp 検査顕微鏡

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN203191581U (zh) 光纤熔接机
KR0169739B1 (ko) 인쇄회로기판 검사장치
KR20060044352A (ko) 관찰 장치 및 관찰 방법
JPH10227969A (ja) 対物レンズの切換え装置
JP2008089351A (ja) 外観検査装置及び外観検査方法
KR100806023B1 (ko) 현미경 장치
JPH10111253A (ja) 基板検査装置
JP2007178661A (ja) 顕微鏡装置
JP3854665B2 (ja) 顕微鏡
JP3061651B2 (ja) 貼り合わせ装置
JP4477181B2 (ja) 顕微鏡装置
JP2001264640A (ja) 顕微鏡ステージ
JPS58106514A (ja) 載物台
JP4493355B2 (ja) 顕微鏡用電動ステージ
JP5962286B2 (ja) 硬さ試験機
JPH05142121A (ja) マーキング装置
JP2003090960A (ja) 光学素子切換装置およびそれを備えた光学顕微鏡
JPH11133211A (ja) フィルタ切換え装置
JP2000089126A (ja) 顕微鏡用落射照明装置
JP2009058931A (ja) マニピュレータ及びマニピュレータシステム
KR200253091Y1 (ko) 광학현미경
JPH0682700A (ja) 光学機器の倍率切換装置
JP2002365556A (ja) 顕微鏡用落射照明装置
JPH10260361A (ja) 顕微鏡装置
JP2010028999A (ja) リニアアクチュエータ、このリニアアクチュエータを備えたステージ装置、及びリニアアクチュエータの駆動方法

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20040511